JPH0386938A

JPH0386938A - 光学式情報記録再生装置用光学系の測定装置

Info

Publication number: JPH0386938A
Application number: JP1225626A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Ono; 大野　政博; Takeshi Ito; 毅伊藤; Katsuki Hayashi; 林　勝喜; Toshibumi Kase; 俊之加瀬
Original assignee: Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Current assignee: Pentax Corp
Priority date: 1989-08-29
Filing date: 1989-08-29
Publication date: 1991-04-11
Anticipated expiration: 2015-01-11
Also published as: JP2997277B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明は、レーザダイオード等から出射されたレーザ光
束などを利用して光磁気ディスク等の記憶媒体に対する
情報の記録、再生を行う光学式情報記録再生装置用光学
系の測定装置に関するものである。

［従来の技術］光学式情報記録再生装置用光学系においては、レーザ光
束を対物光学系を通して記憶媒体上に集束させることに
よって、記憶媒体ｉこ対する情報の書き込みや読み出し
が行われる。そして、その情報の書き込みや読み出しを
正確に行うためには、レーザ光束を記憶媒体上に最小限
の径に集束させなければならない。

しかし、対物光学系に入射されるレーザ光束に非点収差
があると、レーザ光束は記憶媒体上で一点に集束されな
くなる。また、レーザ光束の対物光学系への入射角度が
くるっていると、コマ収差が発生してレーザ光束の集束
点が大きく拡がってしまう。

さらに、対物光学系の入射ひとみにおけるレーザ光束の
強度分布が異常だと、フォーカスサーボ及びトラッキン
グサーボの信号を検出するためのサーボ信号検出系に悪
影響を及ぼす。

したがって、レーザ光束を記憶媒体上に最小限の径に集
束させるためには、レーザ光束の非点収差、入射角度に
狂いがあってはならず、また、サーボ信号検出系に悪影
響及ぼさないためには、対物光学系の入射ひとみにおけ
る強度分布に狂いがあってはならず、それを確認するた
めにはそれらを測定しなければならない。

そこで、レーザ光束の非点収差、入射角度及び強度分布
を測定するために、従来は、各々専用の装置が用いられ
ていた。

［発明が解決しようとする課題］従来は、レーザ光束の非点収差、入射角度及び強度分布
を測定するために、各々専用の装置が用いられていたの
で、各々の測定装置を全て準備しなければならなかった
。その結果、測定機器のコストが非常に高くなってしま
う欠点があった。

本発明は、そのような従来の欠点を解消し、測定機器の
コストを低下することのできる光学式情報記録再生装置
用光学系の測定装置を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］上記の目的を達成するため、本発明の光学式情報記録再
生装置用光学系の測定装置は、レーザダイオードから出
射された光束をコリメータ光学系により平行光束にして
、次いでアナモフィック光学系によって整形した後、そ
の光束を記憶媒体上に集束させるための対物光学系に入
射させる光学式情報記録再生装置用光学系の、上記対物
光学系の直前の位置に、上記光束を複数に分けるための
ビームスプリッタと、上記ビームスプリッタによって分
けられた光束を互いに干渉させて干渉縞を発生させる干
渉手段と、上記干渉縞を観測するための観測手段とを有
する光学式情報記録再生装置用光学系の測定装置におい
て、上記複数に分けられた光束のうち１つの光束を残し
て他を遮蔽することができるシャッタを設けて、シャッ
タに遮蔽されない光束の強度分布を上記観測手段で測定
できるようにしたことを特徴とし、上記干渉手段と上記
観測手段との間の光路上に、軸中心に回転自在な少なく
とも１枚の偏光フィルタを配置してもよい。

