JPH0372037A - 金属蒸気発生装置 - Google Patents
金属蒸気発生装置Info
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- JPH0372037A JPH0372037A JP1207975A JP20797589A JPH0372037A JP H0372037 A JPH0372037 A JP H0372037A JP 1207975 A JP1207975 A JP 1207975A JP 20797589 A JP20797589 A JP 20797589A JP H0372037 A JPH0372037 A JP H0372037A
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Classifications
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
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- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、原料補給のために真空を遮断したり、運転を
停止する必要のない金属蒸気発生装置に関する。
停止する必要のない金属蒸気発生装置に関する。
（従来の技術）
金属の真空蒸着や同位体分離のように、金属を高温に加
熱して金属原子の蒸気を発生させる場合は、例えば第３
図に示すような金属蒸気発生装置１を用いていた。すな
わちバルブ２の付いた真空容器３内に金属原料４を収め
た蒸発用るつぼ５を設置する。そして電子銃６から射出
される電子ビーム７を偏向磁場をかけて偏向させ、蒸発
用るつぼ５内の金属原料４に照射させる。蒸発用るつぼ
５内の金属原料４は、電子ビーム７によって加熱され、
溶融・蒸発して金属原子の蒸気流８を発生する。
熱して金属原子の蒸気を発生させる場合は、例えば第３
図に示すような金属蒸気発生装置１を用いていた。すな
わちバルブ２の付いた真空容器３内に金属原料４を収め
た蒸発用るつぼ５を設置する。そして電子銃６から射出
される電子ビーム７を偏向磁場をかけて偏向させ、蒸発
用るつぼ５内の金属原料４に照射させる。蒸発用るつぼ
５内の金属原料４は、電子ビーム７によって加熱され、
溶融・蒸発して金属原子の蒸気流８を発生する。
ところで、電子ビーム７の照射を続けていると、やがて
蒸発用るつぼ５内の金属原料４は蒸発によって枯渇する
。そのときはまず電子銃６による電子ビームの照射を停
止した後真空容器３のバルブ２を開弁する。そして真空
容器３内の真空を破って大気を注入した後、真空容器３
を大気に開放して、蒸発用るつぼ５の中に金属原料４を
補給する。
蒸発用るつぼ５内の金属原料４は蒸発によって枯渇する
。そのときはまず電子銃６による電子ビームの照射を停
止した後真空容器３のバルブ２を開弁する。そして真空
容器３内の真空を破って大気を注入した後、真空容器３
を大気に開放して、蒸発用るつぼ５の中に金属原料４を
補給する。
この後真空容器３を密閉してからバルブ２を通じて真空
容器３内を脱気する。モして脱気が完了したら、バルブ
２を閉弁して金属蒸気発生装置１の運転を再開する。
容器３内を脱気する。モして脱気が完了したら、バルブ
２を閉弁して金属蒸気発生装置１の運転を再開する。
しかし、このような金属蒸気発生装置１では、金属原料
２の補給の度に運転を停止しなければならず、かつ真空
を破ってからまた脱気するなど補給に係る操作が複雑で
時間を要する。このため短時間で効率よく所望量の金属
蒸気を得ることはできなかった。
２の補給の度に運転を停止しなければならず、かつ真空
を破ってからまた脱気するなど補給に係る操作が複雑で
時間を要する。このため短時間で効率よく所望量の金属
蒸気を得ることはできなかった。
（発明が解決しようとする課題）
このように、従来の金属蒸気発生装置では、金属原料の
補給の度に運転を停止しなければならず、かつ真空を破
ってからまた脱気するなど補給に係る操作が複雑で時間
を要するため、短時間で効率よく所望量の金属蒸気を得
ることはできなかった。
