JPH0357183B2 - - Google Patents

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JPH0357183B2
JPH0357183B2 JP63239555A JP23955588A JPH0357183B2 JP H0357183 B2 JPH0357183 B2 JP H0357183B2 JP 63239555 A JP63239555 A JP 63239555A JP 23955588 A JP23955588 A JP 23955588A JP H0357183 B2 JPH0357183 B2 JP H0357183B2
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    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/568Transferring the substrates through a series of coating stations
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D9/00Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
    • C21D9/0006Details, accessories not peculiar to any of the following furnaces
    • C21D9/0018Details, accessories not peculiar to any of the following furnaces for charging, discharging or manipulation of charge

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Production Of Liquid Hydrocarbon Mixture For Refining Petroleum (AREA)
  • Coloring Foods And Improving Nutritive Qualities (AREA)
  • Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
  • Tunnel Furnaces (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、特に機械工業に向けられた部品より
成る装入物の迅速化学熱処理自動装置に関するも
のである。
そのような部品の硬度と疲れ強度を増進させる
ために、既知のサイクルに従つて、該部品をなす
材質中に例えば炭素又は窒素の如き一定の化学種
を富化させることより成る化学熱処理を部品に施
こし、次いで該部品を冷却することは既に知られ
ている。
[発明の背景] この種の処理を行うために一般に用いられてい
る装置は、一般に流れ処理ラインの形にあるか、
又は同じ囲い内で加熱と化学熱処理を行う装入炉
である。急冷は、化学熱処理囲いに隔室等を経て
連結された浴中に浸漬して行われる。一般に、処
理すべき部品は、板の上又はバスケツトの中又は
マツトの上に置かれる。これらの取扱い方法の不
利な点は、部品の支持体が炉の装入物全体の50%
に容易に達することである。
このような既知の装置を用いるときの不利点を
救うために、本出願人は、部品特に機械工業用部
品のための迅速化学熱処理自動装置を開発した。
この装置は公告第2594102号として公開されたフ
ランス特許第860113号の対象である。
この自動装置は、特に予備加熱モジユール、化
学熱処理モジユール、急冷モジユールの如き部品
の処理モジユールの複数個と、積込み手段と、積
降ろし手段と、種々のモジユールに処理すべき部
品を相次いで輸送するために備えた手段とを含む
自動装置に於て、特に処理すべき部品がときには
スペーサーにより間を隔てて柱状に重ねられ、更
にこの部品の柱が補給手段により積込み場に送ら
れ、次いで部品の柱は輸送隔室と取扱い手段とを
経て第一の処理モジユールに輸送されることを特
徴とするものである。
[発明の対象と要約] 本発明は、前記装置の改良であり、輸送隔室を
廃止し、モジユールの配置を更新し、行うべき化
学熱処理の要求に応じて種々のモジユール間の迅
速な信頼性のある輸送のできる手段を備えること
により、特に処理すべき部品の種々の処理モジユ
ール間の輸送操作を容易にして、処理速度を特別
に増加させたものである。
従つて、本発明は、特に誘導予備加熱モジユー
ル、化学熱処理モジユール、急冷モジユールの如
き処理モジユールの複数個と、柱状に重ねられた
部品の積込みと積降ろしを行う手段と、種々のモ
ジユール間に前記部品の柱を輸送する手段とを含
む、特に機械工業に向けられた部品よりなる装入
物のための迅速化学熱処理自動装置に於て、該装
