JPH0359594A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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Publication number
JPH0359594A
JPH0359594A JP19413289A JP19413289A JPH0359594A JP H0359594 A JPH0359594 A JP H0359594A JP 19413289 A JP19413289 A JP 19413289A JP 19413289 A JP19413289 A JP 19413289A JP H0359594 A JPH0359594 A JP H0359594A
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JP
Japan
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liquid crystal
crystal display
film
pixel
conductive film
Prior art date
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Pending
Application number
JP19413289A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideaki Taniguchi
秀明 谷口
Ryoji Oritsuki
折付 良二
Akira Sasano
笹野 晃
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0359594A publication Critical patent/JPH0359594A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain the liquid crystal display device by which many persons can enjoy an image, and also, which is inexpensive by driving plural liquid crystal display panels by one driving circuit. CONSTITUTION:To a frame body 17, liquid crystal display panels 13a, 13b are attached by turning the back on each other, and to the lower part of the liquid crystal display panels 13a, 13b of the frame body 17, loudspeakers 16a, 16b are attached. Also, a backlight 18 is turned to the inside of the frame body 17 is used in common by the liquid crystal display panels 13a, 13b. In such a way, by providing two (13a, 13b) liquid crystal display panels, an image can be enjoyed by many persons, and also, since a driving circuit and the backlight are enough by one piece each, the device becomes inexpensive.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【産業上の利用分野】[Industrial application field]

この発明は液晶表示装置、特に薄膜トランジスタ等を使
用したアクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置に関
する。
The present invention relates to a liquid crystal display device, and particularly to an active matrix type liquid crystal display device using thin film transistors and the like.

【従来の技術】[Conventional technology]

アクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置は、マトリ
クス状に配列された複数の画素電極の各々に対応して非
線形素子(スイッチング素子)を設けたものである。各
画素における液晶は理論的には常時駆動(デユーティ比
1.0)されているので、時分割駆動方式を採用してい
る、いわゆる単純マトリクス方式と比べてアクティブ方
式はコントラストが良く特にカラーでは欠かせない技術
となりつつある。スイッチング素子として代表的なもの
としては薄膜トランジスタ(TFT)がある。 従来の液晶表示装置においては、実開昭63−6417
2号公報に示されるように、液晶表示パネルが1つ設け
られている6
An active matrix type liquid crystal display device is one in which a nonlinear element (switching element) is provided corresponding to each of a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix. Theoretically, the liquid crystal in each pixel is constantly driven (duty ratio 1.0), so compared to the so-called simple matrix method, which uses a time-division drive method, the active method has better contrast, which is especially important for color. It is becoming an indispensable technology. A typical switching element is a thin film transistor (TFT). In conventional liquid crystal display devices, Utility Model Application No. 63-6417
As shown in Publication No. 2, one liquid crystal display panel is provided6.

【発明が解決しようとする課M) しかし、このような液晶表示装置においては、液晶の視野角が狭いから、映像を多人数で楽しむことができない。 一方、液晶表示装置を複数台用意すれば、多人数で映像を楽しむことができるが、この場合には多くの費用を要する。 この発明は上述の課題を解決するためになされたもので、多人数で映像を楽しむことができ、しかも安価である液晶表示装置を提供することを目的とする。 【課題を解決するための手段】[Problem M that the invention attempts to solve] However, in such a liquid crystal display device, the viewing angle of the liquid crystal is narrow, so that images cannot be enjoyed by a large number of people. On the other hand, if a plurality of liquid crystal display devices are prepared, a large number of people can enjoy the images, but this requires a lot of cost. The present invention was made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide an inexpensive liquid crystal display device that allows a large number of people to enjoy images. [Means to solve the problem]

この目的を達成するため、この発明においては、液晶表
示パネルと、上記液晶表示パネルを駆動する駆動回路と
を有する液晶表示装置において、複数の上記液晶表示パ
ネルを1つの上記駆動回路で駆動する。
To achieve this object, in the present invention, in a liquid crystal display device having a liquid crystal display panel and a drive circuit for driving the liquid crystal display panel, a plurality of the liquid crystal display panels are driven by one drive circuit.

【作用】[Effect]

この液晶表示装置においては、液晶表示パネルを複数有
しており、駆動回路を1つしか設けていない。
This liquid crystal display device has a plurality of liquid crystal display panels and only one drive circuit.

