JPH0370934B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0370934B2 JPH0370934B2 JP60100232A JP10023285A JPH0370934B2 JP H0370934 B2 JPH0370934 B2 JP H0370934B2 JP 60100232 A JP60100232 A JP 60100232A JP 10023285 A JP10023285 A JP 10023285A JP H0370934 B2 JPH0370934 B2 JP H0370934B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- electrode
- partial
- resonator
- piezoelectric substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えばラダー形フイルタの直列共
振子のような部分電極を採用する圧電共振子に関
し、特にその耐衝撃性の改善手段に関する。
振子のような部分電極を採用する圧電共振子に関
し、特にその耐衝撃性の改善手段に関する。
第５図はラダー形フイルタの一例を示す回路図
であり、圧電共振子である直列共振子２と並列共
振子４とが交互に何個かずつ配置されている。こ
の内直列共振子２は、容量比Cp／Cs（Cs：直列共
振子２の容量、Cp：並列共振子４の容量）を大
きくして阻止域減衰量を大きくするために、部分
電極を採用して容量を小さくするようにしてい
る。
であり、圧電共振子である直列共振子２と並列共
振子４とが交互に何個かずつ配置されている。こ
の内直列共振子２は、容量比Cp／Cs（Cs：直列共
振子２の容量、Cp：並列共振子４の容量）を大
きくして阻止域減衰量を大きくするために、部分
電極を採用して容量を小さくするようにしてい
る。
上記直列共振子２の一例を第６図を参照して説
明すると、この直列共振子２は広がり振動モード
を利用する圧電共振子であり、角形の例えば圧電
セラミツクスから成る圧電基板６の一方の主面の
中心近傍の振動の節の部分に、例えば銀から成る
部分電極８を部分的に形成して容量を小さくする
ようにしている。そして部分電極８の部分で、当
該直列共振子２を機械的に保持すると共に電気的
な引出しを行うようにしている。尚、圧電基板６
の他方の主面には、部分電極８と対向する部分
に、又は全面に、例えば銀から成るもう一方の電
極（図示省略）が形成されている。
明すると、この直列共振子２は広がり振動モード
を利用する圧電共振子であり、角形の例えば圧電
セラミツクスから成る圧電基板６の一方の主面の
中心近傍の振動の節の部分に、例えば銀から成る
部分電極８を部分的に形成して容量を小さくする
ようにしている。そして部分電極８の部分で、当
該直列共振子２を機械的に保持すると共に電気的
な引出しを行うようにしている。尚、圧電基板６
の他方の主面には、部分電極８と対向する部分
に、又は全面に、例えば銀から成るもう一方の電
極（図示省略）が形成されている。
近年は圧電共振子に使用される圧電基板が薄形
化される傾向にあることもあつて、特に上述の直
列共振子２のように部分電極を採用する圧電共振
子においては、例えば落下試験等によつて外部か
ら衝撃が加わつた際の耐衝撃性が悪くなつてい
る。
化される傾向にあることもあつて、特に上述の直
列共振子２のように部分電極を採用する圧電共振
子においては、例えば落下試験等によつて外部か
ら衝撃が加わつた際の耐衝撃性が悪くなつてい
る。
特に、第６図に示すように圧電基板６の四辺に
は、その長さを等価的に変えることによつて輪郭
振動モードによるスプリアス（例えば455KHzの
中心周波数に対する650KHzのスプリアス）を分
散させるために、ノードカツトと呼ばれる切欠き
１０を設ける場合があり、そのようなノードカツ
ト１０を設けた直列共振子２に衝撃が加わつた場
合は、部分電極であることと相挨つて、隣り合う
ノードカツト１０を結ぶ線上において例えば符号
１１のように割れる場合が多い。
は、その長さを等価的に変えることによつて輪郭
振動モードによるスプリアス（例えば455KHzの
中心周波数に対する650KHzのスプリアス）を分
散させるために、ノードカツトと呼ばれる切欠き
１０を設ける場合があり、そのようなノードカツ
ト１０を設けた直列共振子２に衝撃が加わつた場
合は、部分電極であることと相挨つて、隣り合う
ノードカツト１０を結ぶ線上において例えば符号
１１のように割れる場合が多い。
この場合、ラダー形フイルタのように多数の共
振子を使用している場合には、共振子が１つでも
割れる等すると全体が不良になるため、共振子、
特に上述のような直列共振子の耐衝撃性を高める
ことが強く要望されている。
振子を使用している場合には、共振子が１つでも
割れる等すると全体が不良になるため、共振子、
特に上述のような直列共振子の耐衝撃性を高める
ことが強く要望されている。
従つてこの発明は、ラダー形フイルタの直列共
振子のような部分電極を採用する圧電共振子であ
つてしかもノードカツトを有するものの耐衝撃性
を改善することを目的とする。
振子のような部分電極を採用する圧電共振子であ
