JPH0353180A - パターン発生装置 - Google Patents

パターン発生装置

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JPH0353180A
JPH0353180A JP1188206A JP18820689A JPH0353180A JP H0353180 A JPH0353180 A JP H0353180A JP 1188206 A JP1188206 A JP 1188206A JP 18820689 A JP18820689 A JP 18820689A JP H0353180 A JPH0353180 A JP H0353180A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、パターン発生装置に関し、詳しくは、シー
ケンスジェネレータから発生するアドレスtn報に従っ
てパターンメモリをアクセスしてパターンデータを発生
させ、このパターンデータに対してバリティ検査を行う
ICテスターのパターン発生装置において、前記のバリ
ティ検査のためのパリテイビットを記憶するパリティメ
モリの容鑓を大きくしなくても済むようなパターン発生
詩置に関する。
[従来の技術コ 従来のICテスターでは、メモリテスト用のパターン発
生器とか、ロジックテスト用のパターン発生4というよ
うに、それぞれのテストデバイスに対応して別々のパタ
ーン発生器が設けられ、これらそれぞれのパターン発生
語は、パターンプログラムの流れ(シーケンス)をコン
トロールするハードウエアとしてシーケンスパターンジ
エネレ一タ(SQPG)又はシーケンスジェネレータと
呼ばれているパターンメモリをアクセスするためのアド
レスを発生する回路を有している。
また、最近の超LSI (VLSI)に対するテストシ
ステムではメモリもロジックも同時にテストする関係か
らそのテストパターン発生装置は、第3図に后すように
、メモリ用のパターンメモリ1とロジック用のパターン
メモリ2とが設けられていて、これらパターンメモリ1
.  2を1つのSQPG3によりアクセスしてメモリ
用のパターンメモリ1とロジック用のパターンメモリ2
とにそれぞれパターンデータを発生させ、テストに必要
なパターンデータが選択できるようになっているものが
ある。
このようにSQPGによりパターンメモリをアクセスし
てパターンデータを発生するパターン発/し装置にあっ
ては、通常、発生するパターンデータが正しいか否かを
判定するために図示するように内部にパリテイビット格
納用のパリティメモリ部1a*2aを有していて、パタ
ーンメモリ内部でパリティ検査を行ってその結果を外部
へ送出し、誤ったパターンデータによる誤検査データを
テスト結果から排除している。
ところで、バリティ検査は、通常、パターンメモリ内部
に設けられているパターンデータを記憶したパターンデ
ータメモリと同一のアドレス空間を持つパリティビット
を格納するパリティメモリが必要とされ、その検査は、
パリティメモリとパターンデータメモリとを同時にアク
セスしてパターンデータメモリのデータからリアルタイ
ムで奇数又は偶数のパリティビットを生成し、これとパ
リティメモリのビットとを比較することで行われる。
一方、種々のICや各ICにおける多種多用な機能をテ
ストするためには、そのテスト内容或はテスト対象に応
じてパターンデータのビット数を変化させることができ
るような出力ピット数可変(I/O可変)のパターン発
生装置が要求される。
[解決しようとする課題コ 前記のようなパリティ検査方式は、パリティメモリとパ
ターンデータメモリとを同時にアクセスすることになる
ので、前述した出力ビット数可変のパターン発生装置で
は、設定可能な出力ビット数の選択数に応じてバリティ
メモリをその分だけ多く設ける必要がある。そこで、パ
ターンメモリ全体の容酸が増加する欠点がある。
一方、テストすべきICの高機能化に伴い多種多用ナパ
ターンデータの発生がパターン発生装置に要求されるた
め、パターンメモリの容量は増加する傾向にあって、し
かも、増加可能なパターンメモリの容量にも限界がある
この発明は、このような従来技術の問題点を解決するも
のであって、パリティメモリの容量を増加させることな
くパリティ検査ができる出力数可変のパターン発生装置
を提供することを目的とする。
[課題を解決するための千段] このような目的を達成するためのこの発明のパターン発
生装置における構成は、同時に出力するビット数の最大
値をn(nは正の整数)としたときに、1ビットの出力
を発生し、共通にそのアドレスがアクセスされる最大値
に対応するn個のメモリ部と、最大値に対応するn個の
