JP2002356705A - 真空炉 - Google Patents
真空炉Info
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- JP2002356705A JP2002356705A JP2001160094A JP2001160094A JP2002356705A JP 2002356705 A JP2002356705 A JP 2002356705A JP 2001160094 A JP2001160094 A JP 2001160094A JP 2001160094 A JP2001160094 A JP 2001160094A JP 2002356705 A JP2002356705 A JP 2002356705A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワックス等の飛散を防止して炉メンテナンス
の頻度を少なくできるとともに、効率の良い排気を行な
うことができる。 【解決手段】 被処理物Ｍは開放されたトレー３上に載
置されて搬入され、駆動シリンダ４４はワイヤ４３を介
して蓋体４の開口縁がトレー３の上面外周縁に当接して
閉鎖空間Ｓを形成するように蓋体４を上方からトレー３
に向けて下降進出させる。トレー３には排気孔３１が形
成され、駆動シリンダ５６によって排気管５がトレー３
に向けて上昇進出させられて、排気管５の上端５１開口
が排気孔３１に連通させられる。
の頻度を少なくできるとともに、効率の良い排気を行な
うことができる。 【解決手段】 被処理物Ｍは開放されたトレー３上に載
置されて搬入され、駆動シリンダ４４はワイヤ４３を介
して蓋体４の開口縁がトレー３の上面外周縁に当接して
閉鎖空間Ｓを形成するように蓋体４を上方からトレー３
に向けて下降進出させる。トレー３には排気孔３１が形
成され、駆動シリンダ５６によって排気管５がトレー３
に向けて上昇進出させられて、排気管５の上端５１開口
が排気孔３１に連通させられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空炉に関し、特
に、真空焼結炉の脱ワックス室等を構成するのに好適な
真空炉に関する。
に、真空焼結炉の脱ワックス室等を構成するのに好適な
真空炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】連続式の真空焼結炉では、大気と炉内を
遮断するための前室から、脱ワックス室、焼結室、冷却
室へと搬送ローラ等の搬送機構によって被処理物を連続
的に搬送している。脱ワックス室では被処理物を例えば
６００℃程度に加熱しつつ、真空排気して脱ワックスを
行なう。また、焼結室では真空排気をしつつ被処理物を
例えば１４００℃程度に加熱して焼結を行なっている。
遮断するための前室から、脱ワックス室、焼結室、冷却
室へと搬送ローラ等の搬送機構によって被処理物を連続
的に搬送している。脱ワックス室では被処理物を例えば
６００℃程度に加熱しつつ、真空排気して脱ワックスを
行なう。また、焼結室では真空排気をしつつ被処理物を
例えば１４００℃程度に加熱して焼結を行なっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
連続式真空焼結炉では、加熱を効率的に行なうために開
放されたトレー上等に被処理物を載置して露出状態で各
室へ搬送しているため、脱ワックス室では被処理物から
蒸発したワックスが炉壁等に付着して、これを取り除く
ために炉のメンテナンス頻度が上がるという問題があ
る。また、炉壁等に付着したワックスが再度蒸発して被
処理物に付着し、その品質を低下させるという問題もあ
った。さらに、容積の大きい炉全体を真空引きしつつ被
処理物の脱ワックスを行なうのは排気効率が悪いという
問題もある。これを解決するために、被処理物を閉鎖容
器に収納して搬送することによってワックスの飛散を防
止することが考えられるが、搬送手段と干渉する等によ
って閉鎖容器を使用することが困難な場合があるととも
に、閉鎖容器に収納すると、焼結室等における被処理物
の加熱効率が悪くなる。
連続式真空焼結炉では、加熱を効率的に行なうために開
放されたトレー上等に被処理物を載置して露出状態で各
室へ搬送しているため、脱ワックス室では被処理物から
蒸発したワックスが炉壁等に付着して、これを取り除く
ために炉のメンテナンス頻度が上がるという問題があ
る。また、炉壁等に付着したワックスが再度蒸発して被
処理物に付着し、その品質を低下させるという問題もあ
った。さらに、容積の大きい炉全体を真空引きしつつ被
処理物の脱ワックスを行なうのは排気効率が悪いという
問題もある。これを解決するために、被処理物を閉鎖容
器に収納して搬送することによってワックスの飛散を防
止することが考えられるが、搬送手段と干渉する等によ
