JPS6319842U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6319842U JPS6319842U JP1986110843U JP11084386U JPS6319842U JP S6319842 U JPS6319842 U JP S6319842U JP 1986110843 U JP1986110843 U JP 1986110843U JP 11084386 U JP11084386 U JP 11084386U JP S6319842 U JPS6319842 U JP S6319842U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- specific pattern
- real
- specific
- exposure mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の露光用マスク装置のチツプパ
ターンを説明する上面図、第２図は一般的な露光
用マスク装置の全体を説明する上面図、第３図は
従来の露光用マスク装置のチツプパターンを説明
する上面図である。 １は露光用マスク装置、２はチツプパターン、
３は実パターン、４はマスク識別用特定パターン
である。
ターンを説明する上面図、第２図は一般的な露光
用マスク装置の全体を説明する上面図、第３図は
従来の露光用マスク装置のチツプパターンを説明
する上面図である。 １は露光用マスク装置、２はチツプパターン、
３は実パターン、４はマスク識別用特定パターン
である。
Claims (1)
- 所望の形状をした実パターンと文字、記号等よ
り成るマスク識別用特定パターンとを具備し、前
記実パターン上に重ねて前記特定パターンを設け
、前記特定パターンを露光不能なサイズの点描画
パターンとすることを特徴とする露光用マスク装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986110843U JPS6319842U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986110843U JPS6319842U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6319842U true JPS6319842U (ja) | 1988-02-09 |
Family
ID=30990220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986110843U Pending JPS6319842U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6319842U (ja) |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP1986110843U patent/JPS6319842U/ja active Pending