置が更に、 −下面の下方に吊下げられた種々の処理モジユ
ールが周縁に分布して配置された、気密に閉ざ
すことのできる、それぞれのモジユール中に処
理すべき部品を導入するための開口が形成され
た、固定円形板と、 −該固定円形板の上方に共軸に回転可能に装着
された可動円板であり、それぞれ処理すべき部
品の柱を装置内に導入し該柱を相次いで種々の
モジユールに輸送し処理後の部品の柱を装置か
ら取出すために、相次いで積込み/積降ろし場
の上方と種々のモジユールへの接近場にもたら
すことのできるように輸送手段を支持している
前記可動円板と を包含していることを特徴とする、前記迅速化学
熱処理自動装置を対象とするものである。
本発明の一特徴によれば、輸送手段は、可動円
板の上に固定され、部品の柱を掴み垂直方向に移
動させる系を含んだ、少くとも1個の気密性囲い
より成る。
本発明の一好適実施態様によれば、輸送手段
は、熱絶縁され高温状態での輸送の間装入物を入
れる第一の部分と、熱絶縁されていない冷たい状
態で輸送の間装入物を入れる第二の部分と、部品
の柱の垂直移動を駆動する系のハウジングをなす
第三の部分とより成る三つ組の囲いを含む。
本発明の一特徴によれば、積込み/積降ろし手
段は、処理すべき部品の柱又は処理ずみの部品の
柱のための少くとも1個のアームを持ち、該アー
ムは、装置の導入場中の固定円形板の下方に部品
をもたらしそこで輸送手段により取上げられて処
理モジユールへの輸送に備えられるために、回転
運動能力を与えられている。
本発明によれば、輸送手段内に位置する装入物
の支持体は、棒スクリユーを経てモーターにより
駆動されて垂直移動運動を行う能力を与えられて
いる、輸送は、輸送手段を支持する可動円板の回
転によつて行われ、部品の柱は、これらの操作の
間気密性囲いの中に位置する。
本発明の他の特徴点及び利点は、本発明を制限
するものではない一実施態様を図示する添付図面
を引用して行う以下の記載により更に明瞭になる
であろう。
[発明の詳細な記述] 添付図面には、本発明の対象である装置が、実
質的に、地面上に維持された台座12に支持され
た固定円形板10と、該固定円形板10の下表面
の下方に配置された、ここでは説明しない標準的
な手段によつて該円形板に吊された複数個の処理
モジユール14とを含むことが見られる。この固
定円形板10の上方にはそれと共軸に、輸送手段
18を支持する回転円板16が装着されている。
この輸送手段によつて、一方では処理すべき部品
の積込みと積降ろしが行われ、他方では種々の処
理モジユール間の部品の輸送が行われる。装置は
更に、全体が参照数字20で示された積込み/積
降ろし系を含む。図に示されているように、この
積込み/種降ろし系20は、処理すべき部品の回
分を受入れるように設計されたアーム56で構成
されている。各回分は、前記フランス特許明細書
に記載されているように、支持柱上にスペーサー
を間に置き又は置かないで積上げられた部品の積
上げ22より成る。勿論、装置はその外に部品の
積上げをつくり、ばらす場を持つ。この場は既知
の型のものであるから、ここで改めて説明しな
い。
本発明によれば、処理装置の導入場に部品の積
上げのための積込みアームと、処理装置から部品
の積上げを降ろすための第二の同じアームとを備
えることができる。勿論、この二つの機能を唯一
個のアームで果すことができる。又、この二つの
機能と共に部品の積上げの組立てと解体を併せて
行うマニユプレーターを用いることもできる。
14で示されたものの如き種々の処理モジユー
ルとして次のものがある: −導入予備加熱モジユール、ここでは部品が処
理温度にされる、 −6個の化学熱処理モジユール、ここでは部品
に表面硬化のサイクルと拡散処理が行われる、 −急冷モジユール、ここでは部品は、例えば加
圧された又は加圧されない窒素の如き気体流体
の循環の作用を受け、冷却される。
第2図には、これらの種々のモジユールが参照
数字M1乃至M7で示されている。より詳細には前
記フランス特許の記載を参照すべきである。
輸送手段18を受入れている可動円板16は、
クラウン円歯車26を持つたモーター24によつ
て駆動されて、該円板16の軸の回りに回転す
る。シール系28は、装置に関し気密性を与える
もので、これにより円形板10と円板16によつ
て構成される囲いを不活性気体又は減圧の下に維
持することができる。
輸送手段18は、可動円板16上に固定された
囲いの形をとり、本発明を制限するものではない
本実質態様では、この処理囲いは次の三つの部分
を含む三つ組の室から成る: −内張り30′で熱絶縁され、装入品22を高
温状態で輸送する間装入物を受入れて置く第一
の部分30、この内張り30′は、輸送される
装入物の熱損失を制限することができ、他方で
は、後記の第三の部分中に位置する駆動機構に
保護を与えるものである。
−熱絶縁されていない、冷たい状態の装入物を
輸送の間、受入れるための第二の部分32、 −後に記載するように、装入物22の垂直方向
の移動に用いる機構のハウジングである第三の
部分34。
