JPH0348760A - ヒータ付酸素濃度センサ - Google Patents
ヒータ付酸素濃度センサInfo
- Publication number
- JPH0348760A JPH0348760A JP1184208A JP18420889A JPH0348760A JP H0348760 A JPH0348760 A JP H0348760A JP 1184208 A JP1184208 A JP 1184208A JP 18420889 A JP18420889 A JP 18420889A JP H0348760 A JPH0348760 A JP H0348760A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- electrode
- exhaust gas
- layer
- diffusion rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 34
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 title claims abstract description 34
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 32
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 39
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 27
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical group [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 10
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 10
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003042 antagnostic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はヒータ付酸素II匪センサに係り、特に電極や
固体電解質を加熱するヒータを備えた酸素濃度センサに
関する。
固体電解質を加熱するヒータを備えた酸素濃度センサに
関する。
内燃機関の排気ガス中の酸素濃度を検出する酸素濃度セ
ンサは、排気ガスの温度が比較的低い場合でも有効に作
動できるよう、また素子温度を安定に保つよう、酸素濃
度センサを構成する電極や酸素イオン伝導固体電解質を
加熱するためのヒータを備えたものが従来より知られて
いる(例えば特開昭60−128348号、特開昭58
−166252月、特開昭58−198754号各公報
)0 例えば時開lli?60−128348号公報に記載さ
れでいる従来のヒータ付酸素濃度センサは、第6図に示
す如く、三方を囲まれた断面口字状の底部1.底部1上
に設けられた酸素イオン伝導固体電解質の平板2.平板
2の両面に夫々設けられた電極3及び4.電極4上に積
層された絶縁層5.全体として平面形状が0字状のセラ
ミックスの気密層6゜7、それらの間のヒータ部8とか
ら構成されている。
ンサは、排気ガスの温度が比較的低い場合でも有効に作
動できるよう、また素子温度を安定に保つよう、酸素濃
度センサを構成する電極や酸素イオン伝導固体電解質を
加熱するためのヒータを備えたものが従来より知られて
いる(例えば特開昭60−128348号、特開昭58
−166252月、特開昭58−198754号各公報
)0 例えば時開lli?60−128348号公報に記載さ
れでいる従来のヒータ付酸素濃度センサは、第6図に示
す如く、三方を囲まれた断面口字状の底部1.底部1上
に設けられた酸素イオン伝導固体電解質の平板2.平板
2の両面に夫々設けられた電極3及び4.電極4上に積
層された絶縁層5.全体として平面形状が0字状のセラ
ミックスの気密層6゜7、それらの間のヒータ部8とか
ら構成されている。
かかる構成の従来のヒータ付M素11麿センリは空内部
9に大気を導入して電極3に接触させ、ヒータ部8の隙
間から絶縁[i5を通過して電極4に到る排気ガス中の
酸素濃度を、公知の酸素濃淡電池の原理を利用して検出
する。
9に大気を導入して電極3に接触させ、ヒータ部8の隙
間から絶縁[i5を通過して電極4に到る排気ガス中の
酸素濃度を、公知の酸素濃淡電池の原理を利用して検出
する。
(発明が解決しようとする課題)
しかるに、第6図に示した酸素濃度センサ等の従来のヒ
ータ付酸素濃度センサは、ヒータ部8が絶縁層5を介し
て電極4.平板2.電極3を間接的に加熱するようにし
ており、排気ガスは加熱していないため、排気ガスの温
