JPH034144A - 微粒子検出器におけるレーザの変動ノイズ排除方式 - Google Patents
微粒子検出器におけるレーザの変動ノイズ排除方式Info
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- JPH034144A JPH034144A JP1139996A JP13999689A JPH034144A JP H034144 A JPH034144 A JP H034144A JP 1139996 A JP1139996 A JP 1139996A JP 13999689 A JP13999689 A JP 13999689A JP H034144 A JPH034144 A JP H034144A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、微粒Ｐ検出器におけるレーザ変動ノイズの
ｔＪ）詮方式に関し、詳しくは外ｆ’ｆＲミラー型し−
ザ発娠器による微粒子・検出器において、サンプルエア
により発生するレーザビーム強度の変動ノイズを排除し
、微粒子散乱光のみを検出する方式に関するものである
。
ｔＪ）詮方式に関し、詳しくは外ｆ’ｆＲミラー型し−
ザ発娠器による微粒子・検出器において、サンプルエア
により発生するレーザビーム強度の変動ノイズを排除し
、微粒子散乱光のみを検出する方式に関するものである
。
〔従来の技術］
′１１導体ＩＣの製造［場においてはＩＣの、＜ターン
サイズの微細化に伴って、クリーンルームの塵埃微粒子
に対する管理はますます厳格となり、これに対して微粒
子検出器の検出性能をさらに向１・。
サイズの微細化に伴って、クリーンルームの塵埃微粒子
に対する管理はますます厳格となり、これに対して微粒
子検出器の検出性能をさらに向１・。
することが必要とされている。
微粒子検出器はレーザビームに塵埃などの微粒ｒを含む
サンプルエアを直交させ、微粒Ｙの散乱光を検出するも
のであるが、散乱光の強度はレ−ザビームのそれに比例
するので、直径の小さい微粒子を検出するためにはでき
る限り強度の大きいレーザビームを使用することが望ま
しい。レーザ光源としては通常、ガスレーザ管が使用さ
れており、その構成方法には内部ミラー型と外部ミラー
型とがある。前者においては発振したレーザビーム強度
の数％程度のみを利用するに対して、後者は発振強度そ
のものを利用して強度を飛躍的に大きくできるので有利
である。
サンプルエアを直交させ、微粒Ｙの散乱光を検出するも
のであるが、散乱光の強度はレ−ザビームのそれに比例
するので、直径の小さい微粒子を検出するためにはでき
る限り強度の大きいレーザビームを使用することが望ま
しい。レーザ光源としては通常、ガスレーザ管が使用さ
れており、その構成方法には内部ミラー型と外部ミラー
型とがある。前者においては発振したレーザビーム強度
の数％程度のみを利用するに対して、後者は発振強度そ
のものを利用して強度を飛躍的に大きくできるので有利
である。
第２図（ａ）、（ｂ）は外部ミラー型レーザ発振器によ
る微粒子＠重器の要部を示すもので、図（ａ）において
、レーザ発振Ｘｉはヘリウム−ネオンなどのレーザガス
を充填したガスレーザ管１ａの一端に内部ミラーｔｂを
固定し、他端にブリニースター窓１ｃを取り付けて、こ
れを検出セル２の内部に挿入して固定する。検出セル２
にはブリュースター窓１ｃに対応した位置に外部ミラー
１ｄを設け、これと内部ミラー１ｂとの間にレーザビー
ムＬが発振する。これに対して、中心ノズル３ａよリサ
ンプルエアＡを噴射して直交させる。なお、サンプルエ
アＡを層流とするために外層ノズル３ｂによりクリーン
なシースエアＢを噴射することも行われ、シースエアＢ
はサンプルエアＡとトモに排出ノズル４より外部に排出
される。図（ｂ）は微粒子の散乱光に対する散乱光受光
系５を示すもので、受光レンズ５ ａ ＋スリット板５
ｂおよび光電変換器５ｃにより構成され、スリット板５
ｂのスリットＳ′により、サンプルエアＡとレーザビー
ムＬの直交箇所の視野を限定して微粒子検出領域Ｓとし
、Ｓ以外の箇所からの迷光を排除してＳ／Ｎ比が向トさ