独立した端子と、出力端了指定情報を受け、これに対応
してn個の独S”Lシた端子から出力する端子を遺択す
る出力選択回路と、出力端子指定情報に応じた切換制御
信号に応じてこの出力選択同路により選択された端r・
のうちのあらかじめ定められた特定の端rとn個のメモ
リ部のうちのあらかじめ定められたメモリ部とを対応さ
せて接続する接続切換回路と、n個のメモリ部がアクセ
スされたときに同時に出力されるnビットについてのパ
リテイビットをアクセスされたメモリ部のアドレスに対
応するアドレスに記憶するバリティメモリ部と、n個の
メモリ部からパラレルに発生するn個のビットとパリテ
ィメモリ部から得られるパリティビットとに京づきパリ
ティm合を行う回路とをパターンメモリが備えていて、
切換制御信号をシーケンスジェネレータが発生して接続
切換回路に送出するとともにシーケンスジェネレータが
アドレス情報によりn個のメモリ部とパリティメモリ部
とをアクセスするものである。
[作用コ このように、設定される出力ビット数にかかわらず、常
に、n個のメモリ部から1ビットづつパラレルにパター
ンデータを読出し、これと同時に前記のパラレルに読出
されたパターンデータに対応するパリテイビットを同じ
アドレス空間を持つ1個のパリティメモリの対応するア
ドレス位置から読出してバリティ検査をするようにして
いるので、メモリ部のアドレス空間に対応する容量のパ
リティメモリ1つだけでパリティ検査を行うことができ
る。しかも、n個のメモリ部から1ビットづつパラレル
に読出されるパターンデータは接続切換回路と出力選択
回路とを設けることで、出力ビット数を選択する出力端
子指定情報に応じて出力から発生するパターンデータの
ビット数を選択することができる。
その結果、出力ビット数可変のパターン発生装置であっ
ても出力ビット対応にパリティメモリ容酸を増加させな
くても済む。
[実施例コ 以下、この・発明の−・実施例について図面を参照して
詳細に説明する。
第1図は、この発明のパターン発生装置を適用したIC
テスターのパターン発生部分のブロック図であり、第2
図は、そのデータメモリとパリティメモリの記憶データ
の説明図である。
10は、SQPGであって、従来と同様にインストラク
シタンメモリを主体とし、セレクタやプログラムカウン
タ等を内蔵している。これは、インストラクションメモ
リのデータ内容に応じてプログラムカウンタにパターン
メモリ17をアクセスするアドレスをセットし、それに
よりパターンメモリl7をアクセスしてパターンメモリ
17からデータを読出し、発生するパターンデータのシ
ーケンスをコントローノレするものである。なお、イン
ストラクシ3ンメモリには、データメモリをアクセスす
るためのアドレスデータのエリアと、被測定デバイス(
DUT)に対する読出し/書込み等の制御データエリア
、そして次のインストラクシeンメモリのアドレス等の
制御をするためのインストラクション制御情報エリア等
が設けられている。
パターンメモリ17は、SQPG10によりアクセスさ
れて、アクセスされたアドレスからパターンデータを発
生してそれをデバイスへの印加波形生成回路●出力判定
向路20に送出する。このパターンメモリ17は、パタ
ーンデータを記憶するパターンデータメモリ11を有し
ていて、これが複数のメモリブロックで構成されている
。それらのメモリブロックは、この実施例では4個(n
個で”I1nは2以ヒの整数)のメモリブロック11a
(メモリブロック1).1lb(メモリブロック2),
llc(メモリブo−)ク3).11d(メモリブロッ
ク4)として与えられる。パターンメモリ17は、ここ
では、これら4つのメモリブロックと、各メモリブロッ
クからの出力を受けるマルチプレクサ回路l2、出力端
子Do −D3にその出力が接続された出力選択回路1
3、バリティメモリ14、パリティ発生回路15、そし
て比較回路16とで構成されている。
4つのメモリブo +7ク1 1 a,  l l b
+  l I C+lidとバリティメモリ14とは、
第2図に示すように、それぞれ同−の1ビット×mビッ
トのメモリ素f− (例えば、1ビッ}LH力で全記憶
容量IMビット)で構成され、それぞれがSQPG 1
 0から発生するアドレスのうちの下位アドレスAO〜
Art(前記IMビットに対応させて)で同時にアクセ
スされる。すなわち、パリティメモリ14とメモリブロ
ックlla〜11d(メモリブロック1〜4)と同じメ
モリブロック(メモリブロック5)で構成され、SQP
GlOに対して同じアドレス空間に配置されている。
メモリブロック1 law  1 lb+  l ic
e  1 1dとパリティメモリ14とがSQPGIO
