JPH0367565B2 - - Google Patents

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JPH0367565B2
JPH0367565B2 JP22227285A JP22227285A JPH0367565B2 JP H0367565 B2 JPH0367565 B2 JP H0367565B2 JP 22227285 A JP22227285 A JP 22227285A JP 22227285 A JP22227285 A JP 22227285A JP H0367565 B2 JPH0367565 B2 JP H0367565B2
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JP
Japan
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light
distance
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spot
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JP22227285A
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English (en)
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JPS6281509A (ja
Inventor
Kazuo Takashima
Masayuki Sugyama
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、対象物体までの距離を測定する距
離測定装置に関するものである。
〔従来の技術〕
第2図は、従来の非接触式の距離測定装置を示
すものであり、図において、1は光源、2は光源
1より放射される光束を集束し測定しようとする
対象物体3に投射する投光レンズである。
上記光源1、投光レンズ2、対象物体3が軸線
A上に位置し、光源1から放射された光は投光レ
ンズ2によつて対象物体3上に照射され、光束の
光スポツト4を形成する。
5は光スポツト4の像を結像する受光レンズ、
6は受光レンズ5によつて結像される光スポツト
4の像の結像位置Pに対応した電気信号を発生す
る受光素子で、上記光スポツト4、受光レンズ
5、受光素子6は軸線B上に位置し、この場合こ
の軸線Bは前記軸線Aとθの角度をなす。
そして、受光素子6の出力する2つの電気信号
iA,iBは、それぞれ加算器7、減算器8に入力さ
れ、加算器7において両信号の和(iA+iB)が求
められ、減算器8において両信号の差(iA−iB
が求められる。9は加算器7の出力で減算器8の
出力を除する除算器、10は除算器9の位置出力
Pを距離出力lに変換する変器器である。
上記において、光源1、投光レンズ2、受光レ
ンズ5、受光素子6によつて検出ヘツド11が構
成され、上記加算器7、減算器8、除算器9、変
換器10によつて処理部12が構成される。
次に動作について説明する。光源1より放射さ
れる光束は、投光レンズ2によつて適当な大きさ
の光スポツト4で対象物体3に照射される。この
光スポツト4を受光レンズ5が撮像し、受光素子
6の受光面の上に光スポツト4の像を結像する。
斯かる受光素子6は、光位置検出器とも称される
もので、光スポツト像の結像位置に応じた電気信
号iA,iBを発生する。上記電気信号iA,iBの値によ
つて、光スポツト像の結像位置Pは、 P=iA−iB/iA+iB ……(1) として求めることができる。
ところで、受光素子6の出力は光スポツト像の
結像位置Pとその強度とに対応した出力信号を生
じる。そのため、上記(1)式においては、光スポツ
ト像の強度変化に比例して変化する信号である
(iA+iB)の項を分母に導入し、光スポツト像の結
像位置のみに比例する信号を得るようにしてい
る。
前記加算器7と減算器8と除算器9は、受光素
子6の出力信号iA,iBに基づいて上記(1)式に示さ
れる演算を実施するための回路であり、このよう
にして除算器9の出力には光スポツト像の結像位
置に対応する出力値Pが得られる。
一方、対象物体3までの距離をlとし、投光レ
ンズ2と受光レンズ5の設置間隔をLとすると、
lは、 l=L/tanθ ……(2) として求めることができる。ここで、θは受光レ
ンズ5の焦点距離、受光素子6と受光レンズ5の
設置間隔、光スポツト像の結像位置に係る出力P
によつて求まるものである。これらの中で位置出
力P以外は固定値として定めることができるの
で、結局、対象物体3までの距離lは、 l=K・P ……(3) として得られる。この場合、Kは上記各固定値に
よつて決まる定数であり、事前の計算又は実験等
により設定される。変換器10は上記(3)式を実施
し、位置出力Pを入力して距離出力lを出力する
ものである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来の非接触式の距離測定装置は以上のように
構成されているので、測定光束の出射口は1箇所
であり、対象物体の溝幅あるいは該対象物体間の
間隔などの測定時には、複数の距離測定装置を背
中合せにするか、または、前記距離測定装置をた
とえば投光レンズ2と受光レンズ5の中心を結ぶ
線0を中心として該距離測定装置を回転させて測
定することが必要であつた。また、複数の距離測
定装置を背中合せにすることは全体の構成が複雑
かつ大型化する。また、距離測定装置を回転させ
ることは特別に回転駆動装置が必要となり高価に
なるという問題点があつた。
この発明は、上記のような問題点を解消するた
めになされたもので、対象物体の溝幅あるいは対
象物体間の間隔などを、固定状態のまま迅速に測
定できる構成の簡単な安価な距離測定装置を得る
ことを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る距離測定装置は、左右両側の壁
面に第1、第2の光入射口と第1、第2の光出射
口を対向して設けたケース内に、1つの光源から
の光を分割して上記第1、第2の光出射口から対
象物体に光スポツトとして照射させるミラーと、
上記第1、第2の光入射口から入射した上記光ス
