JPH0351798A - 真空移送装置 - Google Patents

真空移送装置

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JPH0351798A
JPH0351798A JP2174300A JP17430090A JPH0351798A JP H0351798 A JPH0351798 A JP H0351798A JP 2174300 A JP2174300 A JP 2174300A JP 17430090 A JP17430090 A JP 17430090A JP H0351798 A JPH0351798 A JP H0351798A
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JP
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mat
vacuum
nuclear fuel
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tray
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Application number
JP2174300A
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English (en)
Inventor
John F Wilson
ジョン・フランシス・ウィルソン
Enrique R Rosal
エンリケ・ラフォエル・ロザール
George D Bucher
ジョージ・デビッド・ブッチャー
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CBS Corp
Original Assignee
Westinghouse Electric Corp
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Filing date
Publication date
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    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21CNUCLEAR REACTORS
    • G21C3/00Reactor fuel elements and their assemblies; Selection of substances for use as reactor fuel elements
    • G21C3/02Fuel elements
    • G21C3/04Constructional details
    • G21C3/06Casings; Jackets
    • G21C3/14Means forming part of the element for inserting it into, or removing it from, the core; Means for coupling adjacent elements, e.g. to form a stringer
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21CNUCLEAR REACTORS
    • G21C21/00Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of reactors or parts thereof
    • G21C21/02Manufacture of fuel elements or breeder elements contained in non-active casings
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y02E30/30Nuclear fission reactors

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  • Manipulator (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野] 本発明は一般に核燃料ペレット取扱い装置に関し、より
詳細には、ランダムな配列状態で一端を下にして直立し
ている多数個の核燃料ペレットを把持して持ち上げる核
燃料ペレット真空移送装置に関する。 〔従来技術及び発明が解決すべき課題1列状に並べられ
たグリーンの、即ち未焼結状態の核燃料ペレットは通常
は、焼結炉への搬入の準備段階として、ステンレス鋼製
の棚又はトレーから矩形の容器又はポートに積込まれる
。ペレットがトレーからポート内に積込まれる移送ステ
ーションでは、従来、真空移送装置が用いられている。 真空移送装置は、開放した底部を備えたオーバーヘッド
真空フード及びフードの開放底部を閉鎖するプレートを
有する。このプレートは、小さな真空カップが嵌め込ま
