JPH0336758Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、主として超高純度ガスを貯蔵するガ
ス容器に用いる薄板・可溶片併用式安全装置に関
し、ガス容器を加熱しながら真空引きしてガス容
器内から不純ガスを排出処理するときに、可溶片
の溶解温度よりも高い温度でガス容器を加熱でき
るようにする事により、ガス容器の加熱・真空引
きによる不純ガスの排出能力を高められるように
する技術である。

〈従来技術〉 本考案は、前提構造として、例えば第１図乃至
第７図にそれぞれ示すように、ガス容器内の異常
ガス圧を逃す圧力逃し孔２を安全装置本体１内に
あけ、圧力逃し孔２の終端部に環状の受座４を形
成し、受座４に破裂用薄板６の周縁部を押え筒９
で気密状に押圧固定し、押え筒９内に可溶片１４
を設けた構造を有するものに関する。

従来では、第５図又は第６図に示すように、前
記可溶片１４が押え筒９の筒孔内に溶融状態で充
填されたのち凝固することにより固着されていた
（例えば、実開昭59−132962号公報）。

なお、第５図に示す従来例１のものは、押え筒
９がボルト状に形成されて安全装置本体１にネジ
嵌合により内嵌固定されている。また、第６図に
示す従来例２のものは、押え筒９がナツト状に形
成されて安全装置本体１にネジ嵌合により外嵌固
定されたものである。

〈考案が解決しようとする問題点〉 近年、IC，LSI，超LSI等を製造するために、
超高純度（例えば99.99999％以上）のガスが要求
されてきている。

これに応えるため、ガス容器に対しては、貯蔵
する超高純度ガスの純度低下を防ぐため、ガスを
充填する前に、このガス容器を加熱しながら真空
引きをして不純ガスを排出する処理を施してい
る。これにより、容器内の不純ガスは勿論、容器
内表面の面粗さ間に付着している不純ガスも、ま
た、容器内壁における金属組識の表層部に吸着さ
れている不純ガスも容器外に排出される。

上記の場合、ガス容器を加熱する温度が高くな
るほど、容器の内表面や内壁の表層部から放出さ
れる不純ガスの量が多くなるので、不純ガスの排
出効果が高くなり、後に充填される高純度ガスの
純度低下が小さくなる。

しかしながら、上記従来例の薄板・可溶片併用
式安全装置の構造では、可溶片の溶解破損が起ら
ないようにするために、ガス容器の加熱温度を可
溶片の溶解温度（60〜110℃の場合が多い）以下
にとどめなければならない。この程度の加熱温度
では、容器の内表面や内壁の表層部からの吸着ガ
スの放出効果が全く不充分であり、後に充填され
る超高純度ガスの純度低下を充分抑制できない点
でまだ問題が残つている。

そこで、本考案者は、この問題を解決するため
に、本考案に先立ち、第７図に示すものを考え
た。これは、ガス容器を高温に加熱したときに、
可溶片１４が溶解しても蓋板２１で塞がれて流出
破損せず、ガス容器の加熱終了後に可溶片１４が
そのまま正しく凝固するようにしたものである。
図中、符号２２は蓋板押えである。

しかしながら、この先考案例では、安全装置が
安全作動して、可溶片１４が溶解したのち、破裂
用薄板６がガス容器内のガスの異常圧で破裂する
ときに、蓋板２１が溶解した可溶片１４を介して
薄板６をバツクアツプしてその破裂の抵抗になる
ため、破裂用薄板６の破裂圧力に誤差を生じさせ
る点で問題がある。

本考案は、可溶片が溶解破損することなくガス
容器を可溶片の溶解温度よりも高い温度に加熱す
る事により、このガス容器の内表面や内壁の表層
部からの吸着ガスの放出効果を高めて、後に充填
される超高純度ガスの純度低下を充分抑制できる
ようにし、しかも、破裂用薄板の破裂圧力に誤差
を生じさせないようにする事を目的とする。

〈問題点を解決するための手段〉 本考案は、上記目的を達成するために、例えば
第１図、第２図、第３図又は第４図に示すよう
に、上述の前提構造において、可溶片１４を支持
具１５に支持させ、可溶片１４を押え筒９の筒孔
内に挿抜自在に挿入して、支持具１５を押え筒９
と安全装置本体１との小なくとも一方に着脱自在
に固定した事を特徴とするものである。

〈作用〉 ガス容器を加熱しながら真空引きして、ガス容
器内から不純ガスを排出処理するときには、可溶
片１４を押え筒９の筒孔から取り外しておく。一
方、破裂用薄板６は押え筒９で受座４に気密状に
押圧固定して、圧力逃し孔２を閉塞したままにし
ておく。

この状態でガス容器を高温に加熱しても、取り
外された可溶片１４は溶解破損することがない。

加熱・真空引き処理の終了後にガス容器が冷却
してから、可溶片１４を押え筒９の筒孔内に組み
付けておく。

そして、火災などで安全装置が安全作動して、
可溶片１４が溶解し、破裂用薄板６が破裂すると
きには、この破裂用薄板６が他物からの抵抗を受
けることなく破裂する。

〈実施例〉 以下、本考案の実施例を図面に基づき説明す
る。

実施例１ （第１図参照） 安全装置本体１は、ガス容器の肩部に固定され
るか、容器元弁の弁箱と一体に形成されるかす
る。安全装置本体１内に、ガス容器内の異常ガス
圧を逃す圧力逃し孔２と収容孔３とが直列してあ
けられる。圧力逃し孔２の終端部に環状の受座４
が形成される。