補給の度に運転を停止しなければならず、かつ真空を破
ってからまた脱気するなど補給に係る操作が複雑で時間
を要するため、短時間で効率よく所望量の金属蒸気を得
ることはできなかった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、運転の停止
や真空の遮断・脱気といった複雑な操作をしなくても金
属原料を補給できる金属蒸気発生装置を提供することを
目的とする。
や真空の遮断・脱気といった複雑な操作をしなくても金
属原料を補給できる金属蒸気発生装置を提供することを
目的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明は上記課題を解決するために、金属蒸発用るつぼ
を収容した真空容器と、この真空容器を貫いて金属蒸発
用るつぼと連通し、金属蒸発用るつぼに液状金属を供給
する補給タンクとを有する金属蒸気発生装置を提供する
。
を収容した真空容器と、この真空容器を貫いて金属蒸発
用るつぼと連通し、金属蒸発用るつぼに液状金属を供給
する補給タンクとを有する金属蒸気発生装置を提供する
。
（作用）
本発明の金属蒸気発生装置は、金属蒸発用るつぼを収容
する真空容器と、この真空容器を貫いて金属蒸発用るつ
ぼと連通ずる補給タンクを設ける。そして金属蒸発用る
つぼ内の金属原料に補給の必要が生じたら、補給タンク
を通じて液状の金属原料を連続的に金属蒸発用るつぼに
補給する。
する真空容器と、この真空容器を貫いて金属蒸発用るつ
ぼと連通ずる補給タンクを設ける。そして金属蒸発用る
つぼ内の金属原料に補給の必要が生じたら、補給タンク
を通じて液状の金属原料を連続的に金属蒸発用るつぼに
補給する。
したがって本発明の金属蒸気発生装置によれば、金属原
料の補給の際に運転を停止する必要はなく、また真空を
破る必要もない。
料の補給の際に運転を停止する必要はなく、また真空を
破る必要もない。
（実施例）
以下第１図を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の金属蒸気発生装置ＩＯの構成を示す図
である。この金属蒸気発生装置１０は、金属蒸発用るつ
ぼ１１を収容した真空容器１２と補給タンク１３を供え
、補給タンク１３は連結パイプ１４によって真空容器１
２を貫いて金属蒸発用るつぼ１１と連通ずる。
である。この金属蒸気発生装置１０は、金属蒸発用るつ
ぼ１１を収容した真空容器１２と補給タンク１３を供え
、補給タンク１３は連結パイプ１４によって真空容器１
２を貫いて金属蒸発用るつぼ１１と連通ずる。
真空容器１２には、金属蒸発用るっぽ１１の他に電子ビ
ーム２５を射出する電子銃１５やこの電子ビーム２５を
偏向させる磁場発生器（図示せず）が収容され、またバ
ルブ１６と圧力計１７が取付けられる。
ーム２５を射出する電子銃１５やこの電子ビーム２５を
偏向させる磁場発生器（図示せず）が収容され、またバ
ルブ１６と圧力計１７が取付けられる。
補給タンク１３は、液状金属原料１８ａを収容するタン
ク室１９と金属塊１８ｂを収容するタンク予備室２０か
らなり、タンク室１９とタンク予備室２０は下蓋２１ａ
で仕切られ、またタンク予備室２０の上端は上蓋２１ｂ
で覆われる。またタンク予備室２０とタンク室１９には
、それぞれタンク予備室圧力制御装置２２ａとタンク室
圧力制御装置２２ｂが取付けられ、これらタンク予備室
圧力制御装置２２ａとタンク室圧力制御装置２２ｂは相
互に接続される。タンク室圧力制御装置２２ｂは真空容
器１２の圧力計１７とも接続する。
ク室１９と金属塊１８ｂを収容するタンク予備室２０か
らなり、タンク室１９とタンク予備室２０は下蓋２１ａ
で仕切られ、またタンク予備室２０の上端は上蓋２１ｂ
で覆われる。またタンク予備室２０とタンク室１９には
、それぞれタンク予備室圧力制御装置２２ａとタンク室
圧力制御装置２２ｂが取付けられ、これらタンク予備室
圧力制御装置２２ａとタンク室圧力制御装置２２ｂは相
互に接続される。タンク室圧力制御装置２２ｂは真空容
器１２の圧力計１７とも接続する。
その他補給タンク１３のタンク室１９は加熱用ヒータ２
３で、また連結パイプ１４は保温用ヒラ２４で、それぞ
れ加熱、保温される。