本発明によれば、輸送手段18の近くに位置
し、装入物を取出された直後のモジユールを直ち
に閉じて熱損失を避けるように設計された付属系
(図示されず)が備えられている。
この実施態様では、装入物を移動させるために
備えられた機構は、駆動モーター52と、後記の
方法で部品22の積上げを掴むための掴み部材3
8を含む装入物支持体36とを含む。該支持体3
6は、モーター52に連結されたスクリユー棒5
0によつて駆動され、垂直棒54によつて案内さ
れて垂直に移動する。
第3図に見られるように、支持柱21の上に積
み重ねられた、処理すべき部品の積上げ22は、
種々のモジユールの間に輸送されるためには、積
上げ22の支持体40の端に装着された閉鎖プラ
グ42に固定的に連結された部材23と係合する
ことができる、支持体36の掴み部材38を経
て、該支持体36によつて、取扱われる。
本装置は次のように操作される: 支持柱21の上に重ねられた部品は一回分22
をなし、この回分は積込みアーム56によつて積
込み場Cに相次いで持ち込まれる。このとき反対
側の回分は、14の如き種々の処理モジユールを
支持する固定円形板10中に形成された装置の積
込みオリフイス44の正面に持ち込まれる。該積
込みオリフイス44は通常は48の如き閉鎖部材
によつて閉ざされている。クラウン歯車26を駆
動するモーター24による可動円板16の回転
は、輸送手段18をオリフイス44の上方にもた
らすことができる。モーター52を制御して、支
持体36とその掴み部材38を低下させて、第3
図に示されたように掴み部材が処理すべき部品の
回分22を掴むようにすることができる。モータ
ー52の効果によつて支持体36が上方へ移動し
て、輸送手段18に備えられた囲い部分32又は
30の内部に装入物22が位置したとき、可動円
板16が回転して輸送手段18を予備加熱モジユ
ールへの接近に備えた開口に対面させた後は、こ
の部品回分は輸送手段18によつて予備可熱場に
輸送されたことになる。次に、装入物は同様にし
て、種々の化学熱処理モジユール、次に急冷モジ
ユールに輸送されることができる。装入物をなす
部品の積上げ22の積降ろしは積込みと同様にし
て行われる。この場合の輸送手段18と積降ろし
アームの操作は、積込みに就いて上に記載された
操作と逆の方向に行われる。
実施例として、以下に本発明による装置で行わ
れた典型的な処理サイクルを示す。
このサイクルは次のようであつた: −920℃に於ける予備加熱 −920℃、低圧の下の表面硬化: 5分 −920℃、真空中で拡散: 4分 −920℃、低圧の下の表面硬化: 3分 −拡 散: 19分 −ガス急冷 このサイクルに従つて操作された装置は、各回
分が20個として、毎時200個の部品を処理できた。
更に実施例として、6個の表面硬化場と1個の
予備加熱場と1個の急冷場を含む本発明の装置の
典型的な生産サイクルを以下に示す。各処理工程
段階の処理量の間のバランスから次の滞留時間に
導かれた。
滞留時間 予備加熱 5分 表面硬化 33分45秒 急 冷 5分 輸送囲い 1分15秒 −装置中の全滞留時間 46分 −輸送に必要な時間 1分 −二つの積込み操作の間の時間 5分45秒 本発明による装置を用いるときは、モジユール
の解放と次の装入物による占有との間に3段階の
輸送があり、すなわち45秒を要することが見られ
る。従つて、モジユールが装入物によつて占めら
れる時間の割合は、それぞれ急冷モジユール及び
予備加熱モジユールでは85%、表面硬化モジユー
ルでは98%である。
本発明の対象である装置は、先行技術による装
置に比して生産性が著しく改良されていることを
特徴とし、このことは、輸送手段18の新規特徴
点と種々の処理モジユールの新規配置とより結果
した、輸送時間の短縮に特によるものであること
が看取される。
勿論本発明は、本明細書に記載され示された
種々の実施態様のみに決して限定されるものでは
なく、それらのあらゆる変法をも包含する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の装置の一好適実施態様の立
面図であり、一部に垂直断面を示す。第2図は、
第1図の実施態様の平面図である。第3図は、処
理すべき部品の輸送に備えた手段の一好適実施態
様の拡大図である。 10……固定円形板、12……台座、14……
処理モジユール、16……回転円板、18……輸
送手段、20……積込み/積降ろし系、21……
支持柱、22……部品の積上げ、23……部材、
24……モーター、26……クラウン円歯車、2
8……シール系、30……第一の部分、30′…
…内張り、32……第二の部分、34……第三の
部分、36……装入物支持体、38……掴む部
材、40……支持体、42……閉鎖プラグ、44
……積込みオリフイス、48……閉鎖部材、52
……駆動モーター、54……垂直棒、56……ア
ーム。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 特に誘導予備加熱モジユール、化学熱処理モ
