JPH0355405B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0355405B2
JPH0355405B2 JP58074853A JP7485383A JPH0355405B2 JP H0355405 B2 JPH0355405 B2 JP H0355405B2 JP 58074853 A JP58074853 A JP 58074853A JP 7485383 A JP7485383 A JP 7485383A JP H0355405 B2 JPH0355405 B2 JP H0355405B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carbon
methane gas
tube
glass
reactor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP58074853A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS58194727A (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of JPS58194727A publication Critical patent/JPS58194727A/ja
Publication of JPH0355405B2 publication Critical patent/JPH0355405B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26Deposition of carbon only
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B3/00Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
    • C01B3/02Production of hydrogen or of gaseous mixtures containing a substantial proportion of hydrogen
    • C01B3/22Production of hydrogen or of gaseous mixtures containing a substantial proportion of hydrogen by decomposition of gaseous or liquid organic compounds
    • C01B3/24Production of hydrogen or of gaseous mixtures containing a substantial proportion of hydrogen by decomposition of gaseous or liquid organic compounds of hydrocarbons
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/05Preparation or purification of carbon not covered by groups C01B32/15, C01B32/20, C01B32/25, C01B32/30

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は炭化水素源より炭素質材料を製造する
方法に係る。
炭化水素材料を分解することにより水素ガス及
び炭素を製造することは良く知られているが、か
かる反応生成物を製造して高密度炭素を得ること
は困難である。例えば米国特許第2885267号、同
第3355248号、同第3851048号、同第4057396号を
参照されたい。
従来より高密度(1.8g/cm3以上)の炭素付着
物を製造することは可能であつたが、その場合反
応温度は一般に2200〜2500℃にも達するものであ
つた。
従つて当技術分野に於ては、比較的低い温度に
於て、高密度炭素材料を製造する方法が必要とさ
れている。
本発明は、比較的低い温度にて水素ガス及び高
密度炭素材料を製造する方法を提供することを目
的としている。本発明によれば、約1000〜1200℃
の温度に加熱された高温度に於て安定なガラスの
表面上にメタンガスを通すことにより、約2g/
cm3以上の密度を有する炭素が製造される。製造さ
れる炭素は高密度であるだけでなく、本発明によ
る方法に於ては水分の如き僅かな不純物が存在し
ても問題にはならない。
以下に添付の図を参照しつつ、本発明を実施例
について詳細に説明する。
本発明によれば、高密度炭素を分解により製造
し収集するために使用されるガラスは、1000〜
1200℃に於ても軟化したり変形したりすることの
ない任意の高温度に於て安定なガラスであつてよ
い。高温度に於て安定なガラスの例としては、水
晶やアメリカ合衆国ニユーヨーク州、コーニング
所在のCorning Glass Worksにより販売されて
いるVycor(登録商標)の如き高シリカ含有ガラ
スがある。ガラスは中実棒状、プレート状、又は
中空チユーブ状、中空円筒状の形態にて使用され
てよい。ガラスの表面に付着した炭素は、そのガ
ラスを固体表面上に軽く叩き付けて形成された炭
素を拭い取るという簡単な手段により、ガラスよ
り除去される。このことは、炭素を容易に除去す
ることができ、炭素の大量生産が可能であるの
で、本発明の方法の利点の一つである。
従来の任意の手段により炭素製造装置が加熱さ
れてよいが、炭素サスセプタ加熱及び抵抗炉加熱
が好ましい。従来の任意の炭素サスセプタ装置が
使用されてよいが、既知の寸法を有する炭素シリ
ンダとの組合せで10キロワツトの誘導装置が使用
されることが好ましい。かかる誘導装置の一つが
アメリカ合衆国ニユーヨーク州所在のLepel
Corporationより販売されている。一つの例示的
な抵抗炉装置に於ては、標準的な耐火煉瓦及びア
メリカ合衆国マサチユーセツツ州、ウオーセスタ