【実施例】【Example】

以下、この発明の構成について、アクティブ・マトリク
ス方式のカラー液晶表示装置にこの発明を適用した実施
例とともに説明する。 なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。 第2A図はこの発明が適用されるアクティブ・マトリク
ス方式カラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平
面図、第2B図は第2A図のnB−nB切断線における
断面と表示パネルのシール部付近の断面を示す図、第2
C図は第2A図のnc−nc切断線における断面図であ
る。また、第3図(要部平面図)には第2A図に示す画
素を複数配置したときの平面図を示す。 (画素配置) 第2A図に示すように、各画素は隣接する2本の走査信
号線(ゲート信号線または水平信号a)GLと、隣接す
る2本の映像信号線(ドレイン信号線または垂直信号線
)DLとの交差領域内(4本の信号線で囲まれた領域内
)に配置されている。 各画素は薄膜トランジスタTPT、透明画素電極ITO
Iおよび保持容量素子Caddを含む。走査信号線GL
は列方向に延在し、行方向に複数本配置されている。映
像信号線DLは行方向に延在し。 列方向に複数本配置されている。 (表示部断面全体構造) 第2B図に示すように、液晶LCを基準に下部透明ガラ
ス基板5UBI側には薄膜1−ランジスタTFTおよび
透明画素電極ITOIが形成され、上部透明ガラス基板
5UB2側にはカラーフィルタFIL、遮光用ブラック
マトリクスパターンを形成する遮光膜BMが形成されて
いる6下部透明ガラス基板5UBIはたとえば1 、1
 [mm]程度の厚さで構成されている。 第2B図の中央部は一画素部分の断面を示しているが、
左側は透明ガラス基板5UBI、5UB2の左側縁部分
で外部引出配線の存在する部分の断面を示しており、右
側は透明ガラス基板5UB1.5UB2の右側縁部分で
外部引出配線の存在しない部分の断面を示している。 第2B図の左側、右側のそれぞれに示すシール材SLは
液晶LCを封止するように構成されており、液晶封入口
(図示していない)を除く透明ガラス基板5UB1.5
UB2の縁周囲全体に沿って形成されている。シール材
SLはたとえばエポキシ樹脂で形成されている。 上部透明ガラス基板5UBZ側の共通透明画素電極IT
O2は、少なくとも一個所において、銀ペースト材SI
Lによって下部透明ガラス基板5UBI側に形成された
外部引出配線に接続されている。この外部引出配線はゲ
ート電極GT、ソース電極SDI、ドレノン電極SD2
のそれぞれと同一製造工程で形成される。 配向膜○RII、0RI2、透明画素電極ITO1、共
通透明画素電極IT○2.保護膜psv1、PSV2、
絶縁膜G工のそれぞれの層は、シール材SLの内側に形
成される。偏光板POLI、POL2はそれぞれ下部透
明ガラス基板5UBI、上部透明ガラス基板5UB2の
外側の表面に形成されている。 液晶LCは液晶分子の向きを設定する下部配向膜○RI
Iと上部配向膜○RI2との間に封入され、シール部S
Lよってシールされている。 下部配向膜0RIIは下部透明ガラス基板5UBl側の
保護膜psviの上部に形成される。 上部透明ガラス基板5UB2の内側(液晶LC側)の表
面には、遮光膜BM、カラーフィルタFIL、保護膜P
SV2.共通透明画素電極IT○2 (COM)および
上部配向膜0RI2が順次積層して設けられている。 この液晶表示装置は下部透明ガラス基板5UBl側、上
部透明ガラス基板5UBZ側のそれぞれの層を別々に形
成し、その後上下透明ガラス基板5UB1.5UB2を
重ね合わせ、両者間に液晶LCを封入することによって
組み立てられる。 (薄膜トランジスタTPT> 薄膜トランジスタTPTは、ゲート電iGTに正のバイ
アスを印加すると、ソース−ドレイン間のチャネル抵抗
が小さくなり、バイアスを零にすると、チャネル抵抗は
大きくなるように動作する。 各画素の薄膜トランジスタTPTは、画素内において3
つ(複数)に分割され、薄膜トランジスタ(分割薄膜ト
ランジスタ)TFTI、TFT2およびTFT3で構成
されている。薄膜トランジスタTPTI〜TFT3のそ
れぞれは実質的に同一サイズ(チャンネル長と幅が同じ
)で構成されている。この分割された薄膜トランジスタ
TPTI〜TFT3のそれぞれは、主にゲート電極GT
、ゲート絶縁膜GI、i型(真性、1ntrinsic
、導電型決定不純物がドープされていない)非晶質シリ
コン(Si)からなるi型半導体層AS、一対のソース
電極SD1およびドレイン電極SD2で構成されている
。なお、ソース・ドレインは本来その間のバイアス極性
によって決まり、この液晶表示装置の回路ではその極性
は動作中反転するので、ソース・ドレインは動作中入れ
替わると理解されたい。しかし、以下の説明でも、便宜
上一方をソース、他方をドレインと固定して表現する。 (ゲート電極GT> ゲート電極GTは第4図(第2A図の第1導電膜gl、
第2導電膜g2およびi型半導体IAsのみを描いた平
面図)に詳細に示すように、走査信号aGLから垂直方
向(第2A図および第4図において上方向)に突出する
形状で構成されている(丁字形状に分岐されている)。 ゲート電極GTは薄膜トランジスタTPTI〜TFT3
のそれぞれの形成領域まで突出するように構成されてい
る。薄膜トランジスタTFTI−TFT3のそれぞれの
ゲート電極GTは、一体に(共通ゲート電極として)構
成されており、走査信号線GLに連続して形成されてい
る。ゲート電極GTは、薄膜トランジスタTPTの形成
領域において大きい段差を作らないように、単層の第1
導電膜g1で構成する。第1導電膜glはたとえばスパ
ッタで形成されたクロム(Cr)膜を用い、1000[
λ]程度の膜厚で形成する。 このゲート電極GTは第2A図、第2B図および第4図
に示されているように、i型半導体層ASを完全に覆う
よう(下方からみて)それより太き目に形成される。し
たがって、下部透明ガラス基板5UBIの下方に蛍光灯
等のバックライトBLを取り付けた場合、この不透明な
りロムからなるゲート電極GTが影となって、i型半導
体層ASにはバックライト光が当たらず、光照射による
導電現象すなわち薄膜トランジスタTPTのオフ特性劣
化は起きにくくなる。なお、ゲート電極GTの本来の大
きさは、ソース電極SDIとドレイン電極SD2との間
をまたがるに最低限必要な(ゲート電極GTとソース電
極SDI、ドレイン電極SD2との位置合わせ余裕分も
含めて)@を持ち、チャンネル1wを決めるその奥行き
長さはソース電極SDIとドレイン電極SD2との間の
距離(チャンネル長)Lとの比、すなわち相互コンダク
タンス帥を決定するファクタW/Lをいくつにするかに
よって決められる。 この液晶表示装置におけるゲート電極GTの大きさはも
ちろん、上述した本来の大きさよりも大きくされる。 なお、ゲート電極GTのゲートおよび遮光の機能面から
だけで考えれば、ゲート電極GTおよび走査信号線GL
は単一の層で一体に形成してもよく、この場合不透明導
電材料としてシリコンを含有させたアルミニウム(Al
)、純アルミニウム。 パラジウム(Pd)を含有させたアルミニウム等を選ぶ
ことができる。 (走査信号線GL> 走査信号線GLは第1導電膜g1およびその上部に設け
られた第2導電膜g2からなる複合膜で構成されている
。この走査信号fiGLの第1導電膜g1はゲート電極
GTの第I導電膜g1と同一製造工程で形成され、かつ
一体に構成されている。 第2導電膜g2はたとえばスパッタで形成されたアルミ
ニウム膜を用い、1000〜5500[大]程度の膜厚
で形成する。第2導電膜g2は走査信号線OLの抵抗値
を低減し、信号伝達速度の高速化(画素の情報の書込特
性向上)を図ることができるように構成されている。 また、走査信号線GLは第1導電膜g1の幅寸法に比べ
て第2導電膜g2の幅寸法を小さく構成している。すな
わち、走査信号線OLはその側壁の段差形状がゆるやか
になっている。 (絶縁膜GI)> M縁膜GIは薄膜トランジスタTPTI〜TFT3のそ
れぞれのゲート絶縁膜として使用される。 絶縁膜GIはゲート電極GTおよび走査信号線GLの上
層に形成されている。絶縁膜GIはたとえばプラズマC
VDで形成された窒化シリコン膜を用い、3000[人
]程度の膜厚で形成する。 (i全半導体層AS> i全半導体層ASは、第4図に示すように、複数に分割
された薄膜トランジスタTPTI〜TFT3のそれぞれ
のチャネル形成領域として使用される。i型半導体MA
sは非晶質シリコン膜または多結晶シリコン膜で形成し
、約1800[人コ程度の膜厚で形成する。 このi全半導体層ASは、供給ガスの成分を変えてSi
、N、からなるゲート絶縁膜として使用される絶縁膜G
Iの形成に連続して、同じプラズマCVD装置で、しか
もそのプラズマCVD装置から外部に露出することなく
形成される。また、オーミックコンタクト用のPをドー
プしたN+型半導体層do(第2B図)も同様に連続し
て約400[人コの厚さに形成される。しかる後、下部
透明ガラス基板5UBIはCVD装置から外に取り出さ
れ、写真処理技術によりN+型半導体[dOおよびi全
半導体層ASは第2A図、第2B図および第4図に示す
ように独立した島状にパターニングされる。 i全半導体層ASは、第2A図および第4図に詳細に示
すように、走査信号線GLと映像信号線DLとの交差部
(クロスオーバ部)の両者間にも設けられている。この
交差部のi全半導体層ASは交差部における走査信号線
GLと映像信号線DLどの短絡を低減するように構成さ
れている。 (ソース電極SDI、ドレイン電極SD2>複数に分割
された薄膜トランジスタTPTI〜TFT3のそれぞれ
のソース電極SD1とドレイン電極SD2とは、第2A
図、第2B図および第5図(第2A図の第1〜第3導電
膜di〜d3のみを描いた平面図)で詳細に示すように
、i型半導体層AS上にそれぞれ離隔して設けられてい
る。 ソース電極SDI、ドレイン電極SD2のそれぞれは、
N“型半導体JIdOに接触する下層側から、第1導電
膜d1、第2導電膜d2、第3導電膜d3をJllI次
重ね合わせて構成されている。ソース電極SDIの第上
導電膜di、第2導電膜d2および第3導電膜d3は、
ドレイン電1=isD2の第1導電膜dL”第2導電膜
d2および第3導電膜d3と同一製造工程で形成される
。 第1導電膜d1はスパッタで形成したクロム膜を用い、
500〜1000[人]の膜厚(この液晶表示装置では
、600[A ]程度の膜厚)で形成する。クロム膜は
膜厚を厚く形成するとストレスが大きくなるので、20
00[人]程度の膜厚を越えない範囲で形成する。クロ
ム膜はN+型半導体NdOとの接触が良好である。クロ
ム膜は後述する第2導電膜d2のアルミニウムがN+型
半導体ldoに拡散することを防止するいわゆるバリア
層を構成する。 第1導電膜d1としては、クロム膜の他に高融点金属(
Mo、Ti、Ta、W)膜、高融点金属シリサイド(M
 o S l 2、Ti S i2. Ta S i2
、WSi、)膜で形成してもよい。 第1導電膜d1を写真処理でパターニングした後、同じ
写真処理用マスクを用いて、あるいは第1導電膜diを
マスクとして、N+型半導体1dOが除去される。つま
り、i型半−算体層AS上に残っていたN+型半導体層
doは第1導電膜di以外の部分がセルファラインで除
去される。このとき、N1型半導体ldoはその厚さ分
は全て除去されるようエッチされるので、i型半導体装
置Sも若干その表面部分でエッチされるが、その程度は
エッチ時間で制御すればよい。 しかる後、第2導電膜d2がアルミニウムのスパッタリ
ングで3000〜5500[人コの膜厚(この液晶表示
装置では、3500[人]程度の膜厚)に形成される。 アルミニウム膜はクロム膜に比べてストレスが小さく、
厚い膜厚に形成することが可能で、ソース電極SD1、
ドレイン電極SD2および映像信号線DLの抵抗値を低
減するように構成されている。第2導電膜d2としては
アルミニウム膜の他にシリコンや銅(Cu)を添加物と
して含有させたアルミニウム膜で形成してもよい。 第2導電膜d2の写真処理技術によるパターニング後、
第3導電膜d3が形成される。この第3導電膜d3はス
パッタリングで形成された透明導電膜(Induim−
Tin−Oxide  I T O:ネサ膜)からなり
、1000〜2000[A ]の膜厚(この液晶表示装
置では、1200[人]程度の膜厚)で形成される。こ
の第3導電膜d3はソース電極SDI、ドレイン電極S
D2および映像信号線DLを構成するとともに、透明画
素電極ITOIを構成するようになっている。 ソース電極SDIの第1導電膜di、ドレイン電極SD
2の第1導電膜d1のそれぞれは、上層の第2導電膜d
2および第3導電膜d3に比べて内側に(チャンネル領
域内に)大きく入り込んでいる。つまり、これらの部分
における第1導電膜d1は第2導電膜d2.第3導電膜
d3とは無関係に薄膜トランジスタTPTのゲート長り
を規定できるように構成されている。 ソース電極SDIは透明画素電極ITOIに接続されて
いる。ソース電極SD1は、i型半導体層ASの段差形
状(第1導電膜g1の膜厚、N+型半導体層doの膜厚
およびi型半導体JASの膜厚を加算した膜厚に相当す
る段差)に沿って構成されている。具体的には、ソース
電極SDIは。 i型半導体層ASの段差形状に沿って形成された第1導
電膜d1と、この第1導電膜d1の上部にそれに比べて
透明画素電極IT○1と接続される側を小さいサイズで
形成した第2導電膜d2と、この第2導電膜d2から露
出する第1導電膜d1に接続された第3導電膜d3とで
構成されている。 ソース電極SDIの第2導電膜d2は第1導電膜d1の
クロム膜がストレスの増大から厚く形成できず、i型半
導体層ASの段差形状を乗り越えられないので、このi
型半導体層ASを乗り越えるために構成されている。つ
まり、第2導tllld2は厚く形成することでステッ
プカバレッジを向上している。第2導電膜d2は厚く形
成できるので、ソース電極SDIの抵抗値(トレイン電
極SD2や映像信号1iDLについても同様)の低減に
大きく寄与している。第3導電膜d3は第2導電膜d2
のi型半導体層ASに起因する段差形状を乗り越えるこ
とができないので、第2導電膜d2のサイズを小さくす
ることで、露出する第1導電膜d1に接続するように構
成されている。第1導電膜d1と第3導電膜d3とは接
着性が良好であるばかりか、両者間の接続部の段差形状
が小さいので、ソース電極SDIと透明画素電極ITO
Iとを確実に接続することができる。 (透明画素電極ITOI> 透明画素電極ITOIは各画素毎に設けられており、液
晶表示部の画素電極の一方を構成する。 透明画素電極IT○1は画素の複数に分割された薄膜ト
ランジスタTPTI〜TFT3のそれぞれに対応して3
つの分割透明画素電極E1.E2、E3に分割されてい
る。分割透明画素型[!El〜E3は各々薄膜トランジ
スタTPTのソース電極SDIに接続されている。 分割透明画素電極E1〜E3のそれぞれは実質的に同一
面積となるようにパターニングされている。 このように、1画素の薄膜トランジスタTPTを複数の
薄膜トランジスタTPTI〜TFT3に分割し、この複
数に分割された薄膜トランジスタTPTI〜TFT3の
それぞれに分割透明画素電極E1〜E3のそれぞれを接
続することにより、分割された一部分(たとえば、薄膜
トランジスタTFTI)が点欠陥になっても、画素全体
でみれば点欠陥でなくなる(薄膜トランジスタTPT2
および薄膜トランジスタTFT3が欠陥でない)ので、
点欠陥の確率を低減することができ、また欠陥を見にく
くすることができる。 また、分割透明画素電極El−E3のそれぞれを実質的
に同一面積で構成することにより、分割透明画素電極E
1〜E3のそれぞれと共通透明画素電極ITO2とで構
成されるそれぞれの液晶容量Cpixを均一にすること
ができる。 (保護膜PSVI> 薄膜トランジスタTPTおよび透明画素電極ITOI上
には保護膜PSVIが設けられている。 保護膜PSVIは主に薄膜トランジスタTPTを湿気等
から保護するために形成されており、透明性が高くしか
も耐湿性の良いものを使用する。保護膜PSVIはたと
えばプラズマCVD装置で形成した酸化シリコン膜や窒
化シリコン膜で形成されており、8000[人]程度の
膜厚で形成する。 (遮光膜BM> 上部透明ガラス基板5U82側には、外部光(第2B図
では上方からの光)がチャネル形成領域として使用され
るi型半導体層ASに入射されないように、遮蔽膜BM
が設けられ、遮蔽膜BMは第6図のハツチングに示すよ
うなパターンとされている。なお、第6図は第2A図に
おけるITO膜からなる第3導電膜d3.カラーフィル
タFILおよび遮光膜BMのみを描いた平面図である。 遮光膜BMは光に対する遮蔽性が高いたとえばアルミニ
ウム膜やクロム膜等で形成されており、この液晶表示装
置ではクロム膜がスパッタリングで1300[入コ程度
の膜厚に形成される。 したがって、薄膜トランジスタTFTI〜TFT3のi
型半導体層ASは上下にある遮光膜BMおよび太き目の
ゲート電極GTによってサンドイッチにされ、その部分
は外部の自然光やバックライト光が当たらなくなる。遮
光膜BMは第6図のハツチング部分で示すように、画素
の周囲に形成され、つまり遮光膜BMは格子状に形成さ
れ(ブラックマトリクス)、この格子で1画素の有効表
示領域が仕切られている。したがって、各画素の輪郭が
遮光膜BMによってはっきりとし、コントラストが向上
する。つまり、遮光膜BMはi型半導体層ASに対する
遮光とブラックマトリクスとの2つの機能をもつ。 なお、バックライトを上部透明ガラス基板5UB2側に
取り付け、下部透明ガラス基板5UBIを観察側(外部
露出側)とすることもできる。 (共通透明画素電極ITO2)) 共通透明画素電極ITO2は、下部透明ガラス基板5U
BI側に画素毎に設けられた透明画素電極ITOIに対
向し、液晶LCの光学的な状態は各画素電極ITOIと
共通透明画素電極ITO2との間の電位差(電界)に応
答して変化する。この共通透明画素電極ITO2にはコ
モン電圧V conが印加されるように構成されている
。コモン電圧vcoI11は映像信号線DLに印加され
るロウレベルの駆動電圧Vdm1nとハイレベルの駆動
電圧Vdmaxとの中間電位である。 (カラーフィルタF I L> カラーフィルタFILはアクリル樹脂等の樹脂材料で形
成される染色基材に染料を着色して構成されている。カ
ラーフィルタFILは画素に対向する位置に各画素毎に
ドツト状に形成され(第7図)、染め分けられている(
第7図は第3図の第3導電膜層d3とカラーフィルタF
ILのみを描いたもので、R,G、Bの各カラーフィル
ターFILはそれぞれ、45’   135°、クロス
のハツチを施しである)、カラーフィルタFILは第6
図に示すように透明画素電極ITOI (El〜E3)
の全てを覆うように太き目に形成され、遮光膜BMはカ
ラーフィルタFILおよび透明画素電極工TOIのエツ
ジ部分と重なるよう透明画素電極ITOlの周縁部より
内側に形成されている。 カラーフィルタFILは次のように形成することができ
る。まず、上部透明ガラス基板5UB2の表面に染色基
材を形成し、フォトリングラフィ技術で赤色フィルタ形
成領域以外の染色基材を除去する。この後、染色基材を
赤色染料で染め、固着処理を施し、赤色フィルタRを形
成する。つぎに、同様な工程を施すことによって、緑色
フィルタG、青色フィルタBを順次形成する。 (保護膜PSV2> 保護膜PSV2はカラーフィルタFILを異なる色に染
め分けた染料が液晶LCに漏れることを防止するために
設けられている。保護膜PSV2はたとえばアクリル樹
脂、エポキシ樹脂等の透明樹脂材料で形成されている。 (画素配列) 液晶表示部の各画素は、第3図および第7図に示すよう
に、走査信号線GLが延在する方向と同一列方向に複数
配置され、画素列Xi、X2゜X3.X4.・・・のそ
れぞれを構成している。各画素列Xi、X2.X3.X
4.・・・のそれぞれの画素は、薄膜トランジスタTF
TI〜TFT3および分割透明画素電極E1〜E3の配
置位置を同一に構成している。つまり、奇数画素列Xi
、X3゜・・・のそれぞれの画素は、薄膜トランジスタ
TFT工〜TFT3の配置位置を左側、分割透明画素電
極E1〜E3の配置位置を右側に構成している。 奇数画素列Xi、X3.・・・のそれぞれの行方向の隣
