JPS6237160Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6237160Y2 JPS6237160Y2 JP1980025059U JP2505980U JPS6237160Y2 JP S6237160 Y2 JPS6237160 Y2 JP S6237160Y2 JP 1980025059 U JP1980025059 U JP 1980025059U JP 2505980 U JP2505980 U JP 2505980U JP S6237160 Y2 JPS6237160 Y2 JP S6237160Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particles
- scattered light
- laser
- measured
- side scattered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 26
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 3
- 101100244390 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) PMT7 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は大気中に含まれている塵埃などの微粒
子を光学的に検出するレーザダストモニタに関す
るものである。
子を光学的に検出するレーザダストモニタに関す
るものである。
レーザを用いたダストモニタは前方散乱光を補
えるより、側方散乱光を捕える方がＳ／Ｎ比がよ
い。特に0.1μｍのオーダのサブミクロンダスト
では、He−Neレーザを用いた場合前方も側方も
散乱光強度はほぼ同じであるため、より雑音光の
入り難い側方散乱がＳ／Ｎ比を向上させる上で有
利となる。
えるより、側方散乱光を捕える方がＳ／Ｎ比がよ
い。特に0.1μｍのオーダのサブミクロンダスト
では、He−Neレーザを用いた場合前方も側方も
散乱光強度はほぼ同じであるため、より雑音光の
入り難い側方散乱がＳ／Ｎ比を向上させる上で有
利となる。
第１図は、従来の側方散乱型レーザダストモニ
タの基本構成を示すものである。１はレーザ、２
はレーリーホーン３はエアロゾル（粒子を含む空
気流）導入ノズル、４はエアロゾル導出口、５は
側方散乱光を集光するレンズ、６は検出領域
（Sensing zone）を決めるスリツト、７は光電子
増倍管（PMT）、８は集光レンズの反対側に設け
られたレーリーホーンである。なお、Ｘ−X′，
Ｙ−Y′，Ｚ−Z′軸は、各光学系の方向を設定する
軸を表わす。
タの基本構成を示すものである。１はレーザ、２
はレーリーホーン３はエアロゾル（粒子を含む空
気流）導入ノズル、４はエアロゾル導出口、５は
側方散乱光を集光するレンズ、６は検出領域
（Sensing zone）を決めるスリツト、７は光電子
増倍管（PMT）、８は集光レンズの反対側に設け
られたレーリーホーンである。なお、Ｘ−X′，
Ｙ−Y′，Ｚ−Z′軸は、各光学系の方向を設定する
軸を表わす。
ところで、シングルモードの発振を行なうレー
ザは、特有の光強度分布を有し、普通Gaussian
で表わされる。
ザは、特有の光強度分布を有し、普通Gaussian
で表わされる。
第２図は、第１図の光学系に対して描いたレー
ザビームと粒子流３′との幾何学的配置関係を示
したものである。この図において、Ｚ軸はレーザ
ビーム光強度を示すために兼用されている。そ
して実際に有効に利用される光分布は、スリツト
６で限定されるため、幅δで切り取られた帯状
Gaussian分布となる。
ザビームと粒子流３′との幾何学的配置関係を示
したものである。この図において、Ｚ軸はレーザ
ビーム光強度を示すために兼用されている。そ
して実際に有効に利用される光分布は、スリツト
６で限定されるため、幅δで切り取られた帯状
Gaussian分布となる。
上記のように分布す光を同一直径の粒子が通過
したとき、発生する散乱光強度、すなわち光電子
増倍管PMT７の信号パルス波高値P.H.は同一値
を採らず、光強度の強い部分を通過した粒子から
は高いパルスが、弱い部分を通過した粒子からは
低いパルスが発生する。第３図においてもし光分
布が理想状態、すなわち平坦であれば、信号パル
ス波高値P.H.と通過粒子の数Ｎとは点線で表わ
される。しかし、Gaussian状の光強度分布であ
る場合は、実線のような個数分布を示す。
したとき、発生する散乱光強度、すなわち光電子
増倍管PMT７の信号パルス波高値P.H.は同一値
を採らず、光強度の強い部分を通過した粒子から
は高いパルスが、弱い部分を通過した粒子からは
低いパルスが発生する。第３図においてもし光分
布が理想状態、すなわち平坦であれば、信号パル
ス波高値P.H.と通過粒子の数Ｎとは点線で表わ
される。しかし、Gaussian状の光強度分布であ
る場合は、実線のような個数分布を示す。
信号パルス波高値P.H.と粒径ｄは対応関係に
あるから、図示実線のように分布するということ
