JP2000190168A - Nc加工方法及びその装置 - Google Patents

Nc加工方法及びその装置

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JP2000190168A
JP2000190168A JP36947398A JP36947398A JP2000190168A JP 2000190168 A JP2000190168 A JP 2000190168A JP 36947398 A JP36947398 A JP 36947398A JP 36947398 A JP36947398 A JP 36947398A JP 2000190168 A JP2000190168 A JP 2000190168A
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processing
workpiece
dimension
correction value
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JP36947398A
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Mikio Adachi
幹雄 足立
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、被加工物の熱膨張係数の変化に対応
した補正を行って加工誤差の少ない加工を自動的に行
う。 【解決手段】工具6に代えて温度計20やタッチセンサ
21を機構部15の主軸に取り付けて被加工物7の温度
T1及び寸法Pmes を測定し、これら被加工物7の温度
T1及び寸法Pmes に基づいて加工誤差算出部24によ
りNC加工機10の温度に応じたピッチ誤差の補正値
P’mes を求め、次に目標寸法補正部25により被加工
物7の温度T1及び熱膨脹係数βに基づいて目標寸法P
refの温度補正を行い、次に補正値算出部26によりピ
ッチ誤差の補正値P’mes及び目標寸法Pref に基づい
てNC加工機10の加工補正値γを求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばNC加工機
によりアルミニウムなどの熱膨張係数の大きい被加工物
や超硬合金などの熱膨張係数の小さな被加工物の加工を
行う場合に、基準温度との差やNC加工機の機械的誤差
を補正して加工を行うNC加工方法及びその装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図8はNC加工機の概略構成図である。
【0003】このNC加工機は、コントローラ部1に加
工制御部2及び補正データテーブル3を備えている。こ
のうち加工制御部2は、NCデータに従って駆動部4を
駆動制御するもので、この駆動部5にはその主軸に加工
用の工具6が取り付けられている。このような構成であ
れば、加工制御部2によりNCデータに従って駆動部4
が駆動制御されることにより、工具6によって被加工物
7が加工される。
【0004】このようにNC加工機によって被加工物7
を加工する場合、加工の基準温度と被加工物7の実際の
温度との間に温度差があると、この温度差による熱膨張
又は収縮の影響を受けて加工誤差が発生する。
【0005】そこで、このような加工誤差の発生をなく
すため最終仕上げ加工前にNC加工機を停止し、作業者
によって被加工物7の温度を表面温度計を用いて測定す
るとともに、被加工物7の寸法をマイクロメータを用い
て測定し、温度補正表などを用いて被加工物7熱膨張係
数から熱膨張又は収縮の影響を求めてNC加工機の補正
データテーブル3を手動で修正し、この修正に従ったN
Cデータに基づいて再び駆動部4を駆動制御して被加工
物7を最終仕上げ加工している。
【0006】又、加工誤差の発生をなくすための他の方
法としては、NC加工機の温度と被加工物7の寸法の関
係を予め測定しておき、温度変化と加工寸法の変化との
関係式を求めておいて、加工時の工具の送り量を補正す
るものがある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、NC加
工機により被加工物7を誤差なく加工するためには、被
加工物7の温度と基準温度との温度差による熱膨張や収
縮の補正を正確に行う必要があるが、上記の如く作業者
によって被加工物7の温度や寸法を測定して補正データ
