JPS6211127A - 微粒子検出装置 - Google Patents
微粒子検出装置Info
- Publication number
- JPS6211127A JPS6211127A JP14244485A JP14244485A JPS6211127A JP S6211127 A JPS6211127 A JP S6211127A JP 14244485 A JP14244485 A JP 14244485A JP 14244485 A JP14244485 A JP 14244485A JP S6211127 A JPS6211127 A JP S6211127A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- particle size
- inspection
- measured
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、被測定ガス中の塵埃濃度や粒子の粒径分布を
計測する微粒子検出装置に関し、特に計測粒径の点検較
正がユーザにおいても容易に行える微粒子検出装置に関
する。
計測する微粒子検出装置に関し、特に計測粒径の点検較
正がユーザにおいても容易に行える微粒子検出装置に関
する。
従来の技術
従来の微粒子検出装置において、被測定ガス中の浮遊粒
子の粒径分布等を正しく測定するために装置の計測粒径
を点検較正するには、微粒子検出装置の検出セル内にポ
リスチレンラテックス粒子等の標準粒子を導入し、この
標準粒子に対する実際の測定データに基づいて点検又は
較正をしていた。ここで、上記標準粒子の導入は、ポリ
スチレンラテックス粒子を純水で適宜の倍率に薄めて平
均化し、超音波を利用した拡散装置でコアギュレーショ
ン（粒子が団子状になること）を起こさないように拡散
し、アトマイザ装置で霧吹の原理によって霧化したもの
をその内部の熱交換器で水分のみを除去した後、ポリス
チレンラテックス粒子だけを上記検出セル内に導入して
いた。
子の粒径分布等を正しく測定するために装置の計測粒径
を点検較正するには、微粒子検出装置の検出セル内にポ
リスチレンラテックス粒子等の標準粒子を導入し、この
標準粒子に対する実際の測定データに基づいて点検又は
較正をしていた。ここで、上記標準粒子の導入は、ポリ
スチレンラテックス粒子を純水で適宜の倍率に薄めて平
均化し、超音波を利用した拡散装置でコアギュレーショ
ン（粒子が団子状になること）を起こさないように拡散
し、アトマイザ装置で霧吹の原理によって霧化したもの
をその内部の熱交換器で水分のみを除去した後、ポリス
チレンラテックス粒子だけを上記検出セル内に導入して
いた。
発明が解決しようとする問題点
しかし、このようにして点検較正するには、標準粒子と
してのポリスチレンラテックス粒子を拡散、霧化したり
水分を除去するための専用の設備を必要とするので、ユ
ーザ側において日常的に点検又は較正をすることは不可
能であった。そのため、計測粒径の点検較正を行うには
、その微粒子検出装置を工場等に搬入して行わなければ
ならなかった。従って、工場等に搬入して点検較正する
ための時間と費用がかさむものであった。そこで、本発
明は、計測粒径の点検較正がユーザにおいても容易に行
える微粒子検出装置を提供することを目的とする。
してのポリスチレンラテックス粒子を拡散、霧化したり
水分を除去するための専用の設備を必要とするので、ユ
ーザ側において日常的に点検又は較正をすることは不可
能であった。そのため、計測粒径の点検較正を行うには
、その微粒子検出装置を工場等に搬入して行わなければ
ならなかった。従って、工場等に搬入して点検較正する
ための時間と費用がかさむものであった。そこで、本発
明は、計測粒径の点検較正がユーザにおいても容易に行
える微粒子検出装置を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
上記の問題点を解決する本発明の手段は、発光源からの
光ビームの光軸上に設けられた検出セル内に被測定ガス
を導入し、この被測定ガス中の浮遊粒子に上記光ビーム
が当って発生した散乱光を集光光学系で集光すると共に
、この光を光電変換器で電気信号に変換して信号処理回
路で処理することにより塵埃測定をする微粒子検出装置
において、上記集光光学系の光軸上またはその視野範囲
内に所定粒径の粒子からの散乱光に対応した基準光を発
する点検用発光部を設け、この点検用発光部からの基準
光を上記光電変換器で検出することにより計測粒径の点
検較正を行うようにしたことによってなされる。
光ビームの光軸上に設けられた検出セル内に被測定ガス
を導入し、この被測定ガス中の浮遊粒子に上記光ビーム