度が低い場合には、絶縁I!5を通過する冷えた排気ガ
スによって電極4が局部的に冷され、電極活性が4−分
に得られず、出力が不安定であるという問題がある。
ータ付酸素濃度センサは、ヒータ部8が絶縁層5を介し
て電極4.平板2.電極3を間接的に加熱するようにし
ており、排気ガスは加熱していないため、排気ガスの温
度が低い場合には、絶縁I!5を通過する冷えた排気ガ
スによって電極4が局部的に冷され、電極活性が4−分
に得られず、出力が不安定であるという問題がある。
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、電極に接触
する前の排気ガスを直接加熱することにより、排気ガス
による電極の冷却をなりシ、電極活性不良を防止するヒ
ータ付酸素濃度センサを提供することを目的とする。
する前の排気ガスを直接加熱することにより、排気ガス
による電極の冷却をなりシ、電極活性不良を防止するヒ
ータ付酸素濃度センサを提供することを目的とする。
本発明は上記の目的達成のため、絶縁セラミックスから
なる絶縁層と、この絶縁層上に積層され、白金族金属を
添加した絶縁セラミックスからなるヒータ兼拡散律速層
とを、酸素イオン伝導固体電解質の両面に設けられた第
1及び第2の電極のうち排気ガス側の第2の電極側に設
けた構成としたものである。
なる絶縁層と、この絶縁層上に積層され、白金族金属を
添加した絶縁セラミックスからなるヒータ兼拡散律速層
とを、酸素イオン伝導固体電解質の両面に設けられた第
1及び第2の電極のうち排気ガス側の第2の電極側に設
けた構成としたものである。
上記の第1の電極には基準ガスが導入されるのに対し、
上記の第2の電極には排気ガスが上記のヒータ兼拡散律
速層及び絶縁層を順次透過して導入される。従って、本
発明では拮気ガスはヒータ兼拡散律速層により、直接暖
められてから第2の電極に接触することになる。
上記の第2の電極には排気ガスが上記のヒータ兼拡散律
速層及び絶縁層を順次透過して導入される。従って、本
発明では拮気ガスはヒータ兼拡散律速層により、直接暖
められてから第2の電極に接触することになる。
(実施例〕
第1図(A)、(B)は本発明の一実施例の横手方向、
長子方向の各断面図、第2図は本発明の一実施例の要部
の分解斜視図を示す。両図中、同一構成部分には同一符
号を付しである。第1図及び第2図において、11は底
板、12は平面形状が口字形の大気導入部、13は白金
製の第1の電極、14は平板、15は白金製の第2の電
極、16は反応室部、17は排気ガス導入部、18は多
孔質絶縁層を示す。
長子方向の各断面図、第2図は本発明の一実施例の要部
の分解斜視図を示す。両図中、同一構成部分には同一符
号を付しである。第1図及び第2図において、11は底
板、12は平面形状が口字形の大気導入部、13は白金
製の第1の電極、14は平板、15は白金製の第2の電
極、16は反応室部、17は排気ガス導入部、18は多
孔質絶縁層を示す。
次に本実施例のヒータ付酸素濃度センサの製造方法につ
いて第2図乃至第4図と共に説明する。
いて第2図乃至第4図と共に説明する。
第2図において、まず底板11.大気導入部12゜平板
14.開口部16aが未形成の反応室部16゜孔17a
が未形成の排気ガス導入部17が、夫々酸素イオン伝導
固体電解質であるジルコニア(Zr Oz )のグリー
ンシート(Zr Of粉末100部、結合剤11部、)
[7011、可1剤15部、解膠剤3部をボールミルで
50時間撹拌したスラリーで形成)を用いて作成される
。
14.開口部16aが未形成の反応室部16゜孔17a
が未形成の排気ガス導入部17が、夫々酸素イオン伝導
固体電解質であるジルコニア(Zr Oz )のグリー
ンシート(Zr Of粉末100部、結合剤11部、)
[7011、可1剤15部、解膠剤3部をボールミルで
50時間撹拌したスラリーで形成)を用いて作成される
。
次に別途作成された第1の電極13と第2の電極15を
、平板14の両面に夫々スクリーン印刷して電極セル部
23を形成する。また、反応室部16の所定位置に矩形
の開口部16aをパンチで開口する。更に、排気ガス導
入部17の所定位置(開口部16aの略中心位置に対応
する位置)に、排気ガス導入を律速しない十分な大きさ
(例えば直径1.0履以上)の孔17aをパンチで穿設
する。
、平板14の両面に夫々スクリーン印刷して電極セル部
23を形成する。また、反応室部16の所定位置に矩形
の開口部16aをパンチで開口する。更に、排気ガス導
入部17の所定位置(開口部16aの略中心位置に対応
する位置)に、排気ガス導入を律速しない十分な大きさ
(例えば直径1.0履以上)の孔17aをパンチで穿設
する。
次に上記l「02グリーンシートと同じ成分からなるが
、撹拌時間だけを1時間として形成した別のZ「02グ
リーンシートを用いて多孔質層18を作成する。この別