からアクセスされると、第2図に示すように、それぞれ
の1ビットの出力が発生し、各メモリブロックにあって
はそれがマルチプレクサ回路12に送出され、パリティ
メモリ14ではそれが比較同路l6に出力される。
マルチプレクサ回路12は、出力端子Do −D3のう
ちの特定の出力端子に接続される出力選択回路13の入
力線INo”IN3の1つとメモリブロック1 1 a
.  1 l b,  1 1 c,  l 1 dの
うちの特定のメモリブロックの1つとを選択的に接続し
てメモリブロックのデータを出力端子Do”D3の特定
の選択された出力端rに送り出す回路であって、その選
択的な接続は、SQPGIOから送出されるアドレスの
うちの1二位アドレスA20〜A21 に信号に応じて
行われる。
出力選択回路l3は、外部からの制御信号に応じて出力
端子Do−03のうちのあらかじめ遣択された端子に出
力信号(パターンデータ)を発生する回路であって、マ
ルチプレクサ回路12の出力のうちどの出力信号を出力
端子に送出するかを選択する、いわゆる、出力端子の選
択回路である。
この回路は、ここでは、出力端子Do=Daに対応して
設けられた4つのANDゲー}13a,13b.13c
,13dと、テストを全体を制御するプロセッサ(CP
U)等を有する制御回路18から送出される出力するビ
ット数に応じてそれに対応する出力端子を指定する出力
端子指定情報を記憶するレジスタ13eと、このレジス
タ13eで受けた出力端子指定情報をデコードして前記
ANDゲート1 3 a.  1 3 b,  1 3
 Co  1 3 dを選択的に開く信号を発生するデ
コーダ13fとで構成されている。
出力端子指定情報は、パラレルに出力するビット数に対
応した内容を持つものであって、この実施例では、この
出力端子指定情報が1ビット出力のときには出力端子D
oが選択されて指定され、2ビットパラレル出力のとき
には出力端子Do+Drが選択され指定され、3ビット
パラレル出力のときには出力端子D.−D2が選択され
て指定され、4ビットパラレル出力のときには出力端子
Do”D3が選択されるものとする。そこで、以Fはこ
れに従って説明する。
前記の場合には、マルチプレクサ回路12は、第1図に
示すように、メモリブロックllaがその端子B側にそ
してメモリブロックllcがその端子A側にそれぞれ接
続されてこれらの出力を受ける2人力(A,B)−1出
力(Y)のセレクタ12aと、メモリブロックllbが
その端子B側にそしてメモリブロックlidがその端子
A側にそれぞれ接続されてこれらの出力を受ける2人力
(A.B)−1出力(Y)のセレクタ12bと、さらに
セレクタ12aがその端−FB側にそしてセレクタ12
bがその端子A側にそれぞれ接続されてこれらの出力を
受ける2人力(A,B)−1出力(Y)のセレクタ12
bとで構成される。
これら3つのセレクタ12a,12bは、それぞれSQ
PG10から発生するアドレスのうちの上位アドレスA
20の信号で切換えられ、セレクタ12cがアドレスの
うちの上位アドレスA21の信号で切換えられる。すな
わち、各セレクタ12at  12bs  12cは、
それぞれ“O”の信号をセレクト端T−(SEL)に受
けているときには端子A−Yの接続をし、′1”の信号
をセレクト端子(SEL)に受けているときには端子B
−Yの接続をする。
次に、その動作を説明すると、まず、制御回路l8から
出力選択回路13のレジスタ13eにlビット出力を設
定するデータ(出力端子指定情報)がセットされたとす
る。この場合、ANDゲート13aのみが開かれ、それ
以外のANDゲートが閉じられ、出力端子Doが選択さ
れる。したがって、その出力は、出力端′f−Doのみ
から発生する。
この状態でSQPG lOが動作してアドレスAO〜A
I ’Fの信号により第2図に示すメモリブロックll
a〜lidのあるアドレスが選択され、選択されたアド
レスから4ビットのデータがパラレルに読出されてマル
チプレクサ回路l2とパリティ生成回路15とに送出さ
れる。このとき同時にパリティメモリ14の同じ番地も
アクセスされてそこからパリティビットが読出されて比
較回路16の一方の人力に送出される。この比較回路1
6の他方の入力には、バリティ生成同路15からそこで
生成されたメモリブロックlla〜lidのアクセスさ
れたデータについて生成されたパリティビットが加えら
れていて、比較回路16においてこれらの間で比較によ
るパリティ検査が行われ、その結果が出力端子Dpから
出力される。なお、比較回路l5は、ここでは、EXO
Rで構成され、奇数パリティ或は偶数パリティに応じて
検査結果が正しい場合には、′1”又は“0″のいずれ
か一方の信号を発生する。