りの偶数画素列X2.X4.・・・のそれぞれの画素は
、奇数画素列Xi、X3.・・・のそれぞれの画素を映
像信号線DLの延在方向を基準にして線対称でひっくり
返した画素で構成されている。すなわち、画素列X2.
X4.・・・のそれぞれの画素は、薄膜トランジスタT
PTI〜TFT3の配置位置を右側、透明画素電極El
−E3の配置位置を左側に構成している。そして、画素
列X2.X4゜・・・のそれぞれの画素は、画素列Xi
、X3.・・・のそれぞれの画素に対し、列方向に半画
素間隔移動させて(ずらして)配置されている。つまり
、画素列Xの各画素間隔をi、o (i、oピッチ)と
すると、次段の画素列Xは、各画素間隔を1.0とし、
前段の画素列Xに対して列方向に0.5画素間隔(0,
5ピツチ)ずれている。各画素間を行方向に延在する映
像信号線DLは、各画素列X間において、半画素間隔分
(0,5ピツチ分)列方向に延在するように構成されて
いる。 その結果、第7図に示すように、前段の画素列Xの所定
色フィルタが形成された画素(たとえば、画素列X3の
赤色フィルタRが形成された画素)と次段の画素列Xの
同一色フィルタが形成された画素(たとえば、画素列X
4の赤色フィルタRが形成された画素)とが1.5画素
間隔(1,5ピツチ)離隔され、またRGBのカラーフ
ィルタFILは三角形配置となる。カラーフィルタFI
LのRGBの三角形配置構造は、各色の混色を良くする
ことができるので、カラー画像の解像度を向上すること
ができる。 また、映像信号線DLは、各画素列X間において、半画
素間隔分しか列方向に延在しないので、隣接する映像信
号線DLと交差しなくなる。したがって、映像信号線D
Lの引き回しをなくしその占有面積を低減することがで
き、また映像信号線DLの迂回をなくし、多層配線構造
を廃止することができる。 (表示装置全体等価回路) この液晶表示装置の等価回路を第8図に示す。 XiG、Xi+IG、・・・は、緑色フィルタGが形成
される画素に接続された映像信号線DLである。 XiB、Xi+IB、・・・は、青色フィルタBが形成
される画素に接続された映像信号線DLである。 Xi+IR,Xi+2R,・・・は、赤色フィルタRが
形成される画素に接続された映像信号線DLである。こ
れらの映像信号gDLは、映像信号駆動回路で選択され
る。Yiは第3図および第7図に示す画素列X1を選択
する走査信号線OLである。 同様に、Yi+1.Yi+2.・・・のそれぞれは、画
素列X2.X3.・・・のそれぞれを選択する走査信号
線GLである。これらの走査信号線OLは乗置走査回路
に接続されている。 (保持容量素子Caddの構造) 分割透明画素電極E1〜E3のそれぞれは、薄膜トラン
ジスタTPTと接続される端部と反対側の端部において
、隣りの走査信号、1!GLと重なるよう、L字状に屈
折して形成されている。この重ね合わせは、第2C図か
らも明らかなように、分割透明画素電極E1〜E3のそ
れぞれを一方の電極PL2とし、隣りの走査信号線GL
を他方の電極PLIとする保持容量素子(静電容量素子
)Caddを構成する。この保持容量素子Caddの誘
電体膜は、薄膜トランジスタTPTのゲート絶縁膜とし
て使用される絶縁膜GIと同一層で構成されている。 保持容量素子Caddは、第4図からも明らかなように
、ゲート線GLの第1導電膜g1の幅を広げた部分に形
成されている。なお、映像信号線DLと交差する部分の
第1導電膜glは映像信号線DLとの短絡の確率を小さ
くするため細くされている。 保持容量素子Caddを構成するために重ね合わされる
分割透明画素電極E1〜E3のそれぞれと電極PLIと
の間の一部には、ソース電極SDIと同様に1段差形状
を乗り越える際に透明画素電極ITOIが断線しないよ
うに、第2導電膜d2および第2導電膜d2で構成され
た島領域が設けられている。この島領域は、透明画素電
極ITO1の面積(開口率)を低下しないように、でき
る限り小さく構成する。 (保持容量素子Caddの等価回路とその動作)第2A
図に示される画素の等価回路を第9図に示す。第9図に
おいて、Cgsは薄膜トランジスタTPTのゲート電極
GTとソース電極SDIとの間に形成される寄生容量で
ある。寄生容量Cgsの誘電体膜はM縁膜GIである。 Cpixは透明画素電極ITOI (PIX)と共通透
明画素電極IT02 (COM)との間に形成される液
晶容量である。液晶容量Cpixの誘電体膜は液晶LC
1保護膜PSVIおよび配向膜0RII、0RI2であ
る。Vlcは中点電位である。 保持容量素子Caddは、薄膜トランジスタTPTがス
イッチングするとき、中点電位(画素電極電位)Vlc
に対するゲート電位変化ΔVgの影響を低減するように
働く。この様子を式で表すと。 次式のようになる。 Δ Vlc= (Cgs/(Cgs+Cadd+Cpi
x))X  ΔVgここで、ΔVlcはΔVgによる中
点電位の変化分を表わす、この変化分ΔVieは液晶L
Cに加わる直流成分の原因となるが、保持容量Cadd
を大きくすればする程、その値を小さくすることができ
る。また、保持容量素子Caddは放電時間を長くする
作用もあり、薄膜トランジスタTPTがオフした後の映
像情報を長く蓄積する。液晶LCに印加される直流成分
の低減は、液晶LCの寿命を向上し、液晶表示画面の切
り替え時に前の画像が残るいわゆる焼き付きを低減する
ことができる。 前述したように、ゲート電極GTはi型半導体層ASを
完全に覆うよう大きくされている分、ソース電極SDI
、ドレイン電極SD2とのオーバラップ面積が増え、し
たがって寄生容量Cgsが大きくなり、中点電位v1C
はゲート(走査)信号Vgの影響を受は易くなるという
逆効果が生じる。 しかし、保持容量素子Caddを設けることによりこの
デメリットも解消することができる。 保持容量素子Caddの保持容量は、画素の書込特性か
ら、液晶容量Cpixに対して4〜8倍(4・Cpix
<Cadd<8・Cpix) 、重ね合わせ容量Cgs
に対して8〜32倍(8・Cgs< Cadd< 32
・Cgs)程度の値に設定する。 (保持容量素子Cadd電極線の結線方法)容量電極線
としてのみ使用される最終段の走査信号線OL(または
初段の走査信号線GL)は、第8図に示すように、共通
透明画素電極ITO2(Vcom)に接続する。共通透
明画素電極ITO2は、第2B図に示すように、液晶表
示装置の周縁部において銀ペースト材SLによって外部
引出配線に接続されている。しかも、この外部引出配線
の一部の導電層(glおよびg2)は走査信号線GLと
同一製造工程で構成されている。この結果、最終段の走
査信号線(容量電極線)OLは。 共通透明画素電極ITO2に簡単に接続することができ
る。 または、第8図の点線で示すように、最終段(初段)の
走査信号線(容量電極線)OLを初段(最終段)の走査
信号線OLに接続してもよい。 なお、この接続は液晶表示部内の内部配線あるいは外部
引出配線によって行なうことができる。 (保持容量素子Caddの走査信号による直流分相殺) この液晶表示装置は、先に本願出願人によって出願され
た特願昭62−95125号に記載される直流相殺方式
(DCキャンセル方式)に基づき、第10図(タイムチ
ャート)に示すように、走査信号線GLの駆動電圧を制
御することによってさらに液晶LCに加わる直流成分を
低減することができる。第10図において、viは任意
の走査信号線OLの駆動電圧、V i + 1はその次
段の走査信号線GLの駆動電圧である。Veeは映像信
号線DLに印加されるロウレベルの駆動電圧Vd■in
、Vddは映像信号線DLに印加されるハイレベルの駆
動電圧V d waxである。各時刻t:tl−t4に
おける中点電位v1c(第9図参照)の電圧変化分Δv
1〜Δv4は、画素の合計の容量C=Cgs+Cpix
 + Caddとすると、次式で表される。 ΔV z =(Cgs/ C)・V 2ΔV、=+(C
gs/C)−(V1+V2)−(Cadd/ C)・V
 2 Δvよ=−(Cgs/C)・vl +(Cadd/C)(V1+V2) ΔV、= −(Cadd/ C)・V 1ここで、走査
信号線GLに印加される駆動電圧が充分であれば(下記
Hereinafter, the structure of the present invention will be described together with an embodiment in which the present invention is applied to an active matrix color liquid crystal display device. In addition, in all the figures for explaining the embodiment, parts having the same functions are given the same reference numerals, and repeated explanations thereof will be omitted. FIG. 2A is a plan view showing one pixel and its surroundings of an active matrix color liquid crystal display device to which the present invention is applied, and FIG. 2B is a cross section taken along the nB-nB cutting line in FIG. 2A and a seal portion of the display panel. Diagram showing a cross section of the vicinity, 2nd
Figure C is a sectional view taken along the NC-NC line in Figure 2A. Moreover, FIG. 3 (main part plan view) shows a plan view when a plurality of pixels shown in FIG. 2A are arranged. (Pixel Arrangement) As shown in Figure 2A, each pixel is connected to two adjacent scanning signal lines (gate signal line or horizontal signal a) GL and two adjacent video signal lines (drain signal line or vertical signal line line) DL (in the area surrounded by four signal lines). Each pixel has a thin film transistor TPT and a transparent pixel electrode ITO.
I and a storage capacitor element Cadd. Scanning signal line GL
extend in the column direction, and a plurality of them are arranged in the row direction. The video signal line DL extends in the row direction. Multiple pieces are arranged in the column direction. (Overall cross-sectional structure of display section) As shown in FIG. 2B, a thin film 1-transistor TFT and a transparent pixel electrode ITOI are formed on the lower transparent glass substrate 5UBI side with respect to the liquid crystal LC, and on the upper transparent glass substrate 5UB2 side. The 6 lower transparent glass substrates 5UBI on which the color filters FIL and the light shielding film BM forming the black matrix pattern for light shielding are formed are, for example, 1, 1
The thickness is approximately [mm]. The central part of Figure 2B shows a cross section of one pixel,
The left side shows the cross section of the left edge of the transparent glass substrates 5UBI and 5UB2 where external lead wiring exists, and the right side shows the cross section of the right edge of the transparent glass substrates 5UB1.5UB2 where no external lead wiring exists. It shows. The sealing material SL shown on the left and right sides of FIG. 2B is configured to seal the liquid crystal LC, and the transparent glass substrate 5UB1.5 excluding the liquid crystal sealing opening (not shown)
It is formed along the entire edge of UB2. The sealing material SL is made of, for example, epoxy resin. Common transparent pixel electrode IT on the upper transparent glass substrate 5UBZ side
O2 is supplied to the silver paste material SI at least in one place.
L is connected to an external lead wiring formed on the UBI side of the lower transparent glass substrate 5. This external lead wiring includes a gate electrode GT, a source electrode SDI, and a drain electrode SD2.
are formed in the same manufacturing process as each. Alignment film ○RII, 0RI2, transparent pixel electrode ITO1, common transparent pixel electrode IT○2. Protective film psv1, PSV2,
Each layer of the insulating film G is formed inside the sealing material SL. The polarizing plates POLI and POL2 are formed on the outer surfaces of the lower transparent glass substrate 5UBI and the upper transparent glass substrate 5UB2, respectively. Liquid crystal LC has a lower alignment film ○RI that sets the direction of liquid crystal molecules.
It is sealed between I and the upper alignment film ○RI2, and the seal part S
It is sealed by L. The lower alignment film 0RII is formed on the protective film psvi on the lower transparent glass substrate 5UBl side. A light shielding film BM, a color filter FIL, and a protective film P are provided on the inner surface (liquid crystal LC side) of the upper transparent glass substrate 5UB2.
SV2. A common transparent pixel electrode IT○2 (COM) and an upper alignment film 0RI2 are sequentially laminated. This liquid crystal display device is constructed by separately forming layers on the lower transparent glass substrate 5UBl side and the upper transparent glass substrate 5UBZ side, and then overlapping the upper and lower transparent glass substrates 5UB1.5UB2 and sealing the liquid crystal LC between them. Can be assembled. (Thin film transistor TPT> The thin film transistor TPT operates in such a way that when a positive bias is applied to the gate voltage iGT, the channel resistance between the source and drain becomes small, and when the bias is reduced to zero, the channel resistance becomes large.Thin film transistor of each pixel TPT is 3 within a pixel.
It is divided into two (plurality) of thin film transistors (divided thin film transistors) TFTI, TFT2, and TFT3. Each of the thin film transistors TPTI to TFT3 has substantially the same size (channel length and width are the same). Each of the divided thin film transistors TPTI to TFT3 mainly has a gate electrode GT.
, gate insulating film GI, i-type (intrinsic, 1ntrinsic