が当って発生した散乱光を集光光学系で集光すると共に
、この光を光電変換器で電気信号に変換して信号処理回
路で処理することにより塵埃測定をする微粒子検出装置
において、上記集光光学系の光軸上またはその視野範囲
内に所定粒径の粒子からの散乱光に対応した基準光を発
する点検用発光部を設け、この点検用発光部からの基準
光を上記光電変換器で検出することにより計測粒径の点
検較正を行うようにしたことによってなされる。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明による微粒子検出装置の概要を示す説明
図である。この微粒子検出装置は、塵埃粒子を含む被測
定ガス中の塵埃濃度や粒径分布を測定するもので、第１
図には現れていないがレーザ発振器等の発光源１（第２
図参照）と、この発光源１からのレーザビーム等の光ビ
ームの光軸上に設けられた検出セル２と、この検出セル
２内に導入された被測定ガス中の浮遊粒子に上記発光源
１から射出された光ビームが当って発生した散乱光を集
光する集光光学系３と、この集光光学系３で集光した光
を電気信号に変換する光電変換器４と、この光電変換器
４からの電気信号を入力して処理する信号処理回路５と
を有している。
図である。この微粒子検出装置は、塵埃粒子を含む被測
定ガス中の塵埃濃度や粒径分布を測定するもので、第１
図には現れていないがレーザ発振器等の発光源１（第２
図参照）と、この発光源１からのレーザビーム等の光ビ
ームの光軸上に設けられた検出セル２と、この検出セル
２内に導入された被測定ガス中の浮遊粒子に上記発光源
１から射出された光ビームが当って発生した散乱光を集
光する集光光学系３と、この集光光学系３で集光した光
を電気信号に変換する光電変換器４と、この光電変換器
４からの電気信号を入力して処理する信号処理回路５と
を有している。
第２図は上記微粒子検出装置の構成を具体的に示す説明
図である。発光源１は、例えば外部鏡型のレーザ発振器
であり、レーザチューブのブリュースター窓６と外部鏡
７との間を光ビーム（レーザビーム）８が往復するよう
になっている。なお、上記外部鏡７の部分には、フォト
ダイオード等の受光素子９が設けられている。この受光
素子９は、発光源１からの光ビームの光強度を検出する
もので、上記発光源１の光強度の変化に追従してその参
照信号Ｓ１が変化し、これを後述の信号処理回路５に送
出して補正をかけるものである。上記発光源１からの光
ビーム８の光軸上には、検出セル２が設けられている。
図である。発光源１は、例えば外部鏡型のレーザ発振器
であり、レーザチューブのブリュースター窓６と外部鏡
７との間を光ビーム（レーザビーム）８が往復するよう
になっている。なお、上記外部鏡７の部分には、フォト
ダイオード等の受光素子９が設けられている。この受光
素子９は、発光源１からの光ビームの光強度を検出する
もので、上記発光源１の光強度の変化に追従してその参
照信号Ｓ１が変化し、これを後述の信号処理回路５に送
出して補正をかけるものである。上記発光源１からの光
ビーム８の光軸上には、検出セル２が設けられている。
この検出セル２は、被測定ガスを上記光ビーム８の光軸
上に導入して浮遊粒子を検出する空間となるもので、そ
の内部には上記光軸を境としてサンプルエアノズル１０
と吸引ノズル１１とが対向して設けられている。そして
、上記サンプルエアノズル１０内に矢印Ａのようにサン
プルエアを供給すると共に矢印Ｂのようにクリーンエア
を供給しながら吸引ノズル１１で真空に引くと、上記光
ビーム８の光軸に直交する方向に被測定ガスが流れるこ
ととなる。
上に導入して浮遊粒子を検出する空間となるもので、そ
の内部には上記光軸を境としてサンプルエアノズル１０
と吸引ノズル１１とが対向して設けられている。そして
、上記サンプルエアノズル１０内に矢印Ａのようにサン
プルエアを供給すると共に矢印Ｂのようにクリーンエア
を供給しながら吸引ノズル１１で真空に引くと、上記光
ビーム８の光軸に直交する方向に被測定ガスが流れるこ
ととなる。
上記検出セル２と直交する方向には、集光光学系３が設
けられている。この集光光学系３は、被測定ガス中の浮
遊粒子に光ビーム８が当って発生した散乱光を集光する
もので、例えば二枚の集光レンズ３ａ及び３ｂを組み合
わせてなる。この集光光学系３で集光された散乱光は、
その光軸３′上に設けられたスリット１２を介して同じ
く光軸３′上に設けられた光電変換器４へ入射する。こ
の光電変換器４は、上記集光光学系３で集光した光を電
気信号に変換するもので、例えば光電子増倍管からなる
。
けられている。この集光光学系３は、被測定ガス中の浮
遊粒子に光ビーム８が当って発生した散乱光を集光する
もので、例えば二枚の集光レンズ３ａ及び３ｂを組み合
