JPS60149941A - 光ヘツドの出射光波面収差検知方法および装置 - Google Patents
光ヘツドの出射光波面収差検知方法および装置Info
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- JPS60149941A JPS60149941A JP59000084A JP8484A JPS60149941A JP S60149941 A JPS60149941 A JP S60149941A JP 59000084 A JP59000084 A JP 59000084A JP 8484 A JP8484 A JP 8484A JP S60149941 A JPS60149941 A JP S60149941A
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- optical head
- light flux
- optical
- light
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/06—Testing the alignment of vehicle headlight devices
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、光ヘッドの出射光波面収差検知方法および
装置に関するものであり、さらに詳しく〜・5と、光デ
ィスクを用いた″rH報記録、再生装置に用いられる光
ヘッドから出射される光束の波面に含まれる収差を検知
するための出射光波面収差検知方法および装置に関する
ものである。
装置に関するものであり、さらに詳しく〜・5と、光デ
ィスクを用いた″rH報記録、再生装置に用いられる光
ヘッドから出射される光束の波面に含まれる収差を検知
するための出射光波面収差検知方法および装置に関する
ものである。
近年、光学的記碌媒体を用いた情報処理装置の開発が盛
んに行われており、たとえば、PhlJips社規格に
よるVLP方式光ビデオディスク、Ph12ips−8
ony社規格によるCD方式デジタルオー効ディスクな
どは、民生用の読出し専用画像、オージオ媒体として市
場に定着しつつある。さらに、追加記録可能または記録
消去可能な光デイスクシステム等については、上記のV
LP方式、CD方式のように規格統一こそされていない
が、技術発表は活発に行われており、近い将来の大容量
情報蓄積手段として、その期待は太きい。また、かかる
各方式光デイスクシステムの概要については、たとえば
、神馬:1ビデオディスクとその仲間たち」 。
んに行われており、たとえば、PhlJips社規格に
よるVLP方式光ビデオディスク、Ph12ips−8
ony社規格によるCD方式デジタルオー効ディスクな
どは、民生用の読出し専用画像、オージオ媒体として市
場に定着しつつある。さらに、追加記録可能または記録
消去可能な光デイスクシステム等については、上記のV
LP方式、CD方式のように規格統一こそされていない
が、技術発表は活発に行われており、近い将来の大容量
情報蓄積手段として、その期待は太きい。また、かかる
各方式光デイスクシステムの概要については、たとえば
、神馬:1ビデオディスクとその仲間たち」 。
自然、’/913.4月号や浮田、金子=「光デイスク
記憶技術の動向」 、電子通信学会誌、 Vof、/
。
記憶技術の動向」 、電子通信学会誌、 Vof、/
。
/、 t 、116g 、 Dpg、3!r等に記載さ
れている。
れている。
かような光デイスクシステムにあっては、ディスクへの
情報書込みおよびディスクからの情報読出しを行うのに
ディスク情報面上に微小光スポットを照射する必要があ
り、このような集光光学系を光ヘッドと称している。
情報書込みおよびディスクからの情報読出しを行うのに
ディスク情報面上に微小光スポットを照射する必要があ
り、このような集光光学系を光ヘッドと称している。
かかる光ヘッドを第1図について説明すると、レーザ光
源/から出射した光束コはコリメートレンズ3によって
平行光化され、ビームスプリッタリを透過して集光レン
ズSにより光ディスク乙の情報面のトラック上に照射さ
れる。光ディスク6には情報単位であるピット7が含ま
れ、ピット70列によって情報トラックgが構成されて
いる。
源/から出射した光束コはコリメートレンズ3によって
平行光化され、ビームスプリッタリを透過して集光レン
ズSにより光ディスク乙の情報面のトラック上に照射さ
れる。光ディスク6には情報単位であるピット7が含ま
れ、ピット70列によって情報トラックgが構成されて
いる。
また光ディスク乙には情報ピット7を含む面を汚し
杉、傷等から保護するためのガラス、アクリル等でなる