, a pair of source electrodes SD1 and drain electrodes SD2. Note that the source and drain are originally determined by the bias polarity between them, and in the circuit of this liquid crystal display device, the polarity is reversed during operation, so it should be understood that the source and drain are interchanged during operation. However, in the following description, for convenience, one side is fixed as a source and the other side is fixed as a drain. (Gate electrode GT> The gate electrode GT is shown in FIG. 4 (the first conductive film gl in FIG. 2A,
As shown in detail in the plan view (plan view depicting only the second conductive film g2 and the i-type semiconductor IAs), it has a shape that projects vertically from the scanning signal aGL (upward in FIGS. 2A and 4). (branched into a T-shape). Gate electrode GT is thin film transistor TPTI~TFT3
It is configured to protrude to the respective formation areas. The respective gate electrodes GT of the thin film transistors TFTI to TFT3 are integrally formed (as a common gate electrode) and are formed continuously to the scanning signal line GL. The gate electrode GT is made of a single-layer first layer so as not to create a large step in the formation region of the thin film transistor TPT.
It is composed of a conductive film g1. The first conductive film gl is, for example, a chromium (Cr) film formed by sputtering, and has a film thickness of 1000 [
λ]. As shown in FIGS. 2A, 2B, and 4, this gate electrode GT is formed to be thicker than the i-type semiconductor layer AS so as to completely cover it (as viewed from below). Therefore, when a backlight BL such as a fluorescent lamp is attached below the lower transparent glass substrate 5UBI, the gate electrode GT made of opaque or ROM forms a shadow, and the backlight light does not shine on the i-type semiconductor layer AS. , a conductive phenomenon caused by light irradiation, that is, deterioration of the off-characteristics of the thin film transistor TPT, becomes less likely to occur. Note that the original size of the gate electrode GT is the minimum required size to span between the source electrode SDI and drain electrode SD2 (including the alignment margin between the gate electrode GT, the source electrode SDI, and the drain electrode SD2). )@, and its depth length that determines the channel 1w is the ratio of the distance (channel length) L between the source electrode SDI and the drain electrode SD2, that is, what is the factor W/L that determines the mutual conductance? It is determined by The size of the gate electrode GT in this liquid crystal display device is of course made larger than the original size mentioned above. Note that if we consider only from the gate and light shielding function of the gate electrode GT, the gate electrode GT and the scanning signal line GL
may be integrally formed in a single layer, in which case aluminum (Al) containing silicon is used as the opaque conductive material.
), pure aluminum. Aluminum containing palladium (Pd) can be selected. (Scanning Signal Line GL> The scanning signal line GL is composed of a composite film consisting of a first conductive film g1 and a second conductive film g2 provided on the top of the first conductive film g1. The first conductive film g1 of the scanning signal fiGL is It is formed in the same manufacturing process as the I conductive film g1 of the electrode GT, and is configured integrally.The second conductive film g2 is made of, for example, an aluminum film formed by sputtering, and has a thickness of about 1000 to 5500 [large]. The second conductive film g2 is configured to reduce the resistance value of the scanning signal line OL and increase the signal transmission speed (improve the writing characteristics of pixel information). Furthermore, the width of the second conductive film g2 of the scanning signal line GL is configured to be smaller than the width of the first conductive film g1.In other words, the scanning signal line OL has a gradual step shape on its side wall. (Insulating film GI)> The M edge film GI is used as a gate insulating film for each of the thin film transistors TPTI to TFT3. The insulating film GI is formed in the upper layer of the gate electrode GT and the scanning signal line GL. Insulating film For example, GI is plasma C
A silicon nitride film formed by VD is used to have a thickness of about 3000 [layers]. (i All Semiconductor Layer AS> As shown in FIG. 4, the i All Semiconductor Layer AS is used as a channel formation region for each of the thin film transistors TPTI to TFT3 divided into a plurality of parts.
s is formed of an amorphous silicon film or a polycrystalline silicon film, and is formed to a thickness of about 1800 mm. This i-all-semiconductor layer AS is made of Si by changing the composition of the supplied gas.
, N, an insulating film G used as a gate insulating film
Subsequently to the formation of I, it is formed in the same plasma CVD apparatus without being exposed to the outside from the plasma CVD apparatus. Further, a P-doped N+ type semiconductor layer do (FIG. 2B) for ohmic contact is similarly formed continuously to a thickness of about 40 mm. Thereafter, the lower transparent glass substrate 5UBI is taken out from the CVD apparatus, and by photoprocessing technology, the entire semiconductor layer AS of N+ type semiconductor [dO and i is separated as shown in FIGS. 2A, 2B, and 4. Patterned into islands. The all-semiconductor layer AS is also provided between the scanning signal line GL and the video signal line DL at the intersection (crossover section), as shown in detail in FIGS. 2A and 4. The i-all semiconductor layers AS at this intersection are configured to reduce short circuits between the scanning signal line GL and the video signal line DL at the intersection. (Source electrode SDI, drain electrode SD2>The source electrode SD1 and drain electrode SD2 of each of the thin film transistors TPTI to TFT3 divided into a plurality of
As shown in detail in FIGS. 2B, 2B, and 5 (a plan view depicting only the first to third conductive films di to d3 in FIG. 2A), It is being Each of the source electrode SDI and drain electrode SD2 is
A first conductive film d1, a second conductive film d2, and a third conductive film d3 are stacked in JllI order from the lower layer side in contact with the N" type semiconductor JIdO. The upper conductive film di of the source electrode SDI, The second conductive film d2 and the third conductive film d3 are
The first conductive film dL of drain electrode 1=isD2 is formed in the same manufacturing process as the second conductive film d2 and the third conductive film d3.The first conductive film d1 is made of a chromium film formed by sputtering,
It is formed with a film thickness of 500 to 1000 [A] (in this liquid crystal display device, a film thickness of about 600 [A]). The thicker the chromium film is, the greater the stress will be, so
The film thickness is formed within a range of about 0.00 [persons]. The chromium film has good contact with the N+ type semiconductor NdO. The chromium film constitutes a so-called barrier layer that prevents aluminum of the second conductive film d2, which will be described later, from diffusing into the N+ type semiconductor ldo. As the first conductive film d1, in addition to the chromium film, a high melting point metal (
Mo, Ti, Ta, W) films, high melting point metal silicide (M
o S l 2, Ti S i2. TaSi2
, WSi, ) film. After patterning the first conductive film d1 by photo processing, the N+ type semiconductor 1dO is removed using the same photo processing mask or using the first conductive film di as a mask. That is, the portion of the N+ type semiconductor layer do remaining on the i-type half-substrate layer AS except for the first conductive film di is removed by the self-alignment line. At this time, since the N1 type semiconductor ldo is etched so that its entire thickness is removed, the i type semiconductor device S is also slightly etched on its surface, but the extent can be controlled by the etching time. Thereafter, the second conductive film d2 is formed by sputtering aluminum to a thickness of about 3000 to 5500 mm (in this liquid crystal display device, the thickness is about 3500 mm). Aluminum film has less stress than chrome film,
It is possible to form a thick film, and the source electrode SD1,
It is configured to reduce the resistance values of the drain electrode SD2 and the video signal line DL. The second conductive film d2 may be formed of an aluminum film containing silicon or copper (Cu) as an additive in addition to the aluminum film. After patterning the second conductive film d2 by photo processing technology,
A third conductive film d3 is formed. This third conductive film d3 is a transparent conductive film (Induim-
It is made of Tin-Oxide ITO (NESA film) and is formed with a film thickness of 1000 to 2000 [A] (in this liquid crystal display device, a film thickness of about 1200 [A]). This third conductive film d3 includes a source electrode SDI and a drain electrode S
In addition to configuring D2 and the video signal line DL, the transparent pixel electrode ITOI is also configured. First conductive film di of source electrode SDI, drain electrode SD
Each of the two first conductive films d1 has an upper second conductive film d1.
The conductive film d2 and the third conductive film d3 extend further inward (into the channel region). That is, the first conductive film d1 in these parts is the second conductive film d2. The structure is such that the gate length of the thin film transistor TPT can be defined independently of the third conductive film d3. The source electrode SDI is connected to the transparent pixel electrode ITOI. The source electrode SD1 has a step shape in the i-type semiconductor layer AS (a step corresponding to the sum of the thickness of the first conductive film g1, the thickness of the N+ type semiconductor layer do, and the thickness of the i-type semiconductor JAS). It is structured along. Specifically, the source electrode SDI is. A first conductive film d1 is formed along the step shape of the i-type semiconductor layer AS, and the side to be connected to the transparent pixel electrode IT○1 is formed on the upper part of the first conductive film d1 in a smaller size than that of the first conductive film d1. It is composed of a second conductive film d2 and a third conductive film d3 connected to the first conductive film d1 exposed from the second conductive film d2. The second conductive film d2 of the source electrode SDI cannot be formed thickly because the chromium film of the first conductive film d1 increases stress, and cannot overcome the stepped shape of the i-type semiconductor layer AS.
It is configured to overcome the type semiconductor layer AS. In other words, the step coverage is improved by forming the second conductor tlllld2 thickly. Since the second conductive film d2 can be formed thickly, it greatly contributes to reducing the resistance value of the source electrode SDI (the same applies to the train electrode SD2 and the video signal 1iDL). The third conductive film d3 is the second conductive film d2
Since the step shape caused by the i-type semiconductor layer AS cannot be overcome, the second conductive film d2 is configured to be connected to the exposed first conductive film d1 by reducing the size of the second conductive film d2. The first conductive film d1 and the third conductive film d3 not only have good adhesion but also have a small step shape at the connection between them, so that the source electrode SDI and the transparent pixel electrode ITO
It is possible to reliably connect to I. (Transparent pixel electrode ITOI> The transparent pixel electrode ITOI is provided for each pixel and constitutes one of the pixel electrodes of the liquid crystal display section. The transparent pixel electrode IT○1 is a thin film transistor TPTI to TFT3 that is divided into a plurality of pixels. 3 corresponding to each of
Two divided transparent pixel electrodes E1. It is divided into E2 and E3. Split transparent pixel type [! El to E3 are each connected to the source electrode SDI of the thin film transistor TPT. Each of the divided transparent pixel electrodes E1 to E3 is patterned to have substantially the same area. In this way, the thin film transistor TPT of one pixel is divided into a plurality of thin film transistors TPTI to TFT3, and each of the divided transparent pixel electrodes E1 to E3 is connected to each of the divided thin film transistors TPTI to TFT3. Even if a part of the pixel (for example, the thin film transistor TFTI) becomes a point defect, it is no longer a point defect when looking at the entire pixel (the thin film transistor TPT2
and thin film transistor TFT3 are not defective), so
The probability of point defects can be reduced, and defects can be made difficult to see. Furthermore, by configuring each of the divided transparent pixel electrodes El-E3 to have substantially the same area, the divided transparent pixel electrode E
It is possible to make the respective liquid crystal capacitances Cpix formed by each of the pixels 1 to E3 and the common transparent pixel electrode ITO2 uniform. (Protective film PSVI> A protective film PSVI is provided over the thin film transistor TPT and the transparent pixel electrode ITOI. The protective film PSVI is mainly formed to protect the thin film transistor TPT from moisture etc., and has high transparency and Use a material with good moisture resistance.The protective film PSVI is made of, for example, a silicon oxide film or a silicon nitride film formed using a plasma CVD device, and is formed to a thickness of about 8000 [layers]. (Light-shielding film BM> A shielding film BM is provided on the upper transparent glass substrate 5U82 side to prevent external light (light from above in FIG. 2B) from entering the i-type semiconductor layer AS used as a channel formation region.
is provided, and the shielding film BM has a pattern as shown by hatching in FIG. Note that FIG. 6 shows the third conductive film d3. made of an ITO film in FIG. 2A. FIG. 3 is a plan view depicting only a color filter FIL and a light shielding film BM. The light shielding film BM is formed of a film having a high light shielding property, such as an aluminum film or a chromium film, and in this liquid crystal display device, the chromium film is formed by sputtering to a thickness of approximately 1300 mm. Therefore, i of thin film transistors TFTI to TFT3
The type semiconductor layer AS is sandwiched between the upper and lower light shielding films BM and the thick gate electrode GT, and that portion is not exposed to external natural light or backlight light. The light shielding film BM is formed around the pixel as shown by the hatched area in FIG. There is. Therefore, the outline of each pixel becomes clear due to the light shielding film BM, and the contrast is improved. In other words, the light shielding film BM has two functions: shielding the i-type semiconductor layer AS and serving as a black matrix. Note that it is also possible to attach the backlight to the upper transparent glass substrate 5UB2 side and make the lower transparent glass substrate 5UBI the viewing side (externally exposed side). (Common transparent pixel electrode ITO2)) The common transparent pixel electrode ITO2 is connected to the lower transparent glass substrate 5U.
Opposing the transparent pixel electrode ITOI provided for each pixel on the BI side, the optical state of the liquid crystal LC changes in response to the potential difference (electric field) between each pixel electrode ITOI and the common transparent pixel electrode ITO2. The configuration is such that a common voltage V con is applied to this common transparent pixel electrode ITO2. The common voltage vcoI11 is an intermediate potential between the low-level drive voltage Vdm1n and the high-level drive voltage Vdmax applied to the video signal line DL. (Color filter FIL> The color filter FIL is constructed by coloring a dyed base material made of a resin material such as acrylic resin with dye.The color filter FIL has a dot for each pixel at a position facing the pixel. It is formed into a shape (Fig. 7) and is dyed differently (
Figure 7 shows the third conductive film layer d3 and color filter F in Figure 3.
Only the IL is drawn, and each of the R, G, and B color filters FIL is 45' 135°, with a cross hatch), and the color filter FIL is the 6th color filter FIL.
Transparent pixel electrode ITOI (El~E3) as shown in the figure
The light shielding film BM is formed to be thick so as to cover all of the transparent pixel electrode ITOl, and the light shielding film BM is formed inside the peripheral part of the transparent pixel electrode ITOL so as to overlap with the color filter FIL and the edge part of the transparent pixel electrode TOI. Color filter FIL can be formed as follows. First, a dyed base material is formed on the surface of the upper transparent glass substrate 5UB2, and the dyed base material other than the red filter formation area is removed using photolithography technology. Thereafter, the dyed base material is dyed with a red dye and subjected to a fixing treatment to form a red filter R. Next, a green filter G and a blue filter B are sequentially formed by performing similar steps. (Protective film PSV2> The protective film PSV2 is provided to prevent the dyes that dye the color filter FIL into different colors from leaking into the liquid crystal LC.The protective film PSV2 is made of a transparent resin material such as acrylic resin or epoxy resin. (Pixel Arrangement) As shown in FIGS. 3 and 7, a plurality of pixels of the liquid crystal display section are arranged in the same column direction as the direction in which the scanning signal line GL extends. Xi, X2°X3.X4... Each pixel column Xi, X2.X3.X
4. Each pixel of... is a thin film transistor TF
The arrangement positions of TI to TFT3 and divided transparent pixel electrodes E1 to E3 are configured to be the same. In other words, odd pixel row Xi
, Odd pixel columns Xi, X3. . . , adjacent even-numbered pixel columns X2 . X4. . . are arranged in odd-numbered pixel columns Xi, X3 . . . . each pixel is made up of pixels that are symmetrically turned upside down with respect to the extending direction of the video signal line DL. That is, pixel row X2.
X4. Each pixel of... is a thin film transistor T
The arrangement position of PTI~TFT3 is on the right side, transparent pixel electrode El
-E3 is arranged on the left side. Then, pixel row X2. Each pixel of X4°... is a pixel column Xi
,X3. ... are shifted (shifted) by half a pixel interval in the column direction. In other words, if each pixel interval of the pixel row X is i, o (i, o pitch), then the pixel interval of the next pixel row
0.5 pixel interval (0,
5 pitch) is off. The video signal line DL extending in the row direction between each pixel is configured to extend in the column direction by a half pixel interval (0.5 pitch) between each pixel column X. As a result, as shown in FIG. 7, the pixel in the previous pixel row Pixels on which color filters are formed (for example, pixel row
4) are spaced apart by 1.5 pixels (1.5 pitch), and the RGB color filters FIL are arranged in a triangular arrangement. Color filter FI
The triangular arrangement structure of RGB of L can improve the color mixing of each color, and therefore can improve the resolution of a color image. Moreover, since the video signal line DL extends in the column direction by only half a pixel interval between each pixel column X, it does not intersect with the adjacent video signal line DL. Therefore, video signal line D
It is possible to eliminate the routing of L and reduce its occupied area, and it is also possible to eliminate detours of the video signal line DL and eliminate the multilayer wiring structure. (Whole Equivalent Circuit of Display Device) An equivalent circuit of this liquid crystal display device is shown in FIG. XiG, Xi+IG, . . . are video signal lines DL connected to pixels in which the green filter G is formed. XiB, Xi+IB, . . . are video signal lines DL connected to the pixels in which the blue filter B is formed. Xi+IR, Xi+2R, . . . are video signal lines DL connected to pixels in which the red filter R is formed. These video signals gDL are selected by a video signal drive circuit. Yi is a scanning signal line OL that selects the pixel column X1 shown in FIGS. 3 and 7. Similarly, Yi+1. Yi+2. . . , each of pixel rows X2 . X3. . . . is a scanning signal line GL that selects each of the following. These scanning signal lines OL are connected to the on-board scanning circuit. (Structure of storage capacitor element Cadd) Each of the divided transparent pixel electrodes E1 to E3 receives the adjacent scanning signal, 1!, at the end opposite to the end connected to the thin film transistor TPT. It is bent into an L shape so as to overlap with GL. As is clear from FIG. 2C, in this superposition, each of the divided transparent pixel electrodes E1 to E3 is used as one electrode PL2, and the adjacent scanning signal line GL
A holding capacitance element (electrostatic capacitance element) Cadd is configured with the other electrode PLI as the other electrode PLI. The dielectric film of this storage capacitor element Cadd is made of the same layer as the insulating film GI used as the gate insulating film of the thin film transistor TPT. As is clear from FIG. 4, the storage capacitor element Cadd is formed in the portion of the gate line GL where the first conductive film g1 is widened. Note that the first conductive film gl in the portion intersecting with the video signal line DL is made thin in order to reduce the probability of short circuit with the video signal line DL. A transparent pixel electrode ITOI is formed between each of the divided transparent pixel electrodes E1 to E3 and the electrode PLI, which are overlapped to form the storage capacitor element Cadd, when the transparent pixel electrode ITOI passes over the one-step shape like the source electrode SDI. The second conductive film d2 and an island region made up of the second conductive film d2 are provided so that the second conductive film d2 is not disconnected. This island region is configured to be as small as possible so as not to reduce the area (aperture ratio) of the transparent pixel electrode ITO1. (Equivalent circuit of storage capacitor element Cadd and its operation) 2nd A
FIG. 9 shows an equivalent circuit of the pixel shown in the figure. In FIG. 9, Cgs is a parasitic capacitance formed between the gate electrode GT and source electrode SDI of the thin film transistor TPT. The dielectric film of the parasitic capacitance Cgs is the M edge film GI. Cpix is a liquid crystal capacitor formed between the transparent pixel electrode ITOI (PIX) and the common transparent pixel electrode IT02 (COM). The dielectric film of liquid crystal capacitor Cpix is liquid crystal LC.
1 protective film PSVI and alignment films 0RII and 0RI2. Vlc is a midpoint potential. When the thin film transistor TPT switches, the storage capacitance element Cadd has a midpoint potential (pixel electrode potential) Vlc.
It works to reduce the influence of gate potential change ΔVg on. This situation can be expressed by a formula. It becomes as follows. Δ Vlc= (Cgs/(Cgs+Cadd+Cpi
x))X ΔVgHere, ΔVlc represents the change in midpoint potential due to ΔVg.
It causes a DC component added to C, but the holding capacity Cadd
The larger the value, the smaller the value. Further, the storage capacitor element Cadd also has the effect of lengthening the discharge time, so that video information is stored for a long time after the thin film transistor TPT is turned off. Reducing the DC component applied to the liquid crystal LC can improve the life of the liquid crystal LC and reduce so-called burn-in, in which the previous image remains when switching between liquid crystal display screens. As mentioned above, since the gate electrode GT is made large enough to completely cover the i-type semiconductor layer AS, the source electrode SDI
, the overlap area with the drain electrode SD2 increases, the parasitic capacitance Cgs increases, and the midpoint potential v1C increases.
has the opposite effect of becoming more susceptible to the influence of the gate (scanning) signal Vg. However, by providing the storage capacitor element Cadd, this disadvantage can also be eliminated. The storage capacitance of the storage capacitor element Cadd is 4 to 8 times the liquid crystal capacitance Cpix (4・Cpix
<Cadd<8・Cpix), superposition capacitance Cgs
8 to 32 times (8・Cgs<Cadd<32
・Set to a value of about Cgs). (Connection method of holding capacitor element Cadd electrode line) As shown in FIG. 8, the final stage scanning signal line OL (or first stage scanning signal line GL) used only as a capacitor electrode line Connect to (Vcom). As shown in FIG. 2B, the common transparent pixel electrode ITO2 is connected to an external wiring at the peripheral edge of the liquid crystal display device by means of a silver paste material SL. Moreover, some of the conductive layers (gl and g2) of this external lead wiring are formed in the same manufacturing process as the scanning signal line GL. As a result, the final stage scanning signal line (capacitor electrode line) OL. It can be easily connected to the common transparent pixel electrode ITO2. Alternatively, as shown by the dotted line in FIG. 8, the final stage (first stage) scanning signal line (capacitive electrode line) OL may be connected to the first stage (final stage) scanning signal line OL. Note that this connection can be made by internal wiring within the liquid crystal display section or external lead wiring. (DC Cancellation by Scanning Signal of Storage Capacitor Element Cadd) This liquid crystal display device is based on the DC cancellation method (DC cancellation method) described in Japanese Patent Application No. 62-95125 previously filed by the applicant of the present application. As shown in FIG. 10 (time chart), by controlling the drive voltage of the scanning signal line GL, the DC component applied to the liquid crystal LC can be further reduced. In FIG. 10, vi is the drive voltage of an arbitrary scanning signal line OL, and V i +1 is the drive voltage of the scanning signal line GL at the next stage. Vee is a low-level drive voltage Vdin applied to the video signal line DL.
, Vdd is a high-level drive voltage V d wax applied to the video signal line DL. Voltage change Δv of midpoint potential v1c (see Figure 9) at each time t: tl-t4
1 to Δv4 is the total capacitance of pixels C=Cgs+Cpix
+Cadd, it is expressed by the following formula. ΔV z = (Cgs/C)・V 2ΔV, =+(C
gs/C)-(V1+V2)-(Cadd/C)・V
2 Δv=-(Cgs/C)・vl +(Cadd/C)(V1+V2) ΔV,=-(Cadd/C)・V 1Here, if the drive voltage applied to the scanning signal line GL is sufficient. (see below)