テーブル3を手動で修正する方法では、最終仕上げ加工
前に必ず加工を中断して、被加工物7の温度及び寸法を
測定する必要があり、この作業のために加工を無人化で
きない。
【0008】又、予め温度変化と加工寸法の変化との関
係式を求めておいて、加工時に工具の送り量を補正する
方法では、関係式を算出するための測定に大きな負担が
掛かるとともに、被加工物7の材質が変化すると関係式
が異なってしまうために求めた関係式が使用できなくな
る。
【0009】そこで本発明は、被加工物の熱膨張係数の
変化に対応した補正を行って加工誤差の少ない加工が自
動的にできるNC加工方法及びその装置を提供すること
を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1によれば、NC
データに従って加工機を駆動制御して被加工物を目標寸
法に加工するNC加工方法において、被加工物の温度及
び寸法を測定する工程と、これら測定された被加工物の
温度及び寸法に基づいて加工機の温度に応じた加工誤差
の補正値を求める工程と、被加工物の温度及び熱膨脹係
数に基づいて目標寸法の温度補正を行う工程と、加工誤
差の補正値及び温度補正された目標寸法に基づいて加工
機の加工補正値を求める工程と、を有するNC加工方法
である。
【0011】請求項2によれば、請求項1記載のNC加
工方法において、最終仕上げ加工の前に被加工物の温度
及び寸法を測定して加工機の加工補正値を求め、この加
工補正値に従って加工機を制御駆動して最終仕上げ加工
を行う。
【0012】請求項3によれば、請求項1記載のNC加
工方法において、加工機の主軸に取り付けられている工
具を温度計と交換し、この温度計のセンサ部分を被加工
物に接触させて被加工物の温度を直接測定する。
【0013】請求項4によれば、請求項1記載のNC加
工方法において、加工機における被加工物を載置するテ
ーブルの温度を測定し、このテーブルの温度から被加工
物の温度を推定する。
【0014】請求項5によれば、請求項1記載のNC加
工方法において、加工機の主軸に取り付けられている工
具をタッチセンサと交換し、加工機を動作させてタッチ
センサを被加工物に接触させ、この接触位置に基づいて
被加工物の寸法を測定する。
【0015】請求項6によれば、NCデータに従って加
工機を駆動制御して被加工物を目標寸法に加工するNC
加工装置において、被加工物の温度を測定する温度測定
手段と、被加工物の寸法を測定する寸法測定手段と、こ
れら測定手段によりそれぞれ測定された被加工物の温度
及び寸法に基づいて加工機の温度に応じた加工誤差の補
正値を求める加工誤差算出手段と、温度測定手段により
測定された被加工物の温度及び熱膨脹係数に基づいて目
標寸法の温度補正を行う目標寸法補正手段と、加工誤差
算出手段により求められた加工誤差の補正値及び目標寸
法補正手段により温度補正された目標寸法に基づいて加
工機の加工補正値を求める補正値算出手段と、を備えた
NC加工装置である。
【0016】請求項7によれば、請求項6記載のNC加
工装置において、温度測定手段及び寸法測定手段は、加
工機の主軸に対して着脱自在な構造である。
【0017】請求項8によれば、請求項6記載のNC加
工装置において、加工誤差算出手段は、被加工物の温度
測定位置に対する加工機の各温度に応じた加工誤差を記
憶する加工誤差テーブルを有し、寸法測定手段により測
定された被加工物の寸法を、加工誤差テーブルから読み
出された被加工物の温度に応じた加工誤差により補正す
る機能を有する。
【0018】請求項9によれば、請求項6記載のNC加
工装置において、目標寸法補正手段は、被加工物の材質
に応じた熱膨脹係数を記憶する熱膨脹係数テーブルを有
し、この熱膨脹係数テーブルに記憶された被加工物の材
質に応じた熱膨脹係数、温度測定手段により測定された
被加工物の温度と基準温度との差に基づいて目標寸法の
温度補正値を求める機能を有する。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
【0020】図1はNC加工装置の構成図である。
【0021】このNC加工機10は、CPUから構成さ
れるコントローラ部11を備え、このコントローラ部1
1に記憶されているNCデータ12に従って加工・測定
制御部13が駆動部14を駆動制御するものとなってい
る。この駆動部14には、機構部15が連結され、この
機構部15の主軸に加工用の工具6が取り付けられてい
る。
【0022】又、NC加工機10には、工具ホルダ16