わせてなる。この集光光学系３で集光された散乱光は、
その光軸３′上に設けられたスリット１２を介して同じ
く光軸３′上に設けられた光電変換器４へ入射する。こ
の光電変換器４は、上記集光光学系３で集光した光を電
気信号に変換するもので、例えば光電子増倍管からなる
。
上記光電変換器４の出力信号は、信号検出回路５へ入力
する。この信号検出回路５は、上記光電変換器４からの
出力信号を処理して被測定ガスの粒径分布等を得るもの
で１粒径弁別回路１３と、サンプルホールド回路１４と
を有している。上記粒径弁別回路１３は、光電変換器４
からの出力電圧の大小によって被測定ガス中の浮遊粒子
の粒径を分類するもので、粒径区分に応じた複数のチャ
ンネルＣ：Ｈ１、、ＣＨ２、・・・ＣＨ４ごとにそれぞ
れ可変抵抗器１５ａ、１５ｂ、・・・１５ｄと比較器１
６ａ、１６ｂ、・・・１６ｄを有している。またサンプ
ルホールド回路１４は、上記受光素子９で検出した発光
源１の光強度の参照信号Ｓ１を取り出して上記粒径弁別
回路１３へ送出するものである。
する。この信号検出回路５は、上記光電変換器４からの
出力信号を処理して被測定ガスの粒径分布等を得るもの
で１粒径弁別回路１３と、サンプルホールド回路１４と
を有している。上記粒径弁別回路１３は、光電変換器４
からの出力電圧の大小によって被測定ガス中の浮遊粒子
の粒径を分類するもので、粒径区分に応じた複数のチャ
ンネルＣ：Ｈ１、、ＣＨ２、・・・ＣＨ４ごとにそれぞ
れ可変抵抗器１５ａ、１５ｂ、・・・１５ｄと比較器１
６ａ、１６ｂ、・・・１６ｄを有している。またサンプ
ルホールド回路１４は、上記受光素子９で検出した発光
源１の光強度の参照信号Ｓ１を取り出して上記粒径弁別
回路１３へ送出するものである。
ここで、本発明においては、上記集光光学系３の光軸３
′の入射側に点検用発光部１７が設けられると共に、信
号処理回路５の中に発光制御回路１８が設けられている
。上記点検用発光部１７は、計測粒径の点検較正をする
際に標準粒子に光ビーム８を照射したときに生ずる散乱
光量と同等の光を発するもので、例えば発光ダイオード
からなる。
′の入射側に点検用発光部１７が設けられると共に、信
号処理回路５の中に発光制御回路１８が設けられている
。上記点検用発光部１７は、計測粒径の点検較正をする
際に標準粒子に光ビーム８を照射したときに生ずる散乱
光量と同等の光を発するもので、例えば発光ダイオード
からなる。
また、発光制御回路１８は、前述の受光素子９で検出し
た発光源１の光強度の参照信号Ｓ工を取り込み上記点検
用発光部１７が所定粒径の粒子からの散乱光に対応した
基準光を発するように制御するもので、上記参照信号Ｓ
ｉにチョッパをかけてパルス化するチョッパ回路１９と
、測定側の接点２０ａまたは較正側の接点２０ｂを切り
換える切換スイッチ２０と、上記チョッパ回路１９から
のパルス信号を一定量だけ増幅して較正信号Ｓ、を生成
する定電流ドライバ２１とからなる。
た発光源１の光強度の参照信号Ｓ工を取り込み上記点検
用発光部１７が所定粒径の粒子からの散乱光に対応した
基準光を発するように制御するもので、上記参照信号Ｓ
ｉにチョッパをかけてパルス化するチョッパ回路１９と
、測定側の接点２０ａまたは較正側の接点２０ｂを切り
換える切換スイッチ２０と、上記チョッパ回路１９から
のパルス信号を一定量だけ増幅して較正信号Ｓ、を生成
する定電流ドライバ２１とからなる。
次に、このように校正された微粒子検出装置の動作につ
いて説明する。まず、切換スイッチ２０を測定側２０ａ
に切り換えて装置の初期調整を行う。このとき、サンプ
ルエアノズル１０から矢印Ａのように例えば粒径０．２
ミクロンの標準粒子を検出セル２内に導入する。この状
態で発光源１から光ビーム８を照射し、上記標準粒子か
らの散乱光を集光光学系３で集光すると共に、この光を
光電変換器４で電気信号に変換し、これを信号処理回路
５内の第一のアンプ２２で増幅して散乱信号Ｓ２を生成
する。この散乱信号Ｓ２は、第二のアンプ２３に入力し
て基準レベルまで増幅された後、粒径弁別回路１３に入
力する。そして、上記標準粒子の粒径に対応して予め設
定された可変抵抗器１５ ａ 〜１５ ｄ （７）比較
基準電圧ＶＲ，，ＶＨ２，−・・ＶＨ４とそれぞれの比
較器１６ａ〜１６ｄで比較され、例えば粒径０．２ミク
ロンのチャンネルＣＨ１にカウントされる。以下、同様
にして標準粒子の各種粒径たとえば最小粒径および最大
粒径について測定する。ここで、このときの各粒径粒子
からの散乱光の光量に対応する信号を記憶しておく。こ
のようにして装置の初期調整が終了する。
いて説明する。まず、切換スイッチ２０を測定側２０ａ
に切り換えて装置の初期調整を行う。このとき、サンプ
ルエアノズル１０から矢印Ａのように例えば粒径０．２