れた列状に配設されている小さな開口部を有する。各真
空カップは可撓性をもち、形状が円錐形であってプレー
トを貫通した状態で孔に一つずつ嵌め込まれている。ま
た、各真空カップには、フードの内部に引かれる真空と
真空カップが接触する成る1つの核燃料ペレットの表面
を連通させる中央ボアが貫通して設けられている。 上述の従来型真空移送装置は、把持して持ち上げるべき
核燃料ペレットの配列状態に高い精度が要求されること
及び真空移送装置の融通性が乏しいという点で構成上の
欠点を有している0例えば、プレート上の各真空カップ
は、吸引力又は真空を及ぼして真空が核燃料ペレットの
端面に確実に働くようになる前に核燃料ペレットの頂部
に正確に当接する必要がある。浅い凹部が核燃料ペレッ
トの各端面に存在しているので、真空を核燃料ペレット
の端面に効果的に及ぼす際の問題が一段と深刻になる。 各真空カップを核燃料ペレットの端面に付ける際に要求
される精度に鑑みて、真空カップのサイズは核燃料ペレ
ットの直径のサイズとマツチする必要があり、核燃料ペ
レットの直径は0.9852cm(0,38インチ) 
〜1.0888c+w(0,42インチ)の範囲に亘る
場合がある。このため、フードのプレートは異なるサイ
ズのペレットに合せて取換える必要がある。というのは
、ペレットの間隔もその直径のサイズに応じて変るから
である。 このような交換は相当な時間を要する。又、真空カップ
のプレートの在庫量を維持しなければならない、更に、
プレート上の真空カップの配列状態又はパターンは固定
されているので、ペレットをトレー上に正確に列状に配
置して真空カップの一定の配列状態にマツチさせる必要
がある。 従って、核燃料ペレットを定位置に配置させないで上記
欠点を解決する真空移送装置に対する要望がある。
【課題を解決するための手段及び発明の効果1本発明は
、上記要望を満足するような設計のランダムな配列状態
の核燃料ペレットの真空移送装置を提供する0本発明の
真空移送装置を用いると、真空カップが不要になるので
、真空カップの配列状態又はパターンとマツチした配列
状態又はパターンで燃料ペレットを正確に整列させる必
要が無くなる。燃料ペレットを高精度で配列することは
もはや必要で無い。これとは対照的に、本発明では、ラ
ンダムに配列されたペレットを真空の利用により把持し
て持ち上げることができる。又従来型真空カップφプレ
ートに代えて本発明において用いられる構成要素は、把
持して持ち上げるべき燃料ペレットの直径が変ってもこ
れに応じて交換する必要が無いので融通性が一層高い。 本発明の真空移送装置は、上側有孔マットと共にマット
を支持する剛性格子部材を用いておりかくして真空カッ
プが不要になる。トレー上に任意の層を形成する燃料ペ
レットの配列状態がどのようになっていても、本発明の
真空移送装置は核燃料ペレットをピックアップできる。 上側マットの孔の間隔は狭いので、核燃料ペレットは上
側マットの少なくとも1つの孔の下に確実に位置するこ
とになる。又、燃料ペレットの高さが僅かに異なってい
ても一緒にピックアップできる。したがって、ペレット
を真空移送装置の下に正確に位置決めすることは不要で
ある。プレートの交換が不要なので時間が節約される。 更に、孔の空いたトレーを用いて、持ち上げるべき燃料
ペレットを支持しているので支持有孔トレーと上側有孔
マットとの間に真空状態が生じることは無い。 従って、本発明は複数の燃料ペレットを真空の利用によ
って把持するのに用いられる真空移送装置に関する0本
発明の真空移送装置は、内部及び開放した底部を有する
エンクロージャ又はオーバーヘッド真空フードで構成さ
れる真空室画定手段と、フードの開放底部にまたがった
状態で取付けられた剛性支持構造部材又は格子部材と、
フードから見て反対側の格子部材の側部に沿って取付け
られた有孔マットとを有する。有孔マットは、弾性的に
撓むことができる材料で作られると共に間隔を置いてマ
トリックス状に配設されていて、燃料ペレットの直径よ
りも実質的に小さな横断面サイズの孔を有している。格
子部材は、マットの孔の横断面サイズよりも実質的に大
きな横断面サイズの複数の通路を有し、該通路は、フー
ドからの真空を通してマットの孔に伝え、ペレットの端
面を真空により把持してマットに密着させる。 更に、核燃料ペレットを支持する有孔トレーが真空移送
装置と併用される。有孔支持トレーはマットの孔と実質
的に同一のサイズ及び間隔の複数の開口部を有している
。トレー上に支持されたペレットで覆われていない開口
部はマットとトレーとの間に真空状態が生じないように
し、それによりペレットがトレーから持ち上げられない
ようにする。 本発明の内容は、添付の図面に例示的に示すに過ぎない
好ましい実施例の以下の説明を読むと一層容易に明らか
になろう。 C実施例】 今回面を参照し、特に第1図〜第7図を参照すると、全
体を参照符号1oで指示した従来型移送ステーションが
概略的に示されている。移送ステージ璽ン10では、列
状に並んだ未焼結状態の核燃料ペレットAが一連のトレ
ー12上に到着する。各トレー12上のベレッ)A(第
10図も参照のこと)は、トレーから容器又はポート1