透明保護層9が被覆されている。光ディスク6は通常、
円盤状のもので、モータによって回転駆動される。
透明保護層9が被覆されている。光ディスク6は通常、
円盤状のもので、モータによって回転駆動される。
トラックgによって変調されたディスク反射光束IOは
、ビームスプリッタ弘により光束コと分離されて光検知
器//に入射する。光検知器//はトラックgで変調さ
れた反射光束10の光強度変化を電気信号に変換し、端
子/、!より出力する。
、ビームスプリッタ弘により光束コと分離されて光検知
器//に入射する。光検知器//はトラックgで変調さ
れた反射光束10の光強度変化を電気信号に変換し、端
子/、!より出力する。
この出力は以後、信号処理回路(図示せず)により処理
され、読出し情報として活用される。
され、読出し情報として活用される。
逆に、情報の書込みを行うときには、出射光束−の強度
を光変調器(図示せず)により適宜に変化させてトラッ
クざ上にピット7の形で記録する。
を光変調器(図示せず)により適宜に変化させてトラッ
クざ上にピット7の形で記録する。
以上は、主としてVLP方式、CD方式の光ディスクを
念頭においての説明であるが、他の方式、たとえば光磁
気効果を利用する光デイスクシステム、相転移を利用す
る光デイスクシステム等であっても、微小スポット集光
光学系を用いている限り、この発明の対象になることを
付言しておく。
念頭においての説明であるが、他の方式、たとえば光磁
気効果を利用する光デイスクシステム、相転移を利用す
る光デイスクシステム等であっても、微小スポット集光
光学系を用いている限り、この発明の対象になることを
付言しておく。
さて、光デイスクシステムにおいては、情報を高密度に
記録できるということが大きな特長の1つであることか
ら、光ディスクへの集光光束は回折限界近くまで絞られ
ることを要する。これをCD方式を例にとると、第2図
の情報面について、情報トラックの幅W−θSμm、)
ラックピッチP=77、lLmとなっている。かように
微小なトラックgからの情報読出しを、v、i接トラッ
クからのクロストークなくなしうるためには、集光光束
のスポット13の直径φをトラックピッチP以下程度に
小さくする必歇がある。回折限界におけるスポット直径
φが、集ブCレンズのN A (Numerical、
Ar+perture5)、光の液入λを用いて、は
ばλ/NAで与えられることはよく知られている。CD
方式におい又は、半導体レーザの現状における量産的最
短波長であるλ=07ざtrm K対し、集光レンズS
とし”’CNA=OJのものを使用することによつ又回
折限界光束径とし℃λ/NA〜16μmが得られ、トラ
ックピッチPと同程度の値となる。
記録できるということが大きな特長の1つであることか
ら、光ディスクへの集光光束は回折限界近くまで絞られ
ることを要する。これをCD方式を例にとると、第2図
の情報面について、情報トラックの幅W−θSμm、)
ラックピッチP=77、lLmとなっている。かように
微小なトラックgからの情報読出しを、v、i接トラッ
クからのクロストークなくなしうるためには、集光光束
のスポット13の直径φをトラックピッチP以下程度に
小さくする必歇がある。回折限界におけるスポット直径
φが、集ブCレンズのN A (Numerical、
Ar+perture5)、光の液入λを用いて、は
ばλ/NAで与えられることはよく知られている。CD
方式におい又は、半導体レーザの現状における量産的最
短波長であるλ=07ざtrm K対し、集光レンズS
とし”’CNA=OJのものを使用することによつ又回
折限界光束径とし℃λ/NA〜16μmが得られ、トラ
ックピッチPと同程度の値となる。
以上のように、光ヘッドでは、はぼ回折限界に近い光学
的集光性能が要求されることから、光源lにはじまり光
ディス上のスポット/3に至る光学系構成要素の収差性
能を、それぞれ厳密に管理する必要がある。一方、定量
的に回折限界光学系の許容収差を示す規範として、たと
えばMardchaJは、収差のRMS (Root
Mean 5qnare)値がλ/l′I以下になるべ
きであると述べている(M、ホルン、E。
的集光性能が要求されることから、光源lにはじまり光
ディス上のスポット/3に至る光学系構成要素の収差性
能を、それぞれ厳密に管理する必要がある。一方、定量
的に回折限界光学系の許容収差を示す規範として、たと
えばMardchaJは、収差のRMS (Root
Mean 5qnare)値がλ/l′I以下になるべ
きであると述べている(M、ホルン、E。
ヴオルフ著、草用他訳「光学の原理」東海大学出版会)
。第1図に示した構成では、収差を生じる要因としては
、光源/自身の有する収差、コリメートレンズ3、ビー