ミクロンの標準粒子を検出セル２内に導入する。この状
態で発光源１から光ビーム８を照射し、上記標準粒子か
らの散乱光を集光光学系３で集光すると共に、この光を
光電変換器４で電気信号に変換し、これを信号処理回路
５内の第一のアンプ２２で増幅して散乱信号Ｓ２を生成
する。この散乱信号Ｓ２は、第二のアンプ２３に入力し
て基準レベルまで増幅された後、粒径弁別回路１３に入
力する。そして、上記標準粒子の粒径に対応して予め設
定された可変抵抗器１５ ａ 〜１５ ｄ （７）比較
基準電圧ＶＲ，，ＶＨ２，−・・ＶＨ４とそれぞれの比
較器１６ａ〜１６ｄで比較され、例えば粒径０．２ミク
ロンのチャンネルＣＨ１にカウントされる。以下、同様
にして標準粒子の各種粒径たとえば最小粒径および最大
粒径について測定する。ここで、このときの各粒径粒子
からの散乱光の光量に対応する信号を記憶しておく。こ
のようにして装置の初期調整が終了する。
次に、装置の点検又は較正を行うには、切換スイッチ２
０を較正側２０ｂに切り換える。そして、上記初期調整
時の標準粒子からの散乱光の光量に対応する信号を用い
て発光制御回路１８の制御により、点検用発光部１７に
加える較正信号Ｓ、を生成し、該点検用発光部１７より
所定粒径の標準粒子からの散乱光に対応した基準光を発
光させる。
０を較正側２０ｂに切り換える。そして、上記初期調整
時の標準粒子からの散乱光の光量に対応する信号を用い
て発光制御回路１８の制御により、点検用発光部１７に
加える較正信号Ｓ、を生成し、該点検用発光部１７より
所定粒径の標準粒子からの散乱光に対応した基準光を発
光させる。
すると、上記点検用発光部１７からの基準光を集光光学
系３で集光すると共に、この光を光電変換器４で電気信
号に変換し、この出力信号が信号処理回路５に入力する
。そこで、このときの散乱信号Ｓ２が、上記所定粒径の
粒径区分に対応したチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４のところ
にカウントされるように、粒径弁別回路１３を較正する
。以下、同様にして初期調整時のたとえば最小粒径およ
び最大粒径について較正すればよい。なお、発光源１か
らの光ビーム８の強度は経時変化等により変化するので
、受光素子９で検出する参照信号Ｓ工も変化しこれをサ
ンプルホールド回路１４で保持しておき、この参照信号
Ｓ工を発光制御回路１８に取り込むことにより、第３図
に示すように、較正信号Ｓ、が変化し、この結果較正時
において上記点検用発光部１７の基準光の光量が上記光
ビーム８の強度変化に応じて変化する。また、上記参照
信号Ｓ１は粒径弁別回路１３にも入力し、第４図に示す
ように、測定時において上記光ビーム８の強度変化に応
じて比較基準電圧ＶＲ工等が変化するようになっている
。
系３で集光すると共に、この光を光電変換器４で電気信
号に変換し、この出力信号が信号処理回路５に入力する
。そこで、このときの散乱信号Ｓ２が、上記所定粒径の
粒径区分に対応したチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４のところ
にカウントされるように、粒径弁別回路１３を較正する
。以下、同様にして初期調整時のたとえば最小粒径およ
び最大粒径について較正すればよい。なお、発光源１か
らの光ビーム８の強度は経時変化等により変化するので
、受光素子９で検出する参照信号Ｓ工も変化しこれをサ
ンプルホールド回路１４で保持しておき、この参照信号
Ｓ工を発光制御回路１８に取り込むことにより、第３図
に示すように、較正信号Ｓ、が変化し、この結果較正時
において上記点検用発光部１７の基準光の光量が上記光
ビーム８の強度変化に応じて変化する。また、上記参照
信号Ｓ１は粒径弁別回路１３にも入力し、第４図に示す
ように、測定時において上記光ビーム８の強度変化に応
じて比較基準電圧ＶＲ工等が変化するようになっている
。
なお、第２図においては、点検用発光部１７を集光光学
系３の光軸３′上に設けたものとして示したが、本発明
はこれに限られず、上記光軸３′上でなくても集光光学
系３の視野範囲内ならば適宜の位置に設けてもよい。
系３の光軸３′上に設けたものとして示したが、本発明
はこれに限られず、上記光軸３′上でなくても集光光学
系３の視野範囲内ならば適宜の位置に設けてもよい。
発明の効果
本発明は以上説明したように、集光光学系３の光軸３′
上またはその視野範囲内に所定粒径の粒子からの散乱光
に対応した基準光を発する点検用発光部１７を設けたの
で、装置の初期調整時に工場等において標準粒子を用い
て信号処理回路５を正しく調整しておくことにより、単
に上記点検用発光部１７から基準光を発光させこれを光
