JPH07183589A - 圧電式アクチュエータの製造方法 - Google Patents
圧電式アクチュエータの製造方法Info
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- JPH07183589A JPH07183589A JP34789793A JP34789793A JPH07183589A JP H07183589 A JPH07183589 A JP H07183589A JP 34789793 A JP34789793 A JP 34789793A JP 34789793 A JP34789793 A JP 34789793A JP H07183589 A JPH07183589 A JP H07183589A
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- piezoelectric element
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- laminated
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 工程の単純化を図ると同時に生産性向上を図
り得る圧電式アクチュエータの製造方法を提供するこ
と。 【構成】 複数の圧電素子部材４を積層し，各圧電素子
部材４の相互間に共通電極５又は個別電極３を交互に挿
入して圧電素子ブロック２を形成する第１の工程と、各
個別電極３として、両端縁から中心線に向けて複数の切
込溝３１が等間隔にに切り込まれて成る切込溝付き電極
部材を使用し，各切込溝付き電極部材の各切込溝３１が
同じ位置に配置されるようにして当該圧電素子ブロック
２を特定する第２の工程と、圧電素子ブロック２を個別
電極３の中心線に沿って切断し二分する第３の工程と、
この二分された圧電素子ブロック３の切断面側に位置す
る切込溝３１の底部を切除する第４の工程とを備えてい
ること。
り得る圧電式アクチュエータの製造方法を提供するこ
と。 【構成】 複数の圧電素子部材４を積層し，各圧電素子
部材４の相互間に共通電極５又は個別電極３を交互に挿
入して圧電素子ブロック２を形成する第１の工程と、各
個別電極３として、両端縁から中心線に向けて複数の切
込溝３１が等間隔にに切り込まれて成る切込溝付き電極
部材を使用し，各切込溝付き電極部材の各切込溝３１が
同じ位置に配置されるようにして当該圧電素子ブロック
２を特定する第２の工程と、圧電素子ブロック２を個別
電極３の中心線に沿って切断し二分する第３の工程と、
この二分された圧電素子ブロック３の切断面側に位置す
る切込溝３１の底部を切除する第４の工程とを備えてい
ること。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電式アクチュエータ
の製造方法に係り、とくに、積層された複数の板状圧電
部材から成る圧電式アクチュエータを効率良く生産する
ための圧電式アクチュエータの製造方法に関する。
の製造方法に係り、とくに、積層された複数の板状圧電
部材から成る圧電式アクチュエータを効率良く生産する
ための圧電式アクチュエータの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】積層型圧電素子のインクジェット印字構
造については、既に特開昭６３−２９５２６９号公報に
開示されている。かかる従来例にあっては、ヘッド毎に
製造を行うため、コストが高くなるという不都合があっ
た。
造については、既に特開昭６３−２９５２６９号公報に
開示されている。かかる従来例にあっては、ヘッド毎に
製造を行うため、コストが高くなるという不都合があっ
た。
【０００３】これに対し、特開平４−４５９５１号公報
記載のものは、同一基板上に複数個の圧電素子ブロック
が配置され、切断等により複数個のヘッドを製造する方
法が示されている。この公報記載のものは、高密度化が
可能となり、比較して安価なヘッドを作ることができる
という利点がある。
記載のものは、同一基板上に複数個の圧電素子ブロック
が配置され、切断等により複数個のヘッドを製造する方
法が示されている。この公報記載のものは、高密度化が
可能となり、比較して安価なヘッドを作ることができる
という利点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平４−４５９５１号公報記載のものは、これによって
得られるインクジェットヘッドは、１つの圧電素子ブロ
ックを同一方向にｎ等分して複数個の圧電素子を備えた
圧電素子ブロックからなるアレイ状の圧電素子ヘッドを
得るようになっているが、工程が複雑で生産性が悪いと
いう不都合が生じていた。
