JP3526980B2

JP3526980B2 - 真空・ガス雰囲気熱処理炉

Info

Publication number: JP3526980B2
Application number: JP23078695A
Authority: JP
Inventors: 治大久保; 篤中塚; 愼須藤
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1995-08-16
Filing date: 1995-08-16
Publication date: 2004-05-17
Anticipated expiration: 2015-08-16
Also published as: JPH0953887A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は被処理物を真空中で又は
ガス雰囲気中で熱処理するための熱処理炉に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術及びその問題点】焼結部品のような被処理
物は予熱室、脱ガス室、焼結室などの内部へ順に挿入し
て、真空中で又は所定のガス雰囲気中において熱処理さ
れる。

【０００３】（第１従来例）図４は従来のローラコンベ
ヤ式の真空・ガス雰囲気熱処理炉１００の全体を示す縦
断面図であり、それぞれに入口１０７と出口１０８とを
備えた準備室１１０、これと同様な脱ガス室１２０、焼
結室１３０、及び冷却室１４０が連接されており、各室
はそれぞれに真空排気系を持ち、かつアルゴン、窒素な
どの不活性ガスが導入可能になっている。また、冷却室
１４０には電動機１４１で駆動されるファン１４２と冷
却器１４３が設けられている。被処理物１０１は搬送台
１０３上にトレイ１０２と共に載置され、各室内に設け
られたローラ１０４上を図４において左方から右方へ搬
送される。トレイ１０２、搬送台１０３、およびローラ
１０４は耐熱性のカーボンまたはカーボン系の材料であ
るＣＣＭ（カーボン繊維主体の成型品の商品名）で形成
されている。また、準備室１１０、脱ガス室１２０、焼
結室１３０の下方にはエアシリンダ１０５が設けられて
おり、熱処理の間、被処理物１０１はトレイ１０２、搬
送台１０３と共に各室の底面を挿通するエアシリンダ１
０５のピストンロッド１０６によって持ち上げられてロ
ーラ１０４から上方へ離隔され、ローラ１０４は熱変形
するのを防ぐために常時回転される。または、ローラの
耐荷重及び熱変形を無視して被処理物はローラ上に置か
れる。

【０００４】第１従来例のローラコンベヤ式の真空・ガ
ス雰囲気熱処理炉１００では、ローラ１０４が加熱ゾー
ン内にあるので、ローラ１０４まで高温度に加熱するこ
とになり熱エネルギ的に不経済であるほか、同一材料の
搬送台１０３がローラ１０４上を搬送されることにより
双方の摩耗が大きい。また、トレイ１０２、搬送台１０
３は冷却室１４０から大気中へ搬出され、次に準備室１
１０へ搬入されるまでの間は大気に接触しており、材料
がカーボンまたはカーボン系のＣＣＭであるため大気中
の水分を吸着し、準備室１１０へ搬入され加熱された時
に大量のガスを放出するので、大容量の真空排気系を必
要とするほか、被処理物１０１の熱処理にも悪影響を及
ぼす。また、その熱処理は大気中の湿度の影響を受け易
い。

【０００５】（第２従来例）ローラコンベヤ式とは異な
り、局部加熱室を設けてローラを加熱ゾーンから分離す
る方式が実公平４−２４３９７号、特公平５−１７４７
２号、特公平６−３３９４０号の各公報に開示されてい
る。例えば、特公平６−３３９４０号公報に係る「局部
加熱室を有する真空炉」の実施例においては、真空炉の
一部を構成する図５のような脱ワックス室２０４が示さ
れている。すなわち、局部加熱室２３０は取付具２３１
によって真空容器２０２に取り付けられており、その内
部には充分な空間を有して下面は開放されている。局部
加熱室２３０は例えば黒鉛等の断熱材料で形成され、し
かもフェルト状に形成されて通気性を有している。局部
加熱室２３０内には電熱線２３２が取り付けられてい
る。

