JPH0374769B2 - - Google Patents
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- JPH0374769B2 JPH0374769B2 JP1746484A JP1746484A JPH0374769B2 JP H0374769 B2 JPH0374769 B2 JP H0374769B2 JP 1746484 A JP1746484 A JP 1746484A JP 1746484 A JP1746484 A JP 1746484A JP H0374769 B2 JPH0374769 B2 JP H0374769B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は光学式変位検出装置に係り、更に詳し
くは、反射型の光学式変位検出装置に関する。
くは、反射型の光学式変位検出装置に関する。
［技術分野］
光学格子縞を共に有するメインスケールおよび
インデツクススケールを互いに相対移動させたと
きに、これら両スケールに照射した光の反射光ま
たは透過光の変化から、両スケール間の相対移動
変位量を検出する、光学式変位検出装置が知られ
ており、このような光学式変位検出装置は、特に
高精度測定機等に広範に利用されている。
インデツクススケールを互いに相対移動させたと
きに、これら両スケールに照射した光の反射光ま
たは透過光の変化から、両スケール間の相対移動
変位量を検出する、光学式変位検出装置が知られ
ており、このような光学式変位検出装置は、特に
高精度測定機等に広範に利用されている。
この種の光学式変位検出装置のうち、反射光を
利用する、謂わゆる反射型の光学式変位検出装置
は、反射部と非反射部とが交互に整列されてなる
格子縞を有する長寸のメインスケールと、透光部
と非透光部とが交互に整列されてなる格子縞を有
する短寸のインデツクススケールと、を微小間隔
をもつて対峙させた状態にて互いに相対移動可能
に配置し、インデツクススケール側に発行素子お
よび受光素子を配設し、発行素子より発光させた
光をインデツクススケールに透過させた後、メイ
ンスケールにて反射させ、再びインデツクススケ
ールを透過させた後に受光素子にて受光させ、こ
の光の変位量により両スケール間の相対移動変位
量を検出する構成としている。
利用する、謂わゆる反射型の光学式変位検出装置
は、反射部と非反射部とが交互に整列されてなる
格子縞を有する長寸のメインスケールと、透光部
と非透光部とが交互に整列されてなる格子縞を有
する短寸のインデツクススケールと、を微小間隔
をもつて対峙させた状態にて互いに相対移動可能
に配置し、インデツクススケール側に発行素子お
よび受光素子を配設し、発行素子より発光させた
光をインデツクススケールに透過させた後、メイ
ンスケールにて反射させ、再びインデツクススケ
ールを透過させた後に受光素子にて受光させ、こ
の光の変位量により両スケール間の相対移動変位
量を検出する構成としている。
ところで、このような反射型の光学式変位検出
装置のメインスケールを金属スケール或いはメタ
ルテープスケール等の金属製としてエツチング手
法により格子縞を形成する場合には、次のような
問題点があつた。
装置のメインスケールを金属スケール或いはメタ
ルテープスケール等の金属製としてエツチング手
法により格子縞を形成する場合には、次のような
問題点があつた。
即ち、平行かつ平滑な平面仕上げを高精度に
行うことが難しく、格子縞に悪影響を与えること
がある。特に、メインスケールが長大であるとき
に影響が著しい。メインスケールをスポツト溶
剤により固定する際にメインスケールに歪みを生
じさせ易い。これもメインスケールが長大である
ときに歪みが著しい。メインスケールの取付面
が石定盤等であるとき、金属と石との膨張率が著
しく異なるため、メインスケールに経済的歪みを
生じさせ易い。エツチング手法により格子縞を
設けるので、サイドエツチが大くなり、精度上無
視できなくなりつつある。
行うことが難しく、格子縞に悪影響を与えること
がある。特に、メインスケールが長大であるとき
に影響が著しい。メインスケールをスポツト溶
剤により固定する際にメインスケールに歪みを生
じさせ易い。これもメインスケールが長大である
ときに歪みが著しい。メインスケールの取付面
が石定盤等であるとき、金属と石との膨張率が著
しく異なるため、メインスケールに経済的歪みを
生じさせ易い。エツチング手法により格子縞を
設けるので、サイドエツチが大くなり、精度上無
視できなくなりつつある。
そこで、メインスケールをガラス製とすること
により、これらの問題点を克服することができた
が、この場合には次のような新たな問題点を生じ
させていた。
により、これらの問題点を克服することができた