電変換器４で検出するだけで計測粒径の点検較正を行う
ことができる。従って、ユーザ側において日常的に容易
に装置の計測粒径の点検又は較正をすることができ、装
置の信頼性を向上させることができる。また、従来のよ
うに装置をその度に工場等へ搬入することを要さず、点
検較正のための時間と費用を大幅に節減できる。
上またはその視野範囲内に所定粒径の粒子からの散乱光
に対応した基準光を発する点検用発光部１７を設けたの
で、装置の初期調整時に工場等において標準粒子を用い
て信号処理回路５を正しく調整しておくことにより、単
に上記点検用発光部１７から基準光を発光させこれを光
電変換器４で検出するだけで計測粒径の点検較正を行う
ことができる。従って、ユーザ側において日常的に容易
に装置の計測粒径の点検又は較正をすることができ、装
置の信頼性を向上させることができる。また、従来のよ
うに装置をその度に工場等へ搬入することを要さず、点
検較正のための時間と費用を大幅に節減できる。
第１図は本発明による微粒子検出装置の概要を示す説明
図、第２図はその構成を具体的に示す説明図、第３図は
較正時における信号処理回路内の粒径弁別回路での信号
波形を示すグラフ、第４図は測定時における信号処理回
路内の粒径弁別回路での信号波形を示すグラフである。 １・・・発光源 ２・・・検出セル ３・・・集光光学系 ３′・・・光 軸 ４・・・光電変換器 ５・・・信号処理回路 ８・・・光ビーム ９・・・受光素子 １３・・・粒径弁別回路 １４・・・サンプルホールド回路 １７・・・点検用発光部 １８・・・発光制御回路
図、第２図はその構成を具体的に示す説明図、第３図は
較正時における信号処理回路内の粒径弁別回路での信号
波形を示すグラフ、第４図は測定時における信号処理回
路内の粒径弁別回路での信号波形を示すグラフである。 １・・・発光源 ２・・・検出セル ３・・・集光光学系 ３′・・・光 軸 ４・・・光電変換器 ５・・・信号処理回路 ８・・・光ビーム ９・・・受光素子 １３・・・粒径弁別回路 １４・・・サンプルホールド回路 １７・・・点検用発光部 １８・・・発光制御回路
Claims (1)
- 発光源からの光ビームの光軸上に設けられた検出セル内
に被測定ガスを導入し、この被測定ガス中の浮遊粒子に
上記光ビームが当って発生した散乱光を集光光学系で集
光すると共に、この光を光電変換器で電気信号に変換し
て信号処理回路で処理することにより塵埃測定をする微
粒子検出装置において、上記集光光学系の光軸上または
その視野範囲内に所定粒径の粒子からの散乱光に対応し
た基準光を発する点検用発光部を設け、この点検用発光
部からの基準光を上記光電変換器で検出することにより
計測粒径の点検較正を行うようにしたことを特徴とする
微粒子検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14244485A JPS6211127A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 微粒子検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14244485A JPS6211127A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 微粒子検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6211127A true JPS6211127A (ja) | 1987-01-20 |
Family
ID=15315452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14244485A Pending JPS6211127A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 微粒子検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6211127A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02236314A (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-19 | Takeo Suzuki | 斜面の安定化工法 |
| GB2541773A (en) * | 2015-08-28 | 2017-03-01 | Agency Defense Dev | Particle detection apparatus for measuring size and concentration of particles by photon counting |