って閉鎖容器を使用することが困難な場合があるととも
に、閉鎖容器に収納すると、焼結室等における被処理物
の加熱効率が悪くなる。
【０００４】そこで、本発明はこのような課題を解決す
るもので、ワックス等の飛散を防止して炉メンテナンス
の頻度を少なくできるとともに、効率の良い排気を行な
うことができる真空炉を提供することを目的とする。
るもので、ワックス等の飛散を防止して炉メンテナンス
の頻度を少なくできるとともに、効率の良い排気を行な
うことができる真空炉を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本第１発明では、半容器体（４，６１，６２）を支
持し、炉内へ搬入された被処理物（Ｍ）に対して半容器
体（４，６１，６２）を進出させて、被処理物（Ｍ）を
覆い少なくとも真空排気路（５）に連通する閉鎖空間
（Ｓ）を形成する容器体駆動手段（４３，４４，５６）
を設ける。
に、本第１発明では、半容器体（４，６１，６２）を支
持し、炉内へ搬入された被処理物（Ｍ）に対して半容器
体（４，６１，６２）を進出させて、被処理物（Ｍ）を
覆い少なくとも真空排気路（５）に連通する閉鎖空間
（Ｓ）を形成する容器体駆動手段（４３，４４，５６）
を設ける。
【０００６】本第１発明においては、炉内全体を排気す
るのに代えて、被処理物周囲の容積の小さい閉鎖空間内
を排気すれば良いから効率的な排気が可能であるととも
に、被処理物からの蒸発物は閉鎖空間内から放散するこ
となく排気されるから、蒸発物が炉壁等に付着して頻繁
なメンテナンスの必要を生じ、あるいは炉壁等に付着し
た蒸発物が被処理物に再付着して品質低下を来すことは
ない。また、被処理物を加熱する場合には半容器体を後
退させて被処理物を露出させることにより、被処理物の
効率的な加熱が可能である。
るのに代えて、被処理物周囲の容積の小さい閉鎖空間内
を排気すれば良いから効率的な排気が可能であるととも
に、被処理物からの蒸発物は閉鎖空間内から放散するこ
となく排気されるから、蒸発物が炉壁等に付着して頻繁
なメンテナンスの必要を生じ、あるいは炉壁等に付着し
た蒸発物が被処理物に再付着して品質低下を来すことは
ない。また、被処理物を加熱する場合には半容器体を後
退させて被処理物を露出させることにより、被処理物の
効率的な加熱が可能である。
【０００７】本第２発明では、本第１発明において、上
記被処理物（Ｍ）は開放されたトレー（３）上に載置さ
れて搬入され、上記容器体駆動手段は、半容器体（４）
の開口縁がトレー（３）の上面外周縁に当接して閉鎖空
間（Ｓ）を形成するように半容器体（４）を上方からト
レー（３）に向けて進出させるものである。本第２発明
においては、被処理物を搬送するトレーと半容器体とで
容易に閉鎖空間を形成することができる。
記被処理物（Ｍ）は開放されたトレー（３）上に載置さ
れて搬入され、上記容器体駆動手段は、半容器体（４）
の開口縁がトレー（３）の上面外周縁に当接して閉鎖空
間（Ｓ）を形成するように半容器体（４）を上方からト
レー（３）に向けて進出させるものである。本第２発明
においては、被処理物を搬送するトレーと半容器体とで
容易に閉鎖空間を形成することができる。
【０００８】本第３発明では、本第２発明において、上
記容器体駆動手段は、半容器体（４）を吊り下げてこれ
を下降進出させる変形可能な紐状体（４３）と、当該紐
状体（４３）を上下方向へ移動させる紐状体移動部材
（４４）とを具備している。本第３発明においては、ト
レーの搬送にローラを使用した場合に、ローラのオッシ
レーションによってトレーが周期的に前後に移動して
も、半容器体をトレーに当接させたまま容易にトレーの
移動に追従することができる。
記容器体駆動手段は、半容器体（４）を吊り下げてこれ
を下降進出させる変形可能な紐状体（４３）と、当該紐
状体（４３）を上下方向へ移動させる紐状体移動部材
（４４）とを具備している。本第３発明においては、ト
レーの搬送にローラを使用した場合に、ローラのオッシ
レーションによってトレーが周期的に前後に移動して
も、半容器体をトレーに当接させたまま容易にトレーの
移動に追従することができる。
【０００９】本第４発明では、本第２発明または本第３
発明において、上記トレー（３）には排気孔（３１）が
形成されるとともに、真空排気路を構成する排気管
（５）をトレー（３）に向けて進出させて排気管（５）
の先端（５１）開口を排気孔（３１）に連通させる排気
管駆動手段（５６）を設ける。本第４発明においては、
トレーと半容器体により形成された閉鎖空間内を容易に
排気することができる。
発明において、上記トレー（３）には排気孔（３１）が
形成されるとともに、真空排気路を構成する排気管
（５）をトレー（３）に向けて進出させて排気管（５）
の先端（５１）開口を排気孔（３１）に連通させる排気
管駆動手段（５６）を設ける。本第４発明においては、
トレーと半容器体により形成された閉鎖空間内を容易に
排気することができる。
【００１０】本第５発明では、本第１発明において、容
器体駆動手段（４４，５，５６）を対向させて一対設
け、これら容器体駆動手段（４４，５，５６）は、炉内
へ搬入された被処理物（Ｍ）に対してそれぞれ半容器体
（６１，６２）を進出させてその開口縁を互いに当接衝
合させることにより被処理物（Ｍ）を覆う閉鎖空間
（Ｓ）を形成するものである。本第５発明においては、
被処理物を載置したトレーの形状に無関係に、被処理物
周囲に容易に閉鎖空間を形成することができる。
器体駆動手段（４４，５，５６）を対向させて一対設
け、これら容器体駆動手段（４４，５，５６）は、炉内
へ搬入された被処理物（Ｍ）に対してそれぞれ半容器体
（６１，６２）を進出させてその開口縁を互いに当接衝
合させることにより被処理物（Ｍ）を覆う閉鎖空間
（Ｓ）を形成するものである。本第５発明においては、
被処理物を載置したトレーの形状に無関係に、被処理物
周囲に容易に閉鎖空間を形成することができる。
【００１１】本第６発明では、本第５発明において、上
記一対の容器体駆動手段（４４，５，５６）は上下に対
向して設けられ、下側に位置する容器体駆動手段は、真
空排気路を構成し上下動自在に炉壁（１１）に支持され
てその上端に半容器体（６２）を固定した排気管（５）
と、当該排気管（５）を上下動させる排気管移動部材
（５６）を具備し、上記排気管（５）の上端（５１）開
口を半容器体（６２）内に開口させる。本第６発明にお
いては、排気管を容器体駆動手段として利用することが
できる。
記一対の容器体駆動手段（４４，５，５６）は上下に対
向して設けられ、下側に位置する容器体駆動手段は、真
空排気路を構成し上下動自在に炉壁（１１）に支持され
てその上端に半容器体（６２）を固定した排気管（５）
と、当該排気管（５）を上下動させる排気管移動部材
（５６）を具備し、上記排気管（５）の上端（５１）開
口を半容器体（６２）内に開口させる。本第６発明にお
いては、排気管を容器体駆動手段として利用することが
できる。
【００１２】なお、上記カッコ内の符号は、後述する実
施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであ
る。
施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】（第１実施形態）図１には本発明
の真空炉を真空焼結炉の脱ワックス室に使用した例を示
す。脱ワックス室１は円筒型の室壁の両端に設けた開口
が気密扉１２，１３で閉鎖されている。各気密扉１２，
１３は駆動シリンダ２Ａ，２Ｂから下方へ延びるロッド
２１先端の作動子２２と平行リンク２３により結合され
て、作動子２２の上昇に伴って開放されるようになって
いる。多数の搬送ローラ１４が前段の前室ＡＦから脱ワ
ックス室１を経て後段の焼結室ＢＦへと一定間隔で配設
されており、トレー３に積載された被処理物Ｍが搬送ロ
ーラ１４によって脱ワックス室１内へ搬入されている。
搬送ローラ１４は耐熱性に優れる炭素繊維複合材製で、
脱ワックス室１のほぼ中央にトレー３を位置決めした状
態で回転を停止し静止している。なお、上記トレー３に
は中央に排気孔３１が設けられている。
の真空炉を真空焼結炉の脱ワックス室に使用した例を示
す。脱ワックス室１は円筒型の室壁の両端に設けた開口
が気密扉１２，１３で閉鎖されている。各気密扉１２，
１３は駆動シリンダ２Ａ，２Ｂから下方へ延びるロッド
２１先端の作動子２２と平行リンク２３により結合され
て、作動子２２の上昇に伴って開放されるようになって
いる。多数の搬送ローラ１４が前段の前室ＡＦから脱ワ
ックス室１を経て後段の焼結室ＢＦへと一定間隔で配設
されており、トレー３に積載された被処理物Ｍが搬送ロ
ーラ１４によって脱ワックス室１内へ搬入されている。
搬送ローラ１４は耐熱性に優れる炭素繊維複合材製で、
脱ワックス室１のほぼ中央にトレー３を位置決めした状
態で回転を停止し静止している。なお、上記トレー３に
は中央に排気孔３１が設けられている。
【００１４】脱ワックス室１内には室壁１１と気密扉１
２，１３の内面に沿った内側に断熱壁１５が設けられて
おり、上下の断熱壁１５の内側にはヒータ１６が配設さ
れている。トレー３とほぼ同じ大きさで下方へ開放する
矩形半容器状の蓋体４が設けられて、その開口縁フラン
ジ４１がトレー３の外周縁に接して被処理物Ｍを覆う閉
鎖空間Ｓが形成されている。蓋体４には前後（図１の左
右）の側壁にガス流通孔４２が形成されている。蓋体４
は頂面の前後端がワイヤ４３に結合されており、これら
ワイヤ４３は上側断熱壁１５を貫通して上方へ延びてい
る。脱ワックス室１の頂壁には前後位置に駆動シリンダ
４４が設けられて、そのロッド４４１が脱ワックス室１
内に突出しており、これらロッド４４１の先端に上記各
ワイヤ４３の上端がそれぞれ連結されている。駆動シリ