のZr 02グリーンシートの撹拌時間は1時間と短い
ため、多孔質層18は、排気ガス導入を律速しない十分
な大きさ(直径3000八以上)の気孔を有している。
、撹拌時間だけを1時間として形成した別のZ「02グ
リーンシートを用いて多孔質層18を作成する。この別
のZr 02グリーンシートの撹拌時間は1時間と短い
ため、多孔質層18は、排気ガス導入を律速しない十分
な大きさ(直径3000八以上)の気孔を有している。
以上のようにして製造された各パーツをセルロース系の
接着剤を用いて5 K9 / ciの圧力で30分圓圧
着した後、20℃/時間、fiitSfA度420℃の
条件で脱脂し、更にその後1400℃にて1時間焼成す
る。これにより、前記2種類のグリーンシートから作成
された各パーツは焼結して一体化し、第3図(A)の断
面図に示す如き構造の酸素濃度センリ本体が得られる。
接着剤を用いて5 K9 / ciの圧力で30分圓圧
着した後、20℃/時間、fiitSfA度420℃の
条件で脱脂し、更にその後1400℃にて1時間焼成す
る。これにより、前記2種類のグリーンシートから作成
された各パーツは焼結して一体化し、第3図(A)の断
面図に示す如き構造の酸素濃度センリ本体が得られる。
次に、上記多孔質層18上に、スピネル等の粉径5〜5
0μ−の絶縁セラミックス粉末を、プラズマ溶射法を適
用して20μ■程度の膜厚で溶射し、第3図(B)に示
す如く絶縁[119を積層する。
0μ−の絶縁セラミックス粉末を、プラズマ溶射法を適
用して20μ■程度の膜厚で溶射し、第3図(B)に示
す如く絶縁[119を積層する。
続いて、絶縁層19上に白金製のリード線20及び21
を互いに平行に配置した状態で、白金粉末を添、加した
スピネル等の絶縁セラミックス粉末を用いて絶縁層19
上に溶射し、第3図(C)に示ず如く膜厚+OOf1g
+以上のヒータ兼拡散律速層22を積層する。このヒー
タ兼拡散律速層22は絶縁層19Fであって、かつ、開
口部16aの上りの部分に開口部16aより若干大なる
面積で形成される。
を互いに平行に配置した状態で、白金粉末を添、加した
スピネル等の絶縁セラミックス粉末を用いて絶縁層19
上に溶射し、第3図(C)に示ず如く膜厚+OOf1g
+以上のヒータ兼拡散律速層22を積層する。このヒー
タ兼拡散律速層22は絶縁層19Fであって、かつ、開
口部16aの上りの部分に開口部16aより若干大なる
面積で形成される。
ここで、ビータ兼拡散律速層22のヒータ抵抗ど、絶縁
セラミックス粉末に添加される白金(Pt )の添加量
(φ位wt%)との関係は第4図に示される。同図に5
、すようにヒータ抵抗の安定性の点と、白金の添加量を
できるだけ少なくしたいというコストの点の両りを満テ
するよう、白金の添加量は2Qwt%程度とすることが
望ましい。
セラミックス粉末に添加される白金(Pt )の添加量
(φ位wt%)との関係は第4図に示される。同図に5
、すようにヒータ抵抗の安定性の点と、白金の添加量を
できるだけ少なくしたいというコストの点の両りを満テ
するよう、白金の添加量は2Qwt%程度とすることが
望ましい。
また、拡散律速の機能が得られるように、ヒータ兼拡散
律速層22の釣りは10071s以上に形成される。
律速層22の釣りは10071s以上に形成される。
このようにして、第3図(C)及び第1図(A)に横手
方向の断面が丞され、かつ、第1図(B)に長fh向の
断面が示される、ヒータイラ醇木濃度センサが製造され
る。第1図(B)かられかるように、リード#!20及
び21の各先端部は、ヒータ兼拡散律速層22の内部に
埋設される。
方向の断面が丞され、かつ、第1図(B)に長fh向の
断面が示される、ヒータイラ醇木濃度センサが製造され
る。第1図(B)かられかるように、リード#!20及
び21の各先端部は、ヒータ兼拡散律速層22の内部に
埋設される。
次に本実施例の6動について説明するに、本実施例のヒ
ータ付酸素i度廿ンサは、人気導入部12の空間内に人
気が基準ガスとして導入されC直接fiwA13に接触
されるーh、周囲が内燃機関の排気ガスに覆われる。こ
こで、リード線20及び21に電流を流すと、ヒータ兼
拡散律速層22は所定の抵抗値(ヒータ抵抗)をhする
のでd熱する。
ータ付酸素i度廿ンサは、人気導入部12の空間内に人
気が基準ガスとして導入されC直接fiwA13に接触
されるーh、周囲が内燃機関の排気ガスに覆われる。こ
こで、リード線20及び21に電流を流すと、ヒータ兼
拡散律速層22は所定の抵抗値(ヒータ抵抗)をhする
のでd熱する。
これにより、排気ガスはヒータ兼拡散律速層22により
加熱されると共に拡散律速された後、絶縁層19.多孔
質層18及び孔′17aを人々順次透過して、反応室部
16の開口部16aに導入され、電極15に接触する。
加熱されると共に拡散律速された後、絶縁層19.多孔
質層18及び孔′17aを人々順次透過して、反応室部