一方、マルチプレクサ回路12には、SQPG10から
の上位アドレスA20,A21 がメモリブロックll
a−lidのアクセスと同時に加えられる。その結果、
各メモリブロックlla〜1ldのうちの任意の1ビッ
トが選択されて出力端FDoに送出される。
具体的には、上位アドレスA2ttAzoが“0,O”
のときには、セレクタ12aと12b,12cの接続が
それぞれ端’7’A−Yとなり、メモリブロックlid
の1ビット出力が選択され、出力端子Doから出力され
る。上位アドレスA21,A20が“0,1”のときに
は、セレクタ12aと12bの接続がそれぞれ端子B−
Yとなり、セレクタ12cが端子A−Yとなって、メモ
リブロックllbの1ビット出力が選択され、出力端子
Doから出力される。上位アドレスA2 t * A2
0が“L o”のときには、セレクタ12aと12bの
接続がそれぞれ端子A−Yとなり、セレクタ12cが端
子B−Yとなって、メモリブロック11cの1ビット出
力が選択され、出力端子Doから出力される。そして、
上位アドレスA2K,A20が“1.1”のときには、
セレクタ12aと12bの,12cがぞれぞれ端子B−
Yとなり、メモリブロックllaの1ビット出力が選択
され、出力端T I) oから出力される。
したがって、SQPGIOが順次アドレスを更新して上
位アドレスA21,A20を前記の順にアクセスしたと
きには、メモリブロックitd.1 1 bs  l 
1 cv  1 1 aの順にそれぞれの1ビットつづ
の出力が出力端子1)oに出力されることになる。また
、上位アドレスA21,A20の信号値をある値に固定
すれば、特定のメモリブロックのみ選択してその1ビッ
トを出力端7’f)oの出力することもできる。
出力端7Do,Dxの2ビット出力を選択するときには
、前記制御回路18から出力選択回路l3のレジスタ1
3eに2ビット出力を設定するデータをセントしてAN
Dゲート13a,13のみを開けばよい。そして、ヒ位
のアドレスA21 を、“l”のままとして、アドレス
A20を“0”或は“l”に選択すれば &IQ”のと
きにはメモリブロックllc,lidの出力が出力端子
DI .Doに送出され、′1”のときにはメモリブロ
ックlla,llbの出力が出力端子DI + Doに
送出されるように制御される。
さらに、出力端子1)o−D3の4ビット出力を選択す
るときには、出力選択回路13のANDゲートをすべて
開き、上位アドレスA2 1 * A2 0は“0,0
”のままとすればよい。
以上は、4ビット,2ビット,1ビットと2の倍数でビ
ットパラレルにパターンデータを選択的に発生する場合
であるが、マルチプレクサ回路12のセレクタの構成を
変えて、さらに上位2ビットでなく、上位3ビット或は
それ以上のヒ位ビットを使用すれば、されに多くの出力
設定とそれに対応するメモリブロックの選択が可能であ
る。
以ヒ説明したきたが、実施例では、パターンデータメモ
リとしてメモリブロックllatllbttic,ll
dの4個で構成される例を挙げているが、これは、4個
に限定されるものではなく、また、1ビット×mビット
のメモリ素子を使用しているが、mビット×mビットの
メモリを用いてX−Y二次元にビットデータを出力する
場合に、例えばX方向を実施例の1ビット,2ピット,
4ビットの選択ビット方向とし、出力可変の方向として
、Y方向は、mビットパラレルの固定出力として常にm
ビットを出力するようにするようにすることもできる。
また、実施例では、切換接続回路の接続の選択をSQP
G10から得られるアドレス情報のうちのメモリブロッ
クをアクセスするアドレスより上位のアドレスを使用し
ているが、これは、上位のアドレスに限定されるもので
はな<,SQPGI0から別の選択信号を得て使用する
ようにしてもよい。
実施例では、出力ビット数に応じて出力端子を指定する
出力端子指定情報を制御回路から発生してパターンメモ
リに加えているが、これは、シーケンスジェネレータか
ら発tp−するようにしてもよく、制御回路以外の外部
回路から発生してパターンメモリに加えるようにしても
よい。なお、この明細書でのパターンメモリは、メモリ
そのものではなく、パターンデータメモリやパリティメ
モリを含むものであることはもちろんである。
[発明の効果コ 以上の説明から理解できるように、この発明にあっては
、設定される出力ビット数にかかわらず、常に、n個の
メモリ部から1ビットづつパラレルにパターンデータを
読出し、これと同時に前記のパラレルに読出されたパタ
ーンデータに対応するパリテイビットを同じアドレス空
間を持つ1個のパリティメモリの対応するアドレス位置
から読出してパリティ検査をするようにしているので、
