JPH085828A - タイトル表示形成方法 - Google Patents
タイトル表示形成方法Info
- Publication number
- JPH085828A JPH085828A JP13308394A JP13308394A JPH085828A JP H085828 A JPH085828 A JP H085828A JP 13308394 A JP13308394 A JP 13308394A JP 13308394 A JP13308394 A JP 13308394A JP H085828 A JPH085828 A JP H085828A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- title
- forming
- pattern
- coating film
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】高価なタイトル露光専用の装置を追加して用い
ることなく、既存の露光装置を用いて製品工程ラインの
中で番号等を基板上に形成できる方法を提供すること。 【構成】基板上にパターン形成用感光性樹脂を全面に塗
布した後、現像液にて溶解可能な塗膜を部分的に施し、
その塗膜面に品番、タイトル等のインクジェットによる
パターン膜を形成し、パターン形成用のフォトマスクを
介して露光、現像することで塗膜を溶解、除去して、前
記感光性樹脂をもってタイトル表示を形成する。 【効果】高価な専用の露光装置を追加することなく、比
較的安価なインクジェットプリンターで、後工程での汚
染をもたらさずにタイトル等の表示が可能となる。
ることなく、既存の露光装置を用いて製品工程ラインの
中で番号等を基板上に形成できる方法を提供すること。 【構成】基板上にパターン形成用感光性樹脂を全面に塗
布した後、現像液にて溶解可能な塗膜を部分的に施し、
その塗膜面に品番、タイトル等のインクジェットによる
パターン膜を形成し、パターン形成用のフォトマスクを
介して露光、現像することで塗膜を溶解、除去して、前
記感光性樹脂をもってタイトル表示を形成する。 【効果】高価な専用の露光装置を追加することなく、比
較的安価なインクジェットプリンターで、後工程での汚
染をもたらさずにタイトル等の表示が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルター等
の、フォトプロセスを用いる製品の製造工程で品番、タ
イトル等の表示を形成する方法に関する。
の、フォトプロセスを用いる製品の製造工程で品番、タ
イトル等の表示を形成する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、カラーフィルター等の製造ライン
における品質管理および生産管理を明確にするため、製
品の基板一枚一枚に品番、タイトル等を付して区別しや
すいようにすることが求められている。しかしながら、
製品の基板一枚一枚に品番、タイトル等を書き込むため
には、専用のタイトル露光用の装置を追加して対応する
必要があり、その設備費用がかさむこと、及びその運用
上の手間に難点があった。
における品質管理および生産管理を明確にするため、製
品の基板一枚一枚に品番、タイトル等を付して区別しや
すいようにすることが求められている。しかしながら、
製品の基板一枚一枚に品番、タイトル等を書き込むため
には、専用のタイトル露光用の装置を追加して対応する
必要があり、その設備費用がかさむこと、及びその運用
上の手間に難点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的とすると
ころは、上記のような高価なタイトル露光専用の装置を
追加して用いることなく、既存の露光装置を用いて製品
工程ラインの中で番号等を基板上に形成できる方法を提
供することにある。
ころは、上記のような高価なタイトル露光専用の装置を
追加して用いることなく、既存の露光装置を用いて製品
工程ラインの中で番号等を基板上に形成できる方法を提
供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】まず、基板（ガラス、ウ
エハー等）上にメインパターン形成用の感光性樹脂を全
面に塗布する。ここでメインパターンとは、カラーフィ
ルターの表示画素面等の主要なパターン部をいう。感光
性樹脂は、カラーフィルターの場合ならば、樹脂中に顔
料を分散して着色したものである。しかる後、品番、タ
イトル等を表示予定の部分に、後工程の現像工程の現像
液にて溶解可能な塗膜、例えばポリビニルアルコール、
ゼラチン、カゼイン、グリュー、アクリル樹脂等の水溶
性あるいはアルカリ可溶性の塗膜を塗布ローラー、スプ
レー等を用いた方法により部分的に施し、次いでその塗
膜面にインクジェットプリンターを用いて品番、タイト
ル等の遮光性の粒状インクのパターン膜を形成し、しか
る後、メインパターン形成用のフォトマスク（カラーフ
ィルターの場合１色目のマスク原版）を介して露光操作
を行う。ここで、前記フォトマスクには、当然ながら前
記粒状インクのパターン膜形成面に透明枠部が予め形成
されている。次いで、現像操作を行う。
エハー等）上にメインパターン形成用の感光性樹脂を全
面に塗布する。ここでメインパターンとは、カラーフィ
ルターの表示画素面等の主要なパターン部をいう。感光
性樹脂は、カラーフィルターの場合ならば、樹脂中に顔
料を分散して着色したものである。しかる後、品番、タ
イトル等を表示予定の部分に、後工程の現像工程の現像
液にて溶解可能な塗膜、例えばポリビニルアルコール、
ゼラチン、カゼイン、グリュー、アクリル樹脂等の水溶