16の開口部16aに導入され、電極15に接触する。
平板14は7「02からなり、その両面の酸素濃度差が
大きいときに起電力を発1するのに対し、酪、911度
差が小さいときは起電力を発生しないという公知の#!
1県濃淡電池の原理を利用して排気ガス中の酸素11麿
が検出される。
大きいときに起電力を発1するのに対し、酪、911度
差が小さいときは起電力を発生しないという公知の#!
1県濃淡電池の原理を利用して排気ガス中の酸素11麿
が検出される。
木実tAp14によれば、第2の電極15に接触する排
気ガスはヒータ兼拡rli仲速層22により直接加熱さ
れるため、排気ガスによる電極15の冷却により電極活
性が不良となることはなく、活性不良を防止でき、前記
拡散律速と相俟って安定した出力が得られる。
気ガスはヒータ兼拡rli仲速層22により直接加熱さ
れるため、排気ガスによる電極15の冷却により電極活
性が不良となることはなく、活性不良を防止でき、前記
拡散律速と相俟って安定した出力が得られる。
また、従来のヒータ付M素濃度セン勺では、両面に電極
が設けられたジルコニア素子を用いた酸素濃度セン4ノ
本体と、根状のフルミナ製のヒー・夕とを−・体焼成し
て形成しているが、ジルコニア素子とアルミナは熱膨脹
率の差によりはがれが生じ易(、また両者の焼結温度も
異なるので焼結体の収縮を合わせるのが困難であり、両
者を完全に密看させるのが困難である。これに対し、本
実施例によれば、ヒータは白金を絶縁セラミックスに添
加して溶射により形成しており、醒木i度センサ本体と
ヒータ兼拡散律速層22との間の密着性が良好であり、
よって酸素濃度センサ本体とじ−タとの接合性の悪さか
らくる人気等の漏れがなくなり、安定な出力を得ること
ができる。
が設けられたジルコニア素子を用いた酸素濃度セン4ノ
本体と、根状のフルミナ製のヒー・夕とを−・体焼成し
て形成しているが、ジルコニア素子とアルミナは熱膨脹
率の差によりはがれが生じ易(、また両者の焼結温度も
異なるので焼結体の収縮を合わせるのが困難であり、両
者を完全に密看させるのが困難である。これに対し、本
実施例によれば、ヒータは白金を絶縁セラミックスに添
加して溶射により形成しており、醒木i度センサ本体と
ヒータ兼拡散律速層22との間の密着性が良好であり、
よって酸素濃度センサ本体とじ−タとの接合性の悪さか
らくる人気等の漏れがなくなり、安定な出力を得ること
ができる。
更に、本実施例によれば、1気ガス中のカーボン等の堆
積する可能性のある成分が拡散Iji速層の目詰りや電
極セルへの付着雪を生じさせよ・)としても、拡散律速
層がヒータの□能を併せしら、かつ、排気ガスを直接加
熱するので、上記の堆積する可能性のある成分を略溶解
除去することができ、これにより耐久性を向上すること
ができる。
積する可能性のある成分が拡散Iji速層の目詰りや電
極セルへの付着雪を生じさせよ・)としても、拡散律速
層がヒータの□能を併せしら、かつ、排気ガスを直接加
熱するので、上記の堆積する可能性のある成分を略溶解
除去することができ、これにより耐久性を向上すること
ができる。
なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではなく
、第5図に丞す如きカップτ1の耐木濃度センサにも適
用することができる。第5図中、25は内部に右底円筒
形状の空間部25a4!−Thするジル」ニア素fで、
大気が導入される空間部25aの内壁に白金製の第1の
?4極26が形成され、かつ、排気ガスにさらされるジ
ルコニア素子25の外壁に白金製の第2のTi極27が
形成されている。
、第5図に丞す如きカップτ1の耐木濃度センサにも適
用することができる。第5図中、25は内部に右底円筒
形状の空間部25a4!−Thするジル」ニア素fで、
大気が導入される空間部25aの内壁に白金製の第1の
?4極26が形成され、かつ、排気ガスにさらされるジ
ルコニア素子25の外壁に白金製の第2のTi極27が
形成されている。
かかる−量的な構造のカップMM系濃度センサ本体の第
2の電極27上に、前記絶縁119に相当する絶縁層2
8と前記ヒータ兼拡散律速層22に相当するヒータ兼拡
散律速129とが順次溶射により積層される。
2の電極27上に、前記絶縁119に相当する絶縁層2
8と前記ヒータ兼拡散律速層22に相当するヒータ兼拡
散律速129とが順次溶射により積層される。
従って、この第5図に示す他の実施例の場合も、第1図
に丞した積層型のヒータ付M集瀧度センサの実施例と同
じ効果を奏する。
に丞した積層型のヒータ付M集瀧度センサの実施例と同
じ効果を奏する。
なお、ヒータ兼拡散律速層22.29を形成するために
、絶縁セラミックス粉末に添加される金mは、白金と他
の金属との合金、ロジウム、パラジウム等の白金族金属
でもよい。
、絶縁セラミックス粉末に添加される金mは、白金と他
の金属との合金、ロジウム、パラジウム等の白金族金属