開平４−４５９５１号公報記載のものは、これによって
得られるインクジェットヘッドは、１つの圧電素子ブロ
ックを同一方向にｎ等分して複数個の圧電素子を備えた
圧電素子ブロックからなるアレイ状の圧電素子ヘッドを
得るようになっているが、工程が複雑で生産性が悪いと
いう不都合が生じていた。
【０００５】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくに工程の単純化を図ると同時に生産性向
上を図り得る圧電式アクチュエータの製造方法を提供す
ることを、その目的とする。
を改善し、とくに工程の単純化を図ると同時に生産性向
上を図り得る圧電式アクチュエータの製造方法を提供す
ることを、その目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、四角形の板
状に形成された複数の圧電素子部材を積層すると共に，
当該各圧電素子部材の相互間に共通電極と個別電極を交
互に順次挿入配置し，同時にこの積層された圧電素子全
体における一方の面には個別電極が，又他方の面には共
通電極が各々位置するように当該個別電極と共通電極を
組み込むことにより圧電素子ブロックの大枠を形成する
第１の工程を備えている。
状に形成された複数の圧電素子部材を積層すると共に，
当該各圧電素子部材の相互間に共通電極と個別電極を交
互に順次挿入配置し，同時にこの積層された圧電素子全
体における一方の面には個別電極が，又他方の面には共
通電極が各々位置するように当該個別電極と共通電極を
組み込むことにより圧電素子ブロックの大枠を形成する
第１の工程を備えている。
【０００７】また、各個別電極として、両端縁からその
中心線に向けて複数の切込溝が等間隔に且つ左右対称に
切り込まれて成る切込溝付き電極部材を複数枚使用する
と共に，当該各切込溝付き電極部材の各切込溝が同じ位
置に配置されるように当該各個別電極を前記圧電素子ブ
ロック内に組み込むことにより当該圧電素子ブロックを
特定する第２の工程を備えている。
中心線に向けて複数の切込溝が等間隔に且つ左右対称に
切り込まれて成る切込溝付き電極部材を複数枚使用する
と共に，当該各切込溝付き電極部材の各切込溝が同じ位
置に配置されるように当該各個別電極を前記圧電素子ブ
ロック内に組み込むことにより当該圧電素子ブロックを
特定する第２の工程を備えている。
【０００８】更に、圧電素子ブロックを個別電極の中心
線に沿って切断し二分する第３の工程と、この二分され
た圧電素子ブロックの切断面側に位置する切込溝の底部
の一部又は全部を切除する第４の工程とを備えている、
という構成を採っている。これによって前述した目的を
達成しようとするものである。
線に沿って切断し二分する第３の工程と、この二分され
た圧電素子ブロックの切断面側に位置する切込溝の底部
の一部又は全部を切除する第４の工程とを備えている、
という構成を採っている。これによって前述した目的を
達成しようとするものである。
【０００９】
【作 用】積層された複数の圧電素子部材の一方の電極
を成す複数の各個別電極として，両端縁からその中心線
に向けて複数の切込溝が等間隔に且つ左右対称に切り込
まれて成る切込溝付き電極部材を使用すると共に，当該
各切込溝付き電極部材の各切込溝が同じ位置に配置され
たので、アレイ状圧電素子の電極間の幅を自由に設定す
ることができるようになり、この切込溝付き電極部材の
パターンを左右対称にしたので、生産能力を倍増させる
ことができる。
を成す複数の各個別電極として，両端縁からその中心線
に向けて複数の切込溝が等間隔に且つ左右対称に切り込
まれて成る切込溝付き電極部材を使用すると共に，当該
各切込溝付き電極部材の各切込溝が同じ位置に配置され
たので、アレイ状圧電素子の電極間の幅を自由に設定す
ることができるようになり、この切込溝付き電極部材の
パターンを左右対称にしたので、生産能力を倍増させる
ことができる。
【００１０】そして、二分されて成る各圧電素子は、個
々の圧電素子部材の二つの外部導通電極間に所定の電圧
を与えることで、その厚さ方向へ伸縮する圧電ヘッドと
して機能する。
々の圧電素子部材の二つの外部導通電極間に所定の電圧
を与えることで、その厚さ方向へ伸縮する圧電ヘッドと
して機能する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図７に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【００１２】この図１乃至図７において、符号１は絶縁
性部材からなる基板を示し、符号２は圧電素子ブロック
２を示す。この圧電素子ブロック２は、圧電式アクチュ
エータの母体を成すもので、当該圧電素子ブロック２を
二分することによって圧電式アクチュエータの原型が出
来上がるようになっている。