が、この場合には次のような新たな問題点を生じ
させていた。
即ち、反射型ではメインスケールの格子縞の反
射部での反射光の変化量を受光素子にて検知する
ものであるが、メインスケールをガラス製とした
場合には、前記格子縞の非反射部を透過した光が
例えばメインスケールの背面側（反インデツクス
スケール側）の側面にて反射し、このような反射
光も受光素子に受光されてしまつていた。このよ
うな非反射部を透過した光の反射による受光素子
に与える影響（これを外乱ということとする。）
は、メインスケールの背面側の状態、即ち、前記
非反射部を透過した光が反射するときの反射面の
状態（光学的性質）により大きく左右され、その
結果、Ｓ／Ｎ比を種々に変動させる等して測定精
度に悪影響を与える場合があつた。
射部での反射光の変化量を受光素子にて検知する
ものであるが、メインスケールをガラス製とした
場合には、前記格子縞の非反射部を透過した光が
例えばメインスケールの背面側（反インデツクス
スケール側）の側面にて反射し、このような反射
光も受光素子に受光されてしまつていた。このよ
うな非反射部を透過した光の反射による受光素子
に与える影響（これを外乱ということとする。）
は、メインスケールの背面側の状態、即ち、前記
非反射部を透過した光が反射するときの反射面の
状態（光学的性質）により大きく左右され、その
結果、Ｓ／Ｎ比を種々に変動させる等して測定精
度に悪影響を与える場合があつた。
そのため、メインスケールの取付箇所の光学的
性質の相違により反射光に強度やモードの変動を
生じさせ、このため受光素子側において格別の調
整を必要とするものである。
性質の相違により反射光に強度やモードの変動を
生じさせ、このため受光素子側において格別の調
整を必要とするものである。
また、各取付箇所の光学的性質に経時的変化が
生ずることもあり、このようなときには、格別の
調整を行つたとしても精度低下を招くこととな
る。しかも、取付箇所の材質等の不明である場合
も多く、このようなときには、調整を行なうこと
もできないものである。
生ずることもあり、このようなときには、格別の
調整を行つたとしても精度低下を招くこととな
る。しかも、取付箇所の材質等の不明である場合
も多く、このようなときには、調整を行なうこと
もできないものである。
［発明の目的］
本発明の目的は、メインスケールの取付箇所の
表面状態、材質等による光学的性質の影響を受け
ることのない高精度な検出が可能な光学式変位検
出装置を提供することにある。
表面状態、材質等による光学的性質の影響を受け
ることのない高精度な検出が可能な光学式変位検
出装置を提供することにある。
［発明の構成］
そのため、本発明は、謂わゆる反射型の光学式
変位検出装置において、メインスケールをガラス
製にするとともに、その非反射部を透過した光を
吸収してインデツクススケール側に反射させな
い、或いは、一定の反射光にしてインデツクスス
ケール側に反射させる外乱防止層を備えさせるこ
とにより、メインスケールの格子縞の非反射部を
透過した光を吸収して受光素子に影響を与えない
ようにして受光素子側における格別の調整を不要
とさせ、或いは、非反射部を透過した光が反射さ
れて受光素子に受光される場合にも常に一定の反
射光とするようにして受光素子側における格別の
調整を常に一定なものとさせ、いずれにしろ、メ
インスケールの取付箇所の光学的性質の相違によ
る反射光の変動を防止し、これにより、前記目的
を達成しようとするものである。
変位検出装置において、メインスケールをガラス
製にするとともに、その非反射部を透過した光を
吸収してインデツクススケール側に反射させな
い、或いは、一定の反射光にしてインデツクスス
ケール側に反射させる外乱防止層を備えさせるこ
とにより、メインスケールの格子縞の非反射部を
透過した光を吸収して受光素子に影響を与えない
ようにして受光素子側における格別の調整を不要
とさせ、或いは、非反射部を透過した光が反射さ
れて受光素子に受光される場合にも常に一定の反
射光とするようにして受光素子側における格別の
調整を常に一定なものとさせ、いずれにしろ、メ
インスケールの取付箇所の光学的性質の相違によ
る反射光の変動を防止し、これにより、前記目的
を達成しようとするものである。
［実施例の説明］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図には本発明に係る光学式変位検出装置の
第１実施例が示され、図中、長寸なメインスケー
ル１と短寸なインデツクススケール２は共にガラ
ス製であり、これら両スケール１，２は平行な微
小間隔を維持した状態でメインスケール１の長手
方向に相対移動可能に配置されている。また、メ
インスケール１は、被取付機器である測定機の本
体３の溝部３Ａ内に固定されるとともに、インデ