でもよい。
上述の如く、本発明によれば、排気ガスを直接加熱して
いるので、冷えた排気ガスが電極に接触することによる
電極活性の不良を未然に防止することができ、よってセ
ンリ出力を安定に取り出すことができる等の特長を有す
るものである。
いるので、冷えた排気ガスが電極に接触することによる
電極活性の不良を未然に防止することができ、よってセ
ンリ出力を安定に取り出すことができる等の特長を有す
るものである。
第1図は本発明の一実施例の断面図、第2図は本発明の
要部の一実施例の分解斜視図、第3図は本発明の一実施
例の製造過程説明用集子断面図、第4図はヒータ抵抗と
白金添加率との関係を示す図、第5図は本発明の他の実
施例の断面図、第6図は従来のヒータ付酸素濃度センサ
の一例の断面図である。 13.26・・・第1の電極、14・・・酸素イオン伝
導固体電解質の平板、15.27・・・第2の電極、1
6−・・反応室部、17a・・・孔、18・・・多孔質
層、19.28・・・絶縁層、20.21・・・リード
線、22.29・・・ヒータ兼拡散律速層。
要部の一実施例の分解斜視図、第3図は本発明の一実施
例の製造過程説明用集子断面図、第4図はヒータ抵抗と
白金添加率との関係を示す図、第5図は本発明の他の実
施例の断面図、第6図は従来のヒータ付酸素濃度センサ
の一例の断面図である。 13.26・・・第1の電極、14・・・酸素イオン伝
導固体電解質の平板、15.27・・・第2の電極、1
6−・・反応室部、17a・・・孔、18・・・多孔質
層、19.28・・・絶縁層、20.21・・・リード
線、22.29・・・ヒータ兼拡散律速層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 酸素イオン伝導固体電解質の両面に第1及び第2の電極
を設け、該第1の電極側に基準ガスを導入し、該第2の
電極側に排気ガスを導入して該排気ガス中の酸素濃度を
検出するヒータ付酸素濃度センサにおいて、 絶縁セラミックスからなる絶縁層と、 該絶縁層上に積層され、白金族金属を添加した絶縁セラ
ミックスからなるヒータ兼拡散律速層とを前記第2の電
極側に設け、 排気ガスを該ヒータ兼拡散律速層及び該絶縁層を順次透
過させて前記第2の電極に導入する構成としたことを特
徴とするヒータ付酸素濃度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1184208A JPH0348760A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | ヒータ付酸素濃度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1184208A JPH0348760A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | ヒータ付酸素濃度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0348760A true JPH0348760A (ja) | 1991-03-01 |
Family
ID=16149253
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1184208A Pending JPH0348760A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | ヒータ付酸素濃度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0348760A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017223488A (ja) * | 2016-06-14 | 2017-12-21 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
JP2020034505A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | 株式会社Soken | ガスセンサ、及びガス検出システム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6052762A (ja) * | 1983-09-01 | 1985-03-26 | Hitachi Ltd | 固体電解質型酸素センサのセンサ素子とその製造方法 |
JPS60128348A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Ngk Insulators Ltd | 電気化学的装置 |
JPS61196987A (ja) * | 1984-12-13 | 1986-09-01 | エインズワ−ス ノミニ−ズ ピ−テイ−ワイ.リミテツド | ポ−カ−機械 |