れるものである。
る微粒子＠重器の要部を示すもので、図（ａ）において
、レーザ発振Ｘｉはヘリウム−ネオンなどのレーザガス
を充填したガスレーザ管１ａの一端に内部ミラーｔｂを
固定し、他端にブリニースター窓１ｃを取り付けて、こ
れを検出セル２の内部に挿入して固定する。検出セル２
にはブリュースター窓１ｃに対応した位置に外部ミラー
１ｄを設け、これと内部ミラー１ｂとの間にレーザビー
ムＬが発振する。これに対して、中心ノズル３ａよリサ
ンプルエアＡを噴射して直交させる。なお、サンプルエ
アＡを層流とするために外層ノズル３ｂによりクリーン
なシースエアＢを噴射することも行われ、シースエアＢ
はサンプルエアＡとトモに排出ノズル４より外部に排出
される。図（ｂ）は微粒子の散乱光に対する散乱光受光
系５を示すもので、受光レンズ５ ａ ＋スリット板５
ｂおよび光電変換器５ｃにより構成され、スリット板５
ｂのスリットＳ′により、サンプルエアＡとレーザビー
ムＬの直交箇所の視野を限定して微粒子検出領域Ｓとし
、Ｓ以外の箇所からの迷光を排除してＳ／Ｎ比が向トさ
れるものである。
［解決しようとする課ｍ］
・般に微粒子＠重器の検出性能を向トするためには、上
記の外部ミラー型発振器を使用してレーザビームの強度
を増強するほか、受光系の集光範囲または感度を増加す
る方法などが打われるが、サンプルエアの空気分子は密
度分布がランダムであり、Ｌ−記の外部ミラー型レーザ
発振器においては、空気分子がレーザビームをランダム
に遮断して乱反射するために発振強度が変動し、この変
動がノイズとなって散乱光受光系の受光信号のＳ／Ｎ比
が低ドする問題がある。
記の外部ミラー型発振器を使用してレーザビームの強度
を増強するほか、受光系の集光範囲または感度を増加す
る方法などが打われるが、サンプルエアの空気分子は密
度分布がランダムであり、Ｌ−記の外部ミラー型レーザ
発振器においては、空気分子がレーザビームをランダム
に遮断して乱反射するために発振強度が変動し、この変
動がノイズとなって散乱光受光系の受光信号のＳ／Ｎ比
が低ドする問題がある。
この発明は以上の問題を解決するためになされたもので
、外部ミラー型のレーザ発振器により構成された微粒子
検出器において、サンプルエアによるレーザビームの変
動ノイズを排除し、微粒子の散乱光のみを検出する方式
を提供することを目的とするものである。
、外部ミラー型のレーザ発振器により構成された微粒子
検出器において、サンプルエアによるレーザビームの変
動ノイズを排除し、微粒子の散乱光のみを検出する方式
を提供することを目的とするものである。
［課題を解決するためのｆ段］
この発明は、一端に内部ミラーを有するガスレーザ管の
外方に外部ミラーを設けて外部ミラー型レーザ発振器を
構成し、この発振器のレーザビームに対してサンプルエ
アを直交させ、直交箇所に対してスリットにより視野を
限定して微粒子検出領域とし、この領域におけるサンプ
ルエアに含まれる微粒子の散乱光を散乱光受光系により
受光する微粒子検出器におけるレーザの変動ノイズの排
除方式であって、サンプルエアにより発振強度が変動し
て変動ノイズが発生したレーザビームに対して、変動ノ
イズ用スリットにより上記の微粒子検出領域の近傍に視
野を限定して変動ノイズ検出領域を設定し、この領域に
おける変動ノイズを変動光受光系により受光し、上記の
散乱光受光系の出力信号より変動光受光系の出力する変
動ノイズ信号を減算して微粒子の散乱光のみを検出する
ものである。
外方に外部ミラーを設けて外部ミラー型レーザ発振器を
構成し、この発振器のレーザビームに対してサンプルエ
アを直交させ、直交箇所に対してスリットにより視野を
限定して微粒子検出領域とし、この領域におけるサンプ
ルエアに含まれる微粒子の散乱光を散乱光受光系により
受光する微粒子検出器におけるレーザの変動ノイズの排
除方式であって、サンプルエアにより発振強度が変動し
て変動ノイズが発生したレーザビームに対して、変動ノ
イズ用スリットにより上記の微粒子検出領域の近傍に視
野を限定して変動ノイズ検出領域を設定し、この領域に
おける変動ノイズを変動光受光系により受光し、上記の
