JPH0380433B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0380433B2
JPH0380433B2 JP59108759A JP10875984A JPH0380433B2 JP H0380433 B2 JPH0380433 B2 JP H0380433B2 JP 59108759 A JP59108759 A JP 59108759A JP 10875984 A JP10875984 A JP 10875984A JP H0380433 B2 JPH0380433 B2 JP H0380433B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
drive
base
pieces
electrode surface
comb
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59108759A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6116867A (ja
Inventor
Yasuhiko Ogawa
Kazuhiko Nakayama
Minoru Yasuda
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Tokushu Togyo KK
Original Assignee
Nippon Tokushu Togyo KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Tokushu Togyo KK filed Critical Nippon Tokushu Togyo KK
Priority to JP59108759A priority Critical patent/JPS6116867A/ja
Priority to US06/736,043 priority patent/US4633121A/en
Priority to EP85303688A priority patent/EP0163501B1/en
Priority to DE8585303688T priority patent/DE3576885D1/de
Publication of JPS6116867A publication Critical patent/JPS6116867A/ja
Publication of JPH0380433B2 publication Critical patent/JPH0380433B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09BEDUCATIONAL OR DEMONSTRATION APPLIANCES; APPLIANCES FOR TEACHING, OR COMMUNICATING WITH, THE BLIND, DEAF OR MUTE; MODELS; PLANETARIA; GLOBES; MAPS; DIAGRAMS
    • G09B21/00Teaching, or communicating with, the blind, deaf or mute
    • G09B21/001Teaching or communicating with blind persons
    • G09B21/003Teaching or communicating with blind persons using tactile presentation of the information, e.g. Braille displays
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2041Beam type
    • H10N30/2042Cantilevers, i.e. having one fixed end

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Educational Administration (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Audiology, Speech & Language Pathology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Educational Technology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Impact Printers (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は基部から、電圧の印加によつて撰択的
に他端が大きく湾曲する多数の短冊状駆動片を突
設し、機械的の信号源、あるいは情報伝達装置等
に適用するものである。
(従来の技術) 一端を固定し、電圧の印加によつて他端を大きく
湾曲させる短冊状の圧電素子を多数並設設撰択的
に駆動させて機械的信号源とすることは知られて
いるが、従来は多数の短冊状の圧電素子を別個に
製作し、それらの一端を基盤上に固定していたゝ
め組付けに大きな工数を要し、寸法精度も得難か
つた。
(解決しようとする問題点) 本発明は多数の短冊型の圧電素子を1枚の基部
から突設することによつて上記の工数、寸法精度
を改善するものである。
〔発明の構成〕
(問題点を解決するための手段〕 多数の短冊型の圧電素子を1枚の基部から突設
し、突設した圧電素子を撰択的に駆動させること
によつて解決した。
(実施例) 第1図は本発明の櫛型の圧電駆動装置の基本的
態様を示し、該圧電駆動装置1は両主表面に銀蒸
着等による金属化電極面111a,111a′およ
び111b,111b′をそれぞれ形成し、分極さ
れたチタン酸ジルコン酸鉛系化合物等からなる一
対の圧電磁器の薄板11a,11bを黄銅等弾性
金属の薄板からなるシム12を介して積層したバ
イモルフ構造体からなり、該構造体は基部1aか