性あるいはアルカリ可溶性の塗膜を塗布ローラー、スプ
レー等を用いた方法により部分的に施し、次いでその塗
膜面にインクジェットプリンターを用いて品番、タイト
ル等の遮光性の粒状インクのパターン膜を形成し、しか
る後、メインパターン形成用のフォトマスク（カラーフ
ィルターの場合１色目のマスク原版）を介して露光操作
を行う。ここで、前記フォトマスクには、当然ながら前
記粒状インクのパターン膜形成面に透明枠部が予め形成
されている。次いで、現像操作を行う。
【０００５】
【作用】上記の手段により、フォトマスクのメインパタ
ーンと共にインクで形成された品番、タイトル等の表示
も感光性樹脂のパターンとして形成される。しかも、現
像時に、不要な感光性樹脂部とともにポリビニルアルコ
ール等のタイトル部用塗膜および遮光性のインクも溶解
し除去され、インクの残存による汚染も防ぐことができ
る。
ーンと共にインクで形成された品番、タイトル等の表示
も感光性樹脂のパターンとして形成される。しかも、現
像時に、不要な感光性樹脂部とともにポリビニルアルコ
ール等のタイトル部用塗膜および遮光性のインクも溶解
し除去され、インクの残存による汚染も防ぐことができ
る。
【０００６】
【実施例】カラーフィルターの製造工程における一実施
例を図１〜図７に沿って説明する。図１の基板１上に、
図２のように樹脂中に顔料を分散して着色した１色目用
のフォトレジスト２（フジハント社製、商品名「CR-200
0」）を用いて全面に1.0〜2.0μｍの厚さにスピンコー
トし、70℃、20分の条件でプレベークを行い、次いで図
３のように塗布ローラー４を用いて、水溶性あるいはア
ルカリ可溶性の塗膜３（例えばポリビニルアルコール
（以下単にＰＶＡという）の３〜５重量％水溶液）を品
番、タイトル等の表示を形成しようとする部分に塗布す
る。しかる後、図４のようにＰＶＡ塗膜３塗布面にイン
クジェットプリンター５を用いて遮光性のインクパター
ン６を形成し、図５のように、前記インクパターン６形
成部に透明枠部を設けた１色目のパターン形成用のフォ
トマスク７を介して120mJ／cm2の条件で露光し、図６の
ように上記レジストの専用現像液を用いてシャワー現像
する。230℃、60分の条件でポストベークを行う。この
結果、図７のように、メインパターン１１と品番、タイ
トル等の表示１２とが、上記レジスト２により同時に形
成された。
例を図１〜図７に沿って説明する。図１の基板１上に、
図２のように樹脂中に顔料を分散して着色した１色目用
のフォトレジスト２（フジハント社製、商品名「CR-200
0」）を用いて全面に1.0〜2.0μｍの厚さにスピンコー
トし、70℃、20分の条件でプレベークを行い、次いで図
３のように塗布ローラー４を用いて、水溶性あるいはア
ルカリ可溶性の塗膜３（例えばポリビニルアルコール
（以下単にＰＶＡという）の３〜５重量％水溶液）を品
番、タイトル等の表示を形成しようとする部分に塗布す
る。しかる後、図４のようにＰＶＡ塗膜３塗布面にイン
クジェットプリンター５を用いて遮光性のインクパター
ン６を形成し、図５のように、前記インクパターン６形
成部に透明枠部を設けた１色目のパターン形成用のフォ
トマスク７を介して120mJ／cm2の条件で露光し、図６の
ように上記レジストの専用現像液を用いてシャワー現像
する。230℃、60分の条件でポストベークを行う。この
結果、図７のように、メインパターン１１と品番、タイ
トル等の表示１２とが、上記レジスト２により同時に形
成された。
【０００７】この際には、図８（イ）に示すように、露
光時にインクパターン６により遮光されるレジスト２の
未露光部分が現像後には（ロ）のように除去され、品
番、タイトル等の表示１２のパターンとなるが、現像時
に同時にインクパターン６および塗膜３も全て除去され
ており、品番、タイトル等の表示１２の部分には残存し
ていない。この後、２色目、３色目のレジスト２のパタ
ーンを通常と同じ手順により形成する。本実施例では、
品番、タイトル等の表示１２は１色目のフォトレジスト
にて描出されているが、目的により２色目もしくは３色
目のフォトレジストにて描出し形成してもよい。
光時にインクパターン６により遮光されるレジスト２の
未露光部分が現像後には（ロ）のように除去され、品
番、タイトル等の表示１２のパターンとなるが、現像時
に同時にインクパターン６および塗膜３も全て除去され
ており、品番、タイトル等の表示１２の部分には残存し
ていない。この後、２色目、３色目のレジスト２のパタ
ーンを通常と同じ手順により形成する。本実施例では、
品番、タイトル等の表示１２は１色目のフォトレジスト
にて描出されているが、目的により２色目もしくは３色
目のフォトレジストにて描出し形成してもよい。
【０００８】
【発明の効果】本発明の方法によれば、高価な専用の露
光装置を追加することなく、インクジェットプリンター
を工程ライン中に備えるだけで、比較的安価にタイトル
等の表示を各基板上に書き込むことができる。なお、イ
ンクジェットの粉末状インクは、現像時に塗膜の溶解と
共に除去されるので、汚染の原因にならない。また、こ
の表示は、後工程でも問題にならないパターン形成用の
感光性樹脂によって表示されるので、感光性樹脂に直接
インクジェットで印字する場合のようにインクによる汚
染の原因にならない。以上の様に、本発明は実用上極め
て優れている。
光装置を追加することなく、インクジェットプリンター
を工程ライン中に備えるだけで、比較的安価にタイトル
等の表示を各基板上に書き込むことができる。なお、イ
ンクジェットの粉末状インクは、現像時に塗膜の溶解と
共に除去されるので、汚染の原因にならない。また、こ
の表示は、後工程でも問題にならないパターン形成用の