所在のNorton Companyより販売されている
Globar炭化セイ素棒が含まれている。通常の抵
抗ヒータ使用される場合には、ガラス棒などを収
容するガラス室又は他の加熱室の周りに抵抗コイ
ルが巻装され、該抵抗コイルには所望の温度とす
るに充分な電流が供給される。黒鉛サスセプタ加
熱が使用される場合には、本発明によれば通常の
黒鉛サスセプタがガラスチユーブなどの周りに配
置され、所望の加熱を達成すべくRF誘導コイル
が加熱室の周りに巻装される(第1図及び第2図
参照)。
第1図に於て、シリカ又は他の非導電性を有し
高温度に於て安定なセラミツクよりなるアウタチ
ユーブ1の外形は任意の値であつてよいが、図示
の実施例の場合、アウタチユーブ1の外形は55mm
であり、内径は50mmである。アウタチユーブ1は
一対の水冷式の銅製支持板2及び通常のガスシー
ル3(ネオプレンゴムなど)により所定の位置に
保持されている。通常の円筒形の黒鉛サスセプタ
4がアウタチユーブ1内に配置されており、該黒
鉛サスセプタの外径は38.1mmであり、その内径は
31.75mmであり、長さ152.4mmである。黒鉛サスセ
プタ4はジルコニアの如き高温度に於て安定なセ
ラミツクよりなる輻射シールド5により囲繞され
且支柱6上に支持されている。アウタチユーブ1
の周りには誘導コイル7が配設されており、該誘
導コイルはLepel誘導装置に接続されており、外
径6.35mmの導管の約10の巻回を含んでいる。導管
のコイルは約76.2mmの内径を有している。またア
ウタチユーブ1内には外径25mmのガラス管8が配
置されている。
炭素をガラス管8の外周面に付着させたい場合
には、反応装置はメタンガスが矢印9により示さ
れている如く流され且水素ガスが矢印10にて示
されている如く流される状態にて使用される。ま
た炭素をガラス管8の内周面に付着させたい場合
には、第2図に示されている如く、反応装置はメ
タンガスが矢印9にて示されている如く流され且
つ水素ガスが矢印10にて示されている如く流さ
れる状態にて使用される。更に黒鉛サスセプタが
酸化されることを防止すべく、矢印11及び12
により示されている如く、アルゴン又は他の不活
性ガスがメタンガスとほぼ同一の流量にて加熱さ
れた室内に流される。これと同様の結果が加熱さ
れた室内を脱気することにより達成されてもよ
い。
第3図に抵抗炉により加熱される構成が図示さ
れており、ガラス管8は通常の耐火煉瓦シール1
3の間に挿入され且アルミナ管14により囲繞さ
れている。長さ228.5mmの活性加熱要素を有する
上述の如き6個のGlobar炭化ケイ素棒15がア
ルミナ管14の周りに配置されており、図には示
されていないが反応装置全体が標準的な耐火煉瓦
製の包囲対内に収容されている。炭素をガラス管
8の内周面に付着させたい場合には、第3図に於
て矢印9に示されている如くメタンガスが導入さ
れ、矢印10により示されている如く水素ガス排
出される。また炭素をガラス管8の外周面に付着
させたい場合には、第3図に於て仮想線にて示さ
れている如く、メタンガス18が流入し水素ガス
19が排出し得るよう、耐火煉瓦シール13を貫
通するチヤンネル16及び17が設けられる。
炭素を付着させるに際し約1200℃以上の温度が
採用されてもよいが、エネルギ効率及び反応装置
全体としての安定性の点からは1200℃以上の温度
は好ましくない。
メタンガスは商業的に入手可能又は製造可能で
あり一般に許容されている基準の商業的不純物を
含有する通常の任意のメタンガスであつてよい。
本発明の利点の一つは水の如き或る程度の量の不
純物が存在しても許されるということである。メ
タンガスは10c.c./min〜1300c.c./minの何れかの
流量にて反応装置に流されてよく、約325c.c./
minの流量が好ましい。使用されたメタンガス
は、例えばアメリカ合衆国ニユー・ジヤージー
州、イースト・ラザフオード所在のMetheson
Gas Productsより販売されているメタンガスの
如き市販等級及び学術品質のメタンガスである。
ガラス管にメタンガスを供給する場合にはメタン
ガスが層状に流されることが望ましいが、本発明
に於てはメタンガスは乱流にて流されてもよい。
ガラス管内又はガラス管上に流されるメタンガ
スの量はガラス管の表面積及び温度次第である。
3mm〜30mmの直径を有するガラス棒又はガラス管
の外周面又はガラス管の内周面に高密度炭素を付
着させるためには、1000〜1200℃の温度に対して
10c.c./min〜1300c.c./minの流量が採用されてよ
い。メタンガスの流量を50c.c./minに設定し温度
を1200℃に設定すれば、直径22mmの中空ガラス管
の内周面に高密度炭素が好ましく付着される。
もし必要ならば、アルゴンの如き不活性ガスを
用いて、例えば温度匂配が付均一であることに起
因して生じる煤(低密度炭素)が除去されてよ
い。かかる反応装置のアルゴン洗浄は、ガラス管
の表面又はガラス管の表面上に付着した高密度炭
素より煤の如き低密度炭素を除去するために行わ
れる。かかるアルゴン洗浄はガラス管内又はガラ
ス管の表面上に流されるメタンガスの圧力の約20
倍の圧力及びメタンガスの流量と実質的に同一の
流量にて行われる。メタンガスは一般に大気圧と
大気圧よりも41370Paだけ高い圧力との間の圧力
にて反応装置内を通過する。アルゴンの圧力はメ
タンガスの流量、ガラス管の表面積、炭素がガラ
ス管に付着する場合の温度により決定される。メ
タンガスの流量が高くなればなる程アルゾン洗浄
はより頻繁に行われる。例えばメタンガスの流量
を10c.c./minの設定して上述の好ましい反応装置
が使用される場合には、アルゴン洗浄は24時間の
炭素付着期間全体に亙り1時間毎に行われた。尚
アルゴン洗浄の頻度は、高密度炭素付着工程中に
形成される煤を観察することにより、当業者によ
り容易に決定され得るものである。
例 1 第1図に示されている如く、黒鉛サスセプタ内
に内径25mm、流さ15cmの水晶製のチユーブを挿入
することにより炭素箔が製造された。反応装置の
運転温度は6時間に亙り1050℃に設定され、メタ