    ジユール、急冷モジユールの如き処理モジユール
    の複数個と、柱状に重ねられた部品の積込みと積
    降ろしを行う手段と、種々のモジユール間に前記
    部品の柱を輸送する手段とを含む、特に機械工業
    に向けられた処理さるべき多くの部品より成る装
    入物のための迅速化学熱処理自動装置であつて、
    該装置が、更に 円板の下面の下方に吊り下げられた種々の処理
    モジユールが円板周縁部に分布して配置され、そ
    の各モジユール中に処理すべき部品を誘導するた
    めの気密に閉ざすことのできる開口が形成された
    固定円形板; 該固定円形板の上方に共軸的に且つ回転可能に
    装着され、処理すべき多くの部品をそれぞれ装置
    内に導入し、その部品の柱を相次いで、種々のモ
    ジユールに輸送し、処理後の部品の柱を装置から
    取り出すために、相次いで積込み/積降ろし場の
    上方と種々のモジユールへの接近場に運ぶことの
    できるよう輸送手段を支持している可動円板; 部品の柱を掴み上下方向の移送系を含む可動円
    板上に固定された少なくとも1個の機密性囲いを
    含む輸送手段;及び 処理すべき部品の柱と処理後の部品のための少
    なくとも1個の積込みアームを備え、該積込みア
    ームは、装置の入口部分で固定円形板の下に部品
    を運び、そこで部品を処理モジユールへの輸送に
    提供し得る運輸送手段に引き継ぐための回転運動
    能力が付与されている積込み/積降ろし手段: を包含していることを特徴とする前記迅速化学熱
    処理自動装置。 2 輸送手段が、高温状態で輸送の間、装入物を
    受け入れるための熱絶縁された第一の部品と、冷
    たい状態での輸送の間、装入物を受け入れるため
    の熱絶縁されていない第二の部分と、部品の柱を
    垂直移動させる駆動系のハウジングである第三の
    部分とより成る三つ組の室を含むことを特徴とす
    る請求項1記載の自動装置。 3 装置の積込み場において、部品の柱の積込み
    及び処理済み部品の柱の積降ろしが、唯一本のア
    ームによつて行われることを特徴とする請求項1
    項記載の自動装置。 4 装置の積込み場において、部品の柱の積込み
    及び処理済み部品の柱の積降ろしが、この二つの
    機能と共に部品の積上げの組立と解体を併せて行
    うマニユプレーターによつて与えられることを特
    徴とする請求項1項記載の自動装置。 5 熱損失を避けるために、装入物を排出した直
    後のモジユールを直ちに閉ざすように輸送手段の
    近くに位置した付属装置が備えられていることを
    特徴とする請求項1項記載の自動装置。 6 輸送手段内に位置する装入物用の支持体が、
    各種モジユール間の多くの部品を移送するよう
    に、モーターにより駆動されるスクリユー棒によ
    つて上下移動運動の能力を与えられ、輸送手段を
    支持する可動円板の回転によつて行われ、部品の
    柱はこれらの操作の間、輸送手段の気密性囲いの
    内に位置することことを特徴とする請求項1項記
    載の自動装置。
JP63239555A 1987-09-24 1988-09-24 迅速化学熱処理自動装置 Granted JPH01165756A (ja)

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FR8713217A FR2621023B1 (fr) 1987-09-24 1987-09-24 Installation automatique de traitement thermochimique rapide
FR8713217 1987-09-24

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JPH01165756A JPH01165756A (ja) 1989-06-29
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ID=9355183

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EP (1) EP0309354B1 (ja)
JP (1) JPH01165756A (ja)
KR (1) KR890005282A (ja)
CN (1) CN1016969B (ja)
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DE (2) DE309354T1 (ja)
ES (1) ES2007323T3 (ja)
FR (1) FR2621023B1 (ja)
GR (2) GR890300094T1 (ja)