受座４に金属製ガスケツト５を介して破裂用薄
板６が、内鍔７付きナツト８で押え筒９を介して
気密状に押圧固定される。ナツト８は収容孔３の
周壁１０の外周面にねじ嵌合する。押え筒９は元
筒１１と先筒１２とを突合せてなり、収容孔３に
挿入されている。収容孔３外に突出する元筒１１
の外端部から外鍔１３が突設され、外鍔１３がナ
ツト８の内鍔７と接当する。先筒１２の先端面が
破裂用薄板６に接当する。

可溶片１４は筒ねじ形の支持具１５の筒孔内か
ら先端外にまで亘つて固定支持されている。可溶
片１４が押え筒９の筒孔内に挿抜自在に挿入され
た状態で、支持具１５が押え筒９の元筒１１内に
ねじ嵌合により着脱自在に固定される。支持具１
５の頭部１６は、ナツト８の内鍔７内で元筒１１
の元端面１７に受止められて可溶片１４の先端面
を位置決めするものである。

なお、以上の構造の組付け手順を次に説明す
る。

まず、収容孔３にガスケツト５、破裂用薄板
６、先筒１２及び元筒１１を順に挿入してから、
ナツト８を収容孔３の周壁１０に少しだけねじ嵌
合しておく。

次に、組立て治具で安全装置本体１を固定して
元筒１１の元端面１７を強い力で押圧固定し、こ
の状態でナツト８を締付けて、ガスケツト５、破
裂用薄板６、先筒１２及び元筒１１を固定する。

最後に、安全装置本体１を組立て治具から外
し、支持具１５を元筒１１内にねじ込んで固定す
る。

上記のように、組立て治具で元筒１１の元端面
１７を押圧固定した状態でナツト８を締付けると
きには、元筒１１、先筒１２、破裂用薄板６及び
ガスケツト５の全てがナツト８につれ回されなく
なるため、受座４、ガスケツト５及び破裂用薄板
６の接触面間のすべりによる金属摩耗微粉の発生
を防止できる。

即ち、金属摩耗微粉が発生すると、これが圧力
逃し孔２からガス容器内または容器弁内に侵入し
て、その内部の超高純度ガスを汚染するが、これ
を防止できるのである。

実施例２ （第２図参照） 第２図に示すものは、上述した第１図の構造に
おいて、その一部を、次のように変更したもので
ある。

押え筒９は１本の筒で形成され、Ｕ溝１８とピ
ン１９との案内嵌合からなる直進ガイド２０によ
り回り止めされる。

この構造の場合、組立て時に組立て治具を用い
ないでも、受座４、ガスケツト５及び破裂用薄板
６の接触面間のすべりによる金属摩耗微粉の発生
を防止できる。

実施例３ （第３図参照） 第３図に示すものは、第１図の構造の一部を次
のように変更したものである。

押え筒９は１本の筒ねじで形成され、収容孔３
の内周面にねじ嵌合により固定される。これによ
り、第１図のナツト８を省略できる。

実施例４ （第４図参照） 第４図に示すものは、第１図の構造の一部を次
のように変更したものである。

押え筒９は１本の筒ねじで形成され、収容孔３
の内周面にねじ嵌合により固定される。支持具１
５を直円筒状に形成して押え筒９に挿抜自在に挿
入するとともに、ナツト８と一体に形成する。こ
れによつて、ナツト８を介して収容孔３の周壁１
０に支持具１５を固定したものである。

〈考案の効果〉 本考案は、上記のように構成され、作用する事
から、次の効果を奏する。

イ ガス容器の加熱・真空引きによる不純ガス排
出処理時に、可溶片を押え筒の筒孔から取り外
しておく事により、可溶片を溶解破損させる事
なく、可溶片の溶解温度よりも高い温度（例え
ば、200〜250℃）にガス容器を加熱する事がで
きる。これにより、ガス容器の不純ガスの排出
効果を高めて、後に充填される超高純度ガスの
純度低下を充分に抑制する事ができる。

ロ 安全装置が安全作動して、可溶片が溶解し、
破裂用薄板が破裂するときには、この破裂用薄
板が他物からの抵抗を受ける事なく破裂するの
で、その破裂圧に誤差が生じない。

【図面の簡単な説明】

第１図から第４図はこの考案の実施例１から４
を示す縦断正面図、第５図と第６図はそれぞれ従
来例１と２を示す縦断正面図、第７図は先考案例
を示す縦断正面図である。 １……安全装置本体、２……圧力逃し孔、４…
…受座、６……破裂用薄板、９……押え筒、１４
……可溶片、１５……支持具。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ガス容器内の異常ガス圧を逃す圧力逃し孔２を
   安全装置本体１内にあけ、圧力逃し孔２の終端部
   に環状の受座４を形成し、受座４に破裂用薄板６
   の周縁部を押え筒９で気密状に押圧固定し、押え
   筒９内に可溶片１４を設けてなるガス容器用薄
   板・可溶片併用式安全装置において、上記可溶片
   １４を支持具１５に支持させ、可溶片１４を押え
   筒９の筒孔内に挿抜自在に挿入して、支持具１５
   を押え筒９と安全装置本体１との小なくとも一方
   に着脱自在に固定した事を特徴とするガス容器用
   薄板・可溶片併用式安全装置。