JPH0355546A - 乳剤皮膜プリント板及びシャドーマスクのエッチング方法 - Google Patents

乳剤皮膜プリント板及びシャドーマスクのエッチング方法

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JPH0355546A
JPH0355546A JP2152504A JP15250490A JPH0355546A JP H0355546 A JPH0355546 A JP H0355546A JP 2152504 A JP2152504 A JP 2152504A JP 15250490 A JP15250490 A JP 15250490A JP H0355546 A JPH0355546 A JP H0355546A
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emulsion layer
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/14Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
    • H01J9/142Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes of shadow-masks for colour television tubes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
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  • Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は写真プリント板に係り、より詳しくはエッチン
グ液レジスト金属ウェブにエッチングパターンを形成す
るために用いられるプリント板上における乳剤のレリー
フ状皮膜処理に関する。
(従来技術及び解決すべき問題点) 彩色ブラウン管では、シャドーマスクすなわち孔あきマ
スクがブラウン管後方の電子流集注管とブラウン管前方
の発光処理面との間に位置決めされている。電子ビーム
はシャドーマスクの微小な開口部若しくは孔を通過し、
適切な発色発光ドット上に衝突する。3つ一組の発光ド
ットは3w.色の各一色のためである。作像管の作動中
、シャドーマスク孔は電子ビームの案内として用いられ
る。
カラーモニターに用いられるブラウン管で用いられるシ
ャドーマスクを製造するためには、金属ウエブをエッチ
ングし、適切な寸法及び適切な配置を備えた小さな精密
孔を備えたシャドーマスクにする多数の工程を経なけれ
ばならない。写真プリント板を作戊するのに用いられる
方法の一つに、平板なガラスのシートに感光乳剤の層を
施すものがある。乳剤層は光源に露出され、これによっ
て乳剤に第1のエッチング液レジストパターンを形成す
る。次いで乳剤は現像され、親エッチング液レジストパ
ターンを形成し、これによって金属ウエブ若しくはシー
ト上に位置決めされたエッチング液レジスト層にエッチ
ング液レジストパターンを形成する。通常、小さな孔を
精密エッチングするには金属ウェブの両面からの選択エ
ッチングを必要とするので、第2プリント板が作られ、
これによって金属ウェブの反対側の面に位置決めされた
エッチング液レジスト層に第2エッチング液レジストパ
ターンを割り付けする。一旦写真プリント板が作られる
と、使用者は、写真プリント板を裏返された金属ウェブ
上に一致させて位置決めすると共に金属ウェブ上の各エ
ッチング液レジスト層と接触するように位置決めする。
次に、写真プリント板と金属ウェブ上のエッチング液レ
ジスト層との間の空気を除去することにより、写真プリ
ント板を引き寄せてエッチング液レジスト層と密着させ
る。次に、写真プリント板を通して感光性のエッチング
液レジスト層を選択的に露光させる。
適切な光源に感光エッチング液レジスト層を露光させた
後に、このエッチング液レジスト層を現像する。現像中
、エッチング液レジスト層の溶解性部分は取り除かれて
、エッチング液レジスト層の孔パターンを残す。エッチ
ング液レジストにおける孔があるので、エッチング液レ
ジスト層によって保護されていない領域でエッチング剤