ツクススケール２は本体３に対して移動可能であ
り且つその移動変位量が本光学式変位検出装置に
て検出されるスライダ４に固定されている。
第１実施例が示され、図中、長寸なメインスケー
ル１と短寸なインデツクススケール２は共にガラ
ス製であり、これら両スケール１，２は平行な微
小間隔を維持した状態でメインスケール１の長手
方向に相対移動可能に配置されている。また、メ
インスケール１は、被取付機器である測定機の本
体３の溝部３Ａ内に固定されるとともに、インデ
ツクススケール２は本体３に対して移動可能であ
り且つその移動変位量が本光学式変位検出装置に
て検出されるスライダ４に固定されている。
前記メインスケール１の正面（インデツクスス
ケール２側の側面）にはメインスケール１の長手
方向に沿つて格子縞５が蒸着形成されており、こ
の格子縞５は互いに交互に整列された同幅の反射
部５Ａと非反射部（即ち反射部５Ａが蒸着されて
いない箇所）５Ｂとから構成されている。
ケール２側の側面）にはメインスケール１の長手
方向に沿つて格子縞５が蒸着形成されており、こ
の格子縞５は互いに交互に整列された同幅の反射
部５Ａと非反射部（即ち反射部５Ａが蒸着されて
いない箇所）５Ｂとから構成されている。
一方、インデツクススケール２にも格子縞６が
形成され、この格子縞６は透光部６Ａと非透光部
６Ｂとからなり、両格子縞５，６のピツチ幅（格
子幅）は互いに等しくされている。なお、インデ
ツクススケール２の格子縞６を４分の１ピツチず
らして２個設けることにより、インデツクススケ
ール２の方向性が識別され得る。
形成され、この格子縞６は透光部６Ａと非透光部
６Ｂとからなり、両格子縞５，６のピツチ幅（格
子幅）は互いに等しくされている。なお、インデ
ツクススケール２の格子縞６を４分の１ピツチず
らして２個設けることにより、インデツクススケ
ール２の方向性が識別され得る。
スライダ４内におけるインデツクススケール２
側の所定位置には発光素子７および受光素子８が
配設され、発光素子７より所定角度でインデツク
ススケール２の格子縞６に照射された光は、格子
縞６の透光部６Ａを透過した後メインスケール１
にて反射し、再びインデツクススケール２の格子
縞６の透光部６Ａを透過して受光素子８に受光さ
れるようになつている。受光素子８には信号処理
装置９および表示装置１０が接続され、受光素子
８により検知された前記反射光の変位量（光量変
位）が信号処理装置９にて処理された後表示装置
１０にて両スケール１，２の相対移動変位量とし
て表示されるようになつている。
側の所定位置には発光素子７および受光素子８が
配設され、発光素子７より所定角度でインデツク
ススケール２の格子縞６に照射された光は、格子
縞６の透光部６Ａを透過した後メインスケール１
にて反射し、再びインデツクススケール２の格子
縞６の透光部６Ａを透過して受光素子８に受光さ
れるようになつている。受光素子８には信号処理
装置９および表示装置１０が接続され、受光素子
８により検知された前記反射光の変位量（光量変
位）が信号処理装置９にて処理された後表示装置
１０にて両スケール１，２の相対移動変位量とし
て表示されるようになつている。
メインスケール１の背面側（反インデツクスス
ケール２）側には、メインスケール１とは別異の
ガラス板１１が密接配置され、このガラス板１１
を介してメインスケール１が本体３に取付けられ
ている。
ケール２）側には、メインスケール１とは別異の
ガラス板１１が密接配置され、このガラス板１１
を介してメインスケール１が本体３に取付けられ
ている。
ガラス板１１のメインスケール１側の側面には
外乱防止層１２が備えられている。この外乱防止
層１２は、ガラス板１１の側面に蒸着された光吸
収材の薄膜、或いは、光反射材料の薄膜から形成
され、光吸収材である場合にはメインスケール１
の非反射部５Ｂを透過した光を吸収してインデツ
クススケール２側に反射光を生じさせず、光反射
材料である場合には前記非反射部５Ｂを透過した
光を一定の（本体３側の材質等に影響されること
のない）反射光にしてインデツクススケール２側
に反射させるようになつている。
外乱防止層１２が備えられている。この外乱防止
層１２は、ガラス板１１の側面に蒸着された光吸
収材の薄膜、或いは、光反射材料の薄膜から形成
され、光吸収材である場合にはメインスケール１
の非反射部５Ｂを透過した光を吸収してインデツ
クススケール２側に反射光を生じさせず、光反射
材料である場合には前記非反射部５Ｂを透過した
光を一定の（本体３側の材質等に影響されること
のない）反射光にしてインデツクススケール２側
に反射させるようになつている。
このような本実施例によれば、メインスケール
１がガラス製であるため、高精度加工も容易で、
経時的変化も少なく取付けの際に歪みを生じさせ
ることがないという効果を有する他、次のような