【０００６】局部加熱室２３０内には区画容器２３３が
配設され、その内部には被処理物２５６を存置させるに
充分な空間を有し、下面は開放されている。区画容器２
３３はガスの流通を実質上阻止する材料で形成される。
例えば局部加熱室２３０内の温度が上限で１１５０℃程
度までの場合には周知の耐熱性の金属材料が用いられ、
それ以上の場合にはセラミックスやカーボンが用いられ
る。区画容器２３３は局部加熱室２３０の下方への延出
部２３３ａを有し、取付片２３４で真空容器２０２に固
定した受片２３５に着脱自在に止着されている。区画容
器２３３内には断熱材で内鍔状に形成された受部材２３
６が取り付けられており、延出部２３３ａの下端にはフ
ランジ２３７が周設状に止着されている。また、局部加
熱室２３０の下方には上昇手段２３８が設けられてお
り、真空容器２０２の底部大気側に取り付けたシリンダ
のピストンロッドを以って構成され、先端に受座２４１
が固定されている。上昇手段２３８は搬送ローラ２２０
上を搬送されてきた台２５０を上昇させ下降させる。

【０００７】被処理物２５６は台２５０に乗載される。
台２５０には区画蓋２５７が取り付けられ、ガスの流通
を実質上阻止する材料で形成されている。また、その面
積は区画容器２３３における下面の開放部を塞ぐに充分
な大きさであり、周囲にはフランジ２３７に密着させる
ためのシール用のリングが備わっている。区画蓋２５７
の上面から耐熱材料製の支柱２５２が立設されており、
上端には被処理物２５６を支えるための受桟２５３が備
わっている。支柱２５２の中間部には通気性のある耐熱
材料製の閉塞板２５４が取り付けられており、その上面
には局部加熱室２３０と同様の断熱材２５５が備えられ
ている。上記の断熱材２５５付き閉塞板２５４は局部加
熱室２３０を熱的に密閉できるよう、自体の周縁上面が
受部材２３６の下面に当接できるようになっている。

【０００８】そして、その作用を説明するに、真空状態
にある脱ワックス室２０４の搬送ローラ２２０に至った
台２５０は上昇する上昇手段２３８の受座２４１によっ
て持ち上げられる。受桟２５３に乗っている被処理物２
５６は図５に示すように、局部加熱室２３０内における
区画容器２３３内の存置空間に位置する。また、閉塞板
２５４は局部加熱室２３０の下面の開放部を閉ざし、区
画蓋２５１は区画容器２３３の下面の開放部を閉ざす。

【０００９】その後、電熱線２３３に通電がなされ、そ
れから放射される輻射熱によって被処理物２５６が所定
時間、所定の温度で加熱される。加熱が完了すれば、上
昇手段２３８が下降せられて、被処理物２５６を乗せた
台２５０は実線位置から一点鎖線で示すように搬送ロー
ラ２２０に載せられ、同様に構成されている次の焼結室
へ搬送される。

【００１０】第２従来例においては、搬送ローラ２２０
が加熱ゾーンから分離されたことによって、搬送ローラ
２２０に高温対策が不要となり、不必要な箇所を加熱し
ないのでエネルギ効率も向上されるが、なお、熱処理に
障害となる水分等の吸着の点でいまだ問題が残されてい
る。すなわち、被処理物２５６のキャリヤを構成する台
２５０は搬送ローラ２２０と同一材料のカーボンまたは
カーボン系材料で作成され、他の構成材料である支柱２
５２、受桟２５３、閉塞板２５４も耐熱材料としてカー
ボン系材料で形成されることが多い。また、閉塞板２５
４の上面の断熱材料２５５は局部加熱室２３０と同じ黒
鉛が使用される。これらカーボン系の材料は大気中へ搬
出された時には容易に大量の水分を吸着するので、再度
の使用時に大量のガスを放出し、大容量の真空排気系を
必要とする。更には、最も決定的な弱点は局部加熱室２
３０内へ挿入される断熱材料２５５、受桟２５３、およ
び支柱２５２の一部はキャリヤとして大気中に搬出さ
れ、断熱材料２５５は特に水分を吸着するので、再び局
部加熱室２３０内で真空下に加熱された時にガスを放出
し、被処理物２５６の熱処理の品質を極度に低下させて
しまうことにある。

【００１１】

【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、真空下またはガス雰囲気下の熱処理時
にガス放出量が小さく、大容量の真空排気系を必要とし
ない真空・ガス雰囲気熱処理炉を提供することを目的と
する。また、被処理物についての高品質の熱処理が可能
な真空・ガス雰囲気熱処理炉を提供することを目的とす
る。