ンダ４４間の脱ワックス室１頂壁には、上側断熱壁１５
を下方へ貫通するガス吹込み管４５の基端が固定されて
おり、このガス吹込み管４５には窒素ガス配管４６が連
結されている。なお、上記ワイヤ４３に代えて、チェー
ン、コイルバネ等を使用することができる。
２，１３の内面に沿った内側に断熱壁１５が設けられて
おり、上下の断熱壁１５の内側にはヒータ１６が配設さ
れている。トレー３とほぼ同じ大きさで下方へ開放する
矩形半容器状の蓋体４が設けられて、その開口縁フラン
ジ４１がトレー３の外周縁に接して被処理物Ｍを覆う閉
鎖空間Ｓが形成されている。蓋体４には前後（図１の左
右）の側壁にガス流通孔４２が形成されている。蓋体４
は頂面の前後端がワイヤ４３に結合されており、これら
ワイヤ４３は上側断熱壁１５を貫通して上方へ延びてい
る。脱ワックス室１の頂壁には前後位置に駆動シリンダ
４４が設けられて、そのロッド４４１が脱ワックス室１
内に突出しており、これらロッド４４１の先端に上記各
ワイヤ４３の上端がそれぞれ連結されている。駆動シリ
ンダ４４間の脱ワックス室１頂壁には、上側断熱壁１５
を下方へ貫通するガス吹込み管４５の基端が固定されて
おり、このガス吹込み管４５には窒素ガス配管４６が連
結されている。なお、上記ワイヤ４３に代えて、チェー
ン、コイルバネ等を使用することができる。
【００１５】脱ワックス室１の底壁中央を貫通して排気
管５が設けてあり、排気管５は下側断熱壁１５を貫通し
て、その上端５１が、排気孔３１を設けたトレー３の中
央下面に当接している。これにより、蓋体４内の閉鎖空
間Ｓと排気管５内が排気孔３１を介して連通している。
排気管５はその下端５２が脱ワックス室１外で水平方向
へ直角に屈曲し、蛇腹体５３を介して排気本管５４に連
結されている。排気本管５４は図略の真空排気装置に至
っている。上記排気管５は、気密性を保ってこれを上下
に摺動自在に保持するフランジ５５を貫通しており、排
気管５の下端５２は駆動シリンダ５６のロッド５６１上
端に連結されてこれに支持されている。
管５が設けてあり、排気管５は下側断熱壁１５を貫通し
て、その上端５１が、排気孔３１を設けたトレー３の中
央下面に当接している。これにより、蓋体４内の閉鎖空
間Ｓと排気管５内が排気孔３１を介して連通している。
排気管５はその下端５２が脱ワックス室１外で水平方向
へ直角に屈曲し、蛇腹体５３を介して排気本管５４に連
結されている。排気本管５４は図略の真空排気装置に至
っている。上記排気管５は、気密性を保ってこれを上下
に摺動自在に保持するフランジ５５を貫通しており、排
気管５の下端５２は駆動シリンダ５６のロッド５６１上
端に連結されてこれに支持されている。
【００１６】このような脱ワックス室１で脱ワックス処
理を行なう場合には、気密扉１２が開放されて、搬送ロ
ーラ１４によってトレー３上に載置された被処理物Ｍが
前室ＡＦから脱ワックス室１内へ搬入される。この際、
ワイヤ４３に吊り下げられた蓋体４は、被処理物Ｍと干
渉しない高さへ駆動シリンダ４４によって引き上げられ
ており、また、排気管５も、駆動シリンダ５６によって
トレー３と干渉することがない搬送ローラ１４よりも低
い位置に下降させられている。トレー３が脱ワックス室
１内の所定位置に位置決めされると蓋体４が下ろされ、
その開口縁フランジ４１がトレー３の外周縁に接して
（図１の状態）被処理物Ｍを覆う閉鎖空間Ｓが形成され
る。この閉鎖空間Ｓはガス流通孔４２のみによって脱ワ
ックス室１内へ通じている。続いて排気管５が上昇させ
られてその上端５１の開口縁がトレー３下面の排気孔３
１周囲に当接して（図１の状態）排気管５と閉鎖空間Ｓ
が排気孔３１を介して連通する。
理を行なう場合には、気密扉１２が開放されて、搬送ロ
ーラ１４によってトレー３上に載置された被処理物Ｍが
前室ＡＦから脱ワックス室１内へ搬入される。この際、
ワイヤ４３に吊り下げられた蓋体４は、被処理物Ｍと干
渉しない高さへ駆動シリンダ４４によって引き上げられ
ており、また、排気管５も、駆動シリンダ５６によって
トレー３と干渉することがない搬送ローラ１４よりも低
い位置に下降させられている。トレー３が脱ワックス室
１内の所定位置に位置決めされると蓋体４が下ろされ、
その開口縁フランジ４１がトレー３の外周縁に接して
（図１の状態）被処理物Ｍを覆う閉鎖空間Ｓが形成され
る。この閉鎖空間Ｓはガス流通孔４２のみによって脱ワ
ックス室１内へ通じている。続いて排気管５が上昇させ
られてその上端５１の開口縁がトレー３下面の排気孔３
１周囲に当接して（図１の状態）排気管５と閉鎖空間Ｓ
が排気孔３１を介して連通する。
【００１７】この後、ヒータ１６に通電して被処理物Ｍ
を所定温度（約６００℃）に加熱するとともに、ガス供
給管４５から所定量の窒素ガスを供給しつつ閉鎖空間Ｓ
内を排気して脱ワックス処理を行う。この際、容積の小
さい蓋体４内の閉鎖空間Ｓは効率的に排気されるととも