性部材からなる基板を示し、符号２は圧電素子ブロック
２を示す。この圧電素子ブロック２は、圧電式アクチュ
エータの母体を成すもので、当該圧電素子ブロック２を
二分することによって圧電式アクチュエータの原型が出
来上がるようになっている。
【００１３】図２乃至図４に、圧電素子ブロック２の製
造工程の一部を示す。この内、図２に、圧電素子ブロッ
ク２を構成する積層部材の単位体を示す説明図である。
この積層部材の単位体は、図２における上方から、個別
電極３，四角形の板状に形成された板状の圧電素子部材
４，板状の導電材料からなる共通電極５，および圧電素
子部材４が順次積層されて形成されるようになってい
る。そして、このようにして形成された積層部材の単位
体が複数順次大まかに積層されて、前述した圧電素子ブ
ロック２が形成され、これをもって第１の工程が完了す
る。
造工程の一部を示す。この内、図２に、圧電素子ブロッ
ク２を構成する積層部材の単位体を示す説明図である。
この積層部材の単位体は、図２における上方から、個別
電極３，四角形の板状に形成された板状の圧電素子部材
４，板状の導電材料からなる共通電極５，および圧電素
子部材４が順次積層されて形成されるようになってい
る。そして、このようにして形成された積層部材の単位
体が複数順次大まかに積層されて、前述した圧電素子ブ
ロック２が形成され、これをもって第１の工程が完了す
る。
【００１４】図１において、最上位に位置する板状の部
材４0 および最下位に位置する板状の部材４n は、絶縁
性保護部材を示す。この絶縁性保護部材４0 ，４n は、
本実施例では圧電素子部材で形成されているが、他の絶
縁部材で構成してもよい。
材４0 および最下位に位置する板状の部材４n は、絶縁
性保護部材を示す。この絶縁性保護部材４0 ，４n は、
本実施例では圧電素子部材で形成されているが、他の絶
縁部材で構成してもよい。
【００１５】また、前述した個別電極３は、本実施例で
は、両端縁からその中心線に向けて複数の切込溝３１が
等間隔に且つ左右対称に切り込まれて成る切込溝付き電
極部材が使用されている。そして、当該各切込溝付き電
極部材の各切込溝３１が同じ位置に配置されるように前
述した圧電素子ブロック２の各構成部材が整頓され、こ
れをもって第２の工程が完了する。
は、両端縁からその中心線に向けて複数の切込溝３１が
等間隔に且つ左右対称に切り込まれて成る切込溝付き電
極部材が使用されている。そして、当該各切込溝付き電
極部材の各切込溝３１が同じ位置に配置されるように前
述した圧電素子ブロック２の各構成部材が整頓され、こ
れをもって第２の工程が完了する。
【００１６】この第２の工程においては、上述したよう
に各個別電極３の切込溝３１側の外端縁を圧電素子部材
の外端縁と同一の面上に設定されるようになっている。
また、図３ないし図４に示すように、この部分における
共通電極５の外端縁は、各個別電極３の切込溝３１側の
外端縁側より内側に配置されている。これによって、各
個別電極３を、これに対応した外部導通電極６に導通し
やすいようにすると共に当該個別電極３の外部導通電極
６に共通電極５が触れるのを確実に防止している。
に各個別電極３の切込溝３１側の外端縁を圧電素子部材
の外端縁と同一の面上に設定されるようになっている。
また、図３ないし図４に示すように、この部分における
共通電極５の外端縁は、各個別電極３の切込溝３１側の
外端縁側より内側に配置されている。これによって、各
個別電極３を、これに対応した外部導通電極６に導通し
やすいようにすると共に当該個別電極３の外部導通電極
６に共通電極５が触れるのを確実に防止している。
【００１７】図５に、外部導通電極６，６，・・，７，
７，・・に例を示す。この各外部導通電極６，７の内、
一方の外部導通電極６は、前述したように各個別電極３
に導通される位置に固定装備されている。また、他方の
各外部導通電極７は、前述した各共通電極５にのみ導通
される位置に固定装備されている。
７，・・に例を示す。この各外部導通電極６，７の内、
一方の外部導通電極６は、前述したように各個別電極３
に導通される位置に固定装備されている。また、他方の
各外部導通電極７は、前述した各共通電極５にのみ導通
される位置に固定装備されている。
【００１８】図６に、一方の外部導通電極６と各個別電
極３とを含む部分縦断面図を示す。また、図７に、他方
の外部導通電極７と各共通電極５とを含む部分縦断面図
を示す。この図６乃至図７において、符号８は導電性接
着剤を示し、符号９は絶縁性接着剤を示しす。これによ
って個別電極３と共通電極５とが交差することなく独立
した電極を構成し得るようになっている。
極３とを含む部分縦断面図を示す。また、図７に、他方
の外部導通電極７と各共通電極５とを含む部分縦断面図
を示す。この図６乃至図７において、符号８は導電性接