【００１２】

【問題点を解決するための手段】以上の目的は、一端部
に被処理物の入口、他端部に出口が設けられ、内部には
前記入口から前記出口に至る連接された前記被処理物の
搬送機構を有し、かつ開閉扉によって画成された複数の
区画からなる横型の搬送室と、前記区画の上部にそれぞ
れ挿入用開口を介して設けられた単数または複数の熱処
理室と、該熱処理室それぞれの下方に設けられ前記搬送
機構上にある前記被処理物を上昇させて前記挿入用開口
から前記熱処理室内へ挿入し、かつ前記挿入用開口を塞
ぐ昇降機構とからなる真空・ガス雰囲気熱処理炉におい
て、前記被処理物は前記昇降機構が挿通可能な開口を有
する搬送台の開口上に重ねて設置され開口を有するトレ
イ受台上にトレイと共に載置されて前記搬送機構で搬送
され、前記昇降機構は前記搬送台の開口内を昇降される
金属製の昇降台と、前記トレイ受台の開口内を昇降可能
に前記昇降台上に立設され前記トレイを支持するための
複数の支柱と、前記昇降台の前記トレイ側に設けられた
断熱材とからなり、前記昇降台と一体的な前記支柱が上
昇され前記被処理物を前記トレイと共に支持して前記挿
入用開口から前記熱処理室内へ挿入する時に、前記昇降
台が上昇時に同伴する前記トレイ受台と共に前記挿入用
開口を塞ぐように構成されており、前記出口から大気側
へ搬出され、循環されて、前記入口から前記真空・ガス
雰囲気熱処理炉内へ搬入され繰り返し使用される前記搬
送台、前記トレイ受台、および前記トレイが金属製とさ
れていることを特徴とする真空・ガス雰囲気熱処理炉に
よって達成される。

【００１３】

【作用】熱処理の完了後に大気中へ搬出される搬送台、
トレイ受台、トレイは何れも金属製であり、水分の吸着
はカーボン系の材料に比して僅かであり、かつ、被処理
物と共に熱処理室内へ挿入される構成部品のうち、熱処
理完了後に大気中へ搬出されるのは金属製のトレイのみ
で、支柱、水分を吸着し易い断熱材は常に搬送室内にあ
り、大気中に搬出されないので水分を吸着せず、ガス放
出源にはならない。従って、高い品質の熱処理が可能と
なる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の実施例による真空・ガス雰囲
気熱処理炉について、図面を参照して説明する。

【００１５】図１は真空・ガス雰囲気熱処理炉１０の側
面図であり、搬送室５の一端に被処理物Ｈの搬入口６、
他端に搬出口９が設けられている。上部には予熱室１と
脱ガス室２、焼結室３が設けられ、搬送室５は予熱室１
と脱ガス室２との中間位置、及び焼結室３の下流側位置
において開閉扉７、８によって気密に仕切られる搬送室
５₁ 、搬送室５₂ 、及び冷却室４に画成されている。ま
た、予熱室１、脱ガス室２、焼結室３、及び搬送室５
₁ 、搬送室５₂ 、冷却室４はそれぞれ真空排気系に接続
されており、かつ予熱室１、搬送室５₁ 、冷却室４には
アルゴンガス（Ａｒ）と窒素ガス（Ｎ₂ ）の導入配管が
接続され、脱ガス室２、焼結室３にはアルゴンガスの導
入配管が接続されている。また、搬入口６を持つ搬送室
５₁ と搬出口９を持つ冷却室４は図示せずとも大気の導
入が可能になっている。

【００１６】搬送室５内にはチェインベルト２２₁ 、２
２₂ 、２２₃ 、２２₄ が連接されており、搬入口６から
搬入される被処理物Ｈを搬送する。更には、予熱室１、
脱ガス室２、焼結室３の下方にはチェインベルト２２
₁ 、２２₂ 、２２₃ 上に停止した被処理物Ｈを上方へ持
ち上げるためのエアシリンダ４１₁ 、４１₂ 、４１₃ が
設けられている。予熱室１、脱ガス室２、焼結室３はほ
ぼ同様に構成されているので、予熱室１を図２、図３に
示す。すなわち、図２は予熱室１の縦断面図であり、図
３は図２における［３］−［３］線方向の断面図であ
る。

【００１７】予熱室１は搬送室５の頂部に設けられた開
口５ｈの上に設置され、予熱室１の底板１３ａには搬送
室５と連通する開口が形成されている。予熱室１内には
被処理物Ｈを収容する熱処理室１１が断熱材１２によっ
て画成されている。なお、予熱室１の頂部の鏡板と断熱
材１２の天井部は取りはずし可能とされており、内部の
点検、修理を容易ならしめている。断熱材１２の下端部
は底板１３ａの内周に接して被処理物Ｈを挿入する開口
部１３が形成されている。また、熱処理室１１内には加
熱のための電熱ヒータ１４が取り付けられており、所定
の温度に加熱する。

