JPH02248087A - セラミックアクチュエータ - Google Patents
セラミックアクチュエータInfo
- Publication number
- JPH02248087A JPH02248087A JP1069617A JP6961789A JPH02248087A JP H02248087 A JPH02248087 A JP H02248087A JP 1069617 A JP1069617 A JP 1069617A JP 6961789 A JP6961789 A JP 6961789A JP H02248087 A JPH02248087 A JP H02248087A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic actuator
- piezoelectric elements
- shim
- view
- actuator
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はセラミックアクチュエータに関するものである
。
。
従来の技術
従来、この種のセラミックアクチュエータは第4図、第
5図に示すように構成されている。
5図に示すように構成されている。
第4図は斜視図、第5図は使用時の構成例を示す断面図
である。
である。
長方形状の薄金属板よりなるシム14の片面に薄板長方
形状の圧電素子16が貼合わされ、ユニモルフ構造のセ
ラミックアクチュエータが構成されている。
形状の圧電素子16が貼合わされ、ユニモルフ構造のセ
ラミックアクチュエータが構成されている。
そして一端部16側は固定台12.ff2aへ接着また
は、バネ加圧力による挟み込み固定の片持梁状に増付け
られ、また他端部17側に被微少変位物が増付けられ、
前記圧電素子15の表裏間に電気信号13が入力され、
使用されているものである。
は、バネ加圧力による挟み込み固定の片持梁状に増付け
られ、また他端部17側に被微少変位物が増付けられ、
前記圧電素子15の表裏間に電気信号13が入力され、
使用されているものである。
発明が解決しようとする課題
このような従来の構成では、平板状である為、使用方法
、スペース内容に制約を受は易いという問題点があった
。
、スペース内容に制約を受は易いという問題点があった
。
本発明はこのような問題点を解決するもので、使用方法
に制約を受は難い製品を供給することを目的とするもの
である。
に制約を受は難い製品を供給することを目的とするもの
である。
課題を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は、シム上に圧電素
子を複数個設けたものである。
子を複数個設けたものである。
作用
この構成によれば各圧電素子間で角度をもたせる変形が
可能なため各種の機器、取付はスペースにも汎用的に地
付けが可となるものである。
可能なため各種の機器、取付はスペースにも汎用的に地
付けが可となるものである。
実施例
第1図は本発明の一実施例によるセラミックアクチュエ
ータの斜視図、第2図はその要部断面図、第3図は使用
時の構成例を示す断面図である。尚、同一箇所について
は同一番号を付している。
ータの斜視図、第2図はその要部断面図、第3図は使用
時の構成例を示す断面図である。尚、同一箇所について
は同一番号を付している。
長方形状の薄金属板よりなるシム1の片面に薄板状の複
数の圧電素子2,3,4,5.6がある一定間隔11を
もって、圧電素子極性を揃えた形で接着剤により貼合わ
されている。
数の圧電素子2,3,4,5.6がある一定間隔11を
もって、圧電素子極性を揃えた形で接着剤により貼合わ
されている。
上記圧電素子2,3,4,5.6の表裏には電極21L
、 2b 、 31L 、 3b (41L 、 4
b 、 51L 。
、 2b 、 31L 、 3b (41L 、 4
b 、 51L 。
sb 、ea 、ebの図中記入は省略。)が設けられ
、上記電極2b、3b(4b、5b、6b)は前記シム
1と接着剤での貼合わせ後においても電気的導通性が確
保されているものである。
、上記電極2b、3b(4b、5b、6b)は前記シム
1と接着剤での貼合わせ後においても電気的導通性が確
保されているものである。
また、金属あるいは導電材よ構成る連結材7゜8.9.
10はある角度を有し、前記圧電素子2゜3.4,5.
6の片面電極側2a、3a(4a。
10はある角度を有し、前記圧電素子2゜3.4,5.
6の片面電極側2a、3a(4a。
5a 、 6a )に接着固定され、各圧電素子2〜6
間を電気的及び機械的に接続し、セラミックアクチュエ
ータが構成されている。
間を電気的及び機械的に接続し、セラミックアクチュエ
ータが構成されている。
このように湾曲状に形成されたセラミックアクチュエー
タは一端部を固定台12.12&へ片持梁状に固定され
、他端部へ被微少変位物が取付けられ、圧電素子2の表
裏間に電気信号13が入力され使用されるものである。
タは一端部を固定台12.12&へ片持梁状に固定され
、他端部へ被微少変位物が取付けられ、圧電素子2の表
裏間に電気信号13が入力され使用されるものである。
それぞれの圧電素子2,3,4,5.6は極性を揃えて
貼合わされているため、同一方向へたわみを生じ、実質
上の長さ寸法を確保することによシ大変位量の確保が可
となるものである。
貼合わされているため、同一方向へたわみを生じ、実質
上の長さ寸法を確保することによシ大変位量の確保が可
となるものである。
尚、本実施例ではある一定角度の連結材7〜10を用い
、湾曲状としたが、それぞれの角度を混合して用いるこ
とにより、初期状態を異形とすることが出来、また、連
結数も自由に選択が出来、取付はスペースに応じた形状
を自在に設定可能となることはいうこともない。
、湾曲状としたが、それぞれの角度を混合して用いるこ
とにより、初期状態を異形とすることが出来、また、連
結数も自由に選択が出来、取付はスペースに応じた形状
を自在に設定可能となることはいうこともない。
発明の効果
以上のように本発明によれば、シム上において圧電素子
を複数個連結したので、使用方法、取付は方法に応じて
自在に形状が変形出来るので、汎用的な使用が可能とな
るものである。また全体を連続した傾斜状にすれば変位
が拡大され、大変位量が得られるものともなる。
を複数個連結したので、使用方法、取付は方法に応じて
自在に形状が変形出来るので、汎用的な使用が可能とな
るものである。また全体を連続した傾斜状にすれば変位
が拡大され、大変位量が得られるものともなる。
第1図は本発明の一実施例によるセラミックアクチュエ
ータの斜視図、第2図はその要部断面図、第3図は取付
けを示す断面図、第4図は従来のセラミックアクチュエ
ータの斜視図、第6図はその取付は例を示す断面図であ
る。 1・・・・・・シム、2,3,4,5.6・・・・・・
圧電素子、7.8,9.IQ・・・・・・連結材、12
,121L・・・・・・固定台。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名第1
図 ノ シム 第2図 3α 第 図 第 図 1準 第 図 12α
ータの斜視図、第2図はその要部断面図、第3図は取付
けを示す断面図、第4図は従来のセラミックアクチュエ
ータの斜視図、第6図はその取付は例を示す断面図であ
る。 1・・・・・・シム、2,3,4,5.6・・・・・・
圧電素子、7.8,9.IQ・・・・・・連結材、12
,121L・・・・・・固定台。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名第1
図 ノ シム 第2図 3α 第 図 第 図 1準 第 図 12α
Claims (3)
- (1)薄金属板で形成されたシム上に複数の圧電素子を
配置したセラミックアクチュエータ。 - (2)複数個配した圧電素子のシムとは反対側を導電性
の連結体で連結した特許請求の範囲第1項に記載のセラ
ミックアクチュエータ。 - (3)複数の圧電素子を湾曲状に配置した特許請求の範
囲第1項に記載のセラミックアクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1069617A JPH02248087A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | セラミックアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1069617A JPH02248087A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | セラミックアクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02248087A true JPH02248087A (ja) | 1990-10-03 |
Family
ID=13408005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1069617A Pending JPH02248087A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | セラミックアクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02248087A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5739625A (en) * | 1994-05-09 | 1998-04-14 | The Secretary Of State For Defence In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern Island | Segmented ring transducers |
JP2003101093A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-04 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータ |
JP2005302711A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アクチュエータおよびその制御方法およびこれを用いたスイッチ |
JP2008306785A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Murata Mfg Co Ltd | 変位拡大装置 |
-
1989
- 1989-03-22 JP JP1069617A patent/JPH02248087A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5739625A (en) * | 1994-05-09 | 1998-04-14 | The Secretary Of State For Defence In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern Island | Segmented ring transducers |
JP2003101093A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-04 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータ |
JP2005302711A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アクチュエータおよびその制御方法およびこれを用いたスイッチ |
JP2008306785A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Murata Mfg Co Ltd | 変位拡大装置 |
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