３で、また連結パイプ１４は保温用ヒラ２４で、それぞ
れ加熱、保温される。
この金属蒸気発生装置１０で金属原子の蒸気を発生させ
る場合は、まず真空容器１２内をバルブ１６を通じて脱
気し真空にする。このとき真空容器１２内の圧力は、圧
力計１７によって計測され、圧力信号に変換されてまず
タンク室圧力制御装置２２ｂへ、次いでタンク予備室圧
力制御装置２２ａに送られる。
る場合は、まず真空容器１２内をバルブ１６を通じて脱
気し真空にする。このとき真空容器１２内の圧力は、圧
力計１７によって計測され、圧力信号に変換されてまず
タンク室圧力制御装置２２ｂへ、次いでタンク予備室圧
力制御装置２２ａに送られる。
他方補給タンク１３内の下蓋２１ａを密閉しながらタン
ク予備室２０の上蓋２１ｂを開け、原料となる金属塊１
８ｂをタンク予備室２０に収容する。そして上蓋２１ｂ
を閉じてタンク予備室２０を密閉したら、タンク予備室
圧力制御装置２２ｂによって、先に伝えられた圧力信号
を基にタンク予備室２０内を真空容器１２内と同じ程度
にまで減圧する。このときタンク室１９内もタンク室圧
力制御装置２２ｂによってタンク予備室２０内とほぼ同
じ圧力に調節する。次いで下蓋２１ａを開いて金属塊１
８ｂをタンク室１３内に落下させる。
ク予備室２０の上蓋２１ｂを開け、原料となる金属塊１
８ｂをタンク予備室２０に収容する。そして上蓋２１ｂ
を閉じてタンク予備室２０を密閉したら、タンク予備室
圧力制御装置２２ｂによって、先に伝えられた圧力信号
を基にタンク予備室２０内を真空容器１２内と同じ程度
にまで減圧する。このときタンク室１９内もタンク室圧
力制御装置２２ｂによってタンク予備室２０内とほぼ同
じ圧力に調節する。次いで下蓋２１ａを開いて金属塊１
８ｂをタンク室１３内に落下させる。
このようにすれば、タンク室１９内に外気が流込むこと
はない。
はない。
そして下蓋２１ａを閉じた後、加熱用ヒータ２３でタン
ク室１３を加熱し、この熱で金属塊１８ｂを溶融して液
状金属原料１８ａを得る。この後はタンク室圧力制御装
置２２ｂによってタンク室１９内の圧力を真空容器（２
内よりも高くし、連結パイプ１４を通じて、液状金属原
料１８ａを真空容器１２内の金属蒸発用るつぼ１１に圧
送する。
ク室１３を加熱し、この熱で金属塊１８ｂを溶融して液
状金属原料１８ａを得る。この後はタンク室圧力制御装
置２２ｂによってタンク室１９内の圧力を真空容器（２
内よりも高くし、連結パイプ１４を通じて、液状金属原
料１８ａを真空容器１２内の金属蒸発用るつぼ１１に圧
送する。
この間連結パイプ１４は保温用ヒータ２４で保温し、通
過する液状金属原料１８ａが冷却によって固化すること
のないようにする。
過する液状金属原料１８ａが冷却によって固化すること
のないようにする。
このようにして金属蒸発用るつぼ１１内に液状金属原料
１８ａが満たされたら、タンク室圧力制御装置２２ｂに
よってタンク室１９内の圧力を真空容器１２内と同等に
し、液状金属原料１８ａの圧送を停止する。そして、電
子銃１５を起動して電子ビーム２５を射出し、この電子
ビーム２５を磁場発生器で形成した磁場によって偏向し
て金属蒸発用るつぼ１１内の液状金属原料１８ａに照射
する。すると液状金属原料１８ａは加熱され、やがて溶
融・蒸発して金属原子の蒸気流２６を発生する。
１８ａが満たされたら、タンク室圧力制御装置２２ｂに
よってタンク室１９内の圧力を真空容器１２内と同等に
し、液状金属原料１８ａの圧送を停止する。そして、電
子銃１５を起動して電子ビーム２５を射出し、この電子
ビーム２５を磁場発生器で形成した磁場によって偏向し
て金属蒸発用るつぼ１１内の液状金属原料１８ａに照射
する。すると液状金属原料１８ａは加熱され、やがて溶
融・蒸発して金属原子の蒸気流２６を発生する。
ところでこのようにして金属蒸発用るつぼ１１内での液
状金属原料１８ａの蒸発を継続していくと、やがて金属
蒸発用るつぼ１１内の液状金属原料１８ａが枯渇する。
状金属原料１８ａの蒸発を継続していくと、やがて金属
蒸発用るつぼ１１内の液状金属原料１８ａが枯渇する。
そのときは圧力計１７から送られる圧力信号を基に、タ
ンク室圧力制御装置２２ｂによってタンク室１９内の圧
力を真空容器１２内より高くする。するとタンク室１９