【００１８】図３も参照して、搬送室５内には電動機２
１によって駆動されるチェインベルト２２が駆動スプロ
ケット２３と従動スプロケット２４に巻装されており、
トレイ受台３２を介して搬送台３３に積載されているト
レイ３１上の被処理物Ｈを搬送する。すなわち、搬送台
３３は中央部に円形の開口３４を設けた正方形の板状を
しており、搬送台３３の開口３４上に重ねて円環状のト
レイ受台３２の外周部が置かれ、トレイ受台３２の内周
部に被処理物Ｈを載置するトレイ３１の外周部が置かれ
ている。そして、搬送台３３は搬送方向へ向かって左右
の両端部でチェインベルト２２に係合されて搬送され
る。搬送台３３の両側にはガイド板２５が設置されてい
る。また、搬送台３３が予熱室１の直下に停止した時
に、位置を固定させるためのストッパ２６が搬送台３３
の前後に設けられており、駆動源２７によって回動され
て一点鎖線で示す寝た姿勢の解除ポジションと実線で示
す立った姿勢の停止ポジションを取る。なお、チェイン
ベルト２２の下流側に設けられているロール２８は搬送
台３３の脱ガス室２への送り込みを介助する。

【００１９】予熱室１の下方、搬送室５の外側底面には
昇降装置としてのエアシリンダ４１が設置されており、
そのピストンロッド４２がシール部材４３を通して搬送
室５内へ貫通され、先端に昇降台４４が取り付けられて
いる。昇降台４４は搬送台３３の円形の開口３４を挿通
可能な面形状を有し、昇降台４４の上面には被処理物Ｈ
を載置するトレイ３１を支持するための金属製の４本の
支柱４５がトレイ受台３２の円環内を挿通可能に立設さ
れている。また、昇降台４４の上面と支柱４５の中間部
には熱処理室１１を画成する断熱材１２と同一の断熱材
４６、４７が取り付けられている。

【００２０】そして、エアシリンダ４１によって昇降台
４４が上昇される時、昇降台４４は搬送台３３の円形の
開口３４を挿通したあとトレイ受台３２を伴って上昇
し、支柱４５はトレイ受台３２の円環内を挿通して上昇
するが、被処理物Ｈが熱処理室１１内へ挿入された時
に、昇降台４４はトレイ受台３２と共に開口部１３を塞
ぎ、断熱材４６、４７が熱処理室１１の断熱材１２と共
に被処理物Ｈの周囲を覆い、かつ開口部１３を断熱する
ようになっている。なお、この時、昇降台４４とトレイ
受台３２との間はメタルコンタクトまたはシーリング材
４８によって、また、トレイ受台３２と予熱室１の底板
との間はメタルコンタクトまたはシーリング材４９によ
って気密にシールされ、予熱室１の底板上は冷却水の通
路１９とされて、シール箇所を冷却するようになってい
る。そして、密閉された状態で予熱室１は図示しない真
空排気系により１０^-5Ｔｏｒｒの圧力まで排気される。

【００２１】予熱室１に続く脱ガス室２、焼結室３は圧
力２００〜１０^-2Ｔｏｒｒの減圧下、温度１１５０℃程
度に加熱されるが、前述したように基本的には予熱室１
と同様に構成されているので、それらの説明は省略す
る。冷却室４は電動機５１によってファン５２を回転さ
せ、内部の加圧ガスを熱交換器５３によって冷却し被処
理物Ｈに吹き付けて冷却するようになっている。

【００２２】実施例の真空・ガス雰囲気熱処理炉１０は
以上のように構成されるが、次にその作用について説明
する。

【００２３】図１を参照し、真空・ガス雰囲気熱処理炉
１０の運転は、搬入口６を開け、開閉扉７、８、搬出口
９を閉じた状態で、予熱室１と搬送室５₁ とを大気圧と
し、脱ガス室２、焼結室３とその下方の搬送室５₂ と冷
却室４とを真空として開始される。被処理物Ｈを積載し
た搬送台３３が搬入口６から搬送室５₁ へ搬入され、搬
入口６が閉じられて搬送室５₁ と予熱室１とが真空排気
される。これと同時に、図２、図３を参照し、搬送台３
３はチェインベルト２２₁ に係合されて予熱室１の直下
に至り、ガイド板２５に挟持された状態で停止され、ス
トッパ２６が立てられて、図２の一点鎖線で示す位置に
固定される。

