JPH0230659B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0230659B2 JPH0230659B2 JP58025338A JP2533883A JPH0230659B2 JP H0230659 B2 JPH0230659 B2 JP H0230659B2 JP 58025338 A JP58025338 A JP 58025338A JP 2533883 A JP2533883 A JP 2533883A JP H0230659 B2 JPH0230659 B2 JP H0230659B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- light
- photoelectric element
- signal
- amplifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 15
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 claims description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/1012—Calibrating particle analysers; References therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1429—Signal processing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、光散乱式粒子計数装置に関するも
のであり、とりわけ、内部自動校正手段を有する
光散乱式粒子計数装置に関するものである。
のであり、とりわけ、内部自動校正手段を有する
光散乱式粒子計数装置に関するものである。
従来、たとえばレーザ光源によるこの種の装置
にあつては、レーザの共振ミラーから漏れる光を
測光し、この光量を基準として自動的に電気系の
ゲインを調整する内部自動校正を行なうものがあ
つた。このような従来の装置は、構成が比較的簡
単である利点を有するものの、光源からの光出力
の変動のみしか検知することができず、集光光学
系のひずみ、汚染等による集光率の変化や、受光
光電変換素子の経時変化等は検知できないという
欠点があつた。
にあつては、レーザの共振ミラーから漏れる光を
測光し、この光量を基準として自動的に電気系の
ゲインを調整する内部自動校正を行なうものがあ
つた。このような従来の装置は、構成が比較的簡
単である利点を有するものの、光源からの光出力
の変動のみしか検知することができず、集光光学
系のひずみ、汚染等による集光率の変化や、受光
光電変換素子の経時変化等は検知できないという
欠点があつた。
また、以上の装置において、レーザ出力を増大
するために共振ミラーの反射率を上昇させると、
共振ミラーの反射率が温度などの外的条件により
変化するおそれがあり、このような反射率の変化
は、共振ミラーから漏れる光の強度変動を招くこ
ととなり、この漏れる光を自動校正の基準として
使用し得なくなるという欠点が存在していた。
するために共振ミラーの反射率を上昇させると、
共振ミラーの反射率が温度などの外的条件により
変化するおそれがあり、このような反射率の変化
は、共振ミラーから漏れる光の強度変動を招くこ
ととなり、この漏れる光を自動校正の基準として
使用し得なくなるという欠点が存在していた。
この発明は、以上のような従来のものの欠点を
解消しようとするもので、粒子検出領域における
粒子による散乱光がパルス光であるのに対し、当
該領域における空気分子による散乱光は直流光で
ある点に着目し、空気分子による散乱光を、粒子
による散乱光と同一の集光系、光電変換素子によ
り測光し、この測光値を用いて粒子計数系の自動
校正を行なうようにした光散乱式粒子計数装置を
提供することを目的とするものである。
解消しようとするもので、粒子検出領域における
粒子による散乱光がパルス光であるのに対し、当
該領域における空気分子による散乱光は直流光で
ある点に着目し、空気分子による散乱光を、粒子
による散乱光と同一の集光系、光電変換素子によ
り測光し、この測光値を用いて粒子計数系の自動
校正を行なうようにした光散乱式粒子計数装置を
提供することを目的とするものである。
以下、この発明を第１図に示す一実施例につい
て説明する。図において、照射領域（図示せず）
からの散乱光を受光する光電素子１の出力に前置
増幅器２が接続されており、前置増幅器２の出力
にはパルス信号と直流信号を分割してそれぞれ増
幅する第１の増幅器３と第２の増幅器４が接続さ
れている。パルス信号を増幅する第１の増幅器３
には波高分析回路５が接続されており、粒子の計
数系を構成している。直流信号を増幅する第２の
増幅器４には比較回路６が接続され、比較回路６
の出力はライン７を経て光電素子１の高電圧源８
に接続され、自動校正系を構成している。
て説明する。図において、照射領域（図示せず）
