JPH0373451U - - Google Patents

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JPH0373451U
JPH0373451U JP12413490U JP12413490U JPH0373451U JP H0373451 U JPH0373451 U JP H0373451U JP 12413490 U JP12413490 U JP 12413490U JP 12413490 U JP12413490 U JP 12413490U JP H0373451 U JPH0373451 U JP H0373451U
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image
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optical
imaging
pixel
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JP12413490U
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Landscapes

  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の全体概略図、第２図は本考案
の一実施例の光学装置の概略図、第３図は本考案
の他の実施例の光学装置の概略図である。 ５２……ウエハ、４０，１００……第１の光路
、５０，７４……光源、４２，１０２……第２の
光路、７２……ビジコン管、６５……シヤツタ、
５４……フラツト部、１０４……第３光路、１０
６……第４光路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 同様なパターンのアレイが表面に設けられ
    ている目的物を整列させる自動整列装置であつて
    ： 整列させるべき目的物を支持する可動のステー
    ジ手段にして、入力信号に応じてＸ，ＹおよびＺ
    の方向ならびにθ軸の回りでの位置調節が可能な
    ステージ手段と； 前記目的物の表面を照射する照射手段と； 第１の予定の倍率を有し、照射された前記表面
    の第１部分の像を第１の光軸に沿つて結像面へと
    結像し得る第１の光学手段と； 前記第１の予定の倍率よりも相当に大きい第２
    の予定の倍率を有し、照射された前記表面の第２
    部分の像を第２の光軸に沿つて結像面へと結像し
    得る第２の光学手段と； 前記第１部分の像をまず選択して前記結像面へ
    結像させ、次ぎに前記第２部分の像を選択して前
    記結像面へ結像させる像選択手段と； 前記結像面に配置された光検出手段にして、前
    記第１部分の像を、先ずその各画素の像に関する
    内容を表す第１の目的物データへ変換し、次ぎに
    前記第２部分の像を、その各画素の像に関する内
    容を表す第２の目的物データへ変換する光検出手
    段と； 第１の基準像の各画素の内容に対応する第１の
    基準像データのセツトを発生し、第２の基準像の
    各画素の内容に対応する第２の基準像データのセ
    ツトを発生する手段と、 前記第１の目的物データを前記第１の基準像デ
    ータと比較してそれら相互間の差に比例した第１
    の整列修正信号を先ず発生し、次ぎに前記第２の
    目的物データを前記第２の基準像データと比較し
    てそれら相互間の差に比例した第２の整列修正信
    号を発生する比較手段と； 整列修正手段にして、前記第１の整列修正信号
    に応じて、Ｘ，Ｙ，およびＺの方向ならびにθ軸
    の回りで要求される前記ステージ手段の位置調節
    を先ず行つて、前記第１の目的物データと前記第
    １の基準像データとの一致が前記比較手段により
    示されるようにし、次ぎに前記第２の整列修正信
    号に応じて、Ｘ，ＹおよびＺの方向ならびにθ軸
    の回りで要求される前記ステージ手段の位置調節
    を行つて、前記第２の目的物データと前記第２の
    基準像データとの一致が前記比較手段により示さ
    れるようにするための整列修正手段と を備えることを特徴とする自動整列装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項に記載の装
    置において、前記像選択手段は、前記第１および
    第２の光学手段と前記結像面との間に配置された
    可動のシヤツタを含み、そのシヤツタは、一方の
    位置にある時に前記第１の光軸に一致する第１の
    透孔と、他方の位置にある時に前記第２の光軸に
    一致する第２の透孔とを有していることを特徴と
    する自動整列装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲第１項に記載の装
    置において、前記照射手段は、前記目的物の第１
    部分を照射する第１の照射源と、前記目的物の第
    ２部分を照射する第２の照射源とを含むことを特
    徴とする自動整列装置。 (4) 実用新案登録請求の範囲第３項に記載の装
    置において、前記第１の光軸が前記目的物の表面
    に交差する点は、前記第２の光軸が前記目的物の
    表面に交差する点から離間していることを特徴と
    する自動整列装置。 (5) 実用新案登録請求の範囲第１項に記載の装
    置において、第１の予定の倍率を有し、照射され
    た前記表面の第１部分から離間した第３の部分の
    像を第３の光軸に沿つて前記結像面へと結像し得
    る第３の光学手段と、前記第２の予定の倍率を有
    し、照射された前記表面の第４の部分の像を第４
    の光軸に沿つて結像面へと結像し得る第４の光学
    手段とを含んでいることを特徴とする自動整列装
    置。 (6) 実用新案登録請求の範囲第１項に記載の装
    置において、前記光検出手段は、前記結像面へ結
    像される像の各画素の内容に対応するアナログ信
    号を発生するビデオカメラ手段と、各画素の内容
    を示すそのアナログ信号を、各画素の内容を示す
    デイジタル信号へ変換するアナログ・デイジタル
    変換手段とを含むことを特徴とする自動整列装置
    。
JP1990124134U 1984-02-22 1990-11-26 Expired - Lifetime JPH0537476Y2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US58259084A 1984-02-22 1984-02-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0373451U true JPH0373451U (ja) 1991-07-24
JPH0537476Y2 JPH0537476Y2 (ja) 1993-09-22

Family

ID=24329741

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60032947A Pending JPS60194537A (ja) 1984-02-22 1985-02-22 整列装置
JP1990124134U Expired - Lifetime JPH0537476Y2 (ja) 1984-02-22 1990-11-26

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60032947A Pending JPS60194537A (ja) 1984-02-22 1985-02-22 整列装置

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JP (2) JPS60194537A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012064608A (ja) * 2010-09-14 2012-03-29 Hitachi High-Technologies Corp 検査装置

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Also Published As

Publication number Publication date
JPH0537476Y2 (ja) 1993-09-22
JPS60194537A (ja) 1985-10-03

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