が備えられ、この工具ホルダ16内に各種の工具6が収
納されている。自動工具交換機17は、NC加工される
被加工物7に応じて工具ホルダ16に収納されている工
具6と機構部15の主軸に取り付けられている工具6と
を自動的に交換する機能を有している。
【0023】なお、被加工物7は、NC加工機10のテ
ーブル18上に載置されている。
【0024】上記工具ホルダ16には、被加工物7の寸
法を測定するための例えば無線式の温度計20、被加工
物7の寸法を測定するための例えばタッチセンサ21が
収納されている。
【0025】従って、自動工具交換機17は、コントロ
ーラ部11からの指令により被加工物7の最終仕上げ加
工の前に、機構部15の主軸に取り付けられている工具
6と工具ホルダ16に収納されている温度計20又はタ
ッチセンサ21とを自動的に交換するものとなってい
る。
【0026】又、NC加工機10のテーブル18には、
温度センサ22が設けられている。この温度センサ22
は、テーブル18の温度を測定してその温度信号を間接
温度測定部23に送出する機能を有している。この間接
温度測定部23は、温度センサ22から送出されたテー
ブル18の温度信号を入力し、このテーブル18の温度
から被加工物7の温度を推定する機能を有している。
【0027】上記コントローラ部11は、NCデータ1
2を実行し、最終仕上げ加工の前になると、被加工物7
の温度及び寸法を測定してNC加工機10の加工補正値
を求め、この加工補正値に従って再びNC加工機10を
制御駆動して最終仕上げ加工の制御を行う機能を有する
もので、加工・測定制御部13、加工誤差(以下、ピッ
チ誤差と称する)算出部24、目標寸法補正部25、補
正値算出部26、温度データ入力部27及び寸法データ
入力部28の各機能を有するとともに、補正データテー
ブル29、ピッチ誤差テーブル30、熱膨張係数テーブ
ル31及び加工条件テーブル32を持っている。
【0028】このうち加工・測定制御部13は、NCデ
ータ12に従って駆動部14を駆動制御し、最終仕上げ
加工の前になると、自動工具交換機17、ピッチ誤差算
出部24、目標寸法補正部25及び補正値算出部26に
対して補正実行の指令を発し、NC加工機10の加工補
正値が求められると、この加工補正値で補正されたNC
データに従って駆動部14を駆動制御する機能を有して
いる。
【0029】ピッチ誤差算出部24は、温度データ入力
部27を通して温度計20からの温度信号を入力すると
ともに、寸法データ入力部28を通してタッチセンサ2
1からの寸法信号を入力し、これら被加工物7の温度及
び寸法に基づいてNC加工機10の温度に応じた加工誤
差の補正値を求める機能を有している。具体的に加工誤
差算出部24は、図2に示すように被加工物7の温度測
定位置P(Pn 、…、P1 、P0 、…、P-n)に対する
NC加工機10の各温度T(T1、T2、T3、…)に
応じたピッチ誤差α(αn-1 、…、α1-1 、0、…、α
-n-5)を記憶するピッチ誤差テーブル30を有してい
る。なお、ピッチ誤差αは、NC加工機10の機構部1
5を移動させるX軸、Y軸及びZ軸に対応してこれら軸
用の各ピッチ誤差が記憶されている。そして、ピッチ誤
差算出部24は、ピッチ誤差テーブル30から被加工物
7の測定温度Tに応じたピッチ誤差αを読み出し、この
ピッチ誤差αを用いて被加工物7の寸法を補正する機能
を有している。
【0030】目標寸法補正部25は、温度計20により
測定された被加工物7の温度及び熱膨脹係数に基づいて
目標寸法の温度補正を行うもので、具体的に、図3に示
すような被加工物7の材質、例えばアルミニウム、銅、
鋼、超硬合金などに応じた熱膨脹係数βを記憶する熱膨
脹係数テーブル31を有している。この目標寸法補正部
25は、熱膨脹係数テーブル31に記憶された被加工物
7の材質に応じた熱膨脹係数を読み出し、かつ温度計2
0により測定された被加工物7の温度と基準温度との温
度差に基づいて目標寸法の温度補正値を求める機能を有
している。
【0031】補正値算出部26は、ピッチ誤差算出部2
4により求められたピッチ誤差の補正値及び目標寸法補
正部25により温度補正された目標寸法に基づいてNC
加工機10の加工補正値を求める機能を有している。
【0032】なお、加工条件テーブル32は、図4に示
すようにNC加工機10の加工補正値を求めるのに必要
な目標寸法や被加工物7の材質などが記憶されている。
【0033】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて図5に示す加工の流れ図を参照して説明する。