(腐食剤)を用いて金属ウェブをエッチングすることが
できる。
通常用いられる感光性エッチング液レジスト層は魚膠で
あり、これは液体として施され、次いで乾燥して厚さ3
ミクロンないし10ミクロンのエッチング液レジスト層
を形成する。
金属ウェブの孔を正確にエッチングする場合の問題の一
つは、金属ウエブ上の魚膠にエッチング液レジストパタ
ーンを正確に割り付けるのが困難であるということであ
る。2種類の写真プリント板がこの技術分野で用いられ
ている。より正確であるが経費のかかる工程では、ガラ
ス板上に酸化金属の薄い層(0.5ミクロン以下の)を
施すことによって非常に薄いエッチング液レジスト性の
親パターンが形成される。より安価であるが精度の低い
エッチング液レジストパターンにおいては、厚さ3ミク
ロンないし5ミクロンの乳剤層に親エッチングパターン
が形成される。乳剤によって形成された実際の不透明パ
ターンは乳剤の表面に僅かに埋め込まれて設けられると
共に、乳剤表面から外方向に長さ約1ミクロン突出して
いる。金属ウェブ上のエッチング液レジスト層に形成さ
れた像の精密さは、写真プリント板上のパターンがエッ
チング液レジスト層に対していかに近接しているかの関
数であるので、写真プリント板上のエッチング液レジス
トの親パターンが、エッチング液レジスト層にできるだ
け近接していることが極めて重要である。
乳剤タイプのプリント板において、厚さ約3ミクロンの
感光性乳剤層によってガラス板を皮膜処理する。次いで
、不透明領域及び透明領域を有する一次親パターンが乳
剤層の上に配置される。次いで感光性乳剤は光に露光さ
れ、現像されて透明の乳剤層の頂部に不透明領域のエッ
チング液レジストパターンを形成する。写真プリント板
上の乳剤を現像した後、比較的柔らかく透明な圧縮性乳
剤基部によって形成されたエッチング液レジスト親パタ
ーンを備えた写真プリント板を有することになり、この
乳剤基部には透明乳剤の頂面上に約1ミクロン突出して
いる不透明な親パターンが形威されている。金属ウェブ
上の感光性エッチング液レジスト層を露光させ、かつ現
像するために、乳剤層とエッチング液レジスト層との間
の領域を真空化することによって、乳剤層及び親パター
ンを備えた写真プリント板を引き寄せてエッチング液レ
ジスト層と密着させる。乳剤表面からの突出部分はチャ
ネルを形威し、これによって写真プリント板の中央領域
から空気を排除することができる。
写真プリント板上の親パターンに厚く柔らかな乳剤を用
いる場合の不都合の一つは、乳剤上の不透明な親パター
ンの突出部分が金属ウェブ上のエッチング液レジスト層
と共働してガスケット状密栓を形成するということであ
る。写真プリント板に形成された封じ込まれた領域が少
しでもあると、ガスケット状密栓が、乳剤層とエッチン
グ液レジスト層との間から空気を排除するのを妨げる。
この問題は剥離線と称される、親パターンの領域に沿っ
た部分において深刻である。剥離線は親パターンの内側
部分上に位置決めされたドットアレーパターンを囲む不
透明な帯である。エッチング液レジスト層上のエッチン
グ液レジストパターンを露光させ、かつ現像している間
に、乳剤層とエッチング液レジスト層との間の空気を排
除することによって剥離線の不透明な親パターン突出部
は引き寄せられ、エッチング液レジスト層と接触する。
従来技術の工程では、乳剤パターン剥離線は通常十分な
破れ目若しくは乱調を有しているので、乳剤パターン剥
離線におけるギャップ若しくは破れ目によって、剥離線
によって限定される領域内部から空気を排除することが
できる。本発明によれば、剥離線の乳剤親パターンにお
ける乱調に依存する必要がないことが判明している。本
発明では柔らかな乳剤基部の頂部上に複数のスペイサー
を配置し、剥離線を通って逃げる空気の通路を設けるこ
とにより、エッチング液レジストパターンの精密さを保
持する。乳剤基部から現像された像の品質低下を伴うこ
とのない、乳剤基部から上方に突出するスペイサの使用
は、乳剤上の不透明なパターン像の頂部と不測に接触す
る外部の粒子によって生じる不都合という点で、完全に
は受容されない。通常、乳剤層とエッチング液レジスト
層との間から真空が解除された場合に乳剤頂部における
外部からの粒子は乳剤の不透明像を粉砕する結果となり
