JPH0372428B2 - - Google Patents

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JPH0372428B2
JPH0372428B2 JP59270429A JP27042984A JPH0372428B2 JP H0372428 B2 JPH0372428 B2 JP H0372428B2 JP 59270429 A JP59270429 A JP 59270429A JP 27042984 A JP27042984 A JP 27042984A JP H0372428 B2 JPH0372428 B2 JP H0372428B2
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Mitsuo Akitani
Hideki Sasaki
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、数値制御工作機械等の工作機械にお
いて、工具の欠損(以下、チツピングという)や
摩耗等により工具チツプを交換した場合、工具の
加工位置ずれを自動的に計測し補正する工作機械
の自動工具補正装置に関する。
〔従来の技術〕
数値制御工作機械等においては、予めテープ等
で入力した数値制御データに基き、工具などの位
置決めが為され、テーブルや旋削チヤツクなどに
取付けられたワークの加工が行なわれる。工具の
刃先のチツピングや摩耗が生じた場合、加工寸法
精度が許容限度を越える恐れがある為、工具チツ
プを交換する必要がある。この工具チツプ交換の
際、一般に交換前の工具の刃先位置と交換後の工
具の刃先位置は加工位置ずれを起して加工寸法精
度を悪化させる。
従来は、手動により試し削り後、手計算を行な
つて工具補正値を求めたり、ツールプリセツタと
呼ばれる工具補正装置によつて手動でワークの計
測面にタツチセンサーなどのワーク位置検出手段
を接触させて工具補正値を求めたりしていた。
〔発明が解決しようとする問題〕
工作機械の工具チツプを交換した場合、従来の
工具補正値を求める手段においては、試し削り時
の誤操作が計算ミスが出る問題と、作業が煩雑で
計算に時間がかかるという問題などがあつた。ま
た、ツールプリセツタにおいては手動の操作に手
間がかかり迅速に作業ができないという問題点が
あつた。特に加工箇所が多いと工具の種類も多く
なつて、それぞれ補正が必要なため、上記手計算
や手動操作は極めて非能率的なものとなつてく
る。
本発明は前記従来装置の問題点を解決するため
になされたもので、その目的とするところは、ワ
ークの荒加工時、加工プログラムと交換後の工具
の加工位置ずれを見越した設定値にもとずき、仕
上げ加工前に第2の加工位置を求め、該第2の加
工位置を計測動作プログラムによつて実測値を計
測し、工具補正値を算出して最終的に正確なワー
クの仕上げ加工を行なうことで、荒加工用のプロ
グラムと仕上げ加工用プログラムを同一プログラ
ムで成し得るところにある。すなわち、自動で計
測動作を行ない、この実測値により工具補正値を
演算し、工具チツプ交換時の工具加工位置ずれの
補正操作を極めて迅速かつ簡単にできる工作機械
の自動工具補正装置を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は前記目的を達成するために、ワーク加
工を行つた後工具交換を行い、自動工具補正をし
て再加工を行う工作機械において、工具交換前の
状態で、加工プログラム上の最終加工位置を示す
プログラム座標値X0と、工具取付けにおける誤
差を補正するための工具補正値X0F0と、前記プロ
グラム座標値X0にこの工具補正値X0F0を加算し
た工具交換前の最終加工の指令値を示すNC指令
値X0−X0F0と、工具交換後の状態で、予め求め
られている工具取付誤差値の最大値より大きい値
として設定された設定値aと、前記NC指令値X0
−X0F0にこの設定値aを加算する加工位置演算手
段と、この加工位置演算手段によるプログラム上
の第2加工位置として演算された第2加工位置設
定値X2と、ワーク加工後の前記第2加工位置に
おいて実測された実測値XPと、この実測値XP
計測して求めるためのワーク位置検出手段と、前
記第2加工位置設定値X2と前記実測値XPとの加
減算で求められる工具取付誤差値X2−XPに前記
NC指令値X0−X0F0を加算して工具交換後の最終