ムスプリッタ弘および集光レンズ5の不完全性ならびに
アラインメント不整に伴う収差、透明保護層9の光学的
不完全性による収差等を挙げることができる。このうち
、光ディスク乙の透明保護層りによつ℃付加される収差
以外が光ヘッドの収差である。前記Mar6chaL規
範を満足するために、波長λの光源を用いた光ヘツドの
許容収差と、透明保護層?の許容収差を、たとえば、そ
れぞれ−え虐等分に割振ることにするとなる。
。第1図に示した構成では、収差を生じる要因としては
、光源/自身の有する収差、コリメートレンズ3、ビー
ムスプリッタ弘および集光レンズ5の不完全性ならびに
アラインメント不整に伴う収差、透明保護層9の光学的
不完全性による収差等を挙げることができる。このうち
、光ディスク乙の透明保護層りによつ℃付加される収差
以外が光ヘッドの収差である。前記Mar6chaL規
範を満足するために、波長λの光源を用いた光ヘツドの
許容収差と、透明保護層?の許容収差を、たとえば、そ
れぞれ−え虐等分に割振ることにするとなる。
光ヘツド全体としての出射光束を以上のように定量的に
管理することは、良質な読出し信号を再生し、良質に情
報を書込む光ヘッドを具現する上で不可欠である。しか
し、従来技術においては、かかる課題に対応する適切な
方法、装置を欠如していた。
管理することは、良質な読出し信号を再生し、良質に情
報を書込む光ヘッドを具現する上で不可欠である。しか
し、従来技術においては、かかる課題に対応する適切な
方法、装置を欠如していた。
この発明は、以上の事情に鑑みてなされたもので、光ヘ
ツド出射光束の波面収差を観測して、出射光束を定量的
に管理しうる方法、装置を提供することを目的とするも
ので、出射光の集光光束を平行化し、平行化した光束を
コ方向O第1.第ユの光束に分割し、第1の光束のビー
ム径を拡大したのち第2の光束と合波し、合波した光束
の干渉縞を観測することにより、上記の目的を達成しう
る光ヘッドの出射光波面収差検知方法および、装置を実
現するものである。
ツド出射光束の波面収差を観測して、出射光束を定量的
に管理しうる方法、装置を提供することを目的とするも
ので、出射光の集光光束を平行化し、平行化した光束を
コ方向O第1.第ユの光束に分割し、第1の光束のビー
ム径を拡大したのち第2の光束と合波し、合波した光束
の干渉縞を観測することにより、上記の目的を達成しう
る光ヘッドの出射光波面収差検知方法および、装置を実
現するものである。
この発明の一実施例装置を示す第3図において、/りは
第1図の光ヘッドの集光レンズSを除く光学系を示す。
第1図の光ヘッドの集光レンズSを除く光学系を示す。
光ヘッド/Sの集光レンズjの出力側に透明保護層9と
等価な光学的厚みを有する透明平行板/&、焦点を集光
レンズタの焦点/7に合わせて配置したコリメートレン
ズ/g、コリメートレンズ/、gからの平行光束/デを
透過光束20と反射光束、2/に分離するノ・−フミラ
ー2.2を配置する。透過光束、20が入力するビーム
エキスパンダ、23は焦点fを共有する2群のレンズ2
μ。
等価な光学的厚みを有する透明平行板/&、焦点を集光
レンズタの焦点/7に合わせて配置したコリメートレン
ズ/g、コリメートレンズ/、gからの平行光束/デを
透過光束20と反射光束、2/に分離するノ・−フミラ
ー2.2を配置する。透過光束、20が入力するビーム
エキスパンダ、23は焦点fを共有する2群のレンズ2
μ。
2Sでなり、透過光束20の径を拡大するものである。
さらに、拡大された光束コロをqd曲折するミラー27
、ヴ!傾斜したハーフミラ−2gを配置する。一方、反
射光束ユ/に対しては、ミラー、29を設け′″C9σ
C9σ曲折された反射光束、2/はハーフミラ−2gで
反射して拡大された光束、24と同一方向に向かい、つ
いたて30上に投射される。
、ヴ!傾斜したハーフミラ−2gを配置する。一方、反
射光束ユ/に対しては、ミラー、29を設け′″C9σ
C9σ曲折された反射光束、2/はハーフミラ−2gで
反射して拡大された光束、24と同一方向に向かい、つ
いたて30上に投射される。
第弘図はついたて30への投影光のバタンを示し、拡大
された光束2乙の投影31の中央部に反射光束2/の投
影3λがあられれ、投影3.2内に光束2/、、Z6の
干渉によって生じた干渉縞33が発生している。
された光束2乙の投影31の中央部に反射光束2/の投
影3λがあられれ、投影3.2内に光束2/、、Z6の
干渉によって生じた干渉縞33が発生している。
次に、以上の構成でなる装置によるこの発明の方法およ
び装置の動作を、併せて詳細に説明する。
び装置の動作を、併せて詳細に説明する。
透明板/6は、第1図における透明保護層りと光学的に
等価な要素である。一般に、集光レンズSは、かかる透
明板/Aが、出射、集光光束中に挿入されたときに、集