、これによって、写真プリント板を金属ウェブ上のエッ
チング液レジスト層上に精密なエッチング液レジストパ
ターンを割り付けるのに用いられなくするという問題が
あっI;。
ミアーズの米国特許第2,710,591号及び2,7
10,814号では、シャドーマスク内にエッチングさ
れる金属ウエブ上の感光性工・ノチンダ液レジスト皮膜
を形成する装置を開示している。
ミアーズの米国特許第2,720,146号では、写真
プリント板を引き寄せ、金属ウエブ上のエッチング液レ
ジスト層と表面接触させるのに用いられる写真プリント
装置を開示している。
ミアーズの米国特許第2,751,829号では、金属
ウェブ上において現像及びエッチング液レジスト皮膜を
熱加工するための装置を開示している。
ミアーズの米国特許第2,791,514号では、液体
皮膜によって金属ウエブを皮膜処理し、次いで皮膜を乾
燥させて金属ウエブ上に連続したエッチング液レジスト
皮膜を形成する装置及び方法を開示している。
ミアーズの米国特許第2,762,149号では、エッ
チング液レジスト層で選択的に皮膜処理?れた金属ウェ
ブをエッチン■グする方法を開示している。
ミアーズの米国特許第2,786,443号では、垂直
に保持された金属ウエブにエッチング液レジスト層の皮
膜を施す装置を開示している。
ミアーズの米国特許第2,814,975号では、写真
プリント板の周辺部に沿ったチャンバと、対向する側の
金属ウエプ上における写真プリント板とを一致するよう
に保持し、これによって写真プリント板上の乳剤層とエ
ッチング液レジスト層との間の空気を排除する写真プリ
ント装置を開示している。
ブラウンの米国特許第3,199,430号では、球状
ソケット結合器を用いて写真プリントフレームと一致す
るように写真プリント板を保持する写真プリント装置を
開示している。
ウィックランドの米国特許第2,757,087号では
親エッチング液レジストパターンを作る方法を開示して
おり、ここでは写真フイルム上に3つの同一プリントを
形成するのに用いられる一組の不透明な平行線を有する
線引きされたガラス板を用いることによって、親エッチ
ング液レジストパターンが写真プリント板上に形成され
る。この3つのプリントは次いで一つずつ重ねられると
共に回転され、これによって所望のシャドーパターンを
形成する。所望される孔を有する一次親パターンが形成
された後、一次親パターンは写真プリント板上の感光性
乳剤に再形成され、写真プリント板は引き続いて金属ウ
エブ上のエッチング液レジスト層にシャドーパターンを
割り付けるのに用いられる。
従来技術のミアーズ及びブラウンの特許は、写真プリン
ト板とエッチング液レジスト層との間の領域をvP除す
ることによって乳剤親パターンを工つチンダ液レジスト
層に対して密着して挟むことを教示している。通常写真
プリント板とエッチング液レジスト層との間が緊密かつ
全体的に接触すればするほど、より鮮やかな像が得られ
る。乳剤皮膜を用いる写真プリント板に伴う不都合の一
つは、比較的柔らかな乳剤皮膜はエッチング液レジスト
層に対してガスケット状密栓を形成することがあるとい
うことである。乳剤親パターンとエッチング液レジスト
層との間から空気を排除する時間を短縮するために、乳
剤皮膜には多くの種類の空気排除チャネルが形成されて
いる。
例えばデトリックの米国特許第3,897,25l号で
は、親パターンの不透明部分同士の間の乳剤を露光させ
ると共に除去し、これによってチャネルを備えた親パタ
ーンに乳剤の島を残し、これらチャネルの間を通ること
により、写真プリント板とエッチング液レジスト層との
間から空気が速やかに排除されるものを教示している。
ティアラの米国特許第3,815,468号において、
乳剤皮膜プリント板の空気排除時間を短縮する別の方法
が示されており、ここでは、厚さ100ミクロン以下の
寸法を有する堅い研磨粒子を乳剤皮膜に一体化させるこ
とを教示している。
柔らかな乳剤に配置された堅い研磨粒子を乳剤に互って
伸ばし、これによって写真プリント板と金属ウェブ上の
エッチング液レジスト層との間のスペイサとして働かせ
て空気排除時間を短縮する。
乳剤層よりも厚く堅い研磨粒子は乳剤層に互って伸び、
エッチング液レジスト層と接触すると共にエッチング液
レジスト層が乳剤層の表面と接触しないようにしている