つてしかもノードカツトを有するものの耐衝撃性
を改善することを目的とする。
この発明の圧電共振子は、前述したような圧電
基板の一方の主面の部分電極の周辺部であつて少
なくとも隣り合うノードカツトを結ぶ各線上に存
在するように、部分電極と絶縁して更に他の電極
を形成している。
基板の一方の主面の部分電極の周辺部であつて少
なくとも隣り合うノードカツトを結ぶ各線上に存
在するように、部分電極と絶縁して更に他の電極
を形成している。
部分電極の周辺部に形成した電極によつて圧電
基板の抗折力が向上し、耐衝撃性が改善される。
基板の抗折力が向上し、耐衝撃性が改善される。
第１図は、この発明の一実施例に係る圧電共振
子を示す平面図である。第６図と同等部分には同
一符号を付してその説明を省略する。
子を示す平面図である。第６図と同等部分には同
一符号を付してその説明を省略する。
この圧電共振子１２においては、前述したよう
な部分電極８の周辺部に、当該部分電極８と絶縁
して更に電極１４を形成している。より具体的に
は、圧電基板６の表面であつて部分電極８及びそ
の周囲の領域を除いた全面に、例えば銀から成る
電極１４を形成している。この圧電共振子１２
を、例えばラダー形フイルタにおいて前述した直
列共振子２として使用することができる。なお電
極１４は、例えば銀を圧電基板６の表面の所定領
域に例えばスパツタリング、蒸着あるいは焼付け
することにより、あるいは圧電基板６の全面に形
成した銀電極層をエツチングして部分電極８と分
離すること等により形成することができる（以下
の実施例においても同様である）。
な部分電極８の周辺部に、当該部分電極８と絶縁
して更に電極１４を形成している。より具体的に
は、圧電基板６の表面であつて部分電極８及びそ
の周囲の領域を除いた全面に、例えば銀から成る
電極１４を形成している。この圧電共振子１２
を、例えばラダー形フイルタにおいて前述した直
列共振子２として使用することができる。なお電
極１４は、例えば銀を圧電基板６の表面の所定領
域に例えばスパツタリング、蒸着あるいは焼付け
することにより、あるいは圧電基板６の全面に形
成した銀電極層をエツチングして部分電極８と分
離すること等により形成することができる（以下
の実施例においても同様である）。
上述のような圧電共振子１２においては、電極
１４によつて圧電基板６の抗折力が向上し、耐衝
撃性が改善される。特に、この実施例においては
隣り合うノードカツト１０を結ぶ各線上にも存在
するように電極１４が形成されているため、第６
図の符号１１のようなノードカツト１０間の割れ
を効果的に防止することができる。
１４によつて圧電基板６の抗折力が向上し、耐衝
撃性が改善される。特に、この実施例においては
隣り合うノードカツト１０を結ぶ各線上にも存在
するように電極１４が形成されているため、第６
図の符号１１のようなノードカツト１０間の割れ
を効果的に防止することができる。
更にこの電極１４によつて、圧電基板６が振動
することによつてその表面に発生する電荷分布を
キヤンセルして、スプリアス（例えば前述した
650KHzのスプリアス）を改善する効果も得られ
る。
することによつてその表面に発生する電荷分布を
キヤンセルして、スプリアス（例えば前述した
650KHzのスプリアス）を改善する効果も得られ
る。
尚、部分電極８の周辺部に形成する電極１４の
形状・配置は、第１図のようなものに限られるこ
とはなく、それ以外のもの、例えば第２図及び第
３図のようなものでも良い。更に、例えば第４図
のように、圧電基板６の比較的割れ易い部分であ
る、隣り合うノードカツト１０を結ぶ線上の部分
に重点的に電極１４を設けても良い。これらの実
施例においても、電極１４による耐衝撃性の改善
及び電荷分布キヤンセルによるスプリアス改善の
効果が得られる。
形状・配置は、第１図のようなものに限られるこ
とはなく、それ以外のもの、例えば第２図及び第
３図のようなものでも良い。更に、例えば第４図
のように、圧電基板６の比較的割れ易い部分であ
る、隣り合うノードカツト１０を結ぶ線上の部分
に重点的に電極１４を設けても良い。これらの実
施例においても、電極１４による耐衝撃性の改善
及び電荷分布キヤンセルによるスプリアス改善の
効果が得られる。
また、この発明は、ラダー形フイルタの直列共
振子以外の圧電共振子であつても、部分電極を採
用しかつノードカツトを有するものに広く適用す
ることができることは言うまでもない。
振子以外の圧電共振子であつても、部分電極を採
用しかつノードカツトを有するものに広く適用す
ることができることは言うまでもない。
以上のようにこの発明によれば、部分電極の周
辺部であつて少なくとも隣り合うノードカツトを
結ぶ各線上に存在するように電極を形成している
ので、この電極によつて圧電基板の抗折力が向上
し、部分電極を採用する圧電共振子の耐衝撃性が
改善される。特に、四辺にノードカツトを有する
圧電基板は、従来は隣り合うノードカツトを結ぶ
線上において割れる場合が多かつたが、上記のよ
うな電極を設けることにより、そのような割れを
効果的に防止することができるという顕著な効果
を達成することができる。更に、上記のような電
極を設けることによつて圧電基板上の電荷分布が
キヤンセルされるため、スプリアスも改善され
る。