加工位置を演算する最終加工位置演算手段と、こ
の最終加工位置演算手段により求められた最終加
工値X1と、工具交換時の工具補正値を読出し、
書き込みを行う工具補正設定手段と、この工具補
正値を記憶する工具補正データメモリと、前記加
工位置の計測時の計測動作の手順を与える計測動
作プログラムメモリと、前記各手段を統括的に連
動させる中央処理装置とを備え、工具交換時の工
具取付誤差を自動的に計測し補正することを特徴
としている。
〔作用〕
本発明は工具補正値を求めるために最終加工寸
法には至らない工具の取付誤差以上の安全幅を持
たせた寸法で加工を行わせる。この安全幅を持た
せた加工寸法位置が第2加工位置であり、安全幅
が設定値である。加工された該第2加工位置を計
測動作プログラムの手順によつてワーク位置検出
手段と位置データ送出手段で自動計測し、実測値
を求める。この実測値により最終加工位置を演算
して工具補正値を決定する。求められた工具補正
値で加工プログラムの座標値を補正することで該
ワークを正確に仕上げようとするものである。本
発明は、以上の補正値を決定するまでの各設定を
あらかじめキーボードなどの入力手段から入力し
ておき、以後自動的に迅速に行なうものである。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面に基いて詳細に説
明する。
第1図は本発明の工作機械の自動工具補正装置
の実施例を示す構成図で、第2図は本発明の実施
対象例として、NC旋盤の工具とワークとの関係
を示す図である。本実施例のNC旋盤において
は、X軸とZ軸の2軸を有しているが構成、動作
とも同様なので、本文においてはX軸を例に説明
する。
NC旋盤の要部は第2図に示す如く、加工時に
回転する主軸Mと、主軸Mに取付けられ主軸Mと
共に回転し、ワークWを把持するための爪を備え
たチヤツクCと、工具Tと、タツチセンサー6な
どから構成されている。該工具Tのチツプ刃先が
前記主軸Mの中心線方向即ちZ軸方向と該Z軸方
向と直交するX軸方向に位置決めされ、ワークW
に所要の切削加工が為される。ワーク加工位置を
計測する場合のワーク位置検出手段として、タツ
チセンサー6が用いられる。タツチセンサー6
は、ワークWに導体接触した瞬間に閉回路Lを形
成することで閉回路Lに流れる電流を電磁誘導等
で検出し、検出された信号はタツチ信号として第
1図示のインターフエース回路7から発せられ
る。なお、タツチセンサー6はこれ以外の方法を
用いたものであつても一向にさしつかえない。
第2図には本発明における各加工寸法の座標値
の関係が示されている。第2図イとハは外形加工
の場合を、第2図ロとニは内径加工の場合を示し
ている。ここでこれらの各座標値と各座標値間の
関係を明らかにする。
X0は加工プログラム上の最終加工座標値であ
り、X0F0は工具チツプ交換前の工具取付誤差によ
る前回の工具補正値(以下各値は直径表示とす
る)、X2は加工プログラム上の第2加工位置の寸
法値である。X0F1(第2図ハおよびニ)は第2加
工位置X2における工具チツプ交換後の工具チツ
プ交換前に対する工具取付誤差値である。XP
加工プログラム上の第2加工位置X2における実
測値である。X1は求めるべき最終加工位置、
X0Fonが工具ナンバーnの加工箇所ナンバーmに
おける今回の工具補正値を示す。aは第2加工位
置X2を求める際の設定値で最大工具取付誤差値
以上に設定される。
次に以上の各座標値間の関係を述べる。工具チ
ツプ交換前は前回の工具補正値X0F0が投入されて
いる。従つて、加工プログラム上の最終加工座標
値X0に対し、X0−X0F0でNC指令を行つてワーク
を加工すれば正規の最終加工位置に仕上げること
ができる。工具チツプ交換後は更に工具取付誤差
値X0F1が加わるので、最終加工位置X1に至らな
い安全幅を持たせた第2加工位置X2を求める。
すなわち、設定値aを工具取付誤差値X0F1の最大
値より大きい値として加える。外径加工の場合、
第2図イで X2=(X0−X0F0)+a …(A) となる。また第2加工位置X2での実測値XPは工
具チツプ交換後の新たな工具取付誤差値X0F1が加
わつたものであるから第2図ハで、新たな工具取
付誤差値X0F1は、 X0F1=XP−X2 …(B) から求められる。最終加工位置X1は第2加工位
置X2から設定値aと工具チツプ交換後の交換前
に対する新たな工具取付誤差値X0F1を引いたもの
であるから、 X1=X2−(a+X0F1) …(C) (A)式からaを(B)式からX0F1を代入すると、 X1=X2−〔XP−(X0−X0F1)〕 …(D) となり、求めるべき最終加工位置X1が求められ
る。工具チツプ交換後の新たな補正値(今回の工
具補正値)X0Fonは加工プログラム上の最終加工
座標値X0から求められた最終加工位置X1を引い
たものであるから、 X0Fon=X0−X1 …(E) となり、X0Fonを算出することができる。
また、前記(D)式を変形して、 X0−X1=(XP−X2)+X0F0 …(D′) 前記(B)式を代入すると X0−X1=X0F1+X0F0=X0Fon …(F) すなわち、今回の工具補正値X0Fonは、前回の
工具補正値X0F0と第2加工位置X2における工具
チツプ交換前と交換後の工具取付誤差値X0F1を加
えたものである。
以上は外径加工の場合であつたが第2図ロおよ
びニの内径加工の場合には設定値a符号が逆とな
つて−aとなる以外同様である。
以上の実施対象例における本発明の自動工具補
正装置は第1図に示す如く構成される。加工用数
値制御データを読み取るためにテープリーダ1が
あり、設定値や演算指令などの入力手段として
CRT画面つきのキーボード2がある。第2加工
位置演算手段3xは加工プログラム上の第2加工
位置X2を演算するためのものである。設定値レ
ジスタ3axに記憶された設定値aは、設定工具
信号により該当する工具の指令がきた時にアンド
ゲート3bxを通過する。前記(A)式から第2加工
位置X2を算出する内径加工時の演算回路3exお
よび外径加工時の演算回路3fxがある。内径指令
か外径指令かによつて前記設定値aは、演算指令
が選択されて演算回路へ送出されるべくアンドゲ
ート3cxおよびアンドゲート3dxを有している。
前記演算回路3exと3fxの演算後、オアゲート
3ixから前記演算結果である第2加工位置X2
第2加工位置データレジスタ3jxにとりこむ。演
算時に必要な加工プログラム上の最終加工座標値
X0および前回の工具補正値X0F0は、レジスタ3
gxおよびレジスタ3hxに記憶される。第2加工
位置X2を基に加工を行ないまた通常の加工を行
なう加工プログラムメモリ4があり、計測動作の
手順を与える計測動作プログラムメモリ5が備え
られている。該計測動作においてワーク面を検出
するためにタツチセンサー6やタツチ信号を発す
るインターフエース回路7から成るワーク検出手
段がある。該タツチ信号から前記第2加工位置の
実測値XPを計測する。サーボモータやエンコー
ダ、補間器、アンプなどから成る位置データ送出
手段8xが備えられている。前記タツチ信号を選
択送出するためにX軸処理部13用としてアンド
ゲート13aが、Z軸処理部14用としてアンド
ゲート14aが設けられ、各々X軸選択指令、Z
軸選択指令によつて選択される。アンドゲート9
axはX処理部13用として選択送出されたタツ
チ信号により位置データ送出手段8xからの現在
値Xを通過させる。送出された現在値データXは
第2加工位置X2における実測値XPとして、実測
値レジスタ9bXに格納される。前記各レジスタ
3gx,3hx,3jx,9bxの各値を取り込んで前
記(D)式により最終加工位置X1を求める。最終加
工位置X1は演算手段9xで求め、最終加工位置
X1とレジスタ3gxの加工プログラム上の最終加
工座標値X0から今回の工具補正値X0Fonを工具補
正演算手段10xで演算する。工具補正値演算手
段10xの演算後、工具補正データメモリ11へ
今回の工具補正値X0Fonを前回の工具の工具補正
値に替つて更新し記憶させる。また、その読み出
しや書き込みは、補正値設定部11aによつて行
なわれる。以上の各手段を統括し指令しデータの
転送などを行なうものとして中央処理装置(以下
CPU)12が備えられている。
以上の如く、本構成はX軸について述べてある
がX処理部13と同様に、Z処理部14と位置デ
ータ送出手段8ZがZ軸の補正のために設けられ
ており、文文の記号中のXをZと読み替えれば同
様に説明される。
以上の如く構成される本発明の工作機械の自動
工具補正装置の動作を説明する。第3図は本発明
の実施例の動作を示すフローチヤートである。第
段は工作機械において工具チツプが摩耗限界に
達したりチツピングを起したりした場合、工具チ
ツプを交換することを示している。続いて第段