【0034】機構部15に工具6が取り付けられている
状態に、加工・測定制御部13は、NCデータ12に従
って駆動部14を駆動制御し、例えば図6に示すように
被加工物7に対して円筒の外径加工を行う。
【0035】この加工作業により任意の削り代を残して
最終仕上げ加工の前になると、加工・測定制御部13
は、ステップ#1において、自動工具交換機17、加工
誤差算出部24、目標寸法補正部25及び補正値算出部
26に対して補正実行の指令を発する。
【0036】先ず、自動工具交換機17は、機構部15
の主軸に取り付けられている工具6を取り外して工具ホ
ルダ16の所定位置に収納し、この工具ホルダ16から
温度計20を取り出して機構部15の主軸に取り付け
る。
【0037】次に、加工・測定制御部13は、ステップ
#2において、駆動部14を駆動して温度計20を被加
工物7に接触させる。この温度計20は、図6に示すよ
うに被加工物7の温度(例えばT1)を測定してその温
度信号を出力する。この温度信号は、温度データ入力部
27に送られる。
【0038】なお、被加工物7の温度測定は、温度セン
サ22により被加工物7を載置するテーブル18の温度
を測定し、間接温度測定部23により温度センサ22か
ら送出されたテーブル18の温度信号から被加工物7の
温度を推定し、この推定温度を温度データ入力部27に
送ってもよい。
【0039】次に、自動工具交換機17は、機構部15
の主軸に取り付けられている温度計20を取り外して工
具ホルダ16の所定位置に収納し、この工具ホルダ16
からタッチセンサ21を取り出して機構部15の主軸に
取り付ける。
【0040】次に、加工・測定制御部13は、ステップ
#3において、駆動部14を駆動し、図6に示すように
タッチセンサ21を円筒状に加工された被加工物7の直
径方向の各測定位置P2 、P-2にそれぞれ接触させる。
このタッチセンサ21は、被加工物7の各測定位置P2
、P-2を示す各位置信号を出力する。
【0041】なお、被加工物7の温度測定と寸法測定と
の順序は、先に寸法測定を行ってから温度測定を行って
もよい。
【0042】次に、コントローラ部11は、ステップ#
4においてNC加工機10の加工補正値を求め、次のス
テップ#5においてこの加工補正値を補正データテーブ
ル29により補正する。これらNC加工機10の加工補
正値の算出及び設定を具体的に図7に示す温度及び寸法
の測定流れ図を参照して説明すると、コントローラ部1
1は、ステップ#10において温度データ入力部27を
通して温度計20から出力される温度信号(被加工物7
の温度T1)を読み込み、続いてステップ#11におい
て寸法データ入力部28を通してタッチセンサ21から
出力される上記被加工物7の各測定位置P2 、P-2を示
す各位置信号を入力する。そして、コントローラ部11
は、これら測定位置P2 、P-2を示す各位置信号に基づ
いて図6に示すように被加工物7の直径方向の寸法測定
値Pmes を求める。
【0043】次に、コントローラ部11は、ステップ#
12において熱膨張係数テーブル31から被加工物7の
材質の熱膨張係数βを読み込み、続くステップ#13に
おいて加工条件テーブル32から被加工物7を円筒加工
する目標寸法Pref を読み込む。
【0044】次に、コントローラ部11のピッチ誤差算
出部24は、ステップ#14において、温度データ入力
部27を通して入力された被加工物7の温度T1を示す
温度信号及びタッチセンサ21で寸法測定を行った被加
工物7上の各測定位置P2 、P-2を取り込み、これら被
加工物7の温度T1及び各測定位置P2 、P-2に対応す
るピッチ誤差α2-1 、α-2-1を図2に示す熱膨張係数テ
ーブル31から読取り、次式(1) を演算してNC加工機
10の温度に応じた寸法測定値のピッチ補正値P’mes
を求める。
【0045】 P’mes =Pmes −α2-1 −α-2-1 …(1) 次に、目標寸法補正部25は、ステップ#15におい
て、温度計20により測定された被加工物7の温度T
1、先に熱膨張係数テーブル31から読み取った熱膨脹
係数β及び加工条件テーブル32から読み取った目標寸
法Pref を取り込み、これら被加工物7の温度T1、熱
膨脹係数β及び目標寸法Pref を用いて次式(2) を演算
して目標寸法Pref の温度補正を行う。
【0046】 P’ref =Pref ×(1+β×10-6×(T1−基準温度)) …(2 ) 次に、補正値算出部26は、ステップ#16において、