【注]参照)、液晶LCに加わる直流電圧は、次式で表
される。 Δv3+ΔV、−(Cadd−V 2− Cgs−V 
1 )/ Cしたがって、Cadd−v2=Cgs−v
lとすると、液晶LCに加わる直流電圧はOになる。 【注】時刻t1、t2で駆動電圧Viの変化分が中点電
位v1cに影響を及ぼすが、t2〜t3の期間に中点電
位Vlcは信号線Xiを通じて映像信号電位と同じ電位
にされる(映像信号の十分な書き込み)、液晶LCにか
かる電位は薄膜トランジスタTPTがオフした直後の電
位でほぼ決定される(薄膜トランジスタTPTのオフ期
間がオン期間より圧倒的に長い)、シたがって、液晶L
Cにかかる直流分の計算は、期間t1〜t3はほぼ無視
でき、薄膜トランジスタTPTがオフ直後の電位、すな
わち時刻t3、t4における過渡時の影響を考えればよ
い、なお、映像信号はフレーム毎、あるいはライン毎に
極性が反転し、映像信号そのものによる直流分は零とさ
れている。 つまり、直流相殺方式は、寄生容量Cgsによる中点電
位Vlcの引き込みによる低下分を、保持容量素子Ca
ddおよび次段の走査信号線(容量電極線)GLに印加
される駆動電圧によって押し上げ、液晶LCに加わる直
流成分を極めて小さくすることができる。この結果、液
晶表示装置は液晶LCの寿命を向上することができる。 もちろん、遮光効果を上げるためにゲート電極GTを大
きくした場合、それに伴って保持容量素子Caddの保
持容量を大きくすればよい。 第1A図はこの発明に係るアクティブ・マトリックス方
式のカラー液晶表示装置の制御回路を示すブロック図で
ある。図において、1はアンテナ。 2はアンテナ1に接続されたチューナIF増幅器、3は
アンテナlによって受信した信号のうちの映像信号を増
幅する映像信号増幅器、4は水平同期、5は垂直同期、
6は走査電極駆動回路、7は走査電極駆動回路6に接続
されたバッファ回路で、走査電極駆動回路6等で垂直走
査回路を構成している。8は階調信号発生器、9はアナ
ログマルチプレクサ、10はA/D変換器、11はライ
ンメモリ、12はアナログマルチプレクサ9に接続され
たバッファ回路で、アナログマルチプレクサ9等で映像
信号駆動回路を構成しているおり、垂直走査回路、映像
信号駆動回路で駆動回路を構成している。13a、13
b−はバッファ回路7.12に接続された液晶表示パネ
ル、14はアンテナ1によって受信した信号のうちの音
声信号を増幅する音声信号増幅器、15は音声信号増幅
器14に接続されたバッファ回路、16a、16bはバ
ッファ回路15に接続されたスピーカである。 第1B図は第1A図に示した制御回路を有するアクティ
ブ・マトリックス方式のカラー液晶表示装置を示す概轄
断面図である。図において、17は枠体で、枠体17に
互いに背を向けて液晶表示パネル13a、13bが取り
付けられており、また枠体エフの液晶表示パネル13a
、13bの下方にスピーカ16a、16bが取り付けら
れている。18は枠体17内向けられたバックライトで
。 バックライト18を液晶表示パネル13a、13bが共
用している。 この液晶表示装置においては、液晶表示パネルを2つ(
13a、13b)有しているから、映像を多人数で楽し
むことができ、また駆動回路、バックライト18をそれ
ぞれ1つしか設けていないから、安価である。 以上1本発明者によってなされた発明を、前記実施例に
基づき具体的に説明したが、この発明は、前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲に
おいて種々変更可能であることは勿論である。 たとえば、上述実施例においては、ゲート電極形成→ゲ
ート絶縁膜形成→半導体層形成→ソース・ドレイン電極
形成の逆スタガ構造を示したが、上下関係または作る順
番がそれと逆のスタガ構造でもこの発明は有効である。 さらに、上述実施例においては、液晶表示パネルを2つ
(13a、13b)互いに背を向けて設けた場合につい
て説明したが、列車の座席の裏面(後部座席の観客用)
や側面(立席の観客用)のように隣りの面に設けてい。
(See note), the DC voltage applied to the liquid crystal LC is expressed by the following formula. Δv3+ΔV, -(Cadd-V 2- Cgs-V
1)/C Therefore, Cadd-v2=Cgs-v
When it is 1, the DC voltage applied to the liquid crystal LC is 0. [Note] At times t1 and t2, the change in drive voltage Vi affects the midpoint potential v1c, but during the period from t2 to t3, the midpoint potential Vlc is made the same potential as the video signal potential through the signal line Xi ( (sufficient writing of video signals), the potential applied to the liquid crystal LC is almost determined by the potential immediately after the thin film transistor TPT is turned off (the off period of the thin film transistor TPT is overwhelmingly longer than the on period).
In calculating the DC component applied to C, the period t1 to t3 can be almost ignored, and it is sufficient to consider the potential immediately after the thin film transistor TPT is turned off, that is, the influence of the transient period at times t3 and t4. The polarity is reversed for each line, and the DC component due to the video signal itself is assumed to be zero. In other words, in the DC cancellation method, the reduction in the midpoint potential Vlc caused by the parasitic capacitance Cgs is compensated for by the retention capacitance element Ca
dd and the next-stage scanning signal line (capacitive electrode line) GL, the DC component applied to the liquid crystal LC can be made extremely small. As a result, the life of the liquid crystal LC of the liquid crystal display device can be improved. Of course, when the gate electrode GT is increased in size to improve the light shielding effect, the storage capacitance of the storage capacitance element Cadd may be increased accordingly. FIG. 1A is a block diagram showing a control circuit of an active matrix color liquid crystal display device according to the present invention. In the figure, 1 is an antenna. 2 is a tuner IF amplifier connected to antenna 1; 3 is a video signal amplifier that amplifies the video signal of the signal received by antenna 1; 4 is horizontal synchronization; 5 is vertical synchronization;
6 is a scan electrode drive circuit, 7 is a buffer circuit connected to the scan electrode drive circuit 6, and the scan electrode drive circuit 6 and the like constitute a vertical scan circuit. 8 is a gradation signal generator, 9 is an analog multiplexer, 10 is an A/D converter, 11 is a line memory, 12 is a buffer circuit connected to the analog multiplexer 9, and the analog multiplexer 9 etc. constitute a video signal drive circuit. The drive circuit consists of a vertical scanning circuit and a video signal drive circuit. 13a, 13
b- is a liquid crystal display panel connected to the buffer circuit 7.12, 14 is an audio signal amplifier for amplifying the audio signal of the signal received by the antenna 1, 15 is a buffer circuit connected to the audio signal amplifier 14, 16a , 16b are speakers connected to the buffer circuit 15. FIG. 1B is a schematic cross-sectional view showing an active matrix color liquid crystal display device having the control circuit shown in FIG. 1A. In the figure, 17 is a frame body, and liquid crystal display panels 13a and 13b are attached to the frame body 17 with their backs facing each other.
, 13b are attached with speakers 16a and 16b. 18 is a backlight directed into the frame body 17; The backlight 18 is shared by the liquid crystal display panels 13a and 13b. This liquid crystal display device has two liquid crystal display panels (
13a, 13b), the video can be enjoyed by a large number of people, and since only one driving circuit and one backlight 18 are provided, the cost is low. Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on the above embodiments, this invention is not limited to the above embodiments, and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Of course. For example, in the above embodiment, an inverted staggered structure is shown in which gate electrode formation→gate insulating film formation→semiconductor layer formation→source/drain electrode formation, but the present invention can also be applied to a staggered structure in which the vertical relationship or the order of formation is reversed. It is valid. Furthermore, in the above embodiment, the case where two liquid crystal display panels (13a, 13b) were provided with their backs facing each other was explained, but the back side of the train seat (for spectators in the rear seats)
or on the side (for standing audience).