光波面に加えられる球面収差を相殺するように設けられ
ているので、透明板/6を設けたことにより、集光点1
7は光ディスクの情報面に集光されたとき、同等の波面
収差を伴った投影となる。透明板/6を特に光学的に均
一性のすぐれた、たとえばRMSで表示する波面収差が
0.0 /λ以下程度のものを使用すれば、透明保護層
ワの有する収差の影響をほぼ除去した光ヘツド自身の有
する収差が、集光点/7に与えられるのである。しかし
、透明保護層9を有しない光ヘッドでは、上記の透明板
16を省略できることはいうまでもない。
等価な要素である。一般に、集光レンズSは、かかる透
明板/Aが、出射、集光光束中に挿入されたときに、集
光波面に加えられる球面収差を相殺するように設けられ
ているので、透明板/6を設けたことにより、集光点1
7は光ディスクの情報面に集光されたとき、同等の波面
収差を伴った投影となる。透明板/6を特に光学的に均
一性のすぐれた、たとえばRMSで表示する波面収差が
0.0 /λ以下程度のものを使用すれば、透明保護層
ワの有する収差の影響をほぼ除去した光ヘツド自身の有
する収差が、集光点/7に与えられるのである。しかし
、透明保護層9を有しない光ヘッドでは、上記の透明板
16を省略できることはいうまでもない。
さ壬、以上のようにして得た集光点/7を、まず、コリ
メートレンズ/gで平行光化し、ノ・−フミン−2ノで
二分割する。以後、ハーフミラ−22゜2gおよびミラ
ー、27.29からなる光路配置は、マツハ−ツエンダ
干渉計([光学的測定ハンドブックJ o、p、コ29
.朝倉書店、79ざ/)として知られている装置と原理
的に同等である。ただ、この発明の装置では、ハーフミ
ラ−2スで分割した光路のうち、ハーフミラ−,2,2
を透過した光束コク中に、ビームエキスパンダー3を配
置して光束径を拡大し℃いる点、従来のマツノ・−ツエ
ンダ干渉計とは相違しており、この発明の大きな特長で
ある。すなわち、ビームエキスパンダ23で直径がn倍
に拡大された光束λ6は、拡大前の透過光束、20に比
して単位面積当りの波面収差がほぼl/♂に比例して小
さくなるという性質があるため、仮りに、n = 70
として70倍に光束径を拡大した光束2乙の波面収差は
、もとの平行光束19に対して、同一面積で比較したと
き、はぼl/lOθとなり、無視しうる小さな波面の乱
れを有するだけになっている。このような理由により、
適当な拡大倍率nを有するビームエキスパンダ23を用
いることにより、拡大後の光束26は拡大前の光束−〇
に比して波面収差を測定する際の基準波面となる程度ま
で、小さな収差の波面になし得、反射光束2/と光凍り
6をハーフミラ−2gで合波させ、その干渉縞33をつ
いたて30上で観測することにより、光ヘッド/Sの出
射光束の有する波面収差を検知することができるのであ
る。
メートレンズ/gで平行光化し、ノ・−フミン−2ノで
二分割する。以後、ハーフミラ−22゜2gおよびミラ
ー、27.29からなる光路配置は、マツハ−ツエンダ
干渉計([光学的測定ハンドブックJ o、p、コ29
.朝倉書店、79ざ/)として知られている装置と原理
的に同等である。ただ、この発明の装置では、ハーフミ
ラ−2スで分割した光路のうち、ハーフミラ−,2,2
を透過した光束コク中に、ビームエキスパンダー3を配
置して光束径を拡大し℃いる点、従来のマツノ・−ツエ
ンダ干渉計とは相違しており、この発明の大きな特長で
ある。すなわち、ビームエキスパンダ23で直径がn倍
に拡大された光束λ6は、拡大前の透過光束、20に比
して単位面積当りの波面収差がほぼl/♂に比例して小
さくなるという性質があるため、仮りに、n = 70
として70倍に光束径を拡大した光束2乙の波面収差は
、もとの平行光束19に対して、同一面積で比較したと
き、はぼl/lOθとなり、無視しうる小さな波面の乱
れを有するだけになっている。このような理由により、
適当な拡大倍率nを有するビームエキスパンダ23を用
いることにより、拡大後の光束26は拡大前の光束−〇
に比して波面収差を測定する際の基準波面となる程度ま
で、小さな収差の波面になし得、反射光束2/と光凍り
6をハーフミラ−2gで合波させ、その干渉縞33をつ
いたて30上で観測することにより、光ヘッド/Sの出
射光束の有する波面収差を検知することができるのであ
る。
すなわち、ついたて3θ上で得られる干渉縞33の暗線
間隔は、光ヘッド/Sに使用した光源の波長λと等しい
2つの光束の光路差をあられしており、干渉縞330等
間隔平行線からのずれの大きさと形を観測することによ
って光ヘッド/左の出射集束光の有する収差の種類、程
度がわかることになる([光学技術ハンドブックj p
、p、 292〜2SO9朝倉書店、tqqs)。