ンガスの流量は50c.c./minに設定された。チユー
ブの内壁に施された被覆が密着した状態のままで
チユーブの外壁に付着した炭素箔を剥離させるこ
とができた。
例 2 第2図に示されている如き反応装置を用いて、
内径5mm、外径7mm、長さ1.2mのシリカ製のチ
ユーブが反応装置内に配置された。黒鉛サスセプ
タの内径は2.5cmであり、外径は3.2cmであり、長
さは16.5cmであつた。メタンガスの流量は50c.c./
minに設定され、反応温度は1050℃に設定され
た。シリカ製のチユーブの内壁上には炭素膜が付
着していた。
例 3 上述の例2の方法を用いて、温度が1200℃に昇
温され、メタンガスの流量が10c.c./minに設定さ
れた。内径5mmのシリカ製のチユーブの内壁には
厚い炭素膜が付着していた。かくして製造された
炭素膜をトルエン中に浸漬しその場合のトルエン
の液位の変化を測定することにより炭素膜の密度
を測定したところ、密度は2.03g/cm3〜2.15g/
cm3であることが認められた。
例 4 1時間毎に高圧のアルゴンによる洗浄を行いつ
つ上述の例3のプロセスが実施された。24時間の
炭素付着期間全体に亙りメタンガスが10c.c./min
の流量にて流された。1時間毎に1分間流量10
c.c./min、圧力20気圧にてアルゴンが流された。
その結果高密度炭素の非常に厚い層が形成され
た。
例 5 上述の例4の方法を用いて、フラスコに貯容さ
れた蒸溜水中にメタンガスを通すことにより、反
応装置の高温帯域に流入するメタンガスに水蒸気
が添加された。その結果かかる水蒸気が存在する
場合に於ても上述の如き高密度炭素が得られた。
例 6 上述の各例の場合の如き誘導コイルではなく抵
抗ヒータを用いて反応装置が組立てられた(第2
図参照)。この反応装置に於ては、直径1.25cm、
長さ46cmの炭化ケイ素製の6本の棒状の抵抗ヒー
タが直径7cm、長さ50cmのアルミナ管の周りに円
形に配列された。アルミナ管内に支持されたシリ
カ製のチユーブ内にメタンガスが流された。プラ
チナ/プラチナ−ロジウムの熱電対を用いてシリ
カ製のチユーブの温度が測定された。アルミナ管
の内径は5cm以上であるので、内径25mm、外径28
mmのシリカ製のチユーブが先に反応装置内に配置
された。メタンガスの流量を100c.c./minに設定
して温度1200℃にて5時間半反応装置を運転した
ところ、上述の各例の場合と同様高密度炭素が得
られた。またメタンガスの流量を40c.c./minに設
定して2.8時間同様に反応装置を運転したところ、
誘導コイルを用いて得られる場合と同様の炭素層
が得られた。更に上述の例3の場合と同様アルゴ
ン洗浄を行いつつメタンガスの流量を25c.c./min
に設定して温度1200℃にて反応装置を運転したこ
ろ、この場合にも、高密度炭素が得られた。
本発明により製造される高密度炭素は、例えば
溶融金属用のるつぼや導管の如く、高温度に於け
る流体不透過性が必要とされる任意の環境に於て
使用されてよい。また本発明の方法により製造さ
れる水素ガスは通常の収集装置により収集されて
よく、また種々の商業的用途に使用されてよい。
本発明による方法は水素ガス及び炭素の製造に
のみ使用されてよいものであるが、本発明による
方法は二酸化炭素により炭素及び水素を製造する
サバテイエ(Sabatier)反応装置との組合せで使
用されることが好ましい。サバテイエ反応装置は
例えば人間の呼気の二酸化炭素を水素と反応させ
てメタン及び水に転換するものであり、かくして
生成されるメタン及び水は本発明による方法によ
り処理されて炭素及び水素に転換され得るので、
上述の如き系によれば反応物質を循環使用するこ
とができる。この点に関しては本願と同日付にて
本願出願人と同一の出願人により出願された特願
昭58−074854号を参照されたい。
以上に於ては本発明を特定の実施例について詳
細に説明したが、本発明はこれらの実施例に限定
されるものではなく、本発明の範囲内にて種々の
実施例が可能であることは当業者にとつて明らか
であろう。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明による方法を実施す
るに好適な反応装置であつてサスセプタが使用さ
れた反応装置を示す縦断面図である。第3図は本
発明による方法を実施するに好適な反応装置であ
つて抵抗ヒータが使用された反応装置を示す断面
図である。 1……アウタチユーブ、2……支持板、3……
ガスシール、4……黒鉛サスセプタ、5……輻射
シールド、6……支柱、7……誘導コイル、8…
…ガラス管、13……耐火煉瓦シール、14……
アルミナ管、15……炭化ケイ素棒、16,17
……チヤンネル、18……メタンガス、19……
水素ガス。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 実質的に1000〜1200℃の温度に加熱された高
    温度に於て安定なガラスの表面にメタンガスを通
    し、これより水素ガス及び実質的に2g/cm3以上
    の密度を有する炭素付着物を生成せしめ、前記ガ
    ラスの表面より炭素付着物を除去することにより
    高密度炭素及び水素ガスを製造する方法。
JP58074853A 1982-04-30 1983-04-27 高密度炭素及び水素ガスの製造方法 Granted JPS58194727A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/373,767 US4410504A (en) 1982-04-30 1982-04-30 Method of producing high density carbon
US373767 1989-06-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58194727A JPS58194727A (ja) 1983-11-12
JPH0355405B2 true JPH0355405B2 (ja) 1991-08-23