【００２４】この状態において、エアシリンダ４１が作
動されピストンロッド４２が上昇して、立設されている
支柱４５と共に昇降台４４が上昇され、支柱４５はトレ
イ受台３２の円環内を挿通し、トレイ３１の底面に当接
してこれを持ち上げる。これに遅れて昇降台４４は搬送
台３３の円形の開口３４を挿通し、トレイ受台３２を持
ち上げ同伴して上昇され、トレイ受台３２と昇降台４４
とが予熱室１の開口部１３を塞いで停止される。このよ
うにして予熱室１が密閉され、トレイ３１に載置されて
いる被処理物Ｈが熱処理室１１内に挿入される。

【００２５】その後、電熱ヒータ１４に通電されて、例
えば真空度１０^-5Ｔｏｒｒ、温度８００℃に加熱され
る。所定の時間が経過後、エアシリンダ４１によって昇
降台４４が下降され、被処理物Ｈを載置したトレイ３１
はトレイ受台３２と共に再び搬送台３３上に積載され
る。そして、搬送室５₁ の開閉扉７が開けられ、ストッ
パ２６が解除されてチェインベルト２２₁ が駆動され、
搬送台３３は被処理物Ｈを積載して、次の搬送室５₂ へ
向けて搬送される。

【００２６】搬送台３３が搬送室５₂ へ搬入されると開
閉扉７は閉じられ、チェインベルト２２₂ によって脱ガ
ス室２の直下に停止され位置決めされると、エアシリン
ダ４１₂ によって昇降台４４₂ が上昇され、前記の予熱
室１の場合と同様、脱ガス室２の熱処理室１１内で被処
理物Ｈが例えば１０^-2Ｔｏｒｒの真空下で所定の時間、
１０００℃に加熱され脱ガスされる。同様にして、焼結
室３では例えば１０^-2Ｔｏｒｒの真空下に被処理物Ｈが
所定の時間、１１５０℃に加熱されて焼結される。そし
て、焼結が完了すると、開閉扉８が開けられ、被処理物
Ｈを積載した搬送台３３はチェインベルト２２₃ からチ
ェインベルト２２₄ へ移って冷却室４へ搬送され、開閉
扉８は閉じられる。その後、冷却ガスが例えば１．９ｋ
ｇ／ｃｍ² Ｇの圧力に導入され、ファン５２と冷却器５
３の作動によって被処理物Ｈが冷却される。所定の温度
まで冷却されると、冷却室４は大気圧とされ、搬出口９
が開かれて、被処理物Ｈは搬送台３３、トレイ受台３
２、トレイ３１と共に大気中へ搬出される。

【００２７】すなわち、実施例の真空・ガス雰囲気熱処
理路１０においては、図２を参照して、熱処理室１１内
へ挿入される構成部材のうち、搬送室５から搬出されて
長時間大気に接触するのは水分吸着量の小さい金属製の
トレイ３１のみであり、トレイ３１を支える支柱４５、
水分を吸着し易い断熱材４６、４７は常に搬送室５内に
あり大気中へ搬出されることはないので水分を吸着せ
ず、従って、これらが被処理物Ｈと共に熱処理室１１へ
挿入され減圧下に加熱されてもガスを殆ど放出しない。
また、トレイ３１のほか、搬送室５から大気中へ搬出さ
れる搬送台３３、トレイ受台３２のすべてを金属製とし
て水分の吸着を極力抑制していることもあり、熱処理中
にガスが殆ど放出されないので、被処理物Ｈの熱処理の
品質が極めて向上する。更には、搬送機構のローラ１０
４が加熱ゾーン内に存在する第１従来例に比して、実施
例の搬送機構は熱処理室１１と隔離されているので温度
が上昇せず、そのため消耗し難くかつ搬送精度が高い。
従ってまた、チェインベルト２２のような極めてシンプ
ルな搬送機構を採用し得る。

【００２８】以上、本発明の実施例について説明した
が、もちろん、本発明はこれに限られることなく、本発
明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。

【００２９】例えば、本実施例では、被処理物Ｈを大気
中から直接に予熱室１と一体的な搬送室５₁ へ搬入した
が、大気との遮断をより高めるように搬送室５₁ の前に
予備真空室を設けるようにしても良い。

