JPS6029643A - 微粒子検出器 - Google Patents
微粒子検出器Info
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- JPS6029643A JPS6029643A JP58136799A JP13679983A JPS6029643A JP S6029643 A JPS6029643 A JP S6029643A JP 58136799 A JP58136799 A JP 58136799A JP 13679983 A JP13679983 A JP 13679983A JP S6029643 A JPS6029643 A JP S6029643A
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- sets
- optical systems
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 13
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は最小検出粒径を従来通りに保持しながら被検流
体のサンプリング流量を従来より増大させ、且つＳ／Ｎ
比を向上させた微粒子検出器に関する。
体のサンプリング流量を従来より増大させ、且つＳ／Ｎ
比を向上させた微粒子検出器に関する。
光散乱方式の微粒子検出路には、現在、最小検出粒径０
．１８ｍ１サンプリング流量３００ｃｃ／分のものがあ
るが、短時間計測を可能にするため、サンプリング流量
の増大が要望されている。
．１８ｍ１サンプリング流量３００ｃｃ／分のものがあ
るが、短時間計測を可能にするため、サンプリング流量
の増大が要望されている。
サンプリング流量を増すためには、受光光学系の集光立
体角を大きくすることが必要である。しかし、集光立体
角を大きくするために集光立体角の大きなレンズを製作
することば困難である。また、集光用に放物面鏡や楕円
面鏡を利用することも考えられるが、これらの鏡面は高
精度で仕上げるのが技術的に困難であり、光学系が複雑
となり、調整も複雑になるなどの問題がある。
体角を大きくすることが必要である。しかし、集光立体
角を大きくするために集光立体角の大きなレンズを製作
することば困難である。また、集光用に放物面鏡や楕円
面鏡を利用することも考えられるが、これらの鏡面は高
精度で仕上げるのが技術的に困難であり、光学系が複雑
となり、調整も複雑になるなどの問題がある。
本発明の目的は、最小検出粒径は従来通り０．１μｍに
保持しながら、被検流体のサンプリンタ流量を従来より
大幅に増大させた微粒子検出器を提供することにある。
保持しながら、被検流体のサンプリンタ流量を従来より
大幅に増大させた微粒子検出器を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明においては、流れの方
向に直角なレーザビームで照射された被検流体の領域即
ち検出領域を通って、被検流体の流れとレーザビームに
直角に受光光学系の光学軸を配置し、この光学軸上に２
組の受光光学系を前記検出領域の中心に対して対称とな
るように配置して、これら２組の受光光学系の集光立体
角の和が従来通常の場合の２倍となるようにし、かつ、
２組の受光光学系が集光した被検流体中の微粒子による
側方散乱光を光電変換した電気信号を、加算回路または
掛算回路で処理することによりＳ／Ｎ比を向上させるよ
うにした。
向に直角なレーザビームで照射された被検流体の領域即
ち検出領域を通って、被検流体の流れとレーザビームに
直角に受光光学系の光学軸を配置し、この光学軸上に２
組の受光光学系を前記検出領域の中心に対して対称とな
るように配置して、これら２組の受光光学系の集光立体
角の和が従来通常の場合の２倍となるようにし、かつ、
２組の受光光学系が集光した被検流体中の微粒子による
側方散乱光を光電変換した電気信号を、加算回路または
掛算回路で処理することによりＳ／Ｎ比を向上させるよ
うにした。
第１図は本発明一実施例を被検流体の流れの方向から眺
めた図、第２図は同実施例の検出領域近傍を被検流体の
流れの方向とレーザビームの方向の何れにも直角な方向
（この方向に受光光学系を配置することになる）から眺
めた図である。ｌはこの微粒子検出器の光源として用い
る外部鏡レーザ管である。レーザの発振は、レーザ管ｌ
と外部鏡２との間で行われる。第２図で、レーザビーム
３と被検流体（サンプルエア）１３が交わる部分を検出
領域４とよぶ。レーザビーム３の方向に対し、２組の受
光光学系の光学軸の方向は直交し、集光レンズ６．６″
、スリット７．７”、検出器（光電変換器）８．８″等
は検出領域４の中心に対し対称に配置されている。一方
、サンプルエア１３は、レーザビーム３と、２組の受光
光学系の光学軸のいずれにも直角な方向に流れている。
めた図、第２図は同実施例の検出領域近傍を被検流体の
流れの方向とレーザビームの方向の何れにも直角な方向
（この方向に受光光学系を配置することになる）から眺
めた図である。ｌはこの微粒子検出器の光源として用い
る外部鏡レーザ管である。レーザの発振は、レーザ管ｌ
と外部鏡２との間で行われる。第２図で、レーザビーム
３と被検流体（サンプルエア）１３が交わる部分を検出
領域４とよぶ。レーザビーム３の方向に対し、２組の受
光光学系の光学軸の方向は直交し、集光レンズ６．６″
、スリット７．７”、検出器（光電変換器）８．８″等
は検出領域４の中心に対し対称に配置されている。一方
、サンプルエア１３は、レーザビーム３と、２組の受光
光学系の光学軸のいずれにも直角な方向に流れている。