Family

ID=23473800

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58074853A Granted JPS58194727A (ja) 1982-04-30 1983-04-27 高密度炭素及び水素ガスの製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4410504A (ja)
JP (1) JPS58194727A (ja)
DE (1) DE3315971A1 (ja)
FR (1) FR2526002B1 (ja)
GB (1) GB2119354B (ja)
IT (1) IT1161230B (ja)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0142176A1 (en) * 1983-10-24 1985-05-22 George Gergely Merkl Cubic carbon
DE3421739C2 (de) * 1984-06-12 1987-01-02 Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt Verfahren zur Herstellung von diamantartigen Kohlenstoffschichten
US4855091A (en) * 1985-04-15 1989-08-08 The Dow Chemical Company Method for the preparation of carbon filaments
US4836898A (en) * 1987-12-03 1989-06-06 United Technologies Corporation Methane conversion reactor
US5213770A (en) * 1987-12-03 1993-05-25 United Technologies Corporation Methane conversion reactor
DE4035927A1 (de) * 1990-11-12 1992-05-14 Battelle Institut E V Verfahren und vorrichtung zur nutzung von kohlenwasserstoffen und biomassen
US5128003A (en) * 1991-10-17 1992-07-07 United Technologies Corporation Method for the conversion of carbon dioxide and hydrogen to variable methane and oxygen ratios
US7563525B2 (en) * 2006-02-15 2009-07-21 Egt Enterprises, Inc. Electric reaction technology for fuels processing
DE102008034931A1 (de) * 2008-07-26 2010-04-08 Bauderer, Thomas Energietransportsystem
KR101570882B1 (ko) * 2009-08-04 2015-11-23 에스케이이노베이션 주식회사 메탄의 열분해 및 이산화탄소 전환 반응을 포함하는 탄소 함유 물질의 가스화 방법
WO2011063326A1 (en) * 2009-11-20 2011-05-26 Egt Enterprises, Inc. Carbon capture with power generation
US9834440B2 (en) * 2012-12-21 2017-12-05 Basf Se Parallel preparation of hydrogen, carbon monoxide and a carbon-comprising product
US10486967B2 (en) 2017-05-04 2019-11-26 Honeywell International Inc. Inductively heated methane pyrolysis reactor for advanced oxygen recovery in environmental control and life support systems
US10479739B2 (en) 2017-05-04 2019-11-19 Honeywell International Inc. Integrated system for oxygen recovery for deep space mission