ピッチ誤差算出部24により求められたピッチ誤差P’
mes 及び目標寸法補正部25により温度補正された目標
寸法P’ref に基づいてNC加工機10の加工補正値γ
を求める。
【0047】 γ=P’mes −P’ref …(3) 次に、コントローラ部11は、ステップ#17におい
て、被加工物7が円筒であることからNC加工機の補正
データテーブル3を加工補正値γの2分の1だけ補正す
る。
【0048】そして、自動工具交換機17は、機構部1
5の主軸に取り付けられている温度計20又はタッチセ
ンサ21を取り外して工具ホルダ16の所定位置に戻
し、この工具ホルダ16から工具6を取り出して機構部
15の主軸に取り付け、この後に、補正されたNCデー
タ12に基づいて再び駆動部4を駆動制御して被加工物
7を最終仕上げ加工する。
【0049】このように上記一実施の形態においては、
被加工物7の温度T1及び寸法Pmes を測定し、これら
被加工物7の温度T1及び寸法Pmes に基づいてNC加
工機10の温度に応じたピッチ誤差の補正値P’mes を
求め、被加工物7の温度T1及び熱膨脹係数βに基づい
て目標寸法Pref の温度補正を行い、これらピッチ誤差
の補正値P’mes 及び目標寸法Pref に基づいてNC加
工機10の加工補正値γを求めるので、作業者によって
被加工物7の温度や寸法を測定して補正データテーブル
3を手動で修正する必要がなくなり、最終仕上げ加工前
に加工を中断することもなく、自動的に被加工物7の温
度や寸法を測定し、被加工物7の温度と基準温度との温
度差から生じる熱膨張による誤差やNC加工機10の機
械的誤差を正確に補正できて、加工誤差の小さい加工が
無人でできる。
【0050】又、被加工物7の材質が変化してもその材
質に応じた熱膨張係数βを持っているので、被加工物7
の材質変化による熱膨張の誤差を正確に補正できる。
【0051】従って、NC加工機10によりアルミニウ
ムなどの熱膨張係数の大きい被加工物7や超硬合金など
の熱膨張係数の小さな被加工物7の加工を行う場合で
も、基準温度との差やNC加工機の機械的誤差を補正し
て正確なNC加工ができる。
【0052】又、被加工物7の温度を測定する場合、間
接温度測定部23により温度センサ22から送出された
テーブル18の温度信号から被加工物7の温度を推定す
る構成にすれば、システム構成が簡単となって安価にで
きる。
【0053】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく次の通り変形してもよい。
【0054】例えば、上記一実施の形態では、被加工物
7を円筒加工する場合について説明したが、加工の形状
に関係なくピッチ誤差テーブル30の誤差値を加工形状
に応じた値に変更するだけで如何なる加工形状にも適用
できる。
【0055】又、加工は、切削、研削などに限らず適用
できる。
【0056】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、被
加工物の熱膨張係数の変化に対応した補正を行って加工
誤差の少ない加工が自動的にできるNC加工方法及びそ
の装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わるNC加工装置の一実施の形態を
示す構成図。
【図2】同装置におけるピッチ誤差テーブルの模式図。
【図3】同装置における熱膨脹係数テーブルの模式図。
【図4】同装置における加工条件テーブルの模式図。
【図5】同装置における加工の流れ図。
【図6】同装置による被加工物の温度及び寸法の測定を
示す図。
【図7】同装置における温度及び寸法の測定流れ図。
【図8】従来のNC加工機の概略構成図。
【符号の説明】
6:工具、 7:被加工物、 10:NC加工機、 11:コントローラ部、 12:NCデータ、 13:加工・測定制御部、 14:駆動部、 15:機構部、 16:工具ホルダ、 17:自動工具交換機、 20:温度計、 21:タッチセンサ、 22:温度センサ、 23:間接温度測定部、 24:加工誤差算出部、 25:目標寸法補正部、 26:補正値算出部、 27:温度データ入力部、 28:寸法データ入力部、 29:補正データテーブル、 30:ピッチ誤差テーブル、 31:熱膨張係数テーブル、 32:加工条件テーブル。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 NCデータに従って加工機を駆動制御し