サンプルエア１３の中の粒子からの側方散乱光５．５°
は同じ量だけ集光レンズ６．６゛ に入射し、検出器
８．８′に到達して光電変換が行われる。この電気信号
をプリアンプ９．９′で増幅し、加算回路または掛算回
路１０で処理して電気的にＳ／Ｎ比を向上させてから更
に増幅器１１で増幅する。なお、第２図中、１２はピン
ホール、１４はクリーンエア、１５はクリーンエアノズ
ル、１６はサンプルエアノズル、１７は吸引ノズルであ
る。
は同じ量だけ集光レンズ６．６゛ に入射し、検出器
８．８′に到達して光電変換が行われる。この電気信号
をプリアンプ９．９′で増幅し、加算回路または掛算回
路１０で処理して電気的にＳ／Ｎ比を向上させてから更
に増幅器１１で増幅する。なお、第２図中、１２はピン
ホール、１４はクリーンエア、１５はクリーンエアノズ
ル、１６はサンプルエアノズル、１７は吸引ノズルであ
る。
本発明に係わる方式（デュアル受光方式）の利点は次の
点にある。デュアル受光方式の場合、検出器８．８′に
入射する側方散乱光は、従来の１集光レンズによるシン
グル受光方式に比べ合計２倍となるが、ノイズの方はノ
イズの発生が通常はランダムであるため、平均的にａ倍
程度にしがならない。したがってシングル受光方式でＳ
／Ｎ比が１の場合には、加算回路を用いた場合のＳ／Ｎ
比の改善は、加算回路１０の出力で２１５＝（Ｅとなり
、８倍の改善が可能となる。
点にある。デュアル受光方式の場合、検出器８．８′に
入射する側方散乱光は、従来の１集光レンズによるシン
グル受光方式に比べ合計２倍となるが、ノイズの方はノ
イズの発生が通常はランダムであるため、平均的にａ倍
程度にしがならない。したがってシングル受光方式でＳ
／Ｎ比が１の場合には、加算回路を用いた場合のＳ／Ｎ
比の改善は、加算回路１０の出力で２１５＝（Ｅとなり
、８倍の改善が可能となる。
ノイズが非常に離散的な場合（光電変換素子に光電子増
倍管を用いた場合など）には、掛算回路を用いることが
有効である。この場合、掛算回路１０の出力でのＳ／Ｎ
比はＳ／（Ｎ、・Ｎ、）となる。Ｎ／、Ｎ２はそれぞれ
プリアンプ９．９′での出力ノイズである。Ｎ１、Ｎ２
１Ｊ＜離散的な場合には、Ｎ７・Ｎ２−０となることも
あるため大幅なＳ／Ｎ比の改善が図れる。
倍管を用いた場合など）には、掛算回路を用いることが
有効である。この場合、掛算回路１０の出力でのＳ／Ｎ
比はＳ／（Ｎ、・Ｎ、）となる。Ｎ／、Ｎ２はそれぞれ
プリアンプ９．９′での出力ノイズである。Ｎ１、Ｎ２
１Ｊ＜離散的な場合には、Ｎ７・Ｎ２−０となることも
あるため大幅なＳ／Ｎ比の改善が図れる。
一般的には、プリアンプの出力がＳ／Ｎ比で８以上の時
と、ノイズが非常に離散的な場合には掛算回路が、それ
以外の時には加算ｌ路が有効である。
と、ノイズが非常に離散的な場合には掛算回路が、それ
以外の時には加算ｌ路が有効である。
以上説明したように本発明によれば、従来に比し、サン
プリング流量を大幅に増大させることが出来、かつ、限
界性能近くでのＳ／Ｎ比を改善することが出来る。
プリング流量を大幅に増大させることが出来、かつ、限
界性能近くでのＳ／Ｎ比を改善することが出来る。
第１図は本発明一実施例を被検流体の流れの方向から眺
めた図、第２図は同実施例の検出領域近傍を被検流体の
流れの方向とレーザビームの方向の何れにも直角な方向
から眺めた図である。 １−レーザ管、 ２−外部鏡、 ３−レーザビーム、
４−検出領域、 ５．５゛−側方散乱光、６．６゛ −
集光レンズ、７．７゛−スリット、 ８．８″−検出器
、 ９．９゛−・プリアンプ、 １〇−加算回路または
掛算回路、 ｉｉ−増幅器、１２−・ピンホール、１３
−・サンプルエア、１４−クリーンエア、１５−・クリ
ーンエアノズル、１６−サンプルエアノズル、 １７−
吸引ノズル。 代理人 弁理士 縣 武雄
めた図、第２図は同実施例の検出領域近傍を被検流体の
流れの方向とレーザビームの方向の何れにも直角な方向
から眺めた図である。 １−レーザ管、 ２−外部鏡、 ３−レーザビーム、
４−検出領域、 ５．５゛−側方散乱光、６．６゛ −
集光レンズ、７．７゛−スリット、 ８．８″−検出器
、 ９．９゛−・プリアンプ、 １〇−加算回路または
掛算回路、 ｉｉ−増幅器、１２−・ピンホール、１３
−・サンプルエア、１４−クリーンエア、１５−・クリ
ーンエアノズル、１６−サンプルエアノズル、 １７−
吸引ノズル。 代理人 弁理士 縣 武雄
Claims (1)
- 光散乱方式の微粒子検出器において、流れの方向に直角
なレーザビームに照射されている被検流体の領域即ち検
出領域を通って、被検流体の流れとレーザビームに直角
に、受光光学系の光学軸を配置し、この光学軸上に２組
の受光光学系を前記検出領域の中心に対して対称となる
ように配置し、かつ、２組の受光光学系が集光した微粒
子による側方散乱光を光電変換した電気信号を、加算回
路または掛算回路で処理するようにしたことを特徴とす
る微粒子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58136799A JPS6029643A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 微粒子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58136799A JPS6029643A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 微粒子検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6029643A true JPS6029643A (ja) | 1985-02-15 |