| KR20190076433A (ko) * | 2017-12-22 | 2019-07-02 | 주식회사 히타치엘지 데이터 스토리지 코리아 | 먼지 센서와 가스 센서를 결합한 센서 |
-
1985
- 1985-07-01 JP JP14244485A patent/JPS6211127A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02236314A (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-19 | Takeo Suzuki | 斜面の安定化工法 |
| JPH0548821B2 (ja) * | 1989-03-07 | 1993-07-22 | Takeo Suzuki | |
| GB2541773A (en) * | 2015-08-28 | 2017-03-01 | Agency Defense Dev | Particle detection apparatus for measuring size and concentration of particles by photon counting |
| GB2541773B (en) * | 2015-08-28 | 2018-02-28 | Agency Defense Dev | Particle detection apparatus for measuring size and concentration of particles by photon counting |
| KR20190076433A (ko) * | 2017-12-22 | 2019-07-02 | 주식회사 히타치엘지 데이터 스토리지 코리아 | 먼지 센서와 가스 센서를 결합한 센서 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4798465A (en) | Particle size detection device having high sensitivity in high molecular scattering environment | |
| JPH06167456A (ja) | スキャナの校正方法及び所定の散乱光振幅の発生装置 | |
| US7250871B2 (en) | Particulate detector | |
| CN109632589A (zh) | 一种大气颗粒物检测装置和方法 | |
| US5258788A (en) | Method for measuring the protein composition and concentration in the aqueous humor of the eye | |
| JPH08159949A (ja) | 粒子検出装置 | |
| US11047787B2 (en) | And method for optical bench for detecting particles | |
| JP2004069688A (ja) | 反射光分析システム | |
| JP2000230901A (ja) | 光学ユニット | |
| JPS6211127A (ja) | 微粒子検出装置 | |
| CN116519646A (zh) | 一种单分子检测校准方法及检测校准电路 | |
| JPS6151569A (ja) | 細胞識別装置 | |
| JP3255647B2 (ja) | 光電子増倍管用較正システム | |
| US10942106B2 (en) | Particle characterization apparatus and method | |
| JP3783991B2 (ja) | 煙感知装置 | |
| JP2001174394A (ja) | 粒度分布測定装置 | |
| JP2879798B2 (ja) | 粒子寸法検出装置に使用するための粒子検出装置 | |
| JPH0230659B2 (ja) | ||
| JPH0682394A (ja) | 被覆欠陥検出装置および方法 | |
| JP2000206033A (ja) | タバコ煙粒子計測装置 | |
| JPS589373B2 (ja) | 光電エ−ロゾル分析器の目盛特性の測定および較正装置 | |
| JPH0718788B2 (ja) | 光学的微粒子測定装置 | |
| JPS58193426A (ja) | 光検出器 | |
| JPH08178830A (ja) | 検出装置 | |
| JPS5992528A (ja) | パタ−ン検査方法および検査装置 |