ポツト像を第1、第2の位置検出器上に結像する
第1、第2の受光レンズとを設け、上記第1、第
2の位置検出器からのそれぞれの出力信号を演算
処理して距離出力を得るようにしたものである。
〔作用〕
この発明における1つの光源からの光は、ミラ
ーによつて2方向に分割されることにより、同時
に測定光束が相反する180度方向に出射され、対
象物体の溝幅あるいは対象物体間の間隔を測定す
る。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明す
る。図において、12はケースで、左右両側の壁
面に第1、第2の光入射口13a,13bと第
1、第2の光出射口14a,14bが対向して設
けられている。15は光源、16は光源15から
の光を集光する集光レンズ、17は集光レンズ1
6からの光を平行光とするレンズ、18は平行光
の一部を上記第2の光出射口14aから対象物体
19aに光スポツトPaとして照射させるハーフ
ミラー、20はハーフミラー18を透過した光を
上記第1の光出射口14bから対象物体19bに
光スポツトPbとして照射させるように該ハーフ
ミラー18に向つて反射させるミラー、21a,
21bは上記第1、第2の光入射口13a,13
bから入射した上記対象物体19a,19b上の
光スポツト像Pa,Pbを結像する第1、第2の受
光レンズ、22a,22bは上記光スポツト像の
結像位置に対応した信号を出力する第1、第2の
受光素子、23a,23bはそれぞれ第1、第2
の受光素子22a,22bの出力信号を演算処理
して距離出力を発生する第1、第2の距離演算器
で、例えば、前記第2図に示した加算器、減算
器、除算器、変換器により構成されている。24
は第1、第2の距離演算器23a,23bの距離
出力la,lbを加算する加算器である。
つぎに動作について説明する。図面は対象物体
19a,19b間の間隔を測定する場合を例示す
るもので、ケース12の先端部を図示のように対
象物体間に配設する。光源15から放射されてレ
ンズ16,17を透過した光束25は、その一部
25aがハーフミラー18で反射し、第2の光出
射口14aから対象物体19aに光スポツトPa
として照射される。
ハーフミラー18を透過した残りの光束25b
は、ミラー20で反射して再びハーフミラー18
に至り該ハーフミラー18で反射して、第2の光
出射口14bから対象物体19bに光スポツト
Pbとして照射される。
受光レンズ21a,21bは上記光スポツト
Pa,Pbを撮像し、受光素子22a,22bの受
光面の上に結像する。このため、受光素子22
a,22bからは、それぞれ光スポツトの結像位
置に応じた2つの電気信号iA-a・iB-a、iA-b・iB-b
が発生し、これ等の電気信号iA-a・iB-a、iA-b
iB-bはそれぞれ距離演算器23a,23bに入力
される。
距離演算器23a,23bは入力された電気信
号に基づいて距離出力la,lbを演算して出力し、
この距離出力la,lbを加算器24で加算(la+lb
して、対象物体19a,19b間の間隔Dを求め
るものである。
また、ケース12の先端部を対象物体の溝内に
挿入配設した場合は、上記と同様の操作によつて
溝幅を測定することができる。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、背中合せの
2方向に測定光束を出射させて同時に2ポイント
の測定が同時にできるように構成したので、対象
物体間の間隔や溝幅などの測定が迅速にできる。
また、ハーフミラーを用いて1つの光源の光を二
分割し、2方向の測定光束としているので、距離
測定装置の構成を簡単で小形、かつ安価に得るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す距離測定装
置の構成図、第2図は従来の距離測定装置の構成
図である。 12はケース、13a,13bは入射口、14
a,14bは出射口、15は光源、18はハーフ
ミラー、19a,19bは対象物体、20はミラ
ー、21a,12bは受光レンズ、22a,22
bは受光素子、23a,23bは距離演算器。な
お、図中、同一部材は同一又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 第1、第2の光入射口と、第1、第2の光出
    射口とを左右の壁面に対向して設けたケースと、
    このケース内に配置され光源からの光の一部を上
    記第1の光出射口から対象物体に光スポツトとし
    て照射させるハーフミラーと、このハーフミラー
    を透過した光を上記第2の光出射口から上記対象
    物体に光スポツトとして照射させるように該ハー
    フミラーに向つて反射させるミラーと、上記第
    1、第2の光入射口から入射した上記対象物体上
    の光スポツト像を結像する第1、第2の受光レン
    ズと、上記光スポツト像の結像位置に対応した信
    号を出力する第1、第2の受光素子と、上記出力
    信号を演算処理して距離出力を発生する第1、第
    2の距離演算器とを備えた距離測定装置。
JP22227285A 1985-10-04 1985-10-04 距離測定装置 Granted JPS6281509A (ja)

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JPS6443711A (en) * 1987-08-11 1989-02-16 Fujitec Kk Surface strain measuring instrument
JP3307809B2 (ja) * 1995-10-05 2002-07-24 兼房株式会社 シャンク付回転工具
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US8194251B2 (en) * 2010-08-26 2012-06-05 Mitutoyo Corporation Method for operating a dual beam chromatic point sensor system for simultaneously measuring two surface regions

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