着剤を示し、符号９は絶縁性接着剤を示しす。これによ
って個別電極３と共通電極５とが交差することなく独立
した電極を構成し得るようになっている。
【００１９】更に、圧電素子ブロック２は、その後、第
３の工程で各個別電極の中心線Ｋに沿って切断し二分さ
れ、続いて、この二分された圧電素子ブロック２の各切
断面側に位置する前述した各切込溝３１の底部の一部又
は全部が、第４の工程にて切除される。符号Ｃは各切込
溝３１の切り込み位置を示す。
３の工程で各個別電極の中心線Ｋに沿って切断し二分さ
れ、続いて、この二分された圧電素子ブロック２の各切
断面側に位置する前述した各切込溝３１の底部の一部又
は全部が、第４の工程にて切除される。符号Ｃは各切込
溝３１の切り込み位置を示す。
【００２０】圧電素子ブロック２は、具体的には、絶縁
性の１上に配置されたのち、切断面Ｋで切断されて二分
割され、その後、各切込溝３１の底部が、同じ場所に位
置する他の部材と共に切除され、これによってアレイ状
の二つの圧電素子が形成される。
性の１上に配置されたのち、切断面Ｋで切断されて二分
割され、その後、各切込溝３１の底部が、同じ場所に位
置する他の部材と共に切除され、これによってアレイ状
の二つの圧電素子が形成される。
【００２１】このように、上記実施例では、積層された
複数の圧電素子部材４の一方の電極を成す複数の各個別
電極３として，両端縁からその中心線に向けて複数の切
込溝３１が等間隔に且つ左右対称に切り込まれて成る切
込溝付き電極部材を使用すると共に，当該各切込溝付き
電極部材の各切込溝３１を同じ位置に配置したので、ア
レイ状圧電素子の電極間の幅を自由に設定することがで
きるようになり、この切込溝付き電極部材のパターンを
左右対称にしたので、生産能力を倍増させることができ
る。
複数の圧電素子部材４の一方の電極を成す複数の各個別
電極３として，両端縁からその中心線に向けて複数の切
込溝３１が等間隔に且つ左右対称に切り込まれて成る切
込溝付き電極部材を使用すると共に，当該各切込溝付き
電極部材の各切込溝３１を同じ位置に配置したので、ア
レイ状圧電素子の電極間の幅を自由に設定することがで
きるようになり、この切込溝付き電極部材のパターンを
左右対称にしたので、生産能力を倍増させることができ
る。
【００２２】そして、二分されて成る各圧電素子は、個
々の圧電素子部材の外部導通電極６，７間に所定の電圧
を与えることでＡ方向へ伸縮する圧電ヘッドとなる。
々の圧電素子部材の外部導通電極６，７間に所定の電圧
を与えることでＡ方向へ伸縮する圧電ヘッドとなる。
【００２３】
【発明の効果】以上、説明したように本発明は、圧電素
子ブロック形成時に共通導電材料と個別導電材料とを特
殊な形状にて積層することで、同一基板上に、圧電素子
ブロックを形成し、二列の複数個の圧電ヘッドを得るこ
とができ、同時に、同一の圧電素子ブロックで二列に生
産し得るため、精度が良好で且つ安価で，しかも小型で
高密度のヘッドを得ることができるという従来にない優
れた圧電式アクチュエータの製造方法を提供すことがで
きる。
子ブロック形成時に共通導電材料と個別導電材料とを特
殊な形状にて積層することで、同一基板上に、圧電素子
ブロックを形成し、二列の複数個の圧電ヘッドを得るこ
とができ、同時に、同一の圧電素子ブロックで二列に生
産し得るため、精度が良好で且つ安価で，しかも小型で
高密度のヘッドを得ることができるという従来にない優
れた圧電式アクチュエータの製造方法を提供すことがで
きる。
【図１】本発明の実施例に於ける第１乃至第２の工程で
形成される圧電素子ブロックを示す概略斜視図である。
形成される圧電素子ブロックを示す概略斜視図である。
【図２】図１の圧電素子ブロックの一部を示す圧電素子
の単位体の構成を示す説明図である。
の単位体の構成を示す説明図である。
【図３】図１の圧電素子ブロックの一部を示す部分斜視
図である。
図である。
【図４】図３の平面図である。
【図５】図１の圧電素子ブロックに外部導通電極を付し
た場合の一例を示す一部省略した斜視図である。
た場合の一例を示す一部省略した斜視図である。
【図６】図５における一方の外部導通電極と各個別電極
とを含む部分縦断面図である。
とを含む部分縦断面図である。
【図７】図５における他方の外部導通電極と各共通電極
とを含む部分縦断面図である。
とを含む部分縦断面図である。
１ 基板 ２ 圧電素子ブロック ３ 個別電極 ４ 圧電素子部材 ５ 共通電極 ６ 一方の外部導通電極 ７ 他方の外部導通電極 ８ 導電性接着剤 ９ 絶縁性接着剤 ３１ 切込溝 Ｋ 切断ライン Ｃ 切込溝の底部用の切断ライン
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ４１Ｊ 2/055 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３ Ａ
Claims (2)
- 【請求項１】 四角形の板状に形成された複数の圧電素
子部材を積層すると共に，当該各圧電素子部材の相互間
に共通電極又は個別電極を交互に順次挿入配置し，同時
にこの積層された圧電素子全体における一方の面には個
別電極が，又他方の面には共通電極が各々位置するよう
に当該個別電極と共通電極を組み込むことにより圧電素
子ブロックの大枠を形成する第１の工程と、 前記各個別電極として、両端縁からその中心線に向けて
複数の切込溝が等間隔に且つ左右対称に切り込まれて成
る切込溝付き電極部材を複数枚使用すると共に，当該各
切込溝付き電極部材の各切込溝が同じ位置に配置される
ように当該各個別電極を前記圧電素子ブロック内に組み
込むことにより当該圧電素子ブロックを特定する第２の
工程と、 前記圧電素子ブロックを前記個別電極の中心線に沿って
切断し二分する第３の工程と、 この二分された圧電素子ブロックの切断面側に位置する
前記切込溝の底部の一部又は全部を切除する第４の工程
とを備えていることを特徴とした圧電式アクチュエータ
の製造方法。 - 【請求項２】 前記第２の工程において、前記各個別電
極の切込溝側の外端縁を前記圧電素子部材の外端縁と同
一の面上に設定すると共に、この部分における前記共通
電極の外端縁を、前記個別電極の切込溝側の外端縁側よ
り内側に配置したことを特徴とする請求項１記載の圧電
式アクチュエータの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34789793A JP2748839B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 圧電式アクチュエータの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34789793A JP2748839B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 圧電式アクチュエータの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07183589A true JPH07183589A (ja) | 1995-07-21 |
| JP2748839B2 JP2748839B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=18393348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34789793A Expired - Fee Related JP2748839B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 圧電式アクチュエータの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2748839B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011029646A (ja) * | 1999-04-20 | 2011-02-10 | Seagate Technology Llc | 差動型ｐｚｔアクチベータの電極パターンの形成 |
| JP2013154500A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-08-15 | Kyocera Corp | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP34789793A patent/JP2748839B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011029646A (ja) * | 1999-04-20 | 2011-02-10 | Seagate Technology Llc | 差動型ｐｚｔアクチベータの電極パターンの形成 |
| JP2013154500A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-08-15 | Kyocera Corp | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2748839B2 (ja) | 1998-05-13 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980120 |
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