に、窒素ガスが脱ワックス室１の室内からガス流通孔４
２を経て閉鎖空間Ｓ内へ流入する流れを形成するため、
被処理物Ｍから分離蒸発させられたワックスは脱ワック
ス室内へ飛散することなく速やかに排気管５を経て排出
される。これにより、効率的な脱ワックス処理がなされ
るとともに、被処理物Ｍから蒸発したワックスが室壁等
に付着して頻繁なメンテナンスの必要を生じあるいは被
処理物Ｍの品質低下を来すという問題は解消される。脱
ワックス処理が終了すると、蓋体４が上昇させられると
ともに排気管５が下降させられ、気密扉１２，１３が開
いて、搬送ローラ１４によってトレー３上の被処理物Ｍ
が後段の焼結室ＢＦへ送られる。この状態では、トレー
３上の被処理物Ｍは蓋体４で覆われることなく開放され
ているから、焼結室ＢＦにおいて効率的に高温へ加熱さ
れる。
を所定温度（約６００℃）に加熱するとともに、ガス供
給管４５から所定量の窒素ガスを供給しつつ閉鎖空間Ｓ
内を排気して脱ワックス処理を行う。この際、容積の小
さい蓋体４内の閉鎖空間Ｓは効率的に排気されるととも
に、窒素ガスが脱ワックス室１の室内からガス流通孔４
２を経て閉鎖空間Ｓ内へ流入する流れを形成するため、
被処理物Ｍから分離蒸発させられたワックスは脱ワック
ス室内へ飛散することなく速やかに排気管５を経て排出
される。これにより、効率的な脱ワックス処理がなされ
るとともに、被処理物Ｍから蒸発したワックスが室壁等
に付着して頻繁なメンテナンスの必要を生じあるいは被
処理物Ｍの品質低下を来すという問題は解消される。脱
ワックス処理が終了すると、蓋体４が上昇させられると
ともに排気管５が下降させられ、気密扉１２，１３が開
いて、搬送ローラ１４によってトレー３上の被処理物Ｍ
が後段の焼結室ＢＦへ送られる。この状態では、トレー
３上の被処理物Ｍは蓋体４で覆われることなく開放され
ているから、焼結室ＢＦにおいて効率的に高温へ加熱さ
れる。
【００１８】（第２実施形態）上記第１実施形態では被
処理物Ｍを覆う閉鎖空間Ｓを形成するのにトレー３を利
用したが、本実施形態では図２に示すように、下方へ開
放する半容器状の上蓋体６１と上方へ開放する半容器状
の下蓋体６２によって閉鎖空間Ｓを形成する。すなわ
ち、上蓋体６１はトレー３全体を覆う大きさで、その頂
壁の両端部が第１実施形態における蓋体４と同様に、駆
動シリンダ４４（図１）のロッド４４１先端から延びる
ワイヤ４３に結合されて、搬送ローラ１４の上方位置に
吊り下げられている。また、上側蓋体６１の開口縁には
各搬送ローラ１４に対応させてこれよりも大径の半円凹
所６１１が形成されている。一方、搬送ローラ１４の下
方に設けられた下側蓋体６２は平面視で上側蓋体６１と
同様の大きさであり、その下面中央には排気管５の上端
５１が固定されて当該排気管５によって下側蓋体６２が
支持されるとともに、排気管５が当該蓋体６２内に開口
している。また、下側蓋体６２の開口縁には上側蓋体６
１と同一位置に同形の半円凹所６２１が形成されるとと
もに、これら半円凹所６２１間には、上方へ突出する支
持壁６２２が設けられている。その他の構造は第１実施
形態と同様である。
処理物Ｍを覆う閉鎖空間Ｓを形成するのにトレー３を利
用したが、本実施形態では図２に示すように、下方へ開
放する半容器状の上蓋体６１と上方へ開放する半容器状
の下蓋体６２によって閉鎖空間Ｓを形成する。すなわ
ち、上蓋体６１はトレー３全体を覆う大きさで、その頂
壁の両端部が第１実施形態における蓋体４と同様に、駆
動シリンダ４４（図１）のロッド４４１先端から延びる
ワイヤ４３に結合されて、搬送ローラ１４の上方位置に
吊り下げられている。また、上側蓋体６１の開口縁には
各搬送ローラ１４に対応させてこれよりも大径の半円凹
所６１１が形成されている。一方、搬送ローラ１４の下
方に設けられた下側蓋体６２は平面視で上側蓋体６１と
同様の大きさであり、その下面中央には排気管５の上端
５１が固定されて当該排気管５によって下側蓋体６２が
支持されるとともに、排気管５が当該蓋体６２内に開口
している。また、下側蓋体６２の開口縁には上側蓋体６
１と同一位置に同形の半円凹所６２１が形成されるとと
もに、これら半円凹所６２１間には、上方へ突出する支
持壁６２２が設けられている。その他の構造は第１実施
形態と同様である。
【００１９】このような構造の脱ワックス室１で脱ワッ
クス処理を行う場合には、搬送ローラ１４によってトレ
ー３上の被処理物Ｍを室内の所定位置に搬入し位置決め
した後、駆動シリンダ５６によって排気管５および下側
蓋体６２を上昇させるとともに、駆動シリンダ４４（図
１）によってワイヤ４３を介して上側蓋体６１を下降さ
せ、図２の鎖線で示すように、搬送ローラ１４の高さで
これら蓋体６１，６２の開口縁を互いに当接衝合させ
る。これにより、被処理物Ｍを覆う閉鎖空間Ｓが形成さ
れるとともに、当該閉鎖空間Ｓは各搬送ローラ１４の周