メモリ部のアドレス空間に対応する容量のパリティメモ
リ1つだけでバリティ検査を行うことができる。しかも
、n個のメモリ部から1ビットづつパラレルに読出され
るパターンデータは接続切換回路と出力選択回路とを設
けることで、出力ビット数を選択する出力端了指定情報
に応じて出力から発生するパターンデータのビット数を
選択することができる。
その結果、出力ビット数可変のパターン発生装置であっ
ても出力ビット対応にパリティメモリ容融を増加させな
くても済む。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明のパターン発生a置を適川したIC
テスターのパターン発生部分のブロック図、第2図は、
そのデータメモリとバリティメモリの記憶データの説明
図、第3図は、パターン発生S4置のパターン発生部分
を中心とする一般的なブロック図である。 l・・・メモリ用のパターンメモリ、 2・・・ロジック用のパターンメモリ、10・・・SQ
PG1 11・・・パターンデータメモリ、1 1a.
1 lb,1 1c,1 1d・・・メモリブロック、
12・・・マルチブレクサ回路、1 3−・・出力設定
回路、1 3 at  1 3 bt  1 3 c,
13d・・・ANDゲート、14・・・パリティメモリ
、15・・・パリティ発生回路、16・・・比較回路、
l7・・・パターンメモリ、18・・・制御回路。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)パターンメモリと、このパターンメモリをアクセ
    スするアドレス情報を順次発生してこのパターンメモリ
    をアクセスするシーケンスジェネレータとを有し、同時
    に出力するビット数に応じて出力端子を指定する出力端
    子指定情報を前記シーケンスジェネレータ及び制御回路
    等の外部回路のいずれかから前記パターンメモリが受け
    て同時に出力するパターンデータのビット数を選択する
    ことができるパターン発生装置において、前記同時に出
    力するビット数の最大値をn(nは正の整数)としたと
    きに前記パターンメモリは、1ビットの出力を発生し、
    共通にそのアドレスがアクセスされる前記最大値に対応
    するn個のメモリ部と、前記最大値に対応するn個の独
    立した端子と、前記出力端子指定情報を受け、これに対
    応して前記n個の独立した端子から出力する端子を選択
    する出力選択回路と、前記出力端子指定情報に応じた切
    換制御信号に応じてこの出力選択回路により選択された
    端子のうちのあらかじめ定められた特定の端子と前記n
    個のメモリ部のうちのあらかじめ定められたメモリ部と
    を対応させて接続する接続切換回路と、前記n個のメモ
    リ部がアクセスされたときに同時に出力されるnビット
    についてのパリテイビットを前記アクセスされたメモリ
    部のアドレスに対応するアドレスに記憶するパリテイメ
    モリ部と、前記n個のメモリ部からパラレルに発生する
    n個のビットと前記パリテイメモリ部から得られるパリ
    テイビットとに基づきパリテイ検査を行う回路とを備え
    、前記シーケンスジェネレータは前記切換制御信号を発
    生して前記接続切換回路に送出するとともに前記アドレ
    ス情報により前記n個のメモリ部と前記パリテイメモリ
    部とをアクセスすることを特徴とするパターン発生装置
  2. (2)切換制御信号はシーケンスジェネレータで発生す
    るアドレス情報のうちのパターンメモリをアクセスする
    アドレスよりも上位のアドレスの信号が当てられること
    を特徴とする請求項1記載のパターン発生装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007093319A (ja) * 2005-09-28 2007-04-12 Yokogawa Electric Corp 検査信号生成装置及び半導体検査装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007093319A (ja) * 2005-09-28 2007-04-12 Yokogawa Electric Corp 検査信号生成装置及び半導体検査装置
JP4736673B2 (ja) * 2005-09-28 2011-07-27 横河電機株式会社 検査信号生成装置及び半導体検査装置

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