4に一まとめに移送され、このポート14は次に燃料ペ
レットAを焼結する焼結炉(図示せず)に送られる。第
11図及び第12図で分るように、核燃料ペレットAは
直円柱体であり、ペレットの互いに反対側に位置した端
面Bのそれぞれには凹部Cが設けられている。 移送ステージ1ンlOにおいて、従来型真空移送装置1
6は、各トレーのペレットをポート14に一まとめに移
送するのに用いられる。真空移送装置16は、内部真空
室18Aを画定すると共に開放した底部18Bを有する
オーバーへラド−フードで構成されるエンクロージャ1
8と、フードの開放底部18Bを横切って延びると共に
これを閉鎖する剛性のプレート20とを有する。従来型
真空移送装置16のフード18のそれ自体の構成は、第
13図及び第14図に示すものと同一である。具体的に
は、フード18は、適当な真空発生源(図示せず)に結
合した頂部円筒形部分22及び該円筒形部分に連結され
た複数(例えば4つ)の平らな側部24を有し、平らな
側部24は、傾斜した状態で外方へ延びると共にそれら
の側縁に沿って互いに連結されており、内部フード室1
8をピラミッド状に画定すると共にフードの底部18B
を矩形に画定している。 真空移送装置16のプレート20(好ましくはステンレ
ス鋼で作られていて、平らな形状になっている)は、小
さな真空カップ28が嵌め込まれた列状に配設された小
さな開口部2Bを有している。各真空カー2プ2Bは可
撓性があって形状が円錐形であり、又プレー)20を貫
通して開口部2Bのうちの1つに嵌め込まれている。又
、第8図及び第9図で最も良く分るように、各真空カッ
プ28には、フード18の内部の室18A内の真空を、
真空カー2プ28が接触する1つのベレフ)Aの上側端
面Bに伝える中央ボア30が貫通して設けられている。 特に、ペレットの端面Bに凹部Cが存在しているので(
第11図及び第12図を併せて参照されたい)、高精度
で真空カップ28とベレッ)Aの端面Bを位置合せしな
ければならない。 移送ステーション10における従来型ペレット移送作業
の一サイクルが第1図〜第7図に概略的に示されている
。第1図は、一連のベレット積載トレー12の内の1つ
が、オーバーヘッド・フード18と、トレー12の下に
位置した積載すべき1つのボード14との間で移送ステ
ーション10の積下し位置に到達している状態を示して
いる。第2図は、フード18がその当初の高さ位置から
ベレッ)Aの上端に隣接した位置まで下降して、真空カ
ップ28を拡張してペレットの上側端面Bに密着してい
る状態を示している0次に、第8A図で分るように、真
空をフード!8からプレート20の開口部28及び真空
カップ28のボア30を経てペレッ)Aの端面Bに伝え
る。 第3図は、ペレー2)Aを1つのトレー12から一まと
めに取り上げた状態でフード18を上昇させて当初の高
さ位置まで戻した状態を示している。 第4図で分るように、次に空のトレー12を移動させて
ステーション10から出し、その後、フード18を第5
図に示すように空のポート14に隣接した位置まで下降
させペレッ)Aをポートの中に納める、次に真空を破り
、第6図に示すようにフード18を再び上昇させてその
当初の高さ位置に戻してもペレッ)Aがポート内に残っ
たままにする。最後に、ペレットを積載したポート14
を取出し、第7図で分るように別の空のポートに取替え
、上述の段階を次々に到達するペレット積載トレー12
に対して繰返し実施する。略図では、ポート14上にペ
レッ)Aの層を1つしか示していないが、実際にはペレ
ットを積載ポートに数層の状態で積込む次に第13図〜
第18図を参照すると5真空の利用によりベレー、トA
を一まとめに把持して持ち上げる本発明に従って構成さ
れた、ランダムな配列状態のペレットの真空移送装置が
全体を参照符号32で示されている。ペレッ)Aをポー
ト14に移送するためランダムな配列状態のペレットの
真空移送装置32が従来型真空移送装置1Bに代えて用
いられている。 本発明の真空移送装置32は基本的な構成要素として、
真空室18A及び開放した底部18Bを有するエンクロ
ージャ又はオーバーヘッド真空フード18 (この構成
は従来型装置16のものと同一である)、真空フード1
日の開放底部18Bにまたがった状態で取付けられた支
持部材又は格子部材34で構成される剛性支持構造部材
及びフード18から見て反対側の格子部材34の側部に
沿って取付けられた(この取付けには例えば接着剤が使
用される)平らな有孔マット36を含む、好ましくは、
真空移送装置32の有孔プツト3Bは1弾性的に撓むこ
とのできる材料例えばゴムで作られており、また、間隔
を置いてマトリックス上に配設されていて、代表的な核
燃料ペレッ)Aの直径よりも実質的に小さな横断面サイ
ズ即ち直径の孔38を有している。マット36は互いに
反対側に位置した上面38A及び下面38Bを有し、孔
38(第17図参照)は上面36Aで開口して真空室1
8Aと連通状態にあると共に下面36Bで開口してペレ
ットの上側端面Bと連通状態にある。 マット36の一例示態様では、孔38の直径は0゜09
4cm (0,03フインチ)、その中心間距離は0.
