JPH0334231U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0334231U JPH0334231U JP9346389U JP9346389U JPH0334231U JP H0334231 U JPH0334231 U JP H0334231U JP 9346389 U JP9346389 U JP 9346389U JP 9346389 U JP9346389 U JP 9346389U JP H0334231 U JPH0334231 U JP H0334231U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- alignment mark
- mark
- mask alignment
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の実施例を示すフオトマスク基
板のマスク合わせマーク及びマスク合わせマーク
チツプ検出用マークを示す図、第２図は従来のフ
オトマスク基板のマスク合わせマーク及びマスク
合わせマークチツプ検出用マークを示す図、第３
図は従来の他のフオトマスク基板のマスク合わせ
マーク及びマスク合わせマークチツプ検出用マー
クを示す図、第４図は本考案の他のフオトマスク
基板のマスク合わせマーク及びマスク合わせマー
クチツプ検出用マークを示す図である。 ２１，３１……マスク合わせマーク、２２，３
２……グリツドライン、２３，３３……マスク合
わせマークチツプ検出用マーク。
板のマスク合わせマーク及びマスク合わせマーク
チツプ検出用マークを示す図、第２図は従来のフ
オトマスク基板のマスク合わせマーク及びマスク
合わせマークチツプ検出用マークを示す図、第３
図は従来の他のフオトマスク基板のマスク合わせ
マーク及びマスク合わせマークチツプ検出用マー
クを示す図、第４図は本考案の他のフオトマスク
基板のマスク合わせマーク及びマスク合わせマー
クチツプ検出用マークを示す図である。 ２１，３１……マスク合わせマーク、２２，３
２……グリツドライン、２３，３３……マスク合
わせマークチツプ検出用マーク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 マスク合わせマークの配置されているチツプと
、マスク合わせマークの配置されていないチツプ
とが混在しているフオトマスク内でマスク合わせ
マークが配置されていないチツプに配置されたマ
スク合わせマークチツプ用検出マークにおいて、 各チツプからのマスク合わせマークの配置され
ているチツプに対する方向及び該チツプから離れ
ているチツプ数を判断可能なマークを具備するこ
とを特徴とするマスク合わせマークチツプ検出用
マーク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9346389U JPH0334231U (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9346389U JPH0334231U (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0334231U true JPH0334231U (ja) | 1991-04-04 |
Family
ID=31642846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9346389U Pending JPH0334231U (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0334231U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011071078A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Primax Electronics Ltd | キー構造及びその構造を具えるキーボード |
-
1989
- 1989-08-10 JP JP9346389U patent/JPH0334231U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011071078A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Primax Electronics Ltd | キー構造及びその構造を具えるキーボード |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0334231U (ja) | ||
| JPH0169238U (ja) | ||
| JPH01130150U (ja) | ||
| JPS58419U (ja) | レチクル | |
| JPH0331088U (ja) | ||
| JPS6351484U (ja) | ||
| JPS5998445U (ja) | ホトマスク | |
| JPS62199940U (ja) | ||
| JPH0398447U (ja) | ||
| JPH01125440U (ja) | ||
| JPS6265835U (ja) | ||
| JPH01121924U (ja) | ||
| JPS6449841U (ja) | ||
| JPS63110029U (ja) | ||
| JPS62204324U (ja) | ||
| JPS6445841U (ja) | ||
| JPS6319842U (ja) | ||
| JPH02133758U (ja) | ||
| JPS6068636U (ja) | レテイクルマスク | |
| JPS5825039U (ja) | 半導体基板 | |
| JPS59155734U (ja) | 位置合わせマ−ク | |
| JPS60159436U (ja) | 半導体装置製造用ガラスマスク | |
| JPH02122467U (ja) | ||
| JPH04753U (ja) | ||
| JPS62122342U (ja) |