散乱光受光系の出力信号より変動光受光系の出力する変
動ノイズ信号を減算して微粒子の散乱光のみを検出する
ものである。
［作用］
前記したように外部ミラー型レーザ発振器においては、
サンプルエアの空気分子密度のランダム性によりレーザ
ビームに変動ノイズが発生し、これが散乱光受光系より
微粒子散乱光の信号とともに出力される。一方、散乱光
検出領域の近傍に設定された変動ノイズ検出領域におけ
るレーザビームの発振強度の変動が、変動光受光系によ
り受光されて変動ノイズ信号が出力される。この信号と
散乱光受光系の出力信号に含まれる変動ノイズは相似形
でかつ同相であるので、各受光系の出力信号の差分をと
ることにより変動ノイズは消去されて微粒−ｒの散乱光
のみが検出されるものである。
サンプルエアの空気分子密度のランダム性によりレーザ
ビームに変動ノイズが発生し、これが散乱光受光系より
微粒子散乱光の信号とともに出力される。一方、散乱光
検出領域の近傍に設定された変動ノイズ検出領域におけ
るレーザビームの発振強度の変動が、変動光受光系によ
り受光されて変動ノイズ信号が出力される。この信号と
散乱光受光系の出力信号に含まれる変動ノイズは相似形
でかつ同相であるので、各受光系の出力信号の差分をと
ることにより変動ノイズは消去されて微粒−ｒの散乱光
のみが検出されるものである。
［実施例］
第１図（ａ）、（ｂ）および（Ｃ）はこの発明によるレ
ーザの変動ノイズ排除方式の実施例の全体構成と・部構
成図、および各出力信号の波形図を示す。
ーザの変動ノイズ排除方式の実施例の全体構成と・部構
成図、および各出力信号の波形図を示す。
図（ａ）において、前記の第２図（ａ）と同様に、ガス
レーザ管ｆａｔ内部ミラー１ｂ、ブリュースター窓１ｃ
および外部ミラー１ｄにより外部ミラー型レーザ光振器
１が構成され、ミラー１ｄと１ｂの間にレーザビームＬ
が発振する。レーザビームしに直交してサンプルエアＡ
とシースエアＢが噴射され、微粒ｆにより散乱光が散乱
する。散乱光受光系５もまた第２図（ａ）、（ｂ）で説
明したと同様に構成され、微粒ｒ検出領域Ｓにおける微
粒子の散乱光、サンプルエアの空気分子によるレーり散
乱光（レーザビームの強度変動による変動ノイズ）がと
もに散乱光受光系５に受光され、光電変換器５Ｃより信
号ｅｓが出力される。これに対して、変動光受光系６を
設ける。変動光受光系６は！−記の散乱光受光系５の受
光レンズ５ａを共用し、スリット板５ｂの従来のスリッ
トＳ′の近傍に変動ノイズ用スリットＮ′を設けて散乱
光検出領域Ｓの近傍に変動ノイズ検出領域Ｎを設定し、
領域Ｎにおけるレーザビームの排出強度の変動が充電変
換器６３に受光されて変動ノイズ信ｋｊ ｎが出力され
る。図（ｂ）は散乱光受光系５と変動光受光系６の関係
と各光線の追跡を示すもので、領域Ｓにおける微粒子が
領域Ｎに混入しないように、またそれぞれの光線が相ｒ
１７に明確に分離して受光されるように両者を適当な間
隔に配列する。以ｔによりえられた信号６ｓと信号ｎは
増幅’１４７ ａ 、 ７ ｂにより、ｅｓに含まれる
変動ノイズ成分がｎと等しくなるようにレベル調整され
てコンパレータ８に人力し、図（ｃ）に示すように両者
の差分信号（６ｓ −ｎ）をとって微粒−ｒの散乱光に
対する検出信号ｅｐがえられる。この場合、信号ｅｓに
おける微粒ｒの検出波形ｐ１ 、 ｐ２． ｐ３などは
変動ノイズ【１に小骨してピークが１−ドし、なかには
ｐ２のように波形がマスクされるものもあるが、差分信
号ｅｐでは変動ノイズｒ１が排除されてＳ／Ｎ比が向Ｉ
−シ、いずれのピーク値をも正しく検出される。なお、
（、：号ｅｐは信号処理部９に人力して個々の微粒子の
粒径が検出されるものである。
レーザ管ｆａｔ内部ミラー１ｂ、ブリュースター窓１ｃ
および外部ミラー１ｄにより外部ミラー型レーザ光振器
１が構成され、ミラー１ｄと１ｂの間にレーザビームＬ
が発振する。レーザビームしに直交してサンプルエアＡ
とシースエアＢが噴射され、微粒ｆにより散乱光が散乱
する。散乱光受光系５もまた第２図（ａ）、（ｂ）で説
明したと同様に構成され、微粒ｒ検出領域Ｓにおける微
粒子の散乱光、サンプルエアの空気分子によるレーり散