効果を有している。
１がガラス製であるため、高精度加工も容易で、
経時的変化も少なく取付けの際に歪みを生じさせ
ることがないという効果を有する他、次のような
効果を有している。
メインスケール１の背面側（反インデツクスス
ケール２側）に外乱防止層１２を配置させたた
め、メインスケール１の格子縞５の非反射部５Ｂ
を透過した光が、インデツクススケール２側に反
射されず或いは一定の（性質既知の）反射光とし
てインデツクススケール２側に反射されるもので
ある。そのため、受光素子８においてノイズは生
ぜず、或いは、信号処理装置９において一定の定
量的な補正を行なうことにより常に正確な（高精
度な）変位検出を行なうことができる。即ち、メ
インスケール１の取付箇所である本体３側の光学
的な性質に測定値が左右されることがない。
ケール２側）に外乱防止層１２を配置させたた
め、メインスケール１の格子縞５の非反射部５Ｂ
を透過した光が、インデツクススケール２側に反
射されず或いは一定の（性質既知の）反射光とし
てインデツクススケール２側に反射されるもので
ある。そのため、受光素子８においてノイズは生
ぜず、或いは、信号処理装置９において一定の定
量的な補正を行なうことにより常に正確な（高精
度な）変位検出を行なうことができる。即ち、メ
インスケール１の取付箇所である本体３側の光学
的な性質に測定値が左右されることがない。
更に、外乱防止層１２の設けられたガラス板１
１を介してメインスケール１を本体３に取付ける
だけでよいため、取付けも容易である。
１を介してメインスケール１を本体３に取付ける
だけでよいため、取付けも容易である。
更にまた、本体３に形成された溝部３Ａ内にメ
インスケール１全体が保持された状態にてメイン
スケール１が本体３に取付けられ、本体３からメ
インスケール１が突出されるものでないため、メ
インスケール１がガラス製であつても十分安定性
良く本体３側に保持され、破損されにくいばかり
でなく撓み等も生じないという効果がある。
インスケール１全体が保持された状態にてメイン
スケール１が本体３に取付けられ、本体３からメ
インスケール１が突出されるものでないため、メ
インスケール１がガラス製であつても十分安定性
良く本体３側に保持され、破損されにくいばかり
でなく撓み等も生じないという効果がある。
次に、前記以外の実施例につき説明するが前記
実施例と同一若しくは近似する部分は同一符号を
用い説明を省略若しくは簡略にする。
実施例と同一若しくは近似する部分は同一符号を
用い説明を省略若しくは簡略にする。
第３図には第２実施例が示されている。この第
２実施例ではメインスケール１の格子縞５は取付
箇所である本体３側即ち反インデツクススケール
２側に設けられている。したがつて、本体３の変
形がメインスケール１の格子縞５のピツチに与え
る伸縮の影響が少ないという効果がある。
２実施例ではメインスケール１の格子縞５は取付
箇所である本体３側即ち反インデツクススケール
２側に設けられている。したがつて、本体３の変
形がメインスケール１の格子縞５のピツチに与え
る伸縮の影響が少ないという効果がある。
また、第４，５図にはそれぞれ第３，４実施例
が示されている。第３実施例では外乱防止層１２
はメインスケール１の背面側に直接蒸着されてい
る。
が示されている。第３実施例では外乱防止層１２
はメインスケール１の背面側に直接蒸着されてい
る。
また、第４実施例では本体３の取付箇所に直接
外乱防止層１２が形成されている。これら第３、
４実施例にあつてはガラス板１１が格子縞５のピ
ツチの伸縮に与える影響が少ない。
外乱防止層１２が形成されている。これら第３、
４実施例にあつてはガラス板１１が格子縞５のピ
ツチの伸縮に与える影響が少ない。
なお、実施にあたり、前記ガラス板１１は黒系
塗料膜や合成樹脂等の光吸収材や、或いは、反射
率の小さな金属蒸着膜等であり、金属蒸着膜等で
ある場合には外乱防止層１２を均一厚さにするた
め取付箇所（本体側）にメインスケール１を密着
させることが望ましい。
塗料膜や合成樹脂等の光吸収材や、或いは、反射
率の小さな金属蒸着膜等であり、金属蒸着膜等で
ある場合には外乱防止層１２を均一厚さにするた
め取付箇所（本体側）にメインスケール１を密着
させることが望ましい。
［発明の効果］
上述のように本発明によれば、メインスケール
の取付場所の光学的性質に拘らず常に高精度な測
定を行なうことができる光学式変位検出装置を提
供できる。
の取付場所の光学的性質に拘らず常に高精度な測
定を行なうことができる光学式変位検出装置を提
供できる。
第１図は本発明に係る光学式変位検出装置の第
１実施例を示す斜視図、第２図は前記第１実施例
の断面図、第３図〜５図は夫々第２〜４実施例を
示す断面図である。 １……メインスケール、２……インデツクスス
ケール、３……本体、４……スライダ、５……格