。ティアラは、小さな粒子の回りで光が拡散し、島状の
粒子を乳剤全体に広げることができ、これによって金属
ウェプ上のエッチング液レジストを露光することができ
ることを教示している。
薄く堅い親パターンとエッチング液レジスト層との間の
空間を増加させる別の方法がモスコニーその他の特許第
4,588,676号.4,656,107号.4,6
64,676号において説明されている。一般のモスコ
ニーその他の従来特許では、堅く薄い酸化鉄の皮膜をガ
ラス親板上に蒸着させ、写真プリント板を形成する。酸
化鉄の皮膜は乳剤皮膜の厚さの20分の1以下である。
薄い皮膜は、プリント板と金属ウェブ上のエッチング液
レジスト層との間の領域を速やかに空気排除することを
困難にする。写真プリント板と金属ウエブ上のエッチン
グ液レジスト層との間の空気排除の遅れを最小限にする
ために、モスコニーその他の特許はティアラと同様に島
部若しくはスペイサを設け、より大きな空気排除通路を
形成する。
モスコニーその他の特許は薄く堅い親パターン及びガラ
ス支持板の頂部にゴム質の島部を配置し、これによって
親パターンとエッチング液レジスト層との間により深い
空気排除チャネルを設ける。
より詳しくは、モスコニーその他の米国特許第4,58
8,676号;4,656,107号;4,664,6
76号では、薄く堅い親パターンの上にゴム質の島を配
置し、これによって親パターン及びエッチング液レジス
ト層との間から空気を排除するための空気排除チャネル
を形成することを教示している。ティアラは、ガラス支
持板にまで伸びて下がり、離間保持を設ける堅い研磨粒
子の点在島部を用いてチャネルの深さを増大させ、これ
によって乳剤と金属ウエブ上のエッチング液レジスト層
との間の空気物質を排除するのにかかる排除時間を短縮
する。モスコニーその他は、乳剤皮膜処理されたプリン
ト板に空気排除チャネルを形成する場合の不都合は、堅
く、先細されず、極薄で、完全に不透明な部分の親パタ
ーンに空気排除チャネルを形成する場合の不都合とは大
きく異なることを指摘している。法廷記録においてモス
コニーその他は、「皮膜がゴム質であることは乳剤親パ
ターン(圧縮可能である)に構造上殆ど影響がないが、
しかしながら極めて薄い親パターンと組み合わせた場合
、この特性は重要な利益をもたらす」ということを指摘
している。それらのスペイサ粒子に堅いガラス表面を用
いているモスコニーその他及びティアラの教示に対比し
、本発明はガラス支持表面上にではなく不透明及び透明
の圧縮性乳剤パターンの両方の頂部上に配置されたスペ
イサを用いている。スペイサは乳剤親パターンと金属ウ
ェブ上のエッチング液レジスト層との間により大きな空
気排除チャネルを形成する。
更に、剥離線以外の領域上にスペイサを配置することに
より、写真プリントパターンの内部領域上に位置決めさ
れた乳剤層とエッチング液レジスト層との間から空気を
速やかに排除できる。
別の従来技術は、ウェッツェルその他の米国特許第4,
669,871号であり、ここではその発明者の一人と
して、本発明の共同発明者ディーン・ディプラを挙げて
いる。ウェッツェルその他の特許では従来技術に代わり
、ガラス支持板上に直接位置決めされた、より精密なゴ
ム質素材で形成されるチャネルのための、堅く薄い親皮
膜の周辺領域に空気排除溝を無作為にカット形成するも
のを教示している。周辺領域に形成された空気排除チャ
ネルはガラス板の中央部分上に位置決めされたチャネル
よりも大きく、これによって堅い親パターンとエッチン
グ液レジスト層との間から空気を速やかに排除できるこ
とが確実となる。
(問題点の解決手段) 上記目的を達或するために本発明は、圧縮可能な乳剤の
層とスペイサとの組み合わせを有する写真プリント板に
おいて、スペイサが第1の高さを有し、圧縮可能な乳剤
層から外側に向かって突出する不透明なパターン頂部上
に一部位置決めされると共に、不透明なパターンに近接
する透明、かつ圧縮可能な乳剤層の頂部上に一部位置決
めされ、これによって圧縮可能な乳剤表面上部及び剥離
線上部により大きな空気排除チセネルを設け、また写真
プリント板を備えたエッチング液レジストの層上に形成
される像の品質を殆ど低下させることのない写真プリン
ト板を提供する。剥離線によって限定されt;領域は、
剥離線の上方、及び、写真プリント板上の乳剤層と金属