からの散乱光を受光する光電素子１の出力に前置
増幅器２が接続されており、前置増幅器２の出力
にはパルス信号と直流信号を分割してそれぞれ増
幅する第１の増幅器３と第２の増幅器４が接続さ
れている。パルス信号を増幅する第１の増幅器３
には波高分析回路５が接続されており、粒子の計
数系を構成している。直流信号を増幅する第２の
増幅器４には比較回路６が接続され、比較回路６
の出力はライン７を経て光電素子１の高電圧源８
に接続され、自動校正系を構成している。
つぎに、動作について説明する。光電素子１に
照射領域から、粒子による散乱光であるパルス光
と空気分子による散乱光である直流光が入射す
る。したがつて前置増幅器２の出力（Ａ点）は、
第２図ＡのようにグラウンドレベルＧすなわち出
力０を基線として、直流光の成分ａにパルス光の
成分（ｂ−ａ）が重畳された波形となる。このよ
うな波形でなるＡ点の出力は、第１、第２の増幅
器３，４でパルス信号と直流信号に分割してそれ
ぞれ増幅され、第１、第２の増幅器３，４の出力
（Ｂ点、Ｃ点）はそれぞれ第２図Ｂ，Ｃに示す波
形となる。そうして、第１の増幅器３の出力であ
るパルス信号は波高分析回路５に入力され、本来
の粒子計数が行なわれる。一方、第２の増幅器４
の出力である直流信号は比較回路６に入力され、
ここで基準電圧と比較され、直流信号ａが、任意
に設定した基準値と一致するように高電圧源８を
自動的に調整する信号が比較回路６から高電圧源
８に加えられる。
照射領域から、粒子による散乱光であるパルス光
と空気分子による散乱光である直流光が入射す
る。したがつて前置増幅器２の出力（Ａ点）は、
第２図ＡのようにグラウンドレベルＧすなわち出
力０を基線として、直流光の成分ａにパルス光の
成分（ｂ−ａ）が重畳された波形となる。このよ
うな波形でなるＡ点の出力は、第１、第２の増幅
器３，４でパルス信号と直流信号に分割してそれ
ぞれ増幅され、第１、第２の増幅器３，４の出力
（Ｂ点、Ｃ点）はそれぞれ第２図Ｂ，Ｃに示す波
形となる。そうして、第１の増幅器３の出力であ
るパルス信号は波高分析回路５に入力され、本来
の粒子計数が行なわれる。一方、第２の増幅器４
の出力である直流信号は比較回路６に入力され、
ここで基準電圧と比較され、直流信号ａが、任意
に設定した基準値と一致するように高電圧源８を
自動的に調整する信号が比較回路６から高電圧源
８に加えられる。
かように高電圧源８を調整するのは、光電素子
１が光電子増倍管の場合である。光電素子がフオ
トダイオードあるいは光電子増倍管などのとき
は、ライン９を介して前置増幅器２のゲインを制
御することにより、同一の目的が達せられる。
１が光電子増倍管の場合である。光電素子がフオ
トダイオードあるいは光電子増倍管などのとき
は、ライン９を介して前置増幅器２のゲインを制
御することにより、同一の目的が達せられる。
なお、光源は、必ずしもレーザに限るものでは
ないが、迷光を除去して空気分子による散乱光を
検出し易い点、レーザによるものがもつとも好ま
しい。
ないが、迷光を除去して空気分子による散乱光を
検出し易い点、レーザによるものがもつとも好ま
しい。
以上のように、この発明は、試料空気中の粒子
を検出する照射領域に、同時に発生する空気分子
の散乱光を検出して自動校正するようにしたの
で、集光光学系の集光率の変化や光電素子の経時
変化等を含めて総合的な自動校正を自動的に達成
することができ、その効果は大なるものがある。
しかも本発明によれば、測定中に於ける校正が可
能となる為、校正の為の測定中断等の不都合を排
除でき、長時間連続測定に適したものとなる。
を検出する照射領域に、同時に発生する空気分子
の散乱光を検出して自動校正するようにしたの
で、集光光学系の集光率の変化や光電素子の経時
変化等を含めて総合的な自動校正を自動的に達成
することができ、その効果は大なるものがある。
しかも本発明によれば、測定中に於ける校正が可
能となる為、校正の為の測定中断等の不都合を排
除でき、長時間連続測定に適したものとなる。
第１図はこの発明の一実施例の結線図、第２図
は同じく各部の出力波形図である。 １……光電素子、２……前置増幅器、３，４…
…第１、第２の増幅器、５……波高分析器、６…
…比較回路、８……高電圧源。
は同じく各部の出力波形図である。 １……光電素子、２……前置増幅器、３，４…
…第１、第２の増幅器、５……波高分析器、６…
…比較回路、８……高電圧源。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 照射領域からの散乱光を受光する光電素子
と、この光電素子の出力を粒子による散乱光に対
応するパルス信号と空気分子による散乱光に対応
する直流信号とに分割してそれぞれ増幅する第
１、第２の増幅器と、この第１の増幅器の出力に
接続された波高分析回路と、前記第２の増幅器の
出力に接続され基準電圧との比較により前記直流
信号を一定に保持するための信号を出力する比較
回路を備えてなる光散乱式粒子計数装置。 ２ 光電素子が高電圧源に接続された光電子増倍
管であつて、比較回路の出力が前記高電圧源に接