感光性樹脂によって表示されるので、感光性樹脂に直接
インクジェットで印字する場合のようにインクによる汚
染の原因にならない。以上の様に、本発明は実用上極め
て優れている。
【０００９】
【図１】本発明のタイトル表示形成方法の一実施例を工
程順に示す説明図である。
程順に示す説明図である。
【図２】本発明のタイトル表示形成方法の一実施例を工
程順に示す説明図である。
程順に示す説明図である。
【図３】本発明のタイトル表示形成方法の一実施例を工
程順に示す説明図である。
程順に示す説明図である。
【図４】本発明のタイトル表示形成方法の一実施例を工
程順に示す説明図である。
程順に示す説明図である。
【図５】本発明のタイトル表示形成方法の一実施例を工
程順に示す説明図である。
程順に示す説明図である。
【図６】本発明のタイトル表示形成方法の一実施例を工
程順に示す説明図である。
程順に示す説明図である。
【図７】本発明のタイトル表示形成方法の一実施例を工
程順に示す説明図である。
程順に示す説明図である。
【図８】（イ）、（ロ）は、本発明のタイトル表示形成
方法の一実施例の露光〜現像工程を示す説明図である。
方法の一実施例の露光〜現像工程を示す説明図である。
１ 基材 ２ レジスト ３ 塗膜 ４ 塗布ローラー ５ インクジェットプリンター ６ インクパターン ７ フォトマスク ８ 露光用ランプ ９ マスクパターン １０ 現像液シャワー １１ メインパターン １２ 表示
Claims (1)
- 【請求項１】基板上にメインパターン形成用の感光性樹
脂を全面に塗布し、しかる後、品番、タイトル等の表示
を形成しようとする面に、後工程の現像工程の現像液に
て溶解可能な塗膜を部分的に施し、次いでその塗膜面に
インクジェット方式により品番、タイトル等の表示を遮
光性のインクでパターン形成し、しかる後、前記インク
パターン形成部に透明枠部を設けたメインパターン形成
用のフォトマスクを介して露光操作を行い、現像するこ
とによりメインパターンを形成するとともに、前記塗膜
を溶解し、遮光性のインクを除去して、前記のメインパ
ターン形成用の感光性樹脂をもって品番、タイトル等の
表示を形成することを特徴とする基板上へのタイトル表
示形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13308394A JPH085828A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | タイトル表示形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13308394A JPH085828A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | タイトル表示形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085828A true JPH085828A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15096459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13308394A Pending JPH085828A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | タイトル表示形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085828A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999019900A3 (en) * | 1997-10-14 | 1999-08-05 | Patterning Technologies Ltd | Method of forming an electronic device |
| US7323634B2 (en) | 1998-10-14 | 2008-01-29 | Patterning Technologies Limited | Method of forming an electronic device |
-
1994
- 1994-06-15 JP JP13308394A patent/JPH085828A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999019900A3 (en) * | 1997-10-14 | 1999-08-05 | Patterning Technologies Ltd | Method of forming an electronic device |
| US6503831B2 (en) | 1997-10-14 | 2003-01-07 | Patterning Technologies Limited | Method of forming an electronic device |
| US7129166B2 (en) | 1997-10-14 | 2006-10-31 | Patterning Technologies Limited | Method of forming an electronic device |
| US7323634B2 (en) | 1998-10-14 | 2008-01-29 | Patterning Technologies Limited | Method of forming an electronic device |
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