は、同一粒径であり乍ら、間違つて異なる粒径と
して観測されたことを意味する。
あるから、図示実線のように分布するということ
は、同一粒径であり乍ら、間違つて異なる粒径と
して観測されたことを意味する。
上記のような誤差は、たとえGaussian分布の
頂上の比較的平坦な部分のみに検出領域を限定し
ようとしてスリツト６を縮めても何等効果のない
ことは第２図から明らかである。
頂上の比較的平坦な部分のみに検出領域を限定し
ようとしてスリツト６を縮めても何等効果のない
ことは第２図から明らかである。
従つて、本考案の目的は上記問題点を解消した
レーザダストモニタを提供することにある。
レーザダストモニタを提供することにある。
上記目的を達成するために本考案においては、
側方散乱光の集光方向を変更することにより、上
記の欠点を一挙に解消したもので、その基本構成
を第４図に示す。
側方散乱光の集光方向を変更することにより、上
記の欠点を一挙に解消したもので、その基本構成
を第４図に示す。
同図において、５′は集光レンズで、導入ノズ
ル３からの粒子流方向から来る側方散乱光を集光
するように配置される。４′は集光レンズ５′の中
心部に設けられたエアロゾル導出口である。
ル３からの粒子流方向から来る側方散乱光を集光
するように配置される。４′は集光レンズ５′の中
心部に設けられたエアロゾル導出口である。
第５図は、他の実施例で、９は反射鏡である。
このような粒子流方向からの側方散乱光を捕え
る場合、レーザビームの光分布の採り方は第６図
のようになる。
る場合、レーザビームの光分布の採り方は第６図
のようになる。
Z′の方向で集光し、かつ検出領域幅をδとする
と、粒子はδの領域を通過したものは、必らず
Gaussian光分布の最大値近傍を通過した後でな
ければ導出されなくなる。即ち信号パルス波高値
P.H.は殆んど最大値V0となる。
と、粒子はδの領域を通過したものは、必らず
Gaussian光分布の最大値近傍を通過した後でな
ければ導出されなくなる。即ち信号パルス波高値
P.H.は殆んど最大値V0となる。
したがつて、本考案の構成を採れば、第３図一
点鎖線のように極めて理想に近い個数分布に近づ
く。すなわち、同一粒径観測が可能となる。
点鎖線のように極めて理想に近い個数分布に近づ
く。すなわち、同一粒径観測が可能となる。
第１図は従来のレーザダストモニタの基本構成
図、第２図は第１図の光学系に対して描いたレー
ザビームと粒子流との幾何学的配置関係図、第３
図は粒子数と信号パルス波高値、粒子数と粒子径
の関係を示すグラフ、第４，５図はそれぞれ本考
案によるレーザダストモニタの基本構成図、第６
図は第４，５図の光学系に対して描いたレーザビ
ームと粒子流との幾何学的配置関係図である。 １：レーザ光源、２，８：レーリーホーン、
３：導入ノズル、３′：粒子流、４：導出ノズ
ル、５，５′：集光レンズ、６：スリツト、７：
光電子増倍管、９：反射鏡。
図、第２図は第１図の光学系に対して描いたレー
ザビームと粒子流との幾何学的配置関係図、第３
図は粒子数と信号パルス波高値、粒子数と粒子径
の関係を示すグラフ、第４，５図はそれぞれ本考
案によるレーザダストモニタの基本構成図、第６
図は第４，５図の光学系に対して描いたレーザビ
ームと粒子流との幾何学的配置関係図である。 １：レーザ光源、２，８：レーリーホーン、
３：導入ノズル、３′：粒子流、４：導出ノズ
ル、５，５′：集光レンズ、６：スリツト、７：
光電子増倍管、９：反射鏡。
Claims (1)
- 被測定粒子を含む流体の流路に対して直交する
ようにレーザビームを照射し、その側方散乱光を
検出して上記被測定粒子を検出するレーザダスト
モニタにおいて、上記側方散乱光として上記被測
定粒子を含む流体の流れの方向に対して同じ方向
の側方散乱光を検出するように検出光学系を配置
してなることを特徴とするレーザダストモニタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980025059U JPS6237160Y2 (ja) | 1980-02-29 | 1980-02-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980025059U JPS6237160Y2 (ja) | 1980-02-29 | 1980-02-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56128555U JPS56128555U (ja) | 1981-09-30 |
| JPS6237160Y2 true JPS6237160Y2 (ja) | 1987-09-22 |
Family
ID=29621121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1980025059U Expired JPS6237160Y2 (ja) | 1980-02-29 | 1980-02-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237160Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6029643A (ja) * | 1983-07-28 | 1985-02-15 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 微粒子検出器 |