ウェブ上のエッチング液レジスト皮膜との間から空気を
排除できるようにするスペイサを実質的に有していない
。剥離線の外側領域においては、スペイサは圧縮可能な
乳剤層の頂部上に完全に支持されており、これによって
プリント板のための周辺の離間支持を提供している。
(実施例) 以下図面を参照して本発明の実施例について説明する 第1図を参照すると、参照符号10は平板なガラス支持
板1lを有する適宜の写真プリント板を示しており、こ
のガラス支持板11の表面上方に互って圧縮可能な乳剤
層12が広がっている。
組の不透明な部分19によって形成された不透明パター
ンが乳剤層l2に位置決めされると共にそこから外側に
突き出しており、不透明部分(シャドーマスク)19は
金属ウェブ上のエッチング液レジスト層において露出さ
れた金属パターンを割り付けるのに用いられる。第1図
で示すように、シャドーマスク19の不透明パターン輪
郭は、複数の細長い不透明領域(パターン)16と、回
りを囲んでいる不透明帯15とを有しており、この不透
明帯15は剥離線と称される。細長い不透明パターン1
6の役割は、シャドーマスク19の境界を形成する、エ
ッチング液レジスト層における露出された金属領域を限
定することである。露出された金属領域がエッチングさ
れて取り除かれると、ピクチャーチューブの使用中にマ
スクの歪みを発生させる可能性のある、シャドーマスク
に対する負荷をかけずに金属ウエブからきれいに除去で
きるエッチングされt;シャドーマスクを形成する。剥
離線15の外側には外環状透明領域13・が位置決めさ
れており、また剥離線15と長細い不透明パターンl6
との間には内環状透明境界領域14が位置決めされてい
る。ここでは細長い領域が示されているが、しかしなが
ら円形若しくはその他の形状を用いることもできる。
第2図では、複数の透明スペイサ20を上に重ねた写真
プリント板10が示されており、これら透明スペイサ2
0は選択的に、かつほぼ均一に、剥離線l5を除いた写
真プリント板10上に配置されている。スペイサ20は
通常、商標名がウェイコートRC及びKPR等の市販さ
れているポリビニルケイ皮酸派生物等のレジン素材から
作られている。スペイサ20は、乳剤層の頂部上に素材
の層を施し、露光させ、現像し、次いで所望されない部
分を洗い流して、乳剤層の表面に互って位置決めされた
複数のスペイサを残すという従来技術によって作ること
ができる。スペイサ20は乳剤皮膜処理されたプリント
板10の全表面に亙り、剥離線15によって限定される
不透明領域を除いて配置される。
本発明に係るスペイサの作用及びスペイサの位置を理解
するために、第3図が参照されており、第3図では感光
性エッチング液レジスト皮膜処理された金属ウェブ31
に面して両側を挟まれたー対の写真プリント板10及び
39の端部断面図を示している。第3図の中央部には、
金属ウェブ31の一側面上に第1の感光性エッチング液
レジスト層32と、金属ウェブ3lの他側面上に第2の
感光性エッチング液レジスト層30とを有する金属ウェ
ブ31が配置されている。感光性エッチング液レジスト
層30.32は通常魚膠若しくは同様の物質からなる。
エッチング液レジスト表面内部に感光性エッチング液レ
ジスト層30.32を形成するために、感光性エッチン
グ液レジスト層が光源に露光され、現像され、次いで洗
い流されて、エッチング液レジスト層において露出され
た金属領域を残す。露出された金属ウェプにエッチング
剤を施すことによって金属ウェブを貫通する精密な孔が
形成できる。通常スチールウェブは塩化第二鉄等のエッ
チング剤によってエッチング貫通される。
エッチング液レジスト層30と密着するように写真プリ
ント板10の頂部表面が位置決めされており、耐性エッ
チング層32と密着するように写真プリント板39の頂
部表面が位置決めされている。写真プリント板10.3
9の頂部表面は、従来技術権利者ブラウンの特許第3,
199,430号及びミアースの特許第2,814,9
75号において示されたような、従来技術の種類である
プリントフレームを通して各エッチング液レジスト層と
密着されている。プリント板とエッチング液レジスト層
とを密着させるために、エッチング液レジスト層と写真
プリント板との間の空気が排除され、プリント板表面を