    て被加工物を目標寸法に加工するNC加工方法におい
    て、 前記被加工物の温度及び寸法を測定する工程と、 これら測定された前記被加工物の温度及び寸法に基づい
    て前記加工機の温度に応じた加工誤差の補正値を求める
    工程と、 前記被加工物の温度及び熱膨脹係数に基づいて前記目標
    寸法の温度補正を行う工程と、 前記加工誤差の補正値及び温度補正された前記目標寸法
    に基づいて前記加工機の加工補正値を求める工程と、を
    有することを特徴とするNC加工方法。
  2. 【請求項2】 最終仕上げ加工の前に前記被加工物の温
    度及び寸法を測定して前記加工機の加工補正値を求め、
    この加工補正値に従って前記加工機を制御駆動して前記
    最終仕上げ加工を行うことを特徴とする請求項1記載の
    NC加工方法。
  3. 【請求項3】 前記加工機の主軸に取り付けられている
    工具を温度計と交換し、この温度計のセンサ部分を前記
    被加工物に接触させて前記被加工物の温度を直接測定す
    ることを特徴とする請求項1記載のNC加工方法。
  4. 【請求項4】 前記加工機における前記被加工物を載置
    するテーブルの温度を測定し、このテーブルの温度から
    前記被加工物の温度を推定することを特徴とする請求項
    1記載のNC加工方法。
  5. 【請求項5】 前記加工機の主軸に取り付けられている
    工具をタッチセンサと交換し、前記加工機を動作させて
    前記タッチセンサを前記被加工物に接触させ、この接触
    位置に基づいて前記被加工物の寸法を測定することを特
    徴とする請求項1記載のNC加工方法。
  6. 【請求項6】 NCデータに従って加工機を駆動制御し
    て被加工物を目標寸法に加工するNC加工装置におい
    て、 前記被加工物の温度を測定する温度測定手段と、 前記被加工物の寸法を測定する寸法測定手段と、 これら測定手段によりそれぞれ測定された前記被加工物
    の温度及び寸法に基づいて前記加工機の温度に応じた加
    工誤差の補正値を求める加工誤差算出手段と、 前記温度測定手段により測定された前記被加工物の温度
    及び熱膨脹係数に基づいて前記目標寸法の温度補正を行
    う目標寸法補正手段と、 前記加工誤差算出手段により求められた前記加工誤差の
    補正値及び前記目標寸法補正手段により温度補正された
    前記目標寸法に基づいて前記加工機の加工補正値を求め
    る補正値算出手段と、を具備したことを特徴とするNC
    加工装置。
  7. 【請求項7】 前記温度測定手段及び前記寸法測定手段
    は、前記加工機の主軸に対して着脱自在な構造であるこ
    とを特徴とする請求項6記載のNC加工装置。
  8. 【請求項8】 前記加工誤差算出手段は、前記被加工物
    の温度測定位置に対する前記加工機の各温度に応じた前
    記加工誤差を記憶する加工誤差テーブルを有し、前記寸
    法測定手段により測定された前記被加工物の寸法を、前
    記加工誤差テーブルから読み出された前記被加工物の温
    度に応じた前記加工誤差により補正する機能を有するこ
    とを特徴とする請求項6記載のNC加工装置。
  9. 【請求項9】 前記目標寸法補正手段は、前記被加工物
    の材質に応じた熱膨脹係数を記憶する熱膨脹係数テーブ
    ルを有し、この熱膨脹係数テーブルに記憶された前記被
    加工物の材質に応じた熱膨脹係数、前記温度測定手段に
    より測定された前記被加工物の温度と基準温度との差に
    基づいて前記目標寸法の温度補正値を求める機能を有す
    ることを特徴とする請求項6記載のNC加工装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011143484A (ja) * 2010-01-13 2011-07-28 Nihon Id System Kk 位置検出センサ
CN102218735A (zh) * 2010-04-19 2011-10-19 株式会社神户制钢所 作业机械手的传感动作生成方法及传感动作生成装置
CN108262667A (zh) * 2018-01-19 2018-07-10 瓦房店轴承集团国家轴承工程技术研究中心有限公司 轴承加工确定尺寸补偿量的方法

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