間隔は、光ヘッド/Sに使用した光源の波長λと等しい
2つの光束の光路差をあられしており、干渉縞330等
間隔平行線からのずれの大きさと形を観測することによ
って光ヘッド/左の出射集束光の有する収差の種類、程
度がわかることになる([光学技術ハンドブックj p
、p、 292〜2SO9朝倉書店、tqqs)。
なお、以上の実施例では、ビームエキスパンダ、23を
ハーフミラ−22とミラー27の間に配置したが、これ
をミラー、27とハーフミラ−,2g間、ハーフミラ−
72ユとミラー、29間、あるいはミラー29とハーフ
ミラ−,21間に配置しても同様の観測系を構成できる
。また、透明板16は集光点17と集光レンズ左の間に
配置したが、コリメートレンズ1g側でもよく、要する
に集光レンズSとコリメートレンズ1g側であればどこ
に配置しても原理的に光ヘツド出射光束の波面収差状況
は変らず、全く同様の観測ができる。
ハーフミラ−22とミラー27の間に配置したが、これ
をミラー、27とハーフミラ−,2g間、ハーフミラ−
72ユとミラー、29間、あるいはミラー29とハーフ
ミラ−,21間に配置しても同様の観測系を構成できる
。また、透明板16は集光点17と集光レンズ左の間に
配置したが、コリメートレンズ1g側でもよく、要する
に集光レンズSとコリメートレンズ1g側であればどこ
に配置しても原理的に光ヘツド出射光束の波面収差状況
は変らず、全く同様の観測ができる。
干渉縞33のコントラストを高めて観測を容易妊するに
は、二つの光束、2/、21.の断面光束密度が等しい
ことが望ましい。透過光束:lOはビームエキスパンダ
23によってn倍に拡大された後は光束断面の単位面積
当りの光強度がl/n’になるので、実際の観測系にお
いてはノ・−フミラー2.2゜2gの反射率、透過率の
設定にあたり、この点を考慮して、ついたて30上の2
つの投影、3/、3.2の光束密度を一致−させるべき
である。さらに、以上のようにノ・−フミラーの反射率
、透過率の設定以外に、ハーフミラ−22で分割された
光路の一方に第3図に破線で示した減衰板31Iを配置
し、一方の光束の光束密度を低下させ、干渉縞のコント
ラメトを高めることも考えられる。
は、二つの光束、2/、21.の断面光束密度が等しい
ことが望ましい。透過光束:lOはビームエキスパンダ
23によってn倍に拡大された後は光束断面の単位面積
当りの光強度がl/n’になるので、実際の観測系にお
いてはノ・−フミラー2.2゜2gの反射率、透過率の
設定にあたり、この点を考慮して、ついたて30上の2
つの投影、3/、3.2の光束密度を一致−させるべき
である。さらに、以上のようにノ・−フミラーの反射率
、透過率の設定以外に、ハーフミラ−22で分割された
光路の一方に第3図に破線で示した減衰板31Iを配置
し、一方の光束の光束密度を低下させ、干渉縞のコント
ラメトを高めることも考えられる。
以上の説明から明らかなように、この発明は、光ヘッド
の光学系総体の評価を、出射集光光束の波面収差を観測
することによって、光ディスクに情報を書込み、読出す
際のもつとも基本的な性能となる集光特性を、実際に書
込み、読出しを行うことなく、容易に知ることがで毎、
光ヘッドの開発、量産時の検査等に利用して、その効果
は犬である。
の光学系総体の評価を、出射集光光束の波面収差を観測
することによって、光ディスクに情報を書込み、読出す
際のもつとも基本的な性能となる集光特性を、実際に書
込み、読出しを行うことなく、容易に知ることがで毎、
光ヘッドの開発、量産時の検査等に利用して、その効果
は犬である。
第1図は従来の光ヘッドの光学配置図、第2図は同じく
光ディスクのトラックの一部平面図、第3図はこの発明
の装置の一実施例を示す光学配置図、第弘図は同じく観
測面の平面図である。 S@拳集光レンズ、13・・光ヘッド、16・・透明板
、1g・・コリメートレンズ(コリメート手段)、22
・・ハーフミラ−(光束分割手段)、23・・ビームエ
キスパンダ(ビーム径拡大手段)、27・・ミラ、2g
−−ハーフミラ−(光束合波手段)、コ9・・ミラー、
30・・ついたて(観測面)、3弘・・減衰板(光強度
減衰手段)。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分な示す。
光ディスクのトラックの一部平面図、第3図はこの発明
の装置の一実施例を示す光学配置図、第弘図は同じく観
測面の平面図である。 S@拳集光レンズ、13・・光ヘッド、16・・透明板
、1g・・コリメートレンズ(コリメート手段)、22
・・ハーフミラ−(光束分割手段)、23・・ビームエ
キスパンダ(ビーム径拡大手段)、27・・ミラ、2g
−−ハーフミラ−(光束合波手段)、コ9・・ミラー、
30・・ついたて(観測面)、3弘・・減衰板(光強度