| JPS6156940A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-03-22 | Hitachi Ltd | 液中の不純物を測定する方法とその装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3508830A (en) * | 1967-11-13 | 1970-04-28 | Shell Oil Co | Apparatus for light scattering measurements |
| US3869208A (en) * | 1972-01-28 | 1975-03-04 | Sartorius Membranfilter Gmbh | Particle-size spectrometers |
| JPS50117489A (ja) * | 1974-02-04 | 1975-09-13 | ||
| US3953127A (en) * | 1974-01-23 | 1976-04-27 | Battelle Development Corporation | Photon-counting integrating nephelometer |
-
1980
- 1980-02-29 JP JP1980025059U patent/JPS6237160Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3508830A (en) * | 1967-11-13 | 1970-04-28 | Shell Oil Co | Apparatus for light scattering measurements |
| US3869208A (en) * | 1972-01-28 | 1975-03-04 | Sartorius Membranfilter Gmbh | Particle-size spectrometers |
| US3953127A (en) * | 1974-01-23 | 1976-04-27 | Battelle Development Corporation | Photon-counting integrating nephelometer |
| JPS50117489A (ja) * | 1974-02-04 | 1975-09-13 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56128555U (ja) | 1981-09-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1135971A (en) | Radiant energy reradiating flow cell system and method | |
| JPS6237160Y2 (ja) | ||
| JP3436539B2 (ja) | 粒子分析のための改良型粒子センサ及び方法 | |
| CN109870394A (zh) | 一种双光束气溶胶粒子浓度检测装置 | |
| JPH0137689B2 (ja) | ||
| JPS6335395Y2 (ja) | ||
| JPH0196532A (ja) | 光散乱方式による微粒子検出装置 | |
| JPH01144850U (ja) | ||
| JP2589603B2 (ja) | 微粒子カウンター | |
| JPS60127540A (ja) | 光学式デイスクプレ−ヤの読出装置における対物レンズクリ−ナ− | |
| JPS62293143A (ja) | 微粒子測定装置 | |
| JPH0565020B2 (ja) | ||
| JPH05240770A (ja) | 粒子計数装置 | |
| JP2595315B2 (ja) | 光散乱式計測装置 | |
| JPS6093944A (ja) | 光散乱粒子測定装置 | |
| JPS6383633A (ja) | 微粒子測定装置 | |
| JP2696562B2 (ja) | 微粒子検出器におけるレーザの変動ノイズ排除方式 | |
| JPH05240769A (ja) | 粒子計数装置 | |
| JP2755393B2 (ja) | 小型粒子束モニタ | |
| JPH0550347U (ja) | 微粒子カウンター | |
| JPH0735678A (ja) | パーティクルセンサーヘッド | |
| JPH05149865A (ja) | 微粒子カウンター | |
| JPH0886739A (ja) | 粒子検出装置とこれを用いた空調装置 | |
| JPH0498145A (ja) | 流体中の微粒子計数装置 | |
| JPH07294415A (ja) | 粒子検出方法及び粒子検出装置とこれを用いた空調装置 |