乱光（レーザビームの強度変動による変動ノイズ）がと
もに散乱光受光系５に受光され、光電変換器５Ｃより信
号ｅｓが出力される。これに対して、変動光受光系６を
設ける。変動光受光系６は！−記の散乱光受光系５の受
光レンズ５ａを共用し、スリット板５ｂの従来のスリッ
トＳ′の近傍に変動ノイズ用スリットＮ′を設けて散乱
光検出領域Ｓの近傍に変動ノイズ検出領域Ｎを設定し、
領域Ｎにおけるレーザビームの排出強度の変動が充電変
換器６３に受光されて変動ノイズ信ｋｊ ｎが出力され
る。図（ｂ）は散乱光受光系５と変動光受光系６の関係
と各光線の追跡を示すもので、領域Ｓにおける微粒子が
領域Ｎに混入しないように、またそれぞれの光線が相ｒ
１７に明確に分離して受光されるように両者を適当な間
隔に配列する。以ｔによりえられた信号６ｓと信号ｎは
増幅’１４７ ａ 、 ７ ｂにより、ｅｓに含まれる
変動ノイズ成分がｎと等しくなるようにレベル調整され
てコンパレータ８に人力し、図（ｃ）に示すように両者
の差分信号（６ｓ −ｎ）をとって微粒−ｒの散乱光に
対する検出信号ｅｐがえられる。この場合、信号ｅｓに
おける微粒ｒの検出波形ｐ１ 、 ｐ２． ｐ３などは
変動ノイズ【１に小骨してピークが１−ドし、なかには
ｐ２のように波形がマスクされるものもあるが、差分信
号ｅｐでは変動ノイズｒ１が排除されてＳ／Ｎ比が向Ｉ
−シ、いずれのピーク値をも正しく検出される。なお、
（、：号ｅｐは信号処理部９に人力して個々の微粒子の
粒径が検出されるものである。
［発明の効果］
以Ｅの説明により明らかなように、この発明によるレー
ザの変動ノイズ排除方式によれば、散乱光受光系の出力
信号に含まれているレーザビームの変動ノイズは、変動
光受光系の出力信号を差し引くことにより排除されて微
粒ｒの散乱光のみが検出されるもので、外ＲＲミラー型
のレーザ発振器により構成された微粒７’検出器の検出
性能を向Ｌ―する効果には大きいものがある。
ザの変動ノイズ排除方式によれば、散乱光受光系の出力
信号に含まれているレーザビームの変動ノイズは、変動
光受光系の出力信号を差し引くことにより排除されて微
粒ｒの散乱光のみが検出されるもので、外ＲＲミラー型
のレーザ発振器により構成された微粒７’検出器の検出
性能を向Ｌ―する効果には大きいものがある。
第１図（ａ）、（ｂ）および（Ｃ）は、この発明による
微粒子検出器におけるレーザの変動ノイズυＦ除ノｊ゛
式の実施例の全体構成図と部分図および各出力（ハシ、
ｔの波形図、第２図（ａ）および（ｂ）は、外部ミラー
型レーザ発振器により構成された微粒子検出器の要部の
断面図と散乱光受光系の斜視図である。 ！・・・外部ミラー型レーザ発振器、 ｌａ・・・がスレーザ管、 ｌｂ・・・内部ミラー１
ｃ・・・ブリュースター窓、ｌｄ・・・外部ミラー２・
・・検出セル、 ３ａ・・・中心ノズル、 ４・・・排出ノズル、 ５ａ・・・受光レンズ、 ５ｃ、６ａ・・・光電変換器、 ７ａ、７ｂ・・・増幅器、 ９・・・信号処理部。 ３・・・噴射ノズル、 ３ｂ・・・外層ノズル、 ５・・・散乱光受光系、 ５ｂ・・・スリット板、 ６・・・変動ノイズ受光系、 ８・・・コンパレータ、
微粒子検出器におけるレーザの変動ノイズυＦ除ノｊ゛
式の実施例の全体構成図と部分図および各出力（ハシ、
ｔの波形図、第２図（ａ）および（ｂ）は、外部ミラー
型レーザ発振器により構成された微粒子検出器の要部の
断面図と散乱光受光系の斜視図である。 ！・・・外部ミラー型レーザ発振器、 ｌａ・・・がスレーザ管、 ｌｂ・・・内部ミラー１
ｃ・・・ブリュースター窓、ｌｄ・・・外部ミラー２・
・・検出セル、 ３ａ・・・中心ノズル、 ４・・・排出ノズル、 ５ａ・・・受光レンズ、 ５ｃ、６ａ・・・光電変換器、 ７ａ、７ｂ・・・増幅器、 ９・・・信号処理部。 ３・・・噴射ノズル、 ３ｂ・・・外層ノズル、 ５・・・散乱光受光系、 ５ｂ・・・スリット板、 ６・・・変動ノイズ受光系、 ８・・・コンパレータ、
Claims (1)
- 一端に内部ミラーを有するガスレーザ管の外方に外部ミ
ラーを設けて外部ミラー型レーザ発振器を構成し、該発
振器のレーザビームに対してサンプルエアを直交させ、