以降、キーボード2などの入力手段によりあらか
じめ与えられたデータの指令で補正動作が始ま
る。第段では交換後の新しい工具Tの種類やワ
ークWに対する加工箇所を特定する。工具の種類
や加工箇所が特定されると第段で、最終加工位
置に至らない安全幅を持つた第2加工位置X2
第2加工位置演算手段3xにおいて前記(A)式によ
り算出される。以下第2加工位置演算手段3Xの
動作を述べる。前記安全幅は設定値aであり、ギ
ーボード2などの入力手段からあらかじめ設定値
レジスタ3axなどに記憶しておく。設定工具信
号がアンドゲート3bxに入力され、工具Tに対
応する設定値aが選択されて、次段のアンドゲー
ト3cxおよび3dxに入力される。加工箇所が外
径加工か内径加工かの判別信号により、アンドゲ
ート3cxには内径指令が、アンドゲート3dxに
は外径指令が入力される。該当する指令側のどち
ら一方のアンドゲートが閉じ次段の演算回路3
ex,3fxのいずれかに設定値aが入力され第2
加工位置X2の演算が指令される。3exが内径指
令の場合の演算回路であり、3fxが外径指令の場
合の演算回路である。演算を指令された演算回路
(3exまたは3fx)では前記(A)式に示すように加
工プログラム上の最終加工座標値X0と、前回の
工具補正値X0F0が取込まれる。工具の種類と加工
箇所が特定された時に、工具Tと加工箇所に対応
した前記X0が加工プログラムメモリ4などから、
また同じく対応したX0F0が補正値設定部11aを
介して工具補正データメモリ11から読み出され
各レジスタ3gx,3hxに保持されている。演算
回路の3exまたは3fxのいずれかの演算により
第2加工位置X2が演算終了信号と共にオアゲー
ト3ixを通過し、第2加工位置データレジスタ3
jxに記憶される。
第2加工位置X2が決定すると第段で加工プ
ログラムメモリ4などの与える手順でワークWは
新しい工具チツプによつて第2加工位置X2で加
工が為される。第2加工位置X2による加工が完
了すると第段で、計測動作プログラム5の与え
る手順でワークの第2加工位置X2の実測値XP
タツチセンサー6や位置データ送出手段8xなど
で求められる。即ちタツチセンサー6は位置デー
タ送出手段8xのサーボモータなどによりワーク
Wの加工面に導体接触するまで移動され、導体接
触した瞬間、インターフエイス回路7はタツチ信
号と発し、アンドゲート13aおよび14aに入
力される。アンドゲート13a,14aはタツチ
信号を選択してX軸の工具補正値を求めるのか、
Z軸の工具補正値を求めるのかを指令する。アン
ドゲート13aにはX選択指令が入力され、該X
選択指令があるときゲートが閉じタツチ信号がX
処理部のアンドゲート9axに出力される。アン
ドゲート14aはZ軸補正のためのもので、Z選
択指令によつて同様に動作する。これらX選択指
令、Z選択指令は第段で加工箇所が特定される
と自動的に決まるものである。アンドゲート9
axは位置データ送出手段8xの現在値データX
を前記タツチ信号によりゲートを閉じ実測値レジ
スタ9bxに第2加工位置X2における実測値XP
して格納する。
以上で計測動作が完了し続いて第段で、該実
測値XPや前記第2加工位置X2を用いて、前記(D)
式により最終加工位置X1が最終加工位置演算手
段9xにおいて演算される。加工プログラム上の
最終加工座標値X0や前回の工具補正値X0F0はレ
ジスタ3gxおよび3hxから取り込まれる。最終
加工位置X1が算出されると第段において前記
(E)式(X0Fon=X0−X1)により今回の工具補正値
X0Fonが工具補正値演算手段10xにおいて算出
され、工具補正データメモリ11の前回の工具補
正値に替つて更新され記憶される。該工具補正デ
ータメモリ11は工具の種類および加工箇所別に
記憶できるようにフアイル構成が為され、記憶内
容の更新は今回の工具補正値X0Fonの決定を受け
て、補正値設定部11aが該当する工具ナンバー
nと加工箇所ナンバーmのフアイルをアクセス
し、前回の工具補正値X0F0に替えて今回の工具補
正値X0Fonに書き替える。複数工具を備えATC
(自動工具交換装置)などで工具が交換されて加
工が行なわれるような工作機械においては、複数
の工具チツプを交換した場合1つのワークに対す
る必要な全ての補正操作が行なわれ、工具補正値
が決定されて工具補正データメモリ11が更新さ
れる。工具補正データメモリ11が更新されると