また、本発明の光学式情報記録再生装置用光学系の測定
装置は、レーザダイオードから出射された光束をコリメ
ータ光学系により平行光束にして、次いでアナモフィッ
ク光学系によって整形した後、その光束を記憶媒体上に
集束させるための対物光学系に入射させる光学式情報記
録再生装置用光学系の、上記対物光学系の直前の位置に
、上記光束を複数に分けるためのビームスプリッタと、
上記ビームスプリッタによって分けられた光束を互いに
干渉させて干渉縞を発生させる干渉手段とを有する光学
式情報記録再生装置用光学系の測定装置において、上記
複数に分けられた光束のうち１つを残して他を遮蔽する
ことができるシャッタと、上記シャッタに遮蔽されない
光束を集束させて、その集束位置から上記対物光学系に
入射する光束の入射角度を測定する入射角度測定手段を
設けたことを特徴とし、上記入射角度測定手段に入射す
る光束の光路上に、軸中心に回転自在な少なくとも１枚
の偏光フィルタを設けてもよい。

［作用］対物光学系に入射する直前の光束をビームスプリッタに
よって２つに分け、この分けられた光束を干渉手段によ
って干渉させて干渉縞を発生させる。この干渉縞を観測
手段によって観測することで、対物光学系に入射する光
束の非点収差を測定することができる。

そして、ビームスプリッタによって複数に分けられた光
束のうち１つの光束を残して他をシャッタで遮蔽するこ
とによって、シャッタによって遮蔽されない光束の強度
分布を観測手段で観測することができる。

また、入射角度測定手段によって、シャッタで遮蔽され
ない光束を集束させ、その集光位置を計測することによ
って、対物光学系に入射する光束の入射角度を測定する
ことができる。

なお、干渉手段と観測手段との間の光路上に配置された
偏光フィルタを軸中心に回転させることによって、観測
手段に入射するレーザ光束の強度を調整することができ
、入射角度測定手段に入射する光束の光路上に設けられ
た偏光フィルタを軸中心に回転することによって、入射
角度測定手段に入射するレーザ光束の強度を調整するこ
ともできる。

［実施例］図面を参照して実施例を説明する。

第１図は、光学式情報記録再生装置用光学系を示してい
る。図中１は、情報の記憶媒体となる光磁気ディスクで
あり、軸２を中心として回転するように設けられている
。そして、第１図において光磁気ディスクｌの上面側に
形成された磁性薄膜ｌａにレーザ光束を照射して、その
照射スポット（ピット）部分だけ磁性薄膜１ａの磁性の
方向を変えることによって、ディジタル情報を記憶する
ものである。

この情報は、容易に書き込み及び読み出しをすることが
できるが、それを正確に行うためには、光磁気ディスク
ｌの磁性薄膜１ａに、レーザ光束のスポットを１μｍ程
度の直径で正確に集束させる必要がある。

１１は、レーザ光束を発生するレーザダイオード（ＬＤ
）であり、そこから出射されるレーザ光束は、楕円形状
に拡がる。即ち、レーザダイオード１１の接合面に水平
な方向へのレーザ光束の拡がりは、その方向と垂直な方
向への拡がりに比べて例えば３分の１枚度と小さい。

１２は、レーザダイオード１１から発射されたレーザ光
束を平行光束にするためのコリメータレンズであり、こ
のコリメータレンズ１２の焦点位置付近にレーザダイオ
ード１１の発光点が配置されている。ただし、レーザダ
イオード１１とコリメータレンズ１２との間隔は任意に
変化させることができる。

１３はアナモフィックプリズムであり、楕円形断面で入
射するレーザ光束を、接合面に水平な方向（第１図の紙
面方向）にだけ屈折、拡大して円形断面の光束に整形し
て出射する。

ｌ５は、固定ミラー　１６は可動ミラーであり、両ミラ
ーはあい対向して配置されている。そして、アナモフィ
ックプリズム１３を通過したレーザ光束は、固定ミラー
１５で直角に反射された後、可動ミラー１６で直角に反
射され、対物レンズ１７を通ることによって光磁気ディ
スク１の磁性薄膜ｌａ面に集束する。