457cm(0,18インチ)であり、孔はチェス盤状
のノぐターンで配列されている。マット36のサイズは
27.44x 27.94cm (11冨11インチ)
、孔のパターンは2B、42 x 28.42c+a 
(10,4110,4インチ)である、典型的なペレッ
トのサイズは、o、ses〜1.07cm(0,38〜
0.42インチ)の範囲に亘る。 第17図に示すように、ペレットの典型的な直径寸法と
比べて孔38の間隔は狭いので、核燃料ベレットは、ペ
レットの上に位置した有孔マット34の少なくとも1つ
の孔38の下に確実に位置することになる。したがって
、真空移送装置32の下にペレットを正確に位置決めす
る必要はなl、X、更に、・マット38は可撓性で且つ
圧縮性の材料で作られているので、高さが僅かに異なる
ペレットであっても真空移送装置32で吸引把持して持
ち上げることができる。異なる直径及び高さ寸法のペレ
ットに対応するようマット38を交換する必要が無いの
で時間を著しく節約できる。 真空移送装置32の剛性の支持部材又は格子部材34は
、マット3eがフード18からの真空により上方に弓な
りにならないようにマット3Bを支持すると共にオーバ
ーヘッド真空フード18からの真空をマット36に伝え
るのに役立つ、好ましくは矩形の格子部材34は複数の
細長い薄手のストリップ40で作られており、その内の
1つを第16図に示す。各ストリップ40は一方の長さ
方向縁部に沿って開放すると共にこれに垂直に延びる間
隔を置いたスロッ) 40Aを有している。スロット4
OAが設けであるので、ストリップを交互に組んで十字
形にして例えば半田付けにより互いにしっかりと取付け
ることができ、それにより複数の貫通路42が画定され
る。 −例示態様では、ストリップ40は、厚さ0.0287
cm(0,0105インチ)のインコネル(Incon
sl) 718材料で作られている。各ストリップ40
の長さは27、!34co (11インチ)、高さは2
.54cm(1インチ)である、ストリップ40の各ス
ロッ) 4OAの幅は0゜0305〜0.03513c
m(0,012〜0.014インチ)、深さは1.34
8cm (0,53インチ)である、かくして、格子部
材34のサイズ又は面積はマット3Bとほぼ同一である
0通路42は横断面が矩形であり、横断面の幅は1.2
45c重(0,49インチ)である、かくして、格子部
材の各通路42のサイズ又は横断面積はマットの番孔3
8よりも実質的に広い、格子部材の通路42は、フード
からの真空を通してマット36の孔38に伝え、ペレッ
)Aの上端面Bを吸引把持して可撓性のマット38にV
、着保持する。また、各ストリップ40の厚さ0.02
87c璽(0,0105インチ)は、マットの各孔3日
の直径0.0939cm(0,03フインチ)よりも小
さいので、ストリップ40がマットの孔38を完全に覆
うことは無い。 さらに、第18図を参照すると、複数の燃料ペレッ)A
を支持するための有孔トレー44が従来型無孔トレー1
2に代えて真空移送装置32と一緒に用いられる。ペレ
ット有孔支持トレー44は、マット36の孔3日と実質
的に同一のサイズ及び間隔の複数の開口部4Bを有して
いる。トレー44上に支持されたベレッl−Aによって
覆われない開口部46が在るので、マット36とトレー
44との間に真空状態が生じず、それによりペレットが
トレー44から持ち上げられないようになる0例示の態
様では、トレー44の厚さは0.3175cm(0,1
25インチ)であり、低摩擦材料、94えばテフロン(
Teflon)で作られている、かかる低摩擦材料を用
いるとペレットは移送ステーションの前のペレット形成
ステーション(図示せず)でトレー上を摺動できる。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第7図は、ペレットを所与のトレーから焼結用
ボート内へ移送する際に実施される従来の作業手順の略
図である。 第8図は、従来型真空移送装置のオーバーヘッド真空フ
ードの底部に沿って位置した真空カップを備えるプレー
トの拡大部分図である。 第9図は、第8図のプレートの一部の拡大図であり、核
燃料ペレットを把持する真空カップのうちの1つを示す
図である。 第10図は、第1図〜第7図の作業手順で用いられるト
レー上に列状に積載されたペレットの平面図である。 第11図は、各燃料ペレットの拡大側面図である。 第12図は、第1!図の12−12線におけるペレット
の平面図である。 第13図は、本発明によるランダムな配列状態の燃料ペ
レットの真空移送装置の部分断面側面図である。 第14図は、第13図の14−14線における真空移送
装置の平面図である。 第15図は、第13図の真空移送装置の支持格子部材の
平面図である。 第16図は、第15図の格子部材を形成する1つのスト
リップの側面図である。 第17図は、第13図の真空移送装置の有孔マットの平
面図である。 第18図は、第13図の真空移送装置の有孔トレーの平
面図である。 [主要な参照符号の説明I Aや・・各燃料ペレット、B−・・ペレットの端面、C
・・・ペレットの凹部、12−・・トレ14・I+9ホ
ード、18命・・エンクロージャ又はフード、32中・
・ランダムな配列状態の燃料ペレットの真空移送装置、
34・・拳剛性支持構造部材、38・会・有孔マット、
18A・番・真空室、18B・・・開放底部、38・・
・孔、40・・φストリップ、42−−−通路、44−
−−有孔トレー、46−・φ開口部。

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)真空の利用により核燃料ペレットを一まとめに把
    持するのに用いられる真空移送装置であって、真空室を
    画定する手段と、前記真空室画定手段に取付けられてい
    て、ランダムな配列状態にある複数個の核燃料ペレット
    の全部に圧接する弾性的に撓むことのできる材料で構成
    された有孔マットとを有し、該有孔マットは核燃料ペレ
    ットの直径よりも実質的に小さな横断面サイズ及び核燃
    料ペレットの直径よりも短い間隔を置いてマトリックス
    状に配設された孔を有し、該孔は、真空を核燃料ペレッ
    トに伝えて核燃料ペレットを吸引把持してマットに密着
    保持するよう真空室と連通状態にあることを特徴とする
    真空移送装置。
  2. (2)前記マットは、互いに反対側に位置する上面と下
    面を有し、前記孔は前記上面で開口して真空室と連通状
    態にあると共に前記下面で開口して核燃料ペレットと連
    通状態にあることを特徴とする請求項第(1)項記載の
    真空移送装置。
  3. (3)前記マットの下で核燃料ペレットを支持する有孔
    トレーが設けられ、該トレーは、前記マットとトレーと
    の間に真空状態が生じないようにし、それにより核燃料
    ペレットが前記トレーから持ち上がらないようにする、
    前記マットの孔と実質的に同一のサイズ及び間隔の複数
    の開口部を有していることを特徴とする請求項第(1)
    項記載の真空移送装置。
  4. (4)真空の利用により核燃料ペレットを一まとめに把
    持するのに用いられる真空移送装置であって、真空室を
    画定すると共に開放した底部を有するエンクロージャと
    、エンクロージャの前記開放底部にまたがった状態で取
    付けられた剛性支持構造部材と、エンクロージャから見
    て反対側の剛性支持構造部材の側部に沿って取付けられ
    た有孔マットとを有し、該マットは、弾性的に撓むこと
    のできる材料で作られると共に間隔を置いてマトリック
    ス状に配設されていて、核燃料ペレットの直径よりも実
    質的に小さな横断面サイズの孔を有し、前記剛性支持構
    造部材は、前記マットの孔の横断面サイズよりも実質的
    に大きな横断面サイズの複数の通路を画定し、該通路は
    、エンクロージャの前記真空室からの真空を前記マット
    の孔に伝えて核燃料ペレットの端面を吸引把持して前記
    マットに密着保持させる唯一の路となっていることを特
    徴とする真空移送装置。
  5. (5)前記マットの材質はゴムであるを特徴とする請求
    項第(4)項記載の真空移送装置。
  6. (6)前記マットの孔の間隔は核燃料ペレットの直径よ
    りも小さいことを特徴とする請求項第(4)項記載の真
    空移送装置。
  7. (7)剛性支持構造部材は、互いに平行に且つ間隔を置
    いて十字形に配列されたストリップで構成されているこ
    とを特徴とする請求項第(4)項記載の真空移送装置。
  8. (8)剛性支持構造部材のストリップの厚さは、前記マ
    ットの孔の直径よりも小さいことを特徴とする請求項第
    (7)項記載の真空移送装置。
  9. (9)前記マットは互いに反対側に位置した上面と下面
    を有し、前記孔は、前記上面で開口して真空室と連通状
    態にあると共に前記下面で開口して核燃料ペレットと連
    通状態にあることを特徴とする請求項第(4)項記載の
    真空移送装置。
  10. (10)前記マットの下で核燃料ペレットを支持する有
    孔トレーが設けられ、該トレーは、前記マットとトレー
    との間に真空状態が生じないようにし、それにより核燃
    料ペレットが前記トレーから持ち上がらないようにする
    、前記マットの孔と実質的に同一のサイズ及び間隔の複
    数の開口部を有していることを特徴とする請求項第(4
    )項記載の真空移送装置。
  11. (11)真空の利用により核燃料ペレットを一まとめに
    把持するのに用いられる真空移送装置であって、真空室
    を画定すると共に開放した底部を有するオーバーヘッド
    真空フードと、該フードの前記開放底部にまたがった状
    態で取付けられた剛性支持格子部材と、前記フードから
    見て反対側の格子部材側部に沿って取付けられた有孔マ
    ットとを有し、該マットは、弾性的に撓むことのできる
    材料で作られていると共に間隔を置いてマトリックス状
    に配設されていて、核燃料ペレットの直径よりも実質的
    に小さな横断面サイズの孔を有し、格子部材は、間隔を
    置いて十字形に配列されていて、複数の通路を画定する
    ストリップで構成されており、前記通路は、前記フード
    室からの真空を前記マットの孔に伝えて核燃料ペレット
    の端面を吸引把持してマットに密着保持させる唯一の路
    となっていることを特徴とする真空移送装置。
  12. (12)前記マットの材質はゴムであることを特徴とす
    る請求項第(11)項記載の真空移送装置。
  13. (13)前記マットの孔の間隔は核燃料ペレットの直径
    よりも小さいことを特徴とする請求項第(11)項記載
    の真空移送装置。
  14. (14)前記格子部材の通路の横断面サイズは、前記マ
    ットの孔の横断面サイズよりも実質的に大きいことを特
    徴とする請求項第(11)項記載の真空移送装置。
  15. (15)前記支持構造部材のストリップの厚さは、前記
    マットの孔の直径よりも小さいことを特徴とする請求項
    第(11)項記載の真空移送装置。
  16. (16)前記マットの下で核燃料ペレットを支持する有
    孔トレーが設けられ、該トレーは、前記マットとトレー
    との間に真空状態が生じないようにし、それにより核燃
    料ペレットが前記トレーから持ち上がらないようにする
    、前記マットの孔と実質的に同一のサイズ及び間隔の複
    数の開口部を有していることを特徴とする請求項第(1
    1)項記載の真空移送装置。
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