引き寄せて感光性のエッチング液レジスト層32.30
と密着させる。
第3図で示すように、乳剤層12とエッチング液レジス
ト層30との間の空気を排除する通路が柱状のスペイサ
20.21によって形成されている。同様に、柱状のス
ペイサ35.38によって乳剤層34とエッチング液レ
ジスト層32との間の空気排除用通路が設けられている
剥離線15について比較したスペイサの高さ及び位置を
理解するために第4図が参照されており、ここでは厚さ
hが約3ミクロンの圧縮可能な乳剤層12と、高さCが
約2.5ミクロンの周辺スペイサ20と、1ミクロンの
高さbを有する不透明剥離線15及び不透明パターンl
6とが示されている。スペイサ20.21をより近くで
観察すると、周辺スペイサ20はガラス板11の周辺領
域上の透明な圧縮可能乳剤上に完全に配置されている。
透明なスペイサ21はプリント板の中央領域に配置され
ると共に、圧縮可能乳剤層上において一都分支持され、
かつ不透明領域l6上において一部分支持されている。
また猜4図で示すように、不透明な剥離線15上には事
実上スペイサが配置されておらず、これによって周囲を
囲んでいる剥離線l5によって形成されt;障壁を越え
る空気排除通路を提供する。このように本発明は、圧縮
可能乳剤12上に全体的に配置された透明なスペイサか
、若しくは圧縮可能乳剤l2上に部分的に配置され、か
つ不透明パターン16上に部分的に配置される透明なス
ペイサかの、21Mのスペイサのいずれかを用いること
により、写真プリント板の中央領域から写真プリント板
の周辺領域へと剥離線15を越えて空気排除チャネルを
形成する。
更に、乳剤層上に配置された親パターンの頂部上と、透
明な乳剤パターンの頂部上との両方のスペイサを用いる
ことにより、乳剤層とエッチング液レジスト層との間か
ら空気を速やかに排除する空気排除通路を形成する。
第5図では、不透明な親パターンl6の領域における従
来技術の乳剤プリント板10の一部分の断面図が示され
ている。通常、従来技術の写真プリント板はシリコン層
40等の連続した薄い解放剤若しくは皮膜剤を備えてい
る。防護シリコン屠は、写真プリント板の使用及び再使
用中に写真プリント板の面に埃を付着させないために用
いられてきた。通常銀乳剤である不透明な突出部に粒子
が接触した場合、不透明な銀の突出部が破壊され、すな
わち不透明なパターンをエッチング液レジストにパター
ンを形成するのに使用するには不適切になる可能性があ
る。従来技術ではシリコン層40を、外部の物質が偶発
的に付着しないように不透明な乳剤頂部表面を防護する
ために用いていた。
外部の物質を不透明な突出部の頂部に付着させないよう
にした従来技術に対して、本発明は不透明な突出部の頂
部上及び不透明な突出部に近接する圧縮可能乳剤層上に
スペイサを慎重に配置する。
本発明に係る空気排除通路と従来技術とを比較するため
に、第5図及び第6図が参照されている。
第5図では、写真プリント板10上の従来技術の乳剤親
パターンを図示している。マスクの内側領域を示す不透
明な親パターン16と、連統する剥離線を示す不透明な
親パターン15とが乳剤層12上に配置されている。乳
剤層12の頂部上にシリコン皮膜40が施されており、
この皮膜は写真プリント板の使用中及び再使用中に写真
プリント板に埃の粒子が付着するのを防止するtこめに
用いられている。プリント工程中、金属ウェブ上のエッ
チンダ液レジスト層は頂部表面42,43.44と接触
することになる。ティアラで示されたような島状スペイ
サのない従来技術においては、剥離線15に切れ目若し
くは乱調を形成しない限り、マスク中央部からマスク外
部領域への空気排除通路はふさがれる。
これと対照的に、第6図では第5図に類似する、内側の
乳剤不透明パターン16上に位置決めされた内側スペイ
サ2lと、剥離線l5の外側領域上に位置決めされた周
辺スペイサ20とを備えた拡大断面図を示している。写
真プリント板から埃粒子を遠ざけておくために薄いシリ
コン層40が乳剤層12及び乳剤突出部の上方に配置さ
れている。
エッチング液レジストに像を形成する工程中、エッチン
グ液レジスト層は、スペイサ20の頂面20a上に位置
決めされた頂面50及びスペイサ2lの頂面21a上に
位置決めされた頂面52に接触する。第6図で示すよう
に、剥離線l5には事実上スペイサがなく、これによっ