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4996786A (ja) * 1973-01-17 1974-09-12
JPS54118347A (en) * 1978-03-08 1979-09-13 Agency Of Ind Science & Technol Preparation of graphite coated steel

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD68685A (ja) *
US1819732A (en) * 1925-09-16 1931-08-18 Alox Chemical Corp Process for the production of hydrogen and carbon from hydrocarbons
GB391532A (en) * 1931-08-18 1933-05-04 Bataafsche Petroleum Process and apparatus for the thermal decomposition of hydrocarbons
GB399967A (en) * 1932-03-26 1933-10-19 Kremenezky Ag Joh Improvements in or relating to the manufacture of high ohmic resistances
GB626246A (en) * 1947-04-22 1949-07-12 Gerhard Liebmann Improvements in or relating to methods of producing carbon resistors
US2635994A (en) * 1950-04-27 1953-04-21 Sprague Electric Co Production of carbon resistors
US2885267A (en) * 1955-12-28 1959-05-05 Exxon Research Engineering Co Method of producing hydrogen and carbon black
US2911287A (en) * 1957-02-13 1959-11-03 Cabot Godfrey L Inc Thermal carbon black process
US3355248A (en) * 1963-12-16 1967-11-28 Universal Oil Prod Co Process for producing hydrogen and carbon with an essentially ironfree catalyst
US3471314A (en) * 1966-12-13 1969-10-07 Atomic Energy Commission Pyrolytic carbon coating process
US3851048A (en) * 1970-12-28 1974-11-26 Kureha Chemical Ind Co Ltd Method for producing isotropic pyrolytic carbon
US3933434A (en) * 1972-07-13 1976-01-20 Edwin Matovich High temperature chemical reactor
US4194027A (en) * 1975-04-21 1980-03-18 General Atomic Company Method of coating with homogeneous pyrocarbon

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4996786A (ja) * 1973-01-17 1974-09-12
JPS54118347A (en) * 1978-03-08 1979-09-13 Agency Of Ind Science & Technol Preparation of graphite coated steel

Also Published As

Publication number Publication date
FR2526002B1 (fr) 1986-02-21
DE3315971C2 (ja) 1989-06-01
IT1161230B (it) 1987-03-18
IT8320747A0 (it) 1983-04-22
DE3315971A1 (de) 1983-11-10
JPS58194727A (ja) 1983-11-12
GB2119354B (en) 1985-07-03
GB8310419D0 (en) 1983-05-25
FR2526002A1 (fr) 1983-11-04
US4410504A (en) 1983-10-18
GB2119354A (en) 1983-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0355405B2 (ja)
US4194028A (en) Process for applying a protective layer to shaped carbon bodies
JP2567784B2 (ja) 高純度黒鉛材の製造装置
JPH06293511A (ja) クロロシランおよび水素の反応器
JPH0130761B2 (ja)
WO2000049199A1 (en) Method and apparatus for chemical vapor deposition of polysilicon
EP1257684A1 (en) Method and apparatus for chemical vapor deposition of polysilicon
JPH05294781A (ja) シリコン結晶の製造に使用するガラス質炭素被覆グラファイト部品およびその製造方法
NO813770L (no) Hoeytrykks plasmaavsetning av silisium.
JP2001294416A (ja) 多結晶シリコンの製造装置
US4253863A (en) Apparatus for mass producing fiber optic preforms and optic fibers
US3138435A (en) Deposition apparatus and method for forming a pyrolytic graphite article
US2893850A (en) Apparatus for the production of elemental silicon
KR910009130B1 (ko) 실리콘 단결정 성장(Pull-up)장치
US4836898A (en) Methane conversion reactor
US5023109A (en) Deposition of synthetic diamonds
GB1521231A (en) Induction furnace
US5213770A (en) Methane conversion reactor
JPH0377655B2 (ja)
US3243174A (en) Dissociation-deposition apparatus for the production of metals
CN218561581U (zh) 一种多孔材料气相沉积装置
US3523816A (en) Method for producing pure silicon
NO132659B (ja)
GB1569652A (en) Manufacture of silicon rods or tubes by deposition
Takeuchi et al. A kinetic study of the chemical vapor deposition of silicon carbide from dichlorodimethylsilane precursors