続されてなる特許請求の範囲第１項記載の光散乱
式粒子計数装置。 ３ 光電素子がフオトダイオード、あるいは光電
子増倍管であつて、比較回路の出力が前記光電素
子の出力に接続された前置増幅器に接続されてな
る特許請求の範囲第１項記載の光散乱式粒子計数
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58025338A JPS59151039A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 光散乱式粒子計数装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58025338A JPS59151039A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 光散乱式粒子計数装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59151039A JPS59151039A (ja) | 1984-08-29 |
| JPH0230659B2 true JPH0230659B2 (ja) | 1990-07-09 |
Family
ID=12163121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58025338A Granted JPS59151039A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 光散乱式粒子計数装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59151039A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0528515Y2 (ja) * | 1986-11-26 | 1993-07-22 | ||
| JPH0597038U (ja) * | 1992-06-09 | 1993-12-27 | タツタ電線株式会社 | 圧力スイッチ装置 |
| JP2006105905A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 微粒子測定装置 |
-
1983
- 1983-02-17 JP JP58025338A patent/JPS59151039A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59151039A (ja) | 1984-08-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6311838A (ja) | 粒子寸法検出装置 | |
| JPS58131501A (ja) | 糸の横寸法を測定する装置 | |
| JP2020537148A (ja) | 粒子計数器の構成要素の較正 | |
| JP3357132B2 (ja) | 被検物質の濃度測定のための分光測光法およびこの方法を実施するための分光光度計 | |
| JPH0140949B2 (ja) | ||
| JPH1123462A (ja) | 煙感知装置 | |
| US6728596B1 (en) | Wafer prealigner with phase sensitive detection | |
| JPH0230659B2 (ja) | ||
| KR20180102740A (ko) | 외란광의 영향을 제거하는 광학식 초미세먼지 측정 센서 | |
| CN116519646A (zh) | 一种单分子检测校准方法及检测校准电路 | |
| JPS6114506A (ja) | 光学センサ | |
| JP3783991B2 (ja) | 煙感知装置 | |
| CN112630204A (zh) | 手持式荧光检测仪 | |
| JPS59182341A (ja) | 試料発光の異方性測定装置 | |
| JPS6211127A (ja) | 微粒子検出装置 | |
| JPS5711785A (en) | Method and apparatus for inspection of parallel gap welding | |
| JPH065613Y2 (ja) | 水分計検出回路 | |
| JPS6218010B2 (ja) | ||
| JPH0528515Y2 (ja) | ||
| JPH02128142A (ja) | 光学的微粒子測定装置 | |
| JP2000504841A (ja) | 検出装置 | |
| JPH0520993Y2 (ja) | ||
| JPH074553Y2 (ja) | 測光装置 | |
| JPS607212B2 (ja) | 比色計 | |
| SU1386942A1 (ru) | Способ определени длительности одноэлектронного импульса фотодетектора |