て空気が剥離線内側領域から速やかにかつ容易に排除で
きる。
(発明の効果) 以上説明したように本発明によれば、ティアラ及びモス
コニーその他の特許において説明されたようにガラス支
持板と乳剤層を接触させるのではなく、乳剤層の頂部上
にスペイサを配置することによって乳剤層とエッチング
液レジスト層との間から空気を排除できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は乳剤皮膜に形成された不透明な親パターンを備
えた乳剤皮膜を有する、従来技術の写真プリント板の正
面図、 第2図はスペイサが上に重ねられた第1図の写真プリン
ト板の正面図、 第1図は、第2図の写真プリント板及び、金属ウェブ上
のエッチング液レジスト層の対向する両面上において一
致された第2の写真プリント板の断面図、 第4図は本発明に係る写真プリント板の一部分の部分拡
大断面図、 第5図は従来技術の乳剤像の部分断面図、第6図はシリ
コン層で皮膜処理された本発明に係る部分断面図である
。 lO:写真プリント板,1l:ガラス支持板,12:圧
縮可能乳剤層,13:外環状透明領域,14:内環状透
明領域.l5:剥離線.16:不透明パターン,19:
シャドーマスク,20,21:スペイサ,30,32:
感光性エッチング液レジスト層.31:金属ウエブ,3
5.38:スペイサ.34:乳剤層,39:プリント板
,40:シリコン層,42.43.44:頂面,50,
52:頂面,20a,21a:スペイサの各頂面。 FIG. 1 FIG. 2 FIG. 4 FIG. 5

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、金属ウェブ上のエッチング液レジストにシャドーマ
    スクパターンを形成するための乳剤皮膜プリント板が、 頂面を有する透明な板と、 前記頂面上に位置決めされ、かつ第1面を有する圧縮可
    能な乳剤層と、 前記第1面上に位置決めされ、かつ前記乳剤層の同第1
    面から上方に突出し、これによって乳剤層の同第1面と
    エッチング液レジスト層との間の空気を排除するチャネ
    ルを形成する第1の不透明親パターンと、 不透明な親パターンを有し、かつ前記第1の不透明親パ
    ターンを取り囲み、これによって取り囲まれた内側領域
    と外側に位置する外側領域とを限定する剥離線と、 前記外側領域に配置された透明で圧縮可能な乳剤層と、 前記第1の不透明親パターン上に位置決めされ、これに
    よってエッチング液レジスト層から間隔を置いて前記第
    1の不透明親パターンを配置する複数の第1スペイサと
    、 前記外側の透明パターン上に位置決めされ、エッチング
    液レジスト層から間隔を置いて前記外側の乳剤層を配置
    し、これによって前記内側領域から前記外側領域を通っ
    て空気が排除され、複数の前記第1スペイサと共働する
    ことにより前記剥離線を越えて空気排除チャネルが設け
    られる複数の第2スペイサと を有することを特徴とする乳剤皮膜プリント板。 2、外側の前記圧縮可能な乳剤層の前記第1面の頂部上
    全体に亙って前記第2スペイサが配置されていることを
    特徴とする請求項第1項記載の乳剤皮膜プリント板。 3、前記不透明パターンは、圧縮可能な前記乳剤層の上
    方に長さ約1ミクロン伸びている突起を有することを特
    徴とする請求項第2項記載の乳剤皮膜プリント板。 4、前記乳剤層上にほぼ均一に間隔を置いて前記スペイ
    サが配置されていることを特徴とする請求項第3項記載
    の乳剤皮膜プリント板。 5、前記剥離線上にスペイサが配置されないことを特徴
    とする請求項第4項記載の乳剤皮膜プリント板。 6、前記スペイサ及び前記乳剤層がシリコン層で覆われ
    、これによって、前記プリント板の使用中及び再使用中
    に同プリント板に埃粒子が付着しないことを特徴とする
    請求項第5項記載の乳剤皮膜プリント板。 7、プリント板とレジスト皮膜処理された素材との間か
    ら空気を排除することにより、同レジスト皮膜処理され
    た素材上にエッチング液レジストパターンをプリントし
    、これによって前記プリント板と前記レジスト皮膜処理
    された素材とを近づけ、前記レジスト皮膜処理された素
    材に鮮明な像を形成する乳剤皮膜プリント板において、 頂面を有する透明な板と、 前記頂面の上方に伸びる第1面を有する透明な乳剤層と
    、 前記透明な乳剤層上に位置決めされ、同透明な乳剤層の
    前記第1面から上方に伸びる不透明領域を形成する不透
    明親パターンと、 前記第1面の頂面上及び前記不透明領域の頂面上に位置
    決めされて空気排除チャネルを形成し、これによつて、
    前記乳剤皮膜処理されたプリント板が第2面に面して配
    置された場合に前記プリント板と前記第2面との間から
    空気を速やかに排除する複数のスペイサと を有することを特徴とする乳剤皮膜プリント板。 8、前記透明な乳剤層の前記第1面の上方にほぼ均一に
    複数の前記スペイサが配置されていることを特徴とする
    請求項第7項記載の乳剤皮膜プリント板。 9、複数の前記スペイサは、前記透明な乳剤層上に一部
    分位置決めされ、かつ前記不透明な親パターン上に一部
    分位置決めされていることを特徴とする請求項第7項記
    載の乳剤皮膜プリント板。 10、前記スペイサは前記頂面の上方に約3ミクロン伸
    び、これによつて前記スペイサ間に空気排除チャネルを
    形成することを特徴とする請求項第8項記載の乳剤皮膜
    プリント板。 11、前記透明な乳剤層は厚さ約3ミクロンであること
    を特徴とする請求項第10項記載の乳剤皮膜プリント板
    。 12、前記スペイサは前記透明な乳剤層の上方に約2ミ
    クロン突出していることを特徴とする請求項第11項記
    載の乳剤皮膜プリント板。 13、前記スペイサは前記第1面に亙って一定のパター
    ンをなして配置されていることを特徴とする請求項第1
    2項記載の乳剤皮膜プリント板。 14、ブラウン管のシャドーマスクのエッチング方法に
    おいて、 支持板上に圧縮可能な乳剤層を形成する工程と、前記圧
    縮可能な乳剤層を選択的に現像し、同圧縮可能な乳剤層
    から外側に突出する不透明パターンを形成する工程と、 圧縮可能な乳剤の前記不透明パターンの頂面上、及び同
    不透明パターンを備えていない前記圧縮可能な乳剤層の
    頂面上にスペイサを配置する工程と、エッチングされる
    素材上に位置決めされたエッチング液レジスト層に対し
    て前記スペイサを配置する工程と、 前記圧縮可能な乳剤層と前記エッチング液レジスト層と
    の間から空気を排除する工程と、 次いで、前記エッチング液レジスト層を現像し、同エッ
    チング液レジスト層によって覆われていない前記素材を
    エッチング可能な状態にする工程と、次いでエッチング
    液レジストを施された前記素材をエッチングしてシャド
    ーマスクパターンを形成する工程と を有することを特徴とするシャドーマスクのエッチング
    方法。 15、エッチングの方法において、 支持板上において頂面を有する圧縮可能な乳剤層を形成
    する工程と、 前記圧縮可能な乳剤層を選択的に現像し、これによって
    同圧縮可能な乳剤層の頂面から外側に約1ミクロン突出
    する不透明パターンを形成する工程と、 圧縮可能な乳剤の前記不透明パターンの頂面上、及び同
    不透明パターンを備えていない前記圧縮可能な乳剤層の
    頂面上に複数のスペイサの一端を配置する工程と、 エッチングされる素材上に位置決めされたエッチング液
    レジスト層に面して複数の前記スペイサの他端を配置し
    、これによって前記圧縮可能な頂面と前記エッチング液
    レジスト層との間の距離を増加させる工程と、 前記圧縮可能な乳剤層と前記エッチング液レジスト層と
    の間から空気を排除する工程と、 次いで前記エッチング液レジスト層を現像し、これによ
    って、同エッチング液レジスト層に覆われていない前記
    素材をエッチング可能にする工程と、 次いで前記エッチング液レジスト層を施された前記素材
    をエッチングしてエッチングされた物体を形成する工程
    と を有することを特徴とするエッチングの方法。
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