| JPH0336176B2 JPH0336176B2 (ja) | 1991-05-30 |
Family
ID=15183785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58136799A Granted JPS6029643A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 微粒子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6029643A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63188043A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-03 | 北辰工業株式会社 | ゴム成形品 |
| JPH01153562A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-15 | Tokuyama Soda Co Ltd | 珪酸カルシウム組成物 |
| US5154521A (en) * | 1990-05-16 | 1992-10-13 | Tokyo Electric Co., Ltd. | Printer having ribbon mask for reducing interference with recording sheet |
| WO2011121750A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-06 | 古河電気工業株式会社 | 光情報解析装置及び光情報解析方法 |
| US9193655B2 (en) | 2012-09-03 | 2015-11-24 | Kuraray Co., Ltd. | Method for producing 7-octenal |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5499657A (en) * | 1978-01-24 | 1979-08-06 | Toshiba Corp | Micrograin size measuring apparatus by laser beam |
| JPS56128555U (ja) * | 1980-02-29 | 1981-09-30 |
-
1983
- 1983-07-28 JP JP58136799A patent/JPS6029643A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5499657A (en) * | 1978-01-24 | 1979-08-06 | Toshiba Corp | Micrograin size measuring apparatus by laser beam |
| JPS56128555U (ja) * | 1980-02-29 | 1981-09-30 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63188043A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-03 | 北辰工業株式会社 | ゴム成形品 |
| JPH0618892B2 (ja) * | 1987-01-30 | 1994-03-16 | 北辰工業株式会社 | ゴム成形品 |
| JPH01153562A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-15 | Tokuyama Soda Co Ltd | 珪酸カルシウム組成物 |
| JPH0549622B2 (ja) * | 1987-12-11 | 1993-07-26 | Tokuyama Soda Kk | |
| US5154521A (en) * | 1990-05-16 | 1992-10-13 | Tokyo Electric Co., Ltd. | Printer having ribbon mask for reducing interference with recording sheet |
| WO2011121750A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-06 | 古河電気工業株式会社 | 光情報解析装置及び光情報解析方法 |
| US8482723B2 (en) | 2010-03-31 | 2013-07-09 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical information analyzer and optical information analysis method |
| US9193655B2 (en) | 2012-09-03 | 2015-11-24 | Kuraray Co., Ltd. | Method for producing 7-octenal |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0336176B2 (ja) | 1991-05-30 |
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