【発明の効果】【Effect of the invention】

以上説明したように、この発明に係る液晶表示装置にお
いては、液晶表示パネルを複数有しているから、映像を
多人数で楽しむことができ、また駆動回路を1つしか設
けていないから、安価である。このように、この発明の
効果は顕著である。
As explained above, since the liquid crystal display device according to the present invention has a plurality of liquid crystal display panels, a large number of people can enjoy images, and since only one drive circuit is provided, it is inexpensive. It is. As described above, the effects of this invention are remarkable.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1A図はこの発明に係るアクティブ・マトリックス方
式のカラー液晶表示装置の制御回路を示すブロック図、
第1B図は第1A図に示した制御回路を有するアクティ
ブ・マトリックス方式のカラー液晶表示装置を示す概略
断面図、第2A図はこの発明が適用されるアクティブ・
マトリックス方式のカラー液晶表示装置の液晶表示部の
一画素を示す要部平面図、第2B図は第2A図のnB−
IIB切断線で切った部分とシール部周辺部の断面図、
第2C図は第2A図のnc−nc切断線における断面図
、第3図は第2A図に示す画素を複数配置した液晶表示
部の要部平面図、第4図〜第6図は第2A図に示す画素
の所定の層のみを描いた平面図、第7図は第3図に示す
画素電極層とカラーフィルタ層のみを描いた要部平面図
、第8図はアクティブ・マトリックス方式のカラー液晶
表示装置の液晶表示部を示す等価回路図、第9図は第2
A図に記載される画素の等価回路図、第10図は直流相
殺方式による走査信号線の駆動電圧を示すタイムチャー
トである。 SUB・・・透明ガラス基板 GL・・・走査信号線 DL・・・映像信号線 GI・・・絶縁膜 GT・・・ゲート電極 AS・・・i型半導体層 SD・・・ソース電極またはドレイン電極psv・・・
保護膜 BM・・・遮光膜 LC・・・液晶 TPT・・・薄膜トランジスタ IT○・・・透明画素電極 g、d・・・導電膜 Cadd・・・保持容量素子 Cgs・・・寄生容量 Cpix・・・液晶容量 13a、13b・・・液晶表示パネル 第1A図 3 0 +3b
FIG. 1A is a block diagram showing a control circuit of an active matrix color liquid crystal display device according to the present invention;
FIG. 1B is a schematic cross-sectional view showing an active matrix color liquid crystal display device having the control circuit shown in FIG. 1A, and FIG.
FIG. 2B is a plan view of a main part showing one pixel of the liquid crystal display section of a matrix type color liquid crystal display device, and FIG.
A cross-sectional view of the part cut along the IIB cutting line and the area around the seal part,
2C is a sectional view taken along the NC-NC cutting line in FIG. 2A, FIG. 3 is a plan view of a main part of a liquid crystal display section in which a plurality of pixels shown in FIG. 2A are arranged, and FIGS. Figure 7 is a plan view depicting only the predetermined layers of the pixel shown in the figure, Figure 7 is a plan view of the main part depicting only the pixel electrode layer and color filter layer shown in Figure 3, and Figure 8 is an active matrix color system. An equivalent circuit diagram showing the liquid crystal display part of the liquid crystal display device, FIG. 9 is the second
Fig. 10 is an equivalent circuit diagram of the pixel shown in Fig. A, and Fig. 10 is a time chart showing the drive voltage of the scanning signal line by the DC cancellation method. SUB...Transparent glass substrate GL...Scanning signal line DL...Video signal line GI...Insulating film GT...Gate electrode AS...I-type semiconductor layer SD...Source electrode or drain electrode psv...
Protective film BM... Light shielding film LC... Liquid crystal TPT... Thin film transistor IT○... Transparent pixel electrodes g, d... Conductive film Cadd... Holding capacitor element Cgs... Parasitic capacitance Cpix...・Liquid crystal capacitors 13a, 13b...Liquid crystal display panel No. 1A Figure 3 0 + 3b

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、液晶表示パネルと、上記液晶表示パネルを駆動する
駆動回路とを有する液晶表示装置において、複数の上記
液晶表示パネルを1つの上記駆動回路で駆動することを
特徴とする液晶表示装置。
1. A liquid crystal display device comprising a liquid crystal display panel and a drive circuit for driving the liquid crystal display panel, characterized in that a plurality of the liquid crystal display panels are driven by one drive circuit.
JP19413289A 1989-07-28 1989-07-28 Liquid crystal display device Pending JPH0359594A (en)

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JP19413289A JPH0359594A (en) 1989-07-28 1989-07-28 Liquid crystal display device

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