本実施例においては、可動ミラー１６と対物レンズ１７
とは一体に設けられていて、矢印Ａ方向、即ち両ミラー
１５．１８間の光軸方向に移動することによって、光磁
気ディスクｌに記憶された情報に対するアクセスを行う
ことができる。

２０は、固定ミラー１５と可動ミラー１６との間に固設
されたビームスプリッタである。ここでは、まず固定ミ
ラー１５側から入射した光束が分けられ、第１の集光レ
ンズ２１を通ってレーザ出力モニタ用の第１の光電素子
２２に集束する。

ビームスプリッタ２０を通過して光磁気ディスクｌから
反射してきた反射光束は、再びビームスプリッタ２０へ
戻る。ここで分けられた光束は、２分の１波長板２５を
通過して偏光面の方向か４５度回転する。そして、さら
に副ビームスプリッタ２６によって、偏光方向と４５度
をなす偏光反射面によって分けられ、第２及び第３の集
光レンズ２７．２８を通って、Ｓ偏光強度検出用とＰ偏
光強度検出用の第２及び第３の光電素子２９，３０に集
束する。この第２及び第３の光電素子２９゜３０の出力
信号によって、情報の読み取りが行われる。

ビームスプリッタ２０におけるもう一ケ所の半透面で分
けられた光磁気ディスク１からの反射光束は、第４の集
光レンズ３４とシリンドリカルレンズ３５とを通過して
、フォーカス及びトラッキングを行うためのサーボ信号
を出力するための第４の光電素子３６に集束する。

フォーカスサーボは対物レンズ１７をＢ方向、即ち光磁
気ディスク１面に対して垂直の方向に微動させて、レー
ザ光束の最小スポットを光磁気ディスクｌの磁性薄膜ｌ
ａ面に集束させる。トラッキングサーボは、対物レンズ
１７と可動ミラー１６とを一体にしてＡ方向、即ち、光
ディスクｌの情報記録用トラックに対して垂直方向に微
動させ、レーザ光束をトラックからはみ出さないように
制御するものである。本実施例では、第４の光電素子３
６は、受光面が例えば４以上に分割されており、その各
部からの出力信号を組み合わせることによって、フォー
カスサーボ及びトラッキングサーボ用の信号を得ること
ができる。

次に第１図とその部分拡大図である第２図を参照して、
本発明の非点収差補正方法について説明する。

第２図に示されるＨは、レーザダイオード１１の接合面
に水平な方向の発光点（以下、「水平発光点」という）
であり、■は、接合面と垂直な方向の発光点（以下「垂
直発光点」という）である。

２つの発光点Ｈ，Ｖ間の距離、即ちレーザダイオード１
１の非点隔差をΔＺとし、垂直発光点■とコリメータレ
ンズ１２の焦点位置Ｆとの間隔をＺとし、接合面に垂直
な方向でコリメータレンズ１２に入射するレーザ光束の
開口数をＮＡ　（ＮＡ＝ｓｉｎθ、）、アナモ倍率をＭ
　（Ｍ＝Ｄ　２／Ｄ　Ｉ　）とすると、アナモフィック
プリズム１３から円形断面のレーザ光束が出た位置にお
ける、接合面に水平な方向と接合面と垂直な方向でのデ
フォーカス量ΔＷｈ、ΔＷｖはそれぞれ、 ΔＷｈ＝　（Ｚ＋ΔＺ）（ＮＡ）２／　（２Ｍ２）ΔＷ
ｖ　＝　Ｚ　（ＮＡ）２．／　２で表わされる。したがって、その位置で発生する非点収
差ΔＷａｓは、 ΔＷａｓ＝Δｗｈ−ΔＷｖ＝　（ΔＺ＋Ｚ（１−！Ｊ２）　）　（ＮＡ）”　／　
（２Ｍ２）であり、Ｍ＝１でなければ、接合面に水平な
方向と垂直な方向との間に、Ｚの関数で表わされる非点
収差量が発生する。

したがって、レーザダイオード１１とコリメータレンズ
１２の間隔Ｚを変えることによって、アナモフィックプ
リズム１３を出た位置における非点収差ΔＷａｓを変え
ることができる。

そこで、本発明では、レーザダイオード１１とコリメー
タレンズ１２の間隔２を変えることによって、アナモフ
ィックプリズム１３を出た位置において、アナモフィッ
クプリズム１３より後段の光学系の有する非点収差を相
殺する量の非点収差を積極的に発生させるようにしたも
のである。

第１図においては、アナモフィックプリズム１３より後
段の光学系には、固定ミラー１５、ビームスプリッタ２
０、可動ミラー１６及び対物レンズ１７が配置されてい
る。これら後段の光学系によって発生する非点収差をα
とすれば、ΔＷａｓ＝−α が成立するようなレーザダイオードｌｌとコリメータレ
ンズ１２の間隔Ｚが存在する。したがって、レーザダイ
オード１１とコリメータレンズ１２の間隔をその間隔Ｚ
に調整することによって、後段の光学系により発生する
非点収差αを、アナモフィックプリズム１３を出た位置
における非点収差ΔＷａｓで相殺し、光磁気ディスク１
に集束する光束の非点収差をゼロに補正することができ
る。

なお、ΔＷａｓを、アナモフィックブーリズム１３より
後段のすべての光学素子で発生する非点収差と相殺させ
れば理想的である。しかし、対物レンズエフで発生する
非点収差は一般に微々たるものなので、ΔＷａｓを、対
物レンズ１７の入り口までの光学素子で発生する非点収
差と相殺させる等、後段の光学素子の一部で発生する非
点収差と相殺させてもよい。

レーザダイオード１１とコリメータレンズ１２の間隔を
調整するには、例えば第８図と第９図とに図示した機構
を用いる。即ち、図中１９０は、レーザダイオード１１
とコリメータレンズ１２を内蔵するレーザペン本体であ
り、これに形成された孔１９０ａの基端部にはレーザダ
イオード１１が固定されており、コリメータレンズ１２
を内蔵したコリメータレンズ枠１９２が光軸方向に移動
自在に、孔１９０ａ内に嵌入されている。また、コリメ
ータレンズ枠１９２の外周には光軸回りの方向に溝１９
２ａが形成されている。１９５は、コリメータレンズ枠
１９２をレーザペン本体１９０に固定するための押え板
であり、固定ねじ１９６によってレーザペン本体１９０
に固定されている。この押え板１９５には、間隔調整棒
１９４を回転自在に嵌合するための調整孔１９５ａが穿
設されている。

このような機構において、固定ねじ１９６を少し緩めて
おいて、間隔調整棒１９４の突起を溝１９２ａに差し込
んで間隔調整棒１９４を調整用孔１９５ａに嵌合させ、
間隔調整棒１９４を軸中心に回転させることによってコ
リメータレンズ枠１９２が光軸方向に移動して、レーザ
ダイオードｌｌとコリメータレンズＩ２との間隔を調整
することができる。調整した後は固定ねじ１９６を締め
込んでコリメータレンズ枠１９２を固定する。

なお、この波面収差補正方法によると、対物レンズ１７
に入射するレーザ光束には、デフォーカスが残るが、入
射光束のデフォーカスによって発生する対物レンズ１７
の球面収差等の収差量は非常に小さく、デフォーカスが
残っても実用上はほとんど問題がない。また、光電素子
３６を介してフォーカスサーボが働き、対物レンズ１７
を出た位置でのデフォーカスは自動的に補正されるので
、デフォーカスについては実用上は問題が生じない。

また、本実施例では、非点隔差ΔＺがあるレーザダイオ
ード１１を用いて波面収差補正方法について説明してい
るが、本発明によれば、非点隔差の有無に関係なく光磁
気ディスクｌに集束する光束の非点収差をゼロに補正す
ることができる。なお、アナモフィックプリズム１３が
、レーザ光束を一方向にだけ屈折、拡大するものである
ため、その方向とそれに垂直な方向に発生する非点収差
だけが補正されるが、もともとその２方向に非点収差が
多く発生するので、実用上は問題がない。

第３図は、上記波面収差補正方法によって非点収差を補
正する際に用いられる測定装置を示している。図中、３
は光学系本体ユニットであり、第１図に示される光学式
情報記録再生装置用光学系から対物レンズ１７を取り外
した、残りの光学系が配置されたユニットである。

１００は、対物レンズＩ７へ入射するレーザ光束の径を
制限するための絞りである。１０２及び１０３は、レー
ザ光束の偏光状態と偏光面を所定の状態に調整するため
に、互いに独立して軸中心に回転自在に設けられた４分
の１波長板及び２分の１波長板である。

１０５はビームスプリッタであり、入射光束の光軸に対
して、垂直な方向と４５度の方向を有する半透面が形成
されている。このビームスプリッタ１０５により、光学
系本体ユニット３から入射するレーザ光束は、まっすぐ
に透過する光束と、直角に反射される光束の２光束に分
けられる。

１０６．１０７は、ビームスプリッタ１０５で分けられ
た２光束を、光軸中心に回転させるためのイメージロー
テータであり、本実施例では２つのダブプリズムを使用
している。そして、この２つのイメージローテータ１０
６，１０７によって２つの光束が相対的に略９０度回転
させられる。

この２つのイメージローテータ１０６，１０７は、ビー
ムスプリッタ１０５で分けられた２光束の光路長を同じ
にして干渉性を良くするために、全く同じ形状、特性を
有するものが用いられる。なお、良好な干渉性が確保で
きれば、イメージローテータは一方だけ設けてもよい。

１０８．１０９はイメージローテータ１０６゜１０７を
通過した光束を１８０度反転した方向に平行に反射させ
るための直角プリズムであり、光路長を同じにして干渉
性を良くするために、全く同じ形状、特性を有したもの
が用いられ、さらに少なくとも一方の直角プリズム１０
８．１０９は光軸方向に移動自在となっている。この直
角プリズム１０８，１０９により反射された光束はビー
ムスプリッタ１０５の半透面で重なり合って干渉し、ビ
ームスプリッタ１０５から出射したのち、反射板１１０
によって方向が変えられる。

１１１は結像レンズであり、例えば固体撮像素子の撮像
面１１２上に絞り１００の像を結像するように配置され
ている。そして、ＣＲＴモニタ（図示せず）等によって
、対物レンズ１７へ入射する直前の波面収差を干渉縞と
して観測することができる。また、結像レンズ１１１と
撮像面！１２との間の光路上には、互いに独立して軸中
心に回転自在な偏光フィルタ１１３が２枚配置されてお
り、偏光フィルタ１１３を回転することによって撮像面
１１２に入射するレーザ光束の強度を調整することがで
きる。なお、偏光フィルタは１枚であっても、強度調整
をある程度行うことができる。また、ＮＤフィルタを使
用してもよい。

１５０は、ビームスプリッタ１０５によって２つに分け
られたレーザ光束のうち、半透面によって直角に反射さ
れた方のレーザ光束を開閉自在に遮蔽するためのシャッ
タである。

１５１は、測定装置に固定的に形成された基準反射面で
あり、対物レンズ１７に入射するレーザ光束の入射角度
を測定する際に、光学式情報記録再生装置用光学系を取
付けるために測定装置に設けられた取付面（図示せず）
の傾きを測定基準となる傾きに調整するためのものであ
る。

１５２は、ビームスプリッタ１０５の側壁に密接して設
けられた副直角プリズムであり、直角プリズム１０８に
よって反射されてビームスプリッタ１０５の半透面を透
過したレーザ光束を反射させて、その方向を変えるため
のものである。

第４図は、副直角プリズム１５２で反射される光路上に
設けられた光学系を示している。

１５５は、コリメータレンズの焦点位置にレーザダイオ
ードの発光点を配置して一体に構成されたコリメータペ
ンであり、レーザ光束を出射させて、光学式情報記録再
生装置用光学系を取付けるための取付面（図示せず）の
傾きを調整するために設けられている。

１５６は、副直角プリズム１５２とコリメータペン１５
５の間に配置されたビームスプリッタである。このビー
ムスプリッタ１５６によって、直角プリズム１５２から
のレーザ光束は直角に反射される。また、コリメータペ
ン１５５からのレーザ光束は、ビームスプリッタ１５６
をまっすぐ透過して、副直角プリズム１５２に入射する
。

１５７は、コリメータレンズであり、ビームスプリッタ
１５６で反射されたレーザ光束を、固体撮像素子の撮像
面１５９上に集束させるように配置されている。

また、コリメータレンズ１５７と撮像面１５９との間の
光路上には、互いに独立して軸中心に回転自在な偏光フ
ィルタ１５８が２枚配置されており、偏光フィルタ１５
８を各々回転することによって撮像面１５９に入射する
レーザ光束の強度を調整することができる。なお、偏光
フィルタは１枚であっても強度調整をある程度行うこと
ができる。また、ＮＤフィルタを使用してもよい。

次に、上記測定装置の測定動作について説明する。

まず、コリメータベン１５５からレーザ光束を出射させ
ると、そのレーザ光束はビームスプリッタ１５６の半透
面を透過し、副直角プリズム１５２、ビームスプリッタ
１０５、直角プリズムｌＯ８及びイメージローテータ１
０６を通過して、基準反射面１５１で反射される。こう
して基準反斜面１５１で反射されたレーザ光束は、再び
測定装置内に入射し、ビームスプリッタ１５６によって
方向を変えられて撮像面１５９に集束する。この集束点
の位置がＣＲＴモニタ（図示せず）等に付されたスケー
ルの基準点と一致するように、光学式情報記録再生装置
用光学系の取付面（図示せず）の傾きを調整する。そし
て、光学系本体ユニット３を測定装置の所定の位置に取
付ける。

次いで、シャッタ１５０を閉じるとともに、コリメータ
ペン１５５からのレーザ光束の出射を停止する。そして
、レーザダイオード１１からレーザ光束を出射させ、可
動ミラー１６によってレーザ光束を測定装置内に入射さ
せる。すると、シャッタ１５０に遮蔽されない方のレー
ザ光束はビームスプリッタ１０５、イメージローテータ
１０６、直角プリズム１０８及び副直角プリズム１５２
を通過する。そして、副直角プリズム１５２を通過した
レーザ光束は、ビームスプリッタ１５６の半透面に反射
されて、コリメータレンズ１５７によって撮像面１５９
に集束し、スケールが付されたＣＲＴモニタ（図示せず
）等によって集束点の位置が観測される。

そして、この集束点位置の基準点に対するずれ量をスケ
ールで計測することによって、対物レンズ１７に入射す
るレーザ光束の入射角度を測定することができる。コリ
メータレンズ１５７の焦点距離をｆとし、撮像面１５９
における集束点の位置をＲとすると、対物レンズ１７に
入射するレーザ光束の入射角度θは、 θ＝Ｒ／ｆ（ｒａｄ）となる。

一方、直角プリズム１０８を通過したのちビームスプリ
ッタ１０５の半透面によって反射された光束は、反射板
ｌｌＯによって方向が変えられて、結像レンズ１１１に
よって撮像面１１２に結像し、ＣＲＴモニタ（図示せず
）等によってレーザ光束の強度分布が観測される。なお
、ＣＲＴモニタの代わりに、撮像面１１２の光強度を画
像処理装置などに人力して演算した後に強度分布を表示
してもよい。

次に、シャッタ１５０を開く。すると、ビームスプリッ
タ１０５によって２つに分けられたレーザ光束は、イメ
ージローテータ１０６．１０７によって相対的に光軸中
心に略９０度回転され、直角プリズム１０８．１０９に
よってビームスプリッタ１０５の半透面の方向に反射さ
れてビームスプリッタ１０５の半透面で重なり合って干
渉する。

この重なり合って干渉しているレーザ光束は、反射板１
１０によって方向が変えられ、結像レンズＩｌｌによっ
て撮像面１１２上に導かれ、ＣＲＴモニタ（図示せず）
等によって干渉縞が観測される。

このとき、例えば光学系本体ユニット３を測定装置に対
し少し傾けることでチルトを行い、例えば２ないし４本
捏度の干渉縞が観測されるようにする。

このようにして観測される干渉縞には、２つに分けられ
た光束の波面が、イメージローテータ１０６．１０７に
よって光軸中心に相対的に略９０度回転されているので
、光軸に対して非対称な成分である非点収差やコマ収差
などは検出されるが、光軸に対して対称な成分であるデ
フォーカスなどは検出されない。従って、コリメータレ
ンズ１２とレーザダイオード１１との間隔を変化させて
もデフォーカスは検出されず、非点収差のみ検出され、
波面収差補正を容易に行うことができる。そして、２つ
に分けた光束を相対的に略９０度回転させて干渉させて
いるので、第５図に示されるように、非点収差成分が略
２倍の感度で干渉縞に表われる。

これを図で説明すると、第６Ａ図の１８０ａ及び第６Ｂ
図の１８０ｂは、それぞれイメージローテーク１０６，
１０フ通過後の波面のデフォーカス成分を示しており、
相対的に略９０度回転された関係にあるデフォーカス成
分１８０ａと１８０ｂとは全く同じであり、第６Ｃ図の
１８０ｃに示されるように、これらの差である成分は平
面状になる。従って、干渉縞にはデフォーカス成分は検
出されない。

また、第７Ａ図の１８１ａ及び第７Ｂ図の１８１ｂは、
上述と同様にして、それぞれイメージローテーク１０６
，１０フ通過後の波面の非点収差成分を示しており、相
対的に略９０度回転された関係にある非点収差成分１８
１ａと１８１ｂとの差をとると、第７Ｃ図の１８１ｃに
示されるように、直交する２方向において互いに逆側に
湾曲する成分が得られる。従って、干渉縞には非点収差
成分は２倍の感度で検出される。

このようにして、測定装置に入射したレーザ光束に非点
収差がない場合には、まっすぐで平行な干渉縞が観測さ
れ、非点収差がある場合には、曲がった干渉縞が観測さ
れる。

干渉縞が曲って観測された場合、本発明の波面収差補正
方法によって、レーザダイオード１１とコリメータレン
ズ１２との間隔を調整して、干渉縞をまっすぐにする。

こうして干渉縞がまっすぐになったとき、光学式情報記
録再生装置用光学系においては、固定ミラー１５、ビー
ムスプリッタ２０及び可動ミラー１６によって発生する
非点収差を相殺する量の非点収差が、アナモフィックプ
リズム１３を出た位置で発生し、対物レンズ１７に入射
する直前のレーザ光束の非点収差がゼロに補正されたこ
とになる。

なお、本測定装置を用いた場合、上述のように対物レン
ズ１７は測定対象から除かれている。しかし、アナモフ
ィックプリズム１３、両ミラー１５．１６などを含む大
多数の光学素子によって発生する非点収差は補正されて
おり、対物レンズ１７によって少量の非点収差が発生し
ても、実用上は全く問題ない。

また、対物レンズ１７を含めて非点収差を補正する場合
は、波面収差測定装置に対物レンズ１７からの収束光を
平行光束に変換する手段を設ければよい。

［発明の効果］本発明の光学式情報記録再生装置用光学系の測定装置に
よれば、対物光学系に入射する光束の非点収差を測定す
ることができるとともに、対物光学系に入射する光束の
入射角度の測定や対物光学系の入射ひとみにおけるレー
ザ光束の強度分布を測定することができる。したがって
、これら非点収差と入射角度又は強度分布を測定する際
に１つの測定装置を準備すればよく、測定コスト等を大
幅に低くすることができる優れた効果を有するものであ
る。

また、観測光の強度を調整するための偏光フィルタを設
けたことにより、例えば強度の極めて強いレーザ光束を
測定する場合でも、正確に測定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は光学式情報記録再生装置用光学系の略示図、第２図は第１図の部分拡大図、第３図及び第４図は光学式情報記録再生装置用光学系の
測定装置を示す略示図、第５図は２つの光束の相対的回転角度と測定感度との関
係を示す特性線図、第６六図ないし第６Ｃ図は波面デフォーカス成分を示す
略示図、第７Ａ図ないし第７Ｃ図は波面の非点収差成分を示す略
示図、第８図はレーザベンの正面図、第９図はそのＩＸ−ＩＸ線切断面図である。ｌ・・・光磁気ディスク、１１・・・レーザダイオード
、１２・・・コリメータレンズ、１３・・・アナモフィ
ックプリズム、１６・・・可動ミラー　１７・・・対物
レンズ、１０５．１５６・・・ビームスプリッタ、１０
６，１０７・・・イメージローテータ、１０８，１０９
・・・直角プリズム、１１１・・・結像レンズ、１１２
．１５９・・・撮像面、１１３．１５８・・・偏光フィ
ルタ、１５５・・・コリメータペン、１５７・・・コリ
メータレンズ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）レーザダイオードから出射された光束をコリメー
タ光学系により平行光束にして、次いでアナモフィック
光学系によって整形した後、その光束を記憶媒体上に集
束させるための対物光学系に入射させる光学式情報記録
再生装置用光学系の、上記対物光学系の直前の位置に、上記光束を複数に分けるためのビームスプリッタと、上記ビームスプリッタによって分けられた光束を互いに
干渉させて干渉縞を発生させる干渉手段と、上記干渉縞を観測するための観測手段とを有する光学式
情報記録再生装置用光学系の測定装置において、上記複数に分けられた光束のうち１つの光束を残して他
を遮蔽することができるシャッタを設けて、シャッタに
遮蔽されない光束の強度分布を上記観測手段で測定でき
るようにしたことを特徴とする光学式情報記録再生装置用光学系の測定装置
。
（２）上記干渉手段と上記観測手段との間の光路上に、
軸中心に回転自在な少なくとも１枚の偏光フィルタを配
置した請求項１記載の光学式情報記録再生装置用光学系
の測定装置。
（３）レーザダイオードから出射された光束をコリメー
タ光学系により平行光束にして、次いでアナモフィック
光学系によって整形した後、その光束を記憶媒体上に集
束させるための対物光学系に入射させる光学式情報記録
再生装置用光学系の、上記対物光学系の直前の位置に、上記光束を複数に分けるためのビームスプリッタと、上記ビームスプリッタによって分けられた光束を互いに
干渉させて干渉縞を発生させる干渉手段とを有する光学
式情報記録再生装置用光学系の測定装置において、上記複数に分けられた光束のうち１つを残して他を遮蔽
することができるシャッタと、上記シャッタに遮蔽されない光束を集束させ、その集束
位置を計測することによって上記対物光学系に入射する
光束の入射角度を測定する入射角度測定手段を設けたこ
とを特徴とする光学式情報記録再生装置用光学系の測定装置
。
（４）上記入射角度測定手段に入射する光束の光路上に
、軸中心に回転自在な少なくとも１枚の偏光フィルタを
設けた請求項２記載の光学式情報記録再生装置用光学系
の測定装置。