【００３０】また、本実施例では、熱処理室１１の開口
部１３を塞さぐシールリング４８、４９を採用したが、
メタルエッジでシールするようにしてもよい。また、熱
処理室１１の加熱に電熱ヒータ１４を採用したが、これ
以外の５００〜１０００℃の温度に耐え、かつ不純物を
放出しないものである限りにおいて、如何なる加熱源を
採用してもよい。また、本実施例では、搬送機構にチェ
インベルト２２を採用したが、ローラコンベヤも採用し
得る。

【００３１】また本実施例においては、真空・ガス雰囲
気熱処理炉に導入するガスをアルゴン、窒素としたが、
必要に応じてこれ以外のガスを導入してもよい。また、
本実施例においてはトレイ３１、トレイ受台３２等を円
形状としたが方形状としてもよい。

【００３２】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の真空・ガス
雰囲気熱処理炉によれば、熱処理室へ挿入される構成部
品のうち、搬送室から搬出されて大気に長時間接触する
のは金属製のトレイのみであり、支柱、断熱材は常に搬
送室内にあるので水分を吸着せず、従って被処理物と共
に熱処理室内で真空下に加熱されても放出するガス量は
極めて少なく、また、上記トレイのほか、搬送室から大
気中へ搬出される搬送台、トレイ受台の全てを金属製と
し水分の吸着を極力少なくするようにしていることも相
俟って、極めて品質の高い熱処理が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の真空・ガス雰囲気熱処理炉の縦断面図
である。

【図２】実施例における予熱室の縦断面図である。

【図３】図ににおける［３］−［３］線方向の断面図で
ある。

【図４】第１従来例の縦断面図である。

【図５】第２従来例における脱ワックス室の縦断面図で
ある。

【符号の説明】

１予熱室２脱ガス室３焼結室４冷却室５搬送室１０真空・ガス雰囲気熱処理炉１１熱処理室１２断熱材２２チェインベルト３１トレイ３２トレイ受台３３搬送台４１エアシリンダ４４昇降台４５支柱４６断熱材４７断熱材Ｈ被処理物

フロントページの続き (56)参考文献特開平５−87461（ＪＰ，Ａ) 特開平６−58678（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−273782（ＪＰ，Ａ) 実開平３−3698（ＪＰ，Ｕ) 実開平６−73692（ＪＰ，Ｕ) 実開平６−10795（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F27B 9/02 F27B 9/04 F27B 9/10 F27B 9/30

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】一端部に被処理物の入口、他端部に出口
が設けられ、内部には前記入口から前記出口に至る連接
された前記被処理物の搬送機構を有し、かつ開閉扉によ
って画成された複数の区画からなる横型の搬送室と、前
記区画の上部にそれぞれ挿入用開口を介して設けられた
単数または複数の熱処理室と、該熱処理室それぞれの下
方に設けられ前記搬送機構上にある前記被処理物を上昇
させて前記挿入用開口から前記熱処理室内へ挿入し、か
つ前記挿入用開口を塞ぐ昇降機構とからなる真空・ガス
雰囲気熱処理炉において、前記被処理物は前記昇降機構が挿通可能な開口を有する
搬送台の開口上に重ねて設置され開口を有するトレイ受
台上にトレイと共に載置されて前記搬送機構で搬送さ
れ、前記昇降機構は前記搬送台の開口内を昇降される金
属製の昇降台と、前記トレイ受台の開口内を昇降可能に
前記昇降台上に立設され前記トレイを支持するための複
数の支柱と、前記昇降台の前記トレイ側に設けられた断
熱材とからなり、前記昇降台と一体的な前記支柱が上昇
され前記被処理物を前記トレイと共に支持して前記挿入
用開口から前記熱処理室内へ挿入する時に、前記昇降台
が上昇時に同伴する前記トレイ受台と共に前記挿入用開
口を塞ぐように構成されており、前記出口から大気側へ
搬出され、循環されて、前記入口から前記真空・ガス雰
囲気熱処理炉内へ搬入され繰り返し使用される前記搬送
台、前記トレイ受台、および前記トレイが金属製とされ
ていることを特徴とする真空・ガス雰囲気熱処理炉。
【請求項２】前記搬送機構が前記搬送室内の少なくと
も前記熱処理室それぞれの直下となる位置に配置され、
前記被処理物が載置された前記搬送台を搬送するチェイ
ンベルトとその駆動源とからなる請求項１に記載の真空
・ガス雰囲気熱処理炉。