第段で、前記第2加工位置X2における加工が
為された後、今回の工具補正値X0Fonによつて、
加工プログラムメモリ4のプログラム上の加工座
標値X0が補正され、工具位置を矯正することな
くワークを正確な寸法座標値で切削加工を行なう
ことが出来る。
〔発明の効果〕
本発明は試行動作を行なうのでどのような種類
のワークにも柔軟に対応することができ汎用的で
あるという効果を奏する。
また簡単な操作で第2加工位置での加工、計測
動作、補正演算などが自動的に行なわれるので、
迅速な処理が可能である。さらに補正に係る時間
を大幅に短縮することができ、作業能率を向上さ
せる効果が得られた。
本発明では補正動作が自動的に行なわれるので
補正洩れや誤操作がなく、ワークを、最終的に補
正された正確な寸法で仕上げるので、従来のよう
に手動で試し削りを行なう必要がなく、補正洩れ
や誤操作が生じることもなく経済性が高まる効果
がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の工作機械の自動工具補正装置
の実施例を示す構成図、第2図は本発明の実施例
における工具とワークの関係を示す横面図、第3
図は本発明の実施例の動作を説明するフローチヤ
ートである。 3x…第2加工位置演算手段、5…計測動作プ
ログラム、6…タツチセンサー、7…インターフ
エイス回路、8x,8z…位置データ送出手段、
9x…最終加工位置演算手段、10x…工具補正
値演算手段、11…工具補正データメモリ、12
…中央処理装置(CPU)、13…X処理部、14
…Z処理部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 ワーク加工を行つた後工具交換を行い、自動
    工具補正をして再加工を行う工作機械において、 工具交換前の状態で、加工プログラム上の最終
    加工位置を示すプログラム座標値X0と、 工具取付けにおける誤差を補正するための工具
    補正値X0F0と、 前記プログラム座標値X0にこの工具補正値
    X0F0を加算した工具交換前の最終加工の指令値を
    示すNC指令値X0−X0F0と、 工具交換後の状態で、予め求められている工具
    取付誤差値の最大値より大きい値として設定され
    た設定値aと、 前記NC指令値にこの設定値を加算する加工位
    置演算手段と、 この加工位置演算手段によるプログラム上の第
    2加工位置として演算された第2加工位置設定値
    X2と、 ワーク加工後の前記第2加工位置において実測
    された実測値XPと、 この実測値を計測して求めるためのワーク位置
    検出手段と、 前記第2加工位置設定値と前記実測値との加減
    算で求められる工具取付誤差値X2−XPに前記NC
    指令値を加算して工具交換後の最終加工位置を演
    算する最終加工位置演算手段と、 この最終加工位置演算手段により求められた最
    終加工値X1と、 工具交換時の工具補正値を読出し、書き込みを
    行う工具補正設定手段と、 この工具補正値を記憶する工具補正データメモ
    リと、 前記加工位置の計測時の計測動作の手順を与え
    る計測動作プログラムメモリと、 前記各手段を統括的に連動させる中央処理装置
    とを備え、工具交換時の工具取付誤差を自動的に
    計測し補正することを特徴とする工作機械の自動
    工具補正装置。
JP27042984A 1984-12-21 1984-12-21 工作機械の自動工具補正装置 Granted JPS61146453A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP7423030B2 (ja) * 2019-03-08 2024-01-29 中村留精密工業株式会社 工具交換時自動補正機能を備えた工作機械

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4911670A (ja) * 1972-05-29 1974-02-01

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4911670A (ja) * 1972-05-29 1974-02-01

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