ら前方に設けられた溝状の切込みによつて複数の
駆動片1b-1,1b-2,1b-3……1b-oが櫛状に突
設され、それら駆動片1b-1,1b-2,1b-3……
1b-oの最上層に露出する金属化面111aは、
上記の基部1aから前方に突出する駆動片1b-1
1b-2,1b-3……1b-oをそれぞれ独立して駆動
させるため、該基部上において上記駆動片1b-1
1b-2,1b-3……1b-oに沿つて帯状を呈するよ
うに切欠、分割し、上記の基部1a上において帯
状に分割された複数の金属化面111a-1,11
1a-2,111a-3……111a-oにそれぞれリー
ド線1c-1,1c-2,1c-3……1c-oをロー着等に
よつて接続し、これらのリード線と対応する共通
のリード線1dを最下層全面に形成された金属化
電極面111b′に接続し、該リード線1dと上記
のリード線1c-1,1c-2,1c-3……1c-oとの間
に撰択的に高電圧を印加する駆動回路(図示省
略)を構成すると共に基部1a側において上記最
下層の金属化電極面111b′を基盤2に接合、固
定して高電圧を受けた駆動片の他端を湾曲させて
直接または該先端部に小突起(図示省略)を植設
し、リレ−等の機械的信号源とする。
なお、本例において複数の駆動片1b-1,1
b-2,1b-3……1b-oを独立して駆動させるため
最上層の金属化面111aの切欠部を上記各駆動
面に沿う帯状に形成したが、該切欠部は各作動片
の最上層の金属化電極面を相互に絶縁するもので
あるから基部の末端から各駆動片の末端を結ぶ
線、または各駆動片の末端を前方に僅かに超えた
線を結ぶ区域の金属化電極面を削除してもよく、
また基部1aと当接、座定する基盤2に金属等導
電性材料を用いる場合、最下層の金属化電極面1
11b′に接続した共通のリード線1dを該基盤2
に接続してもよく、更に図示したバイモルフ構造
に代えて、圧電磁器の薄板を1枚として金属化電
極面を、一方の主表面に対しては前例と同様、櫛
状に突設された各駆動片に沿う帯状の切欠部を設
け、他方の主表面に対して全面を覆うように形成
した後、補強のため他方の主表面側に弾性金属の
薄板を貼着したモノモルフ構造を採用することが
できる。
次に第2図は、本発明を6点点字のデイスプレ
イ装置として使用した場合を示す。
点字は、通常、縦3点横2点ずつの計6点より
なり、この6点の組合せで記号が決められてい
る。我国では各点の大きさは1mmφで縦方向の点
の中心間間隔は2.2mm、横方向の点の中心間間隔
は2mmとするのが普通である。
この6点からなる一つの枠をマスと呼び、点字
文ではこのマスを横方向に並べることにより表現
される。マスの間隔は隣接する点の中心間間隔で
3mmとするよう配置され、1行を32マスとして厚
手の紙に突色させるため、一般の文書を点訳すれ
ば膨大な量になる欠点があつた。
このため、上記の突起に対応する6点×32字の
192の小孔を硬質板に設け、該小孔を緩く上下す
るピンをフレキンプルワイヤーを介してプランジ
ヤーから突設した1行列の点字表示装置が提案さ
れたが、これらのピンを撰択的に硬質板から突出
させて所望の点字として整列させるにはプランジ
ヤーをも192個を必要とするので実用性に乏しく、
これの改善が要望されていた。
本発明は上記の要望に応じてなされたものであ
る。
第2図において1,1′,1″は第1図と同様、
両主表面に金属化電極面(図示省略)をそれぞれ
形成し、分極された一対の圧電磁器の薄板11
a,11b,11a′,11b′,11a″,11b″を
弾性金属の薄板からなるシム12,12′,1
2″を介して積層したバイモルフ構造体からなり、
該構造体は基部1a,1′a,1″aから前方に設
けられた溝状の切込みによつて複数の駆動片1
b-1,1b-2,1b-3……1′b-o、1′b-1,1′b-2
1′b-3……1′b-o、1″b-1,1″b-2,1″b-3……
1″b-oが櫛状に突設される。2はこれら櫛状に形
成されたバイモルフ構造の圧電体1,1′,1″の
他方の主表面共通する金属化電極面をそれらの基
部1a,1′a,1″aにおいて座定する座面2
1,22,23を両側壁に具え、上面が開口する
基盤でこれら座面の内、22,23は前方に伸び
る段座となつているため座定された上記圧電体
1,1′,1″には高さ方向に間隔g1,g2と水平方
向の前端面間の差g11,g12が形成され3層を呈す
る。次に3-1,3-2,3-3……3-o,3′-1,3′-
,3′-3……3′-o、3″-1,3″-2,3″-3……
3″-oはそれぞれ上記駆動片1b-1〜1b-o、1′
b-1〜1′b-o,1″b-1〜1″b-oの前端部分に植設
されたピンを示し、これらの全ピンは硬質板4の
それぞれ対応する小孔を挿通して上端面に臨ませ
るよう3-1〜3′-1〜3′-oの各群の長さを異なら
せる。
上記の構成において、基盤2の3段の座面2
1,22,23の3段に座定した圧電体1,1′,
1″から突出する駆動片1b-1〜1b-o,1′b-1
1′b-o,1″b-1〜1″b-oのそれぞれ前端の同一部
に線径を1mmφとして植設したピン3-1〜3-o
中心線を結ぶ線と前方の3′-1〜3′-oの中心線を
結ぶ線、および3′-1〜3′-oの中心線を結ぶ線と
前方の3″-1〜3″-oの中心線を結ぶ線のそれぞれ
g11およびg12に相当する間隔を2.2mmとし、上記第
1列の駆動片1b-1,1′b-1,1″b-1上のピン3-
,3′-1,3″-1を結ぶ線と、第2列の駆動片1
b-2,1′b-2,1″b-2上のピン3-2,3′-2,3″-2
を結ぶ線のそれぞれ間隔を2mmに設定することに
より、これらのピンは前に述べた6点からなる点
字1文字の各点に位置定めされる。従つて続く第
3列の作動片の各ピンと第4列の駆動片の各ピン
を前と同様に位置定めすると共に、第2列の駆動
片のピン3-2,3′-2,3″-2を結ぶ線と第3列の
駆動片1b-3,1′b-3,1″b-3のそれぞれピン3-
,3′-3,3″-3を結ぶ線との間隔を3mmに設定
することによつて2字分のピンが並列し以下この
ようにして1行32字分のピンが各駆動片上に設け
られ、例えば第2図の場合は全8列、3層、計24
片の駆動片によつて点字4字分となり、このよう
に形成された圧電体を8枚横に並列すれば1行32
字分、計192本のピンが得られる。
従つて、上記192本のピンを植設した各駆動片
の基部側に接続されたリード線1c,1′c,
1″c群のいずれかを、裏面の全面電極と導通す
る金属の基盤2に接続された共通のリード線との
間に撰択的に電圧を印加して所望の駆動片を上方
に湾曲させれば撰ばれた駆動片のピンは硬質板の
小孔を挿通して上方へ突出して点字を構成する。
この1行32字の点字を読み取つた後全部の電圧を
切つて突出したピンを元の位置まで引き下げ、再
び所望のリード線に電圧を印加して撰択的にピン
を突出させて次の1行32字を表現し、以下同様に
順次各行を表現する。
〔発明の効果〕
以上の通り、本発明の櫛型の圧電駆動装置は多
数の短冊型の駆動片を撰択的に駆動することがで
きるので各種リレー、情報伝達装置の機械的信号
源として装置を小型にすると共に配線を単純化す
るだけでなく、各駆動片は1つの基部から突設さ
れているから組付けに際して位置ずれ等の懸念な
く正確に作動する大きな効果があり、特に点字の
デイスプレイ装置のように多数の駆動片を駆動さ
せる場合において著効を奏し製造も両主表面に金
属化面を形成した一対の圧電磁器の薄い角板を金
属のシムを介して貼着するか、圧電素子を1枚と
して金属薄板によつて補強した後、ダイヤモンド
カツター等によつて一方の端面から切込みを入れ
駆動片を形成した後、最上層の金属化面を基部に
おいて各駆動片毎に絶縁するように研削すればよ
いから量産性においても優れている。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の櫛型の圧電駆動装置を示す斜
視図、第2図A,BおよびCは該圧電駆動装置を
点字用デイスプレイ装置に使用した状態を示し、
A図は上面図、B図はA図のイ−イ線に沿つて断
面とした側面図、またC図は正面図である。 1,1′,1″……櫛型の圧電駆動装置、1a,
1′a,1″a……基部,1b群(1b-1〜1b-o
1′b-1〜1′b-o,1″b-1〜1″b-o、以下各群はこ
れに準ずる)……駆動片、111a群……一方の
主表面の分割された金属化面、111b′……他方
の主表面の金属化面、1c群,1d……リード
線、2……基盤、21,22,23……座面、3
群……ピン。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 複数の短冊状駆動片を基部から突設し、一方
    の主表面に対して各駆動片が互いに導通しないよ
    う分割した金属化電極面を形成し、他方の主表面
    に対しては全駆動片が導通する共通の金属化電極
    面を形成した櫛型の圧電体よりなり、上記複数の
    駆動片を撰択的に湾曲させる如く構成してなる櫛
    型の圧電駆動装置。 2 複数の短冊状駆動片を基部から突設し、一方
    の主表面に対して各駆動片が互いに導通しないよ
    うに分割した金属化電極面を形成し、他方の主表
    面に対して全駆動片が導通する共通の金属化電極
    面を形成した櫛型の圧電体の複数を、基盤に階段
    状に設けた複数の座面に共通の金属化電極面が形
    成された他方の主表面の基部において保持固定す
    ると共に各圧電板の駆動片群の前端部にそれぞれ
    点字ピンを植設し、かつ前記駆動片群を撰択的に
    湾曲させる如く構成した盲人用点字表示のための
    櫛型の圧電駆動装置。
JP59108759A 1984-05-29 1984-05-29 櫛型の圧電駆動装置 Granted JPS6116867A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59108759A JPS6116867A (ja) 1984-05-29 1984-05-29 櫛型の圧電駆動装置
US06/736,043 US4633121A (en) 1984-05-29 1985-05-20 Comb-shaped piezoelectric drive device
EP85303688A EP0163501B1 (en) 1984-05-29 1985-05-24 Comb-shaped piezoelectric drive unit
DE8585303688T DE3576885D1 (de) 1984-05-29 1985-05-24 Kammfoermige piezoelektrische antriebseinheit.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59108759A JPS6116867A (ja) 1984-05-29 1984-05-29 櫛型の圧電駆動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6116867A JPS6116867A (ja) 1986-01-24
JPH0380433B2 true JPH0380433B2 (ja) 1991-12-24

Family

ID=14492779

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59108759A Granted JPS6116867A (ja) 1984-05-29 1984-05-29 櫛型の圧電駆動装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4633121A (ja)
EP (1) EP0163501B1 (ja)
JP (1) JPS6116867A (ja)
DE (1) DE3576885D1 (ja)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8600453A (nl) * 1986-02-24 1987-09-16 Tieman F J Bv Op de tastzin werkende weergeefinrichting en werkwijze voor de vervaardiging daarvan.
JPS62275284A (ja) * 1986-05-23 1987-11-30 キヤノン株式会社 触覚刺激機構
US4697118A (en) * 1986-08-15 1987-09-29 General Electric Company Piezoelectric switch
GB8801309D0 (en) * 1988-01-21 1988-02-17 British Telecomm Electronic vibrational display
DE3811406C2 (de) * 1988-04-05 1996-08-29 Metec Ingenieurgesellschaft Mb Vorrichtung zur Darstellung von Blindenschrift
DE8806943U1 (ja) * 1988-05-27 1989-09-21 Thiel, Hans-Joachim, Dipl.-Phys., 6104 Seeheim-Jugenheim, De
EP0372521B1 (en) * 1988-12-07 1993-04-14 Seiko Epson Corporation On-demand type ink jet print head
DE3920386A1 (de) * 1989-06-22 1990-01-04 Werner Prof Dr Bornholdt Taktiler bildschirm
DE4012267A1 (de) * 1990-03-13 1991-11-28 Joerg Fricke Geraet zur tastbaren darstellung von information
US5165897A (en) * 1990-08-10 1992-11-24 Tini Alloy Company Programmable tactile stimulator array system and method of operation
JPH0727489Y2 (ja) * 1990-08-13 1995-06-21 ケージーエス株式会社 点字セル
DE4133000C2 (de) * 1991-10-04 1993-11-18 Siegfried Dipl Ing Kipke Piezohydraulisches Modul zur Umsetzung taktiler Information
JPH05155065A (ja) * 1991-12-05 1993-06-22 Fujitsu Ltd 印字ヘッド
WO1994027330A1 (en) * 1993-05-18 1994-11-24 Telesensory Corporation Method and apparatus for increasing bimorph displacement range
US5429507A (en) * 1994-09-19 1995-07-04 Kaplan; Edward B. Braille slot machine
JPH08187848A (ja) * 1995-01-12 1996-07-23 Brother Ind Ltd 積層式圧電素子およびその製造方法
JP2847069B2 (ja) * 1996-10-16 1999-01-13 ケージーエス株式会社 点図触知セル
NL1005093C2 (nl) * 1997-01-27 1998-07-29 Turn Out N V Braillecel en display bestaande uit meerdere braillecellen alsmede een werkwijze voor het aansturen van meerdere tastpennen van een braillecel.
US6705868B1 (en) * 1998-03-18 2004-03-16 Purdue Research Foundation Apparatus and methods for a shape memory spring actuator and display
US6013972A (en) * 1997-10-15 2000-01-11 Face, Jr.; Samuel A Piezoelectric vibrating apparatus
JP3058143B2 (ja) * 1998-02-12 2000-07-04 日本電気株式会社 圧電アクチュエータおよびその製造方法
JP2000166962A (ja) * 1998-12-08 2000-06-20 Tatsu Ifukube 触覚刺激装置及び方法
US6748813B1 (en) * 1998-12-08 2004-06-15 Emerson Electric Company Coriolis mass flow controller
DE20019705U1 (de) * 2000-11-20 2001-02-15 Festo Ag & Co Piezo-Biegewandlereinheit und damit ausgestattetes Piezoventil
FR2830967A1 (fr) * 2001-10-15 2003-04-18 Oleg Tretiakoff Module de lecture tactile actionne par un fil a memoire de forme
DE10306230B4 (de) * 2003-02-13 2007-03-08 Boris Mastel Taktiles Display zur Darstellung von Brailleschrift und ertastbaren Grafiken sowie Baustein für ein derartiges Display
US7157640B2 (en) * 2003-06-17 2007-01-02 Baggs Lloyd R Undersaddle pickup for stringed musical instrument
US7462034B1 (en) * 2004-01-30 2008-12-09 Freedom Scientific, Inc. Braille display assembly
US8690576B2 (en) 2004-01-30 2014-04-08 Freedom Scientific, Inc. Braille display device and method of constructing same
US6902403B1 (en) * 2004-08-04 2005-06-07 Freedom Scientific, Inc. Contaminant-tolerant braille pins
JP2006320089A (ja) * 2005-05-11 2006-11-24 Brother Ind Ltd アクチュエータ、アクチュエータの製造方法、焦点可変装置、光走査装置及び画像表示装置
US9274601B2 (en) * 2008-04-24 2016-03-01 Blackberry Limited System and method for generating a feedback signal in response to an input signal provided to an electronic device
US9984589B2 (en) * 2013-12-26 2018-05-29 Pranay Jain Tactile measuring instrument
US9431041B1 (en) 2014-02-17 2016-08-30 Magnecomp Corporation Comb structure for a disk drive suspension piezoelectric microactuator operating in the D33 mode, and method of manufacturing the same
CN108390587B (zh) * 2018-01-31 2020-05-15 南京航空航天大学 单模态驱动的双驱动足门字型直线超声电机及控制方法
US11455910B2 (en) * 2018-03-29 2022-09-27 Technologies Humanware Inc. Braille cell and associated pin support and pin actuation assemblies
US11348563B2 (en) 2019-03-20 2022-05-31 Lloyd Baggs Innovations, Llc Pickup saddles for stringed instruments utilizing interference fit
CN111462592B (zh) * 2020-05-09 2022-05-17 长春大学 一种压电弹片式盲文点显装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS524835A (en) * 1975-06-20 1977-01-14 Siemens Ag Liquid drop operation type printing mechanism
JPS5913270A (ja) * 1982-07-15 1984-01-24 中山 和彦 点字表示装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3229387A (en) * 1964-01-14 1966-01-18 John G Linvill Reading aid for the blind
JPS5260005A (en) * 1975-11-12 1977-05-18 Fujitsu Ltd Piezoelectric type switch matrix
US4112279A (en) * 1977-09-02 1978-09-05 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Piezoelectric relay construction
US4283178A (en) * 1979-07-02 1981-08-11 Telesensory Systems, Inc. Electromechanical braille cell
US4362407A (en) * 1981-09-08 1982-12-07 Piezo Electric Products, Inc. Piezoelectric printer and piezoelectric multilam actuator used therein
US4450375A (en) * 1982-11-12 1984-05-22 Kiwi Coders Corporation Piezoelectric fluid control device
US4473356A (en) * 1983-08-29 1984-09-25 Telesensory Systems, Inc. Electromechanical braille cell and method of operating same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS524835A (en) * 1975-06-20 1977-01-14 Siemens Ag Liquid drop operation type printing mechanism
JPS5913270A (ja) * 1982-07-15 1984-01-24 中山 和彦 点字表示装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6116867A (ja) 1986-01-24
EP0163501A3 (en) 1987-02-25
EP0163501B1 (en) 1990-03-28
US4633121A (en) 1986-12-30
DE3576885D1 (de) 1990-05-03
EP0163501A2 (en) 1985-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0380433B2 (ja)
US5381171A (en) Ink-jet recording head
US5681410A (en) Method of producing a piezoelectric/electrostrictive actuator
US4283178A (en) Electromechanical braille cell
JPH01501186A (ja) 圧電スイッチ
KR890005911A (ko) 적층형 변위 소자
US5745278A (en) Innovative deformable mirror actuator configuration
US6043587A (en) Piezoelectric actuator
EP0936684A1 (en) Piezoelectric actuator having an array of drive columns
EP0897802A3 (en) Ink-jet head and methods of manufacturing and driving the same
US4868448A (en) Piezoelectric relay switching matrix
JP2004531189A (ja) 圧電アクチュエータ
US6011639A (en) One piece deformable mirror actuator assembly
JPH01783A (ja) 圧電アクチュエータ
JPH0373467B2 (ja)
JPH07183589A (ja) 圧電式アクチュエータの製造方法
JPH0739252Y2 (ja) 圧電アクチュエータ
JPH036925Y2 (ja)
US6084332A (en) High actuator density deformable mirror
JPH0158965U (ja)
JPH0154712B2 (ja)
JPH02248087A (ja) セラミックアクチュエータ
JPH0442192B2 (ja)
JPS64783A (en) Piezoelectric actuator
JPS63121226A (ja) 圧電リレー・スイッチング・マトリックス