内に残留している液状金属原料１８ａが真空容器１２内
の金属蒸発用るつぼ１１に圧送され、液状金属原料１８
ａが補給される。
ンク室圧力制御装置２２ｂによってタンク室１９内の圧
力を真空容器１２内より高くする。するとタンク室１９
内に残留している液状金属原料１８ａが真空容器１２内
の金属蒸発用るつぼ１１に圧送され、液状金属原料１８
ａが補給される。
タンク室１９内の液状金属原料１８ａも枯渇したら、先
に述べた方法によってタンク室１９内の気密を保ちなが
ら金属塊１８ｂをタンク予備室２０からタンク室１９へ
適宜補給、し、加熱用ヒータ２３による加熱によって液
状金属原料１８ａを得る。
に述べた方法によってタンク室１９内の気密を保ちなが
ら金属塊１８ｂをタンク予備室２０からタンク室１９へ
適宜補給、し、加熱用ヒータ２３による加熱によって液
状金属原料１８ａを得る。
なお本実施例においては、金属蒸発用るつぼ１１内の液
状金属原料１−８ａが枯渇したときは、タンク室圧力制
御装置２２ｂによってタンク室１９内の圧力を真空容器
１２内の圧力より高くし、液状金属原料１８ａを金属蒸
発用るつぼ１１へ圧送したが、第２図に示すように連結
パイプの途中に弁２を設け、タンク室１９内の圧力を常
に真空容器１２より高くしておき、金属原料補給の際は
タンク室圧力制御装置２２ｂから弁２７へ開弁の指令信
号を送って金属原料１８ａを金属蒸発用るつぼ１１へ移
送してもよい。第２図中、第１図と同様の箇所には同一
符号を付した。
状金属原料１−８ａが枯渇したときは、タンク室圧力制
御装置２２ｂによってタンク室１９内の圧力を真空容器
１２内の圧力より高くし、液状金属原料１８ａを金属蒸
発用るつぼ１１へ圧送したが、第２図に示すように連結
パイプの途中に弁２を設け、タンク室１９内の圧力を常
に真空容器１２より高くしておき、金属原料補給の際は
タンク室圧力制御装置２２ｂから弁２７へ開弁の指令信
号を送って金属原料１８ａを金属蒸発用るつぼ１１へ移
送してもよい。第２図中、第１図と同様の箇所には同一
符号を付した。
以上説明したように、本実施例の金属蒸気発生装置１０
は、金属蒸発用るつぼ１１を収容する真空容器１２と、
この真空容器１２および金属蒸発用るつぼ１１と連通ず
る液体タンク１３を設ける。
は、金属蒸発用るつぼ１１を収容する真空容器１２と、
この真空容器１２および金属蒸発用るつぼ１１と連通ず
る液体タンク１３を設ける。
そして金属蒸発用るつぼ１１内の液状金属原料１８ａに
補給の必要が生じたら、補給タンク１３から連結パイプ
（４を通じて液状金属原料１８ａを連続的に金属蒸発用
るつぼ１１に補給する。したがって本実施例の金属蒸気
発生装置１０によれば、液状金属原料１８ａ補給の際に
運転を停止する必要はなく、また真空を破る必要もない
。このため金属蒸気発生装置１０を効率よく運転して短
時間に所望量の金属蒸気を得ることができる。
補給の必要が生じたら、補給タンク１３から連結パイプ
（４を通じて液状金属原料１８ａを連続的に金属蒸発用
るつぼ１１に補給する。したがって本実施例の金属蒸気
発生装置１０によれば、液状金属原料１８ａ補給の際に
運転を停止する必要はなく、また真空を破る必要もない
。このため金属蒸気発生装置１０を効率よく運転して短
時間に所望量の金属蒸気を得ることができる。
以上説明したように、本発明の金属蒸気発生装置は、真
空容器、この真空容器に収容された金属蒸発用るつぼと
、この真空容器を貫いて金属蒸発用るつぼに連通ずる補
給タンクを備える。そして金属蒸発用るつぼ内の金属原
料に補給の必要が生じたら、補給タンクから液状金属原
料を連続的に金属蒸発用るつぼに補給する。したがって
本発明の金属蒸気発生装置によれば、金属原料補給の際
に運転を停止する必要はなく、また真空を破る必要もな
い。このため金属蒸気発生装置を効率よく運転して短時
間に所望量の金属蒸気を得ることができる。
空容器、この真空容器に収容された金属蒸発用るつぼと
、この真空容器を貫いて金属蒸発用るつぼに連通ずる補
給タンクを備える。そして金属蒸発用るつぼ内の金属原
料に補給の必要が生じたら、補給タンクから液状金属原
料を連続的に金属蒸発用るつぼに補給する。したがって
本発明の金属蒸気発生装置によれば、金属原料補給の際
に運転を停止する必要はなく、また真空を破る必要もな
い。このため金属蒸気発生装置を効率よく運転して短時
間に所望量の金属蒸気を得ることができる。
第１図は本発明の金属蒸気発生装置の一実施例を示す図
、第２図は本発明の金属蒸気発生装置に掛かる補給タン
クの他の実施例を示す図、第３図は従来の金属蒸気発生
装置を示す図である。 １１・・・金属蒸発用るつぼ、１２・・・真空容器、１
３・・・補給タンク、１４・・・連結パイプ、１８ａ・
・・液状金属原料。
、第２図は本発明の金属蒸気発生装置に掛かる補給タン
クの他の実施例を示す図、第３図は従来の金属蒸気発生
装置を示す図である。 １１・・・金属蒸発用るつぼ、１２・・・真空容器、１
３・・・補給タンク、１４・・・連結パイプ、１８ａ・
・・液状金属原料。
Claims (1)
- 金属蒸発用るつぼを収容した真空容器と、この真空容器
を貫いて金属蒸発用るつぼと連通し、金属蒸発用るつぼ
に液状金属を供給する補給タンクとを有する金属蒸気発
生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1207975A JPH0372037A (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 | 金属蒸気発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1207975A JPH0372037A (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 | 金属蒸気発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0372037A true JPH0372037A (ja) | 1991-03-27 |
Family
ID=16548606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1207975A Pending JPH0372037A (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 | 金属蒸気発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0372037A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005116290A1 (en) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Sidrabe, Inc. | Method and apparatus for vacuum deposition by vaporizing metals and metal alloys |
| JP2016540892A (ja) * | 2013-12-06 | 2016-12-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 堆積アレンジメント、堆積装置、及びこれらの操作方法 |
-
1989
- 1989-08-14 JP JP1207975A patent/JPH0372037A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005116290A1 (en) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Sidrabe, Inc. | Method and apparatus for vacuum deposition by vaporizing metals and metal alloys |
| JP2016540892A (ja) * | 2013-12-06 | 2016-12-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 堆積アレンジメント、堆積装置、及びこれらの操作方法 |
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