JPS61241658A (ja) * | 1985-04-19 | 1986-10-27 | Hitachi Ltd | 酸素センサ素子 |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP1184208A patent/JPH0348760A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6052762A (ja) * | 1983-09-01 | 1985-03-26 | Hitachi Ltd | 固体電解質型酸素センサのセンサ素子とその製造方法 |
JPS60128348A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Ngk Insulators Ltd | 電気化学的装置 |
JPS61196987A (ja) * | 1984-12-13 | 1986-09-01 | エインズワ−ス ノミニ−ズ ピ−テイ−ワイ.リミテツド | ポ−カ−機械 |
JPS61241658A (ja) * | 1985-04-19 | 1986-10-27 | Hitachi Ltd | 酸素センサ素子 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017223488A (ja) * | 2016-06-14 | 2017-12-21 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
JP2020034505A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | 株式会社Soken | ガスセンサ、及びガス検出システム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4879016A (en) | Electrolyte assembly for oxygen generating device and electrodes therefor | |
US4725346A (en) | Electrolyte assembly for oxygen generating device and electrodes therefor | |
KR970003278B1 (ko) | 센서 소자 | |
KR970004562B1 (ko) | Ntc 온도 센서 및 그 온도감지 소자 제작공정 | |
JP2654212B2 (ja) | ガス混合気のガス成分を測定するセンサ素子 | |
JPS60228955A (ja) | 電気化学的装置及びその製造方法 | |
JPH0810211B2 (ja) | ガスセンサ及びその製造法 | |
EP0294085B1 (en) | Electrochemical elements | |
JP2004511070A (ja) | 固体酸化物形燃料電池構成部品及び固体酸化物形燃料電池構成部品の製造方法 | |
JPS6126022B2 (ja) | ||
JP2002329511A (ja) | 固体電解質型燃料電池用スタック及び固体電解質型燃料電池 | |
US6572747B1 (en) | Method for making a wide range sensor element | |
JPH0668885A (ja) | 固体電解質型燃料電池の製作方法 | |
JP2003294697A (ja) | 積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ | |
JPH0348760A (ja) | ヒータ付酸素濃度センサ | |
JPH0516543B2 (ja) | ||
US20020100697A1 (en) | Gas sensor with uniform heating and method of making same | |
JP2000338078A (ja) | ヒータ一体型酸素センサおよびその製造方法 | |
US6797138B1 (en) | Gas senior design and method for forming the same | |
JP4084505B2 (ja) | ヒータ一体型酸素センサ素子 | |
JP3860768B2 (ja) | 酸素センサ素子 | |
JP2818948B2 (ja) | 固体電解質燃料電池の製造方法 | |
JP2002357589A (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP4610127B2 (ja) | 空燃比センサ素子 | |
JP3668059B2 (ja) | ヒータ一体型酸素センサ素子の製造方法 |