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5576165A (en) * 1993-07-07 1996-11-19 Fuji Photo Film Co., Ltd. Silver halide color photographic material
US6395327B1 (en) * 1999-03-12 2002-05-28 Zimmer, Inc. Enhanced fatigue strength orthopaedic implant with porous coating and method of making same
CN103643006B (zh) * 2013-12-27 2015-05-20 叶葵 利用了位置信号读取装置和接触传感器的工件热处理方法
CN103695612B (zh) * 2013-12-27 2015-05-27 重庆大学 利用了耐高温陶瓷材料和接触传感器的工件热处理方法
CN103695614B (zh) * 2013-12-27 2015-05-27 孟祖钢 利用了三条轴向凹槽和接触传感器的工件热处理方法
CN103643009B (zh) * 2013-12-27 2015-06-03 浦江县科创进出口有限公司 利用了三条轴向凹槽和手动开启窗口的工件热处理方法
CN103642998B (zh) * 2013-12-27 2015-05-27 海安县申菱电器制造有限公司 一种利用了圆形转动盘和手动开启窗口的工件热处理方法
CN103643005B (zh) * 2013-12-27 2015-06-17 浦江县安恒进出口有限公司 一种利用了手动开启窗口和接触传感器的工件热处理方法
CN103695630B (zh) * 2013-12-27 2014-12-24 国网浙江余姚市供电公司 一种利用了圆形转动盘和接触传感器的工件热处理方法
CN103695615B (zh) * 2013-12-27 2015-03-18 黄世罕 工件热处理方法
FR3041000A1 (fr) * 2015-09-14 2017-03-17 Peugeot Citroen Automobiles Sa Procede de traitement d’une ou plusieurs pieces en acier
CN113652631A (zh) * 2021-08-29 2021-11-16 梁能舟 一种金属热处理用箱式气体渗碳炉

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5145607A (ja) * 1974-10-17 1976-04-19 Daido Steel Co Ltd Renzokushikifunikiro
JPS621855A (ja) * 1985-06-25 1987-01-07 シユタイン ウ−ルテイ− 特に自動車工業に用いる、種々の温度および雰囲気における熱化学処理用装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB931941A (en) * 1961-05-05 1963-07-24 Gen Electric Co Ltd Improvements in or relating to film-forming apparatus
US3238918A (en) * 1961-12-26 1966-03-08 Lear Siegler Inc Vacuum deposition chamber for multiple operations
US3238919A (en) * 1964-02-24 1966-03-08 Cra Vac Corp Apparatus for opposing offset in printing
JPS56274A (en) * 1979-06-18 1981-01-06 Hitachi Ltd Continuous vacuum deposition apparatus
JPS60230981A (ja) * 1984-05-01 1985-11-16 Canon Inc 気相法堆積膜製造装置
SE456570B (sv) * 1986-01-20 1988-10-17 Applied Vacuum Scandinavia Ab Sett att transportera alster vid en tillverknings- och/eller efterbehandlingsprocess

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5145607A (ja) * 1974-10-17 1976-04-19 Daido Steel Co Ltd Renzokushikifunikiro
JPS621855A (ja) * 1985-06-25 1987-01-07 シユタイン ウ−ルテイ− 特に自動車工業に用いる、種々の温度および雰囲気における熱化学処理用装置

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