JPH0365250U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0365250U JPH0365250U JP12806289U JP12806289U JPH0365250U JP H0365250 U JPH0365250 U JP H0365250U JP 12806289 U JP12806289 U JP 12806289U JP 12806289 U JP12806289 U JP 12806289U JP H0365250 U JPH0365250 U JP H0365250U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pasting roller
- adhesive sheet
- pasting
- inert gas
- support table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の実施例を示し、第
１図は側断面図、第２図は第１図Ａ−Ａ面図であ
る。第３図は本考案の前提となるウエハ貼付け装
置の側断面図、第４図乃至第６図は第３図装置の
動作を説明する側断面図である。 １……支持テーブル、２……半導体ウエハ、４
……貼付けローラ、６……紫外線硬化型粘着シー
ト、８……ガイドローラ、８ａ，８ｃ……不活性
ガス供給手段。
１図は側断面図、第２図は第１図Ａ−Ａ面図であ
る。第３図は本考案の前提となるウエハ貼付け装
置の側断面図、第４図乃至第６図は第３図装置の
動作を説明する側断面図である。 １……支持テーブル、２……半導体ウエハ、４
……貼付けローラ、６……紫外線硬化型粘着シー
ト、８……ガイドローラ、８ａ，８ｃ……不活性
ガス供給手段。
Claims (1)
- 半導体ウエハを支持する支持テーブルと、支持
テーブル上を相対移動し、紫外線硬化型粘着シー
トを半導体ウエハに押し付けて貼り付ける貼付け
ローラと、貼付けローラの軸と平行配置され上記
粘着シートの両側部をガイドして貼付けローラの
周面に沿わせる一対のガイドローラと、貼付けロ
ーラによつて押圧される粘着シートの粘着面に不
活性ガスを供給する不活性ガス供給手段とを含む
ことを特徴とするウエハ貼付け装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12806289U JPH0365250U (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12806289U JPH0365250U (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0365250U true JPH0365250U (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=31675794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12806289U Pending JPH0365250U (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0365250U (ja) |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP12806289U patent/JPH0365250U/ja active Pending
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