辺部であつて少なくとも隣り合うノードカツトを
結ぶ各線上に存在するように電極を形成している
ので、この電極によつて圧電基板の抗折力が向上
し、部分電極を採用する圧電共振子の耐衝撃性が
改善される。特に、四辺にノードカツトを有する
圧電基板は、従来は隣り合うノードカツトを結ぶ
線上において割れる場合が多かつたが、上記のよ
うな電極を設けることにより、そのような割れを
効果的に防止することができるという顕著な効果
を達成することができる。更に、上記のような電
極を設けることによつて圧電基板上の電荷分布が
キヤンセルされるため、スプリアスも改善され
る。
第１図は、この発明の一実施例に係る圧電共振
子を示す平面図である。第２図〜第４図は、それ
ぞれ、この発明の他の実施例に係る圧電共振子を
示す平面図である。第５図は、ラダー形フイルタ
の一例を示す回路図である。第６図は、第５図の
直列共振子の一例を示す平面図であ。 ６……圧電基板、８……部分電極、１０……ノ
ードカツト、１２……この実施例に係る圧電共振
子、１４……電極。
子を示す平面図である。第２図〜第４図は、それ
ぞれ、この発明の他の実施例に係る圧電共振子を
示す平面図である。第５図は、ラダー形フイルタ
の一例を示す回路図である。第６図は、第５図の
直列共振子の一例を示す平面図であ。 ６……圧電基板、８……部分電極、１０……ノ
ードカツト、１２……この実施例に係る圧電共振
子、１４……電極。
Claims (1)
- １ 四辺にノードカツトをそれぞれ有する四角い
圧電基板の一方の主面の中心近傍に部分電極を形
成し、他方の主面の少なくとも前記部分電極と対
向する部分に他の電極を形成して成る圧電共振子
において、前記圧電基板の一方の主面の前記部分
電極の周辺部であつて少なくとも隣り合うノード
カツトを結ぶ各線上に存在するように、前記部分
電極と絶縁して更に他の電極を形成していること
を特徴とする圧電共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10023285A JPS61258518A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 圧電共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10023285A JPS61258518A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 圧電共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61258518A JPS61258518A (ja) | 1986-11-15 |
| JPH0370934B2 true JPH0370934B2 (ja) | 1991-11-11 |
Family
ID=14268524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10023285A Granted JPS61258518A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61258518A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63152209A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-06-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 梯子型電気濾波器の直列共振子 |
| JPH07105683B2 (ja) * | 1986-12-27 | 1995-11-13 | 日本特殊陶業株式会社 | 梯子型電気濾波器の直列共振子の製造方法 |
| WO2009028027A1 (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-05 | Fujitsu Limited | 圧電薄膜共振子、それを用いたフィルタ、そのフィルタを用いたデュプレクサおよびそのフィルタまたはそのデュプレクサを用いた通信機 |
| JP2009094560A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動装置、発振回路素子及び電子装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS504101A (ja) * | 1973-04-05 | 1975-01-17 |
-
1985
- 1985-05-10 JP JP10023285A patent/JPS61258518A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS504101A (ja) * | 1973-04-05 | 1975-01-17 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61258518A (ja) | 1986-11-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |