JPH0350888A - 導体ビアの修復方法 - Google Patents

導体ビアの修復方法

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JPH0350888A
JPH0350888A JP18798389A JP18798389A JPH0350888A JP H0350888 A JPH0350888 A JP H0350888A JP 18798389 A JP18798389 A JP 18798389A JP 18798389 A JP18798389 A JP 18798389A JP H0350888 A JPH0350888 A JP H0350888A
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JP
Japan
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conductor
metal
conductor via
laser beam
hole
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Pending
Application number
JP18798389A
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English (en)
Inventor
Toshio Kizawa
鬼沢 俊夫
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 各種電子機器の構成に広く使用されるセラミック回路基
板の導体ビアの修復方法に関し、絶縁基板に形成した導
体ビアの引け、若しくは未充填を簡単且つ、安価に修復
できることを目的とし、 絶縁基板のスルーホールに充填した導体金属の引け、ま
たは未充填の部分に、当該導体金属と同質の導電性を備
えた補正用金属部材を挿入して、当該補正用金属部材お
よび、引けを生じた上記導体金属を溶融するレーザビー
ムを照射して、溶融した該補正用金属により所定形状の
導体ビアを形成する 〔産業上の利用分野〕 本発明は、各種電子機器の構成に広く使用されるセラミ
ック回路基板の導体ビアの修復方法に関する。
最近、特に大型電算機等に装着されるプリント板は、セ
ラミックよりなる回路基板上にピングリッドアレイ形の
半導体パッケージ(以下LSiと略称する)を高密廣に
実装するため、その回路基板とLSi間に両画部品を電
気的に接続するセラミックより形成された中間導体(以
下個別プリント板と略称する)が配置されている。
この個別プリント板に実装されるLSiはますます高集
積化されて入出力用のリードがパッケージの実装面に微
小ピッチで高密度に配列されおり、それに伴い個別プリ
ント板には前記リードと接合する導体ビアが多数個必要
となるので、その導体ビア形成時に発生する引け、若し
くは未充填の不良を修復する方法が要求されている。
〔従来の技術〕
個別プリント板の導体ビア充填方法は第3図の工程順側
断面図に示すように、 (a)は、セラミックより約1rM1の板厚に成形した
絶縁基板1に、実装するLSi3のリード3−1と同一
ピッチで微細径9例えば0.2 maのスルーホール1
−1を配設した状態、 (b)は、このスルーホール1−1の内壁に5μmの無
電解のCuメツキ膜1−2を形成した状態、(C)は、
ビア充填用となるCu粉末、若しくはCUよりなるシー
ト等の導体金属2−1上に絶縁基板lを載置した状態、 (d)は、その状態で絶縁基板1を加熱炉に挿入して導
体金属2−1を溶融し、毛細管現象により導体金属2−
1をスルーホール1−1のメツキ膜1−2内に充填させ
て、表裏両面より膨出した形状(以下所定形状と略称す
る)の導体ビア2が形成された状態、 で示す工程により形成されている。
そして、上記導体ビアが形成された絶縁基板1の両面を
平面状に研磨して個別プリント板を形成している。
〔発明が解決しようとする課題] 以上説明した従来の導体ビアの充填方法問題となるのは
、絶縁基板1のスルーホール1−1内壁に施したCuメ
ツキ膜1−2の濡れ不良により、溶融した導体金属2−
1が微細なスルーホール1−1内を上昇しないで未充填
が発生したり、あるいは上昇量の不足により凝固時にお
いて引は等が発生する。
しかるに、−枚の絶縁基板1に多数個のスルーホール1
1が穿設されており、これらの不良導体ビアが一個所で
も発生した絶縁基板1を全部廃却しているので、その製
造コストが高騰するという問題が住じている。
本発明は上記のような問題点に鑑み、絶縁基板に形成し
た導体ビアの引け、若しくは未充填を簡単且つ、安価に
修復できる導体ビアの修復方法の提供を目的とする。
[課題を解決するための手段〕 本発明は、第1図および第2図に示すように、絶縁基板
lのスルーホール1−1に充填した導体金属2−1の引
け、または未充填の部分に、当該導体金属2−1と同質
の導電性を備えた補正用金属部材12、22を挿入して
、当該補正用金属部材12.22および引けを生じた上
記導体金属2−1を溶融するレーザビーム13を照射し
て、溶融した該補正用金属12、22により所定形状の
導体ビア2を形成する。
〔作 用〕
本発明では、絶縁基板1のスルーホール1−1に充填し
た導体金属2−1の引は部分および未充填部分に補正用
金属部材12.22を挿入して、表裏両面より当該補正
用金属部材12.22にレーザビーム13を照射するこ
とにより、第1図に示すように引けが発生した部分は当
該補正用金属部材12と在来の導体金属2−1が溶融し
て、スルーホール1−1内で一体となるため所定形状の
導体ビア2が形成される。また、第2図に示すように未
充填の部分は、挿入した導体細線22が溶融してスルー
ホール1−1のCuメツキ膜1−2に密着するので所定
形状の導体ビア2を形成され。
以上により、不良となる絶縁基板1を簡単、且つ安価に
修復することが可能となる。
〔実 施 例〕
以下第1図および第2図について本発明の詳細な説明す
る。
第1図は本実施例による引けを生じた導体ビアの修復方
法を示す工程順側断面図、第2図は未充填の導体ビア修
復方法の工程順側断面図を示し、図中において、第3図
と同一部材には同一記号が付しているが、その他の12
は引けが生じて不良となった導体ビアを修復する補充用
の導体ボール。
22は未充填のスルーホールを修復する導体細線である
1ボール12は、絶縁基板1のスルーホール1−1に充
填される前記導体金属2−1と同質、即ちCUで、その
スルーホール1−1の径より小さな直径に成形した粒子
である。
導体細線22は、絶縁基板1のスルーホール1−1に挿
入できる径のCu細線を、その絶縁基板1の板厚寸法よ
り若干長い1例えば1.2 mmに切断したものである
そして、引けが生じた導体ビアの修復方法は第1し1の
工程順側断面図に示すように、(a)は、従来の導体ビ
ア形成時に絶縁基板1のスルーホールLLに充填した導
体金属2−1が、凝固時に当該導体金属2−1が収縮し
て表裏両面に引けが発生した状態、 (blは、前記導体金属2−1の引けの部分に導体ボー
ル12を挿入して、表裏両面より当該導体ボール12と
在来の導体金属2−1を溶融するレーザビーム13を照
射した状態、 (C1は、溶融した前記導体ボール12と導体金属2−
1が一体となって所定形状の導体ビア2が形成された状
態、 で示す工程により修復する。
また、未充填導体とアの修復方法は第2図の工程順側断
面図に示すように、 (a)は、従来の導体ビア形成時においてスルーホール
1−1に導体金属が未充填となり、絶縁基板lのスルー
ホール1−1内壁にCuのメツキ膜1−2が露出した状
態、 (b)は、前記メツキ膜1−2が施されたスルーホール
1−1に導体細線22を挿入して、表裏両面より当該導
体細線22を溶融するレーザビーム13を照射した状態
、 (C)は、溶融した前記導体細線22がスルーホール1
−1のメツキ膜1−2に密着して所定形状の導体ビア2
を形成した状態、 で示す工程順により修復する。
その結果、導体ビア形成時に発生した導体金属2−1の
引け、或いは未充填のスルーホール1−1に対して、所
定形状の導体ビア2が簡単、且つ安価に形成されるので
不良となる絶縁基板1を良品に修復することができる。
〔発明の効果] 以上の説明から明らかなように本発明によれば極めて簡
単な方法で、引け、或いは未充填の導体ビアを修復して
不良としていた絶縁基板を良品にすることができる等の
利点があり、著しい経済的及び、信頼性向上の効果が期
待できる導体ビアの修復方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の一実施例による引けを生じた導体ビア
の修復方法を示す工程順側断面図、第2図は未充填導体
ビアの修復方法を示す工程順側断面図、 第3図は従来の導体ビア充填方法を示す工程順断面図で
ある。 図において、 lは絶縁基板、 1−1はスルーホール、 1−2はメツキ膜、 2は温体ビア、 2−1は導体金属、 12は導体ボール、 13はレーザビーム、 22は導体細線、 を示す。 1’l碕僕記hスTΣノ阿劉けご 第1図 を談ζTIオ冒「グp)ツ(#jUI!1第2図 第 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 絶縁基板(1)のスルーホール(1−1)に充填した導
    体金属(2−1)の引け,または未充填の部分に、当該
    導体金属(2−1)と同質の導電性を備えた補正用金属
    部材(12,22)を挿入して、当該補正用金属部材(
    12,22)および,引けを生じた上記導体金属(2−
    1)を溶融するレーザビーム(13)を照射して、溶融
    した該補正用金属(12,22)により所定形状の導体
    ビア(2)を形成することを特徴とする導体ビアの修復
    方法。
JP18798389A 1989-07-19 1989-07-19 導体ビアの修復方法 Pending JPH0350888A (ja)

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