スリットにより該直交した箇所に対する視野を限定して
微粒子検出領域とし、該微粒子検出領域における上記サ
ンプルエアに含まれる微粒子の散乱光を散乱光受光系に
より受光する微粒子検出器において、上記サンプルエア
により発振強度が変動して変動ノイズが発生した上記レ
ーザビームに対して、変動ノイズ用スリットにより、上
記微粒子検出領域の近傍に視野を限定して変動ノイズ検
出領域を設定し、該変動ノイズ検出領域における上記変
動ノイズを変動光受光系により受光し、上記散乱光受光
系の出力信号より該変動光受光系の出力する変動ノイズ
信号を減算して上記微粒子の散乱光のみを検出すること
を特徴とする、微粒子検出器におけるレーザの変動ノイ
ズ排除方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1139996A JP2696562B2 (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 微粒子検出器におけるレーザの変動ノイズ排除方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1139996A JP2696562B2 (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 微粒子検出器におけるレーザの変動ノイズ排除方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH034144A true JPH034144A (ja) | 1991-01-10 |
| JP2696562B2 JP2696562B2 (ja) | 1998-01-14 |
Family
ID=15258505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1139996A Expired - Fee Related JP2696562B2 (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 微粒子検出器におけるレーザの変動ノイズ排除方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2696562B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006189337A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 微粒子測定装置 |
| JP2012189483A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Fuji Electric Co Ltd | 粒子測定装置 |
| CN104837636A (zh) * | 2012-10-08 | 2015-08-12 | 斯内克马公司 | 带有肉眼可见的预定图形表示的机械零件的表面标记的方法 |
-
1989
- 1989-06-01 JP JP1139996A patent/JP2696562B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006189337A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 微粒子測定装置 |
| JP2012189483A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Fuji Electric Co Ltd | 粒子測定装置 |
| CN104837636A (zh) * | 2012-10-08 | 2015-08-12 | 斯内克马公司 | 带有肉眼可见的预定图形表示的机械零件的表面标记的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2696562B2 (ja) | 1998-01-14 |
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