りに形成された環状間隙６３によって室内に連通する。
また、この時、支持壁６２２によってトレー３は上方へ
持ち上げられて搬送ローラ１４から離れる。
クス処理を行う場合には、搬送ローラ１４によってトレ
ー３上の被処理物Ｍを室内の所定位置に搬入し位置決め
した後、駆動シリンダ５６によって排気管５および下側
蓋体６２を上昇させるとともに、駆動シリンダ４４（図
１）によってワイヤ４３を介して上側蓋体６１を下降さ
せ、図２の鎖線で示すように、搬送ローラ１４の高さで
これら蓋体６１，６２の開口縁を互いに当接衝合させ
る。これにより、被処理物Ｍを覆う閉鎖空間Ｓが形成さ
れるとともに、当該閉鎖空間Ｓは各搬送ローラ１４の周
りに形成された環状間隙６３によって室内に連通する。
また、この時、支持壁６２２によってトレー３は上方へ
持ち上げられて搬送ローラ１４から離れる。
【００２０】ヒータ１６に通電して被処理物Ｍを所定温
度に加熱するとともに、ガス供給管４５（図１）から所
定量の窒素ガスを供給しつつ閉鎖空間Ｓ内を排気して脱
ワックス処理を行う。上蓋体６１と下蓋体６２によって
形成された容積の小さい閉鎖空間Ｓは効率的に排気され
るとともに、窒素ガスは脱ワックス室内から環状間隙６
３を経て閉鎖空間Ｓ内へ流入する流れを形成するから、
被処理物Ｍから分離蒸発させられたワックスは室内へ飛
散することなく速やかに排気管５を経て排出される。こ
の際、トレー３は搬送ローラ１４から離れて支持壁６２
２上に支持されているから、搬送ローラ１４の曲がりを
防止するためにこれを周期的に反転させるオッシレーシ
ョンを行なうことができ、搬送ローラ１４の材料として
炭素繊維複合材に代えて、より安価な耐熱金属材を使用
することができる。
度に加熱するとともに、ガス供給管４５（図１）から所
定量の窒素ガスを供給しつつ閉鎖空間Ｓ内を排気して脱
ワックス処理を行う。上蓋体６１と下蓋体６２によって
形成された容積の小さい閉鎖空間Ｓは効率的に排気され
るとともに、窒素ガスは脱ワックス室内から環状間隙６
３を経て閉鎖空間Ｓ内へ流入する流れを形成するから、
被処理物Ｍから分離蒸発させられたワックスは室内へ飛
散することなく速やかに排気管５を経て排出される。こ
の際、トレー３は搬送ローラ１４から離れて支持壁６２
２上に支持されているから、搬送ローラ１４の曲がりを
防止するためにこれを周期的に反転させるオッシレーシ
ョンを行なうことができ、搬送ローラ１４の材料として
炭素繊維複合材に代えて、より安価な耐熱金属材を使用
することができる。
【００２１】脱ワックス処理が終了すると、上側蓋体６
１が上昇させられるとともに下側蓋体６２が下降させら
れ、気密扉１２，１３（図１）が開いて、搬送ローラ１
４によってトレー３上の被処理物Ｍが後段の焼結室ＢＦ
へ送られて、開放状態の被処理物Ｍに対して効率的な高
温への加熱がなされる。
１が上昇させられるとともに下側蓋体６２が下降させら
れ、気密扉１２，１３（図１）が開いて、搬送ローラ１
４によってトレー３上の被処理物Ｍが後段の焼結室ＢＦ
へ送られて、開放状態の被処理物Ｍに対して効率的な高
温への加熱がなされる。
【００２２】（第３実施形態）第１実施形態に示した構
造の脱ワックス室１にさらに図３に示すようなトレー持
ち上げ装置７を付設すると、搬送ローラ１４のオッシレ
ーションが可能となる。すなわち、図３において、脱ワ
ックス室１の底壁にはさらに駆動シリンダ７１が設けら
れて、そのロッド７１１先端に支持架台７２が固定され
ている。支持架台７２の直立枠７２１は断熱壁１５を貫
通して搬送ローラ１４の上方へ延び、トレー３の下面に
当接してこれを搬送ローラ１４から離れた上方へ持ち上
げている。排気管５の上端５１開口はトレー３の下面に
当接して、蓋体４により形成された閉鎖空間Ｓ内を、排
気孔３１を介して排気している。これにより、搬送ロー
ラ１４のオッシレーションが可能である。
造の脱ワックス室１にさらに図３に示すようなトレー持
ち上げ装置７を付設すると、搬送ローラ１４のオッシレ
ーションが可能となる。すなわち、図３において、脱ワ
ックス室１の底壁にはさらに駆動シリンダ７１が設けら
れて、そのロッド７１１先端に支持架台７２が固定され
ている。支持架台７２の直立枠７２１は断熱壁１５を貫
通して搬送ローラ１４の上方へ延び、トレー３の下面に
当接してこれを搬送ローラ１４から離れた上方へ持ち上
げている。排気管５の上端５１開口はトレー３の下面に
当接して、蓋体４により形成された閉鎖空間Ｓ内を、排
気孔３１を介して排気している。これにより、搬送ロー
ラ１４のオッシレーションが可能である。
【００２３】支持架台７２の直立枠７２１は、通常はそ
の上端が搬送ローラ１４よりも低い位置に下降させられ
ており、搬送ローラ１４によってトレー３上の被処理物
Ｍが脱ワックス室１内へ搬入されて位置決めされると、
図３に示すように上記直立枠７２１（すなわち支持架台
７２）はトレー３を持ち上げつつ上昇させられる。持ち
上げられたトレー３に対して、排気管５が上昇させられ
てその上端５１開口がトレー３下面に当接させられ、閉
鎖空間Ｓ内の排気が行なわれる。なお、蓋体４はワイヤ
４３によって吊り下げられているから、トレー３が上昇
してもワイヤ４３がその分弛むだけで、蓋体４はトレー
３に覆着された状態を維持する。
の上端が搬送ローラ１４よりも低い位置に下降させられ
ており、搬送ローラ１４によってトレー３上の被処理物
Ｍが脱ワックス室１内へ搬入されて位置決めされると、
図３に示すように上記直立枠７２１（すなわち支持架台
７２）はトレー３を持ち上げつつ上昇させられる。持ち
上げられたトレー３に対して、排気管５が上昇させられ
てその上端５１開口がトレー３下面に当接させられ、閉
鎖空間Ｓ内の排気が行なわれる。なお、蓋体４はワイヤ
４３によって吊り下げられているから、トレー３が上昇
してもワイヤ４３がその分弛むだけで、蓋体４はトレー
３に覆着された状態を維持する。
【００２４】（その他の実施形態）上記第１実施形態お
よび第３実施形態でガス流通孔４２は必須ではないが、
窒素ガスの流れを形成して蒸発ワックスが脱ワックス室
１内へ逆流するのを確実に防止できる点で設けることが
好ましい。また、排気管５は必ずしもトレー３に当接連
通させる必要はなく、排気孔３１を蓋体４側に設けて排
気管５を当該蓋体４に当接連通させる構成としても良
い。あるいは排気管５の先端を蓋体４に固定してその内
部に開口させ、当該蓋体４と一体に上下動させる構造と
しても良い。上記各実施形態では本発明の真空炉を連続
式真空焼結炉の脱ワックス室として利用した場合を説明
したが、バッチ式においても利用可能であり、また脱ワ
ックスに限らず、広く脱ガス処理に適用することができ
る。また、被処理物の搬送は搬送ローラに限られないこ
とはもちろんである。
よび第３実施形態でガス流通孔４２は必須ではないが、
窒素ガスの流れを形成して蒸発ワックスが脱ワックス室
１内へ逆流するのを確実に防止できる点で設けることが
好ましい。また、排気管５は必ずしもトレー３に当接連
通させる必要はなく、排気孔３１を蓋体４側に設けて排
気管５を当該蓋体４に当接連通させる構成としても良
い。あるいは排気管５の先端を蓋体４に固定してその内
部に開口させ、当該蓋体４と一体に上下動させる構造と
しても良い。上記各実施形態では本発明の真空炉を連続
式真空焼結炉の脱ワックス室として利用した場合を説明
したが、バッチ式においても利用可能であり、また脱ワ
ックスに限らず、広く脱ガス処理に適用することができ
る。また、被処理物の搬送は搬送ローラに限られないこ
とはもちろんである。
【００２５】
【発明の効果】以上のように、本発明の真空炉によれ
ば、ワックス等の飛散を防止して炉メンテナンスの頻度
を少なくできるとともに、効率の良い排気を行なうこと
ができる。
ば、ワックス等の飛散を防止して炉メンテナンスの頻度
を少なくできるとともに、効率の良い排気を行なうこと
ができる。
【図１】本発明の第１実施形態を示す真空炉の全体断面
図である。
図である。
【図２】本発明の第２実施形態を示す真空炉の要部断面
図である。
図である。
【図３】本発明の第３実施形態を示す真空炉の要部断面
図である。
図である。
１…脱ワックス室、１１…室壁、３…トレー、３１…排
気孔、４…蓋体、４３…ワイヤ、４４…駆動シリンダ、
５…排気管、５１…上端、５６…駆動シリンダ、６１，
６２…蓋体、Ｍ…被処理物、Ｓ…閉鎖空間。
気孔、４…蓋体、４３…ワイヤ、４４…駆動シリンダ、
５…排気管、５１…上端、５６…駆動シリンダ、６１，
６２…蓋体、Ｍ…被処理物、Ｓ…閉鎖空間。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ２７Ｄ 3/12 Ｆ２７Ｄ 3/12 Ｚ 7/06 7/06 Ａ Ｂ Ｆターム(参考） 4K018 DA04 DA32 4K055 AA05 HA02 HA08 HA11 4K061 AA01 BA02 BA09 CA09 4K063 AA06 AA09 AA16 BA02 BA03 BA04 CA01 CA02 CA05 DA19 DA22
Claims (6)
- 【請求項１】 半容器体を支持し、炉内へ搬入された被
処理物に対して前記半容器体を進出させて、前記被処理
物を覆い少なくとも真空排気路に連通する閉鎖空間を形
成する容器体駆動手段を設けたことを特徴とする真空
炉。 - 【請求項２】 前記被処理物は開放されたトレー上に載
置されて搬入され、前記容器体駆動手段は、前記半容器
体の開口縁が前記トレーの上面外周縁に当接して前記閉
鎖空間を形成するように前記半容器体を上方から前記ト
レーに向けて進出させるものである請求項１に記載の真
空炉。 - 【請求項３】 前記容器体駆動手段は前記半容器体を吊
り下げてこれを下降進出させる変形可能な紐状体と、当
該紐状体を上下方向へ移動させる紐状体移動部材とを具
備している請求項２に記載の真空炉。 - 【請求項４】 前記トレーには排気孔が形成されるとと
もに、真空排気路を構成する排気管を前記トレーに向け
て進出させて前記排気管の先端開口を前記排気孔に連通
させる排気管駆動手段を設けた請求項２又は３に記載の
真空炉。 - 【請求項５】 前記容器体駆動手段を対向させて一対設
け、これら容器体駆動手段は、炉内へ搬入された前記被
処理物に対してそれぞれ前記半容器体を進出させてその
開口縁を互いに当接衝合させることにより前記被処理物
を覆う閉鎖空間を形成するものである請求項１に記載の
真空炉。 - 【請求項６】 前記一対の容器体駆動手段は上下に対向
して設けられ、下側に位置する容器体駆動手段は、前記
真空排気路を構成し上下動自在に炉壁に支持されてその
上端に前記半容器体を固定した排気管と、当該排気管を
上下動させる排気管移動部材とを具備し、前記排気管の
上端開口を前記半容器体内に開口させた請求項５に記載
の真空炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001160094A JP2002356705A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 真空炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001160094A JP2002356705A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 真空炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002356705A true JP2002356705A (ja) | 2002-12-13 |
Family
ID=19003563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001160094A Pending JP2002356705A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 真空炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002356705A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101893373A (zh) * | 2010-07-23 | 2010-11-24 | 青岛科技大学 | 立卧式可连续生产的高效、节能真空可控气氛炉 |
| CN107588662A (zh) * | 2017-10-27 | 2018-01-16 | 宁波恒普真空技术有限公司 | 一种真空脱脂烧结炉 |
| CN117232283A (zh) * | 2023-11-15 | 2023-12-15 | 湘潭新大粉末冶金技术有限公司 | 智能真空脱蜡烧结炉自动启停系统 |
| CN117308587A (zh) * | 2023-11-23 | 2023-12-29 | 衡水超凡新能源材料有限公司 | 一种一氧化硅的生产用卧式真空炉 |
-
2001
- 2001-05-29 JP JP2001160094A patent/JP2002356705A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101893373A (zh) * | 2010-07-23 | 2010-11-24 | 青岛科技大学 | 立卧式可连续生产的高效、节能真空可控气氛炉 |
| CN107588662A (zh) * | 2017-10-27 | 2018-01-16 | 宁波恒普真空技术有限公司 | 一种真空脱脂烧结炉 |
| CN107588662B (zh) * | 2017-10-27 | 2024-01-09 | 宁波恒普技术股份有限公司 | 一种真空脱脂烧结炉 |
| CN117232283A (zh) * | 2023-11-15 | 2023-12-15 | 湘潭新大粉末冶金技术有限公司 | 智能真空脱蜡烧结炉自动启停系统 |
| CN117232283B (zh) * | 2023-11-15 | 2024-01-19 | 湘潭新大粉末冶金技术有限公司 | 智能真空脱蜡烧结炉自动启停系统 |
| CN117308587A (zh) * | 2023-11-23 | 2023-12-29 | 衡水超凡新能源材料有限公司 | 一种一氧化硅的生产用卧式真空炉 |
| CN117308587B (zh) * | 2023-11-23 | 2024-04-26 | 衡水超凡新能源材料有限公司 | 一种一氧化硅的生产用卧式真空炉 |
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