減衰手段)。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分な示す。
Claims (3)
- (1)光ヘッドからの出射集光光束を平行光化し、この
平行光を互いに方向を異にする第1.第2の光束に分割
し、前記第1の光束をビーム径拡大したのち前記第2の
光束と合波し、この合波によって生じる干渉縞を観測し
て前記出射集光光束の波面収差を検知する光ヘッドの出
射光波面収差検知方法。 - (2)光ヘッドからの出射集光光束を平行光化するコリ
メート手段と、平行光化された光束を互いに方向の異る
第1.第一の光束に分割する光束分割手段と、前記第1
の光束の直径を拡大するビーム径拡大手段と、前記第一
の光束と径の拡大された前記第7の光束を合波させる光
束合波手段と、前記合波した光束による干渉縞を形成す
る観測面を備えてなる光ヘッドの出射光波面収差検知装
置。 - (3) 光学ヘッドとコリメート手段の間に透明平行板
光学体を挿設した特許請求の範囲第ユ項記載の光ヘッド
の出射光波面収差検知装置。 (リ 第1.第一の光束のいずれか一方の光路に光強度
減衰手段を挿設した特許請求の範囲第一項記載の光ヘッ
ドの出射光波面収差検知装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59000084A JPS60149941A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | 光ヘツドの出射光波面収差検知方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59000084A JPS60149941A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | 光ヘツドの出射光波面収差検知方法および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60149941A true JPS60149941A (ja) | 1985-08-07 |
JPH0441769B2 JPH0441769B2 (ja) | 1992-07-09 |
Family
ID=11464275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59000084A Granted JPS60149941A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | 光ヘツドの出射光波面収差検知方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60149941A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6342038A (ja) * | 1986-08-06 | 1988-02-23 | Pioneer Electronic Corp | 光学式記録情報ピックアップにおける照射光パタ−ン調整装置 |
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JPH0386938A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-11 | Asahi Optical Co Ltd | 光学式情報記録再生装置用光学系の測定装置 |
Citations (1)
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-
1984
- 1984-01-05 JP JP59000084A patent/JPS60149941A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0386937A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-11 | Asahi Optical Co Ltd | 光学式情報記録再生装置用光学系の波面収差補正方法及び測定装置 |
JPH0386938A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-11 | Asahi Optical Co Ltd | 光学式情報記録再生装置用光学系の測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0441769B2 (ja) | 1992-07-09 |
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