JPH0375505B2 - - Google Patents

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JPH0375505B2
JPH0375505B2 JP61006936A JP693686A JPH0375505B2 JP H0375505 B2 JPH0375505 B2 JP H0375505B2 JP 61006936 A JP61006936 A JP 61006936A JP 693686 A JP693686 A JP 693686A JP H0375505 B2 JPH0375505 B2 JP H0375505B2
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JP
Japan
Prior art keywords
powder
silicon nitride
sintered body
particle size
sintering
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP61006936A
Other languages
English (en)
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JPS62167257A (ja
Inventor
Takao Nishioka
Masaya Myake
Akira Yamakawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕 本発明は耐摩耗性部品等として使用される窒化
ケイ素焼結体の製造方法に関する。 〔従来の技術〕 窒化ケイ素焼結体は高強度で耐摩耗性や耐熱性
に優れていることから、エンジン部品及び機械部
品などの構造材料として注目されている。 従来の窒化ケイ素焼結体の製造方法において
は、α−窒化ケイ素(α−Si3N4)を原料粉末と
して用い、焼結時に相変態を生じさせて繊維状組
織を生成させることにより、焼結体の高強度化を
図つている。しかし、相変態の際の再結晶化及び
結晶粒成長のために、焼結体中にクローズドポア
が残存したり、均一微細な組織となりにくいこと
から、得られる焼結体の強度、硬度及び破壊靭性
の低下の原因となる場合があつた。そのため、気
孔率を低下させて緻密な焼結体を得るためにホツ
トプレス法等の加圧焼結が採用されているが、連
続焼結が困難であり製品がコスト高になる等の欠
点があつた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 本発明は、上記の事情に鑑み、加圧焼結のみな
らず常圧焼結においても、緻密で強度、硬度及び
靭性に優れた焼結体を得ることのできる窒化ケイ
素焼結体の製造方法を提供することを目的とす
る。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の窒化ケイ素焼結体の製造方法は、1〜
10重量%の酸化イツトリウム粉末と、1〜20重量
%の酸化ジルコニウム粉末と、残部の粒径2μm以
下のβ−窒化ケイ素粉末とを添加混合し、混合粉
末を加圧成形した後、窒素雰囲気中において1600
〜1900℃で焼結することを特徴とする。 焼結助剤として使用する酸化イツトリウム及び
酸化ジルコニウム粉末は公知のアルコキシド法に
より合成した複合酸化物であることが好ましく、
この焼結助剤は微細であり、均一分散させること
により焼結体の機械的特性を向上させることがで
きる。 原料であるβ−Si3N4粉末は、現在市販のα型
結晶を多く含有する窒化ケイ素粉末を1600℃以上
及び窒素雰囲気下で熱処理することにより得るこ
とができる。このように限定するのは1600℃以下
ではβ型結晶への変態が生じにくいためである。
さらに純度の高いβ−Si3N4粉末を得るために、
上述の窒化ケイ素粉末を加圧窒素雰囲気中におい
て1700〜1900℃で更に熱処理しβ型結晶への変態
を促進させることが考えられる。ただしこの温度
域においては窒化ケイ素の分解が生ずるため、こ
れを抑えるためには1気圧以上100気圧以下の窒
素加圧を要する。かくして得られたβ−Si3N4
末を公知の方法により粉砕、選別することにより
所定の粒径2μm以下のβ−Si3N4粉末を得る。 焼結はホツトプレス等の加圧焼結でも常圧焼結
でもよく、更に焼結雰囲気は減圧または加圧若し
くは常圧の窒素雰囲気を使用する。 〔作用〕 本方法では、粒径2μm以下のSi3N4粉末を用い
るので焼結時に再結晶化及び結晶粒成長を伴わ
ず、従つて得られる焼結体にクローズドポアが残
存し難く、均一微細で緻密な粒状組織を保持で
き、かつ焼結体の抗折強度の劣化を招かない。 β−Si3N4の粒径は2μm以下が適当であり、こ
れを越える粒径では焼結体の抗折強度の低下を招
く。 またβ−Si3N4粉末の粒度分布及び平均粒径は
好ましくは夫々0.5〜2μm及び1μmが適当である。
これβ−Si3N4粉末は高温において安定である
が、これを原料粉末として用いた焼結体は従来、
抗折強度に劣つていたが、原料粉末の粒度および
粒径について種々検討した結果、上記の粒度分布
及び平均粒径をもつβ−Si3N4粉末を原料として
用いることにより、均一微細かつ抗折強度にも優
れた組織を持つ焼結体を得ることを見いだしたた
めである。 酸化ジルコニウムの添加量を1〜20重量%に限
定するのは、1重量%未満では窒化ケイ素焼結体
に十分な靭性が得られず、20重量%を越えると窒
化ケイ素焼結体の抗折強度の低下を招くためであ
る。 また、酸化イツトリウムの添加量を1〜10重量
%に限定するのは、1重量%未満では焼結が十分
に進行せず、また10重量%を越えると焼結体の抗
折強度を低下させるためである。 実施例 1 以下の実施例により本発明を詳細に説明する。 下記第1表に示すごとく、原料である粒径2μm
以下で平均粒径1μmのα−Si3N4、粒径2μm以下
で平均粒径1μmのβ−Si3N4、平均粒径2μmの
ZrO2及び平均粒径2μmのY2O3の各粉末を夫々の
試料の組成(重量%)で湿式混合し、混合粉末を
1ton/cm2の圧力で静圧成形した。この成形体から
6×6×40mmの大きさに切り出したものを、2気
圧の窒素雰囲気中において1800℃の温度で2時間
焼結した。
【表】 得られた各試料について密度(%)、硬度(HR
A)、抗折力(Kg/mm2)及び破壊靭性(MN/
m3/2)を測定した。破壊靭性はインデンテーシヨ
ン法により測定した。測定結果を第2表に示し
た。
【表】 本発明の試料No.1〜6は本発明の範囲外の試料
No.7〜12に比較して緻密であり、優れた強度及び
靭性を示すと共に、特に高い硬度を有していた。 実施例 2 下記第3表に示すごとく原料として種々の粒度
分布及び平均粒径を持つβ−Si3N4、平均粒径
2μmのZrO2及びY2O3の各粉末を夫々の試料の組
成で湿式混合し、実施例1に示す同様の成形、焼
結過程を経た試料について記載の測定を行つた結
果を第4表に示す。
【表】 シド法により製造した。
〔発明の効果〕
本発明によれば、緻密であると共に高硬度及び
高強度であり、優れた靭性を有する窒化ケイ素焼
結体を提供できる。 従つて、この窒化ケイ素焼結体は自動車部品等
の耐摩耗性部品及び切削用工具への適用が期待さ
れる。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 1〜10重量%の酸化イツトリウム粉末と、1
    〜20重量%の酸化ジルコニウム粉末と、残部の粒
    径2μm以下のβ−窒化ケイ素粉末とを添加混合
    し、混合粉末を加圧成形した後、1600〜1900℃で
    焼結することを特徴とする窒化ケイ素焼結体の製
    造方法。 2 酸化イツトリウム及び酸化ジルコニウム粉末
    はアルコキシド法により合成した複合酸化物であ
    ることを特徴とする、特許請求の範囲1記載の窒
    化ケイ素焼結体の製造方法。
JP61006936A 1986-01-14 1986-01-14 窒化ケイ素焼結体の製造方法 Granted JPS62167257A (ja)

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JPS62167257A JPS62167257A (ja) 1987-07-23
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JP2631115B2 (ja) * 1987-11-30 1997-07-16 京セラ株式会社 窒化珪素質焼結体の製法
JPS6451379A (en) * 1987-08-24 1989-02-27 Sumitomo Electric Industries Silicon nitride sintered body

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