子縞、５Ａ……反射部、５Ｂ……非反射部、６…
…格子縞、６Ａ……透光部、６Ｂ……非透光部、
７……発光素子、８……受光素子、９……信号処
理装置、１０……表示装置、１１……ガラス板、
１２……外乱防止層。
１実施例を示す斜視図、第２図は前記第１実施例
の断面図、第３図〜５図は夫々第２〜４実施例を
示す断面図である。 １……メインスケール、２……インデツクスス
ケール、３……本体、４……スライダ、５……格
子縞、５Ａ……反射部、５Ｂ……非反射部、６…
…格子縞、６Ａ……透光部、６Ｂ……非透光部、
７……発光素子、８……受光素子、９……信号処
理装置、１０……表示装置、１１……ガラス板、
１２……外乱防止層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 反射部と非反射部とが交互に整列されてなる
格子縞を有するメインスケールと、透光部と非透
光部とが交互に整列されてなる格子縞を有するイ
ンデツクススケールと、が互いに相対移動可能に
配置されるとともに、インデツクススケール側に
発光素子および受光素子が配設され、発光素子よ
り発した光がインデツクススケールを透過した後
メインスケールにて反射して再びインデツクスス
ケールを透過して受光素子に受光され、この光の
変位量により両スケール間の相対移動変位量が検
出される光学式変位検出装置において、前記メイ
ンスケールをガラス製にするとともに、その非反
射部を透過した光を吸収してインデツクススケー
ル側に反射させない或いは一定の反射光にしてイ
ンデツクススケール側に反射させる外乱防止層が
備えられていることを特徴とする光学式変位検出
装置。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載の光学式変位検
出装置において、前記メインスケールの反インデ
ツクススケール側にメインスケールとは別異のガ
ラス板が配置され、前記外乱防止層は、このガラ
ス板のメインスケール側の側面に形成されている
ことを特徴とする光学式変位検出装置。 ３ 特許請求の範囲第１項または第２項に記載の
光学式変位検出装置において、前記外乱防止層
は、光吸収材料の薄膜から形成されていることを
特徴とする光学式変位検出装置。 ４ 特許請求の範囲第１項または第２項に記載の
光学式変位検出装置において、前記外乱防止層
は、光反射材料の薄膜から形成されていることを
特徴とする光学式変位検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1746484A JPS60161524A (ja) | 1984-02-02 | 1984-02-02 | 光学式変位検出装置 |
| US06/693,658 US4684257A (en) | 1984-02-02 | 1985-01-22 | Measuring instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1746484A JPS60161524A (ja) | 1984-02-02 | 1984-02-02 | 光学式変位検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60161524A JPS60161524A (ja) | 1985-08-23 |
| JPH0374769B2 true JPH0374769B2 (ja) | 1991-11-28 |
Family
ID=11944741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1746484A Granted JPS60161524A (ja) | 1984-02-02 | 1984-02-02 | 光学式変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60161524A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0811076D0 (en) | 2008-06-17 | 2008-07-23 | Renishaw Plc | Scale track |
| JP7196033B2 (ja) * | 2019-07-30 | 2022-12-26 | 株式会社ミツトヨ | スケールおよびその製造方法 |
-
1984
- 1984-02-02 JP JP1746484A patent/JPS60161524A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60161524A (ja) | 1985-08-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |