JPH0332527Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は主として半導体ウエハその他の比較的
小型のワークを処理すべく使用される回転めつき
装置に関する。

（従来の技術） 従来この種装置として、例えば実公昭60−2186
号公報に見られるように、処理槽内に、上側のモ
ータとこれに連動する下側の駆動歯車とを有する
架枠を設けると共に、その側方に上側の吊下片と
下側の回転バレルとを有するバレル支持枠を該吊
下片で該架枠に吊下げて取出自在に設け、該回転
バレルをその外周に形成した歯車で、該駆動歯車
に噛合わせる式のものは知られる。

（考案が解決しようとする課題） しかしながら、ワークが半導体ウエハのよう
な、薄く軽く一部でも平らな面を持つようなもの
の場合、回転バレルの内側壁や開口部等に密着
し、または回転バレルの側壁の孔等に引掛つて回
転バレルと共に回転して、通電が断続的に行なわ
れるとめつき不良を起す。

そしてめつき処理された製品中にめつき不良の
ものの数個が混入すれば、実作業では選別が不可
能であり、一バレルの製品全体がロツトアウトに
なる場合が多い。

（課題を解決するための手段） 本考案はかかる課題を解決した装置即ち回転バ
レルにワークが付着することを可及的に防止した
装置を得ることをその目的とするもので、処理槽
内に、上側のモータとこれに連動する下側の駆動
歯車とを有する架枠を設けると共に、その側方に
上側の吊下片と下側の回転バレルとを有するバレ
ル支持枠を該吊下片で該架枠に吊下げて取出自在
に設け、該回転バレルをその外周に形成した歯車
で、該駆動歯車に噛合わせる式のものに於いて、
該架枠の上側に揺動レバをその中間を軸支させて
設け、該揺動レバの一側に該バレル支持枠の上側
に設けた該吊下片を吊下げる吊下具を設けると共
に他側に該モータの回転軸から突片を突出させて
構成した回転カムを臨ませ、該モータによる該回
転カムの回転で該揺動レバを押下げる動作とこれ
を解く動作を繰返すようにして成る。

（作用） 今、モータにより駆動歯車を駆動させ、これと
噛合う歯車を回転させるときは、回転バレルが回
転する。

そしてこれと同時に、モータに連動して回転す
る回転カムにより、該揺動レバを押下げる動作と
これを解く動作を繰返す。このため揺動レバの一
側は該回転カムの回転によつて上方に持上げられ
た後、次いで回転バレルの自重により降下する上
下運動をする。

これに伴つて回転バレルはその歯車が前記駆動
歯車との噛合いを保ちつつ上下運動をする。この
上下運動時に前記した如く回転バレルの内側壁や
開口部等に密着し、または回転バレルの側壁の孔
等に引掛つて回転バレルと共に回転するワークは
衝撃を受け、回転バレルの内側壁等から離脱され
る。

（実施例） 次に本考案の実施の１例を別紙図面に基づいて
説明する。

図面で、１はめつき槽を示し、該めつき槽１内
に上側のモータと、これに歯車列を介して連動す
る下側の駆動歯車３とを有する架枠４を設けると
共に、その側方に上側の吊下片５と下側の回転バ
レル６とを有するバレル支持枠７を該吊下片５で
前記架枠４に吊下げて取出自在に設け、該回転バ
レル６をその両側端の左右１対の比較的大径のフ
ランジ８，８の一方の外周に設けた歯車９で前記
駆動歯車３に噛合わせて、めつき液中で該回転バ
レル６を駆動回転させつつ該回転バレル６に収め
たワークにめつきを施す。

かかる構成は従来知られているものと特にかわ
るところはない。

本考案は、かかるものに於いて、該架枠４の上
側に揺動レバ１０をその中間を軸支させて設け、
該揺動レバ１０の一側に該バレル支持枠７の上側
に設けた該吊下片５を吊下げる吊下具１１を設け
ると共に他側に該モータ２の回転軸２ａから突片
１２ａを突出させて構成した回転カム１２を臨ま
せ、該モータ２による該回転カム１２の回転で該
揺動レバ１０を押下げる動作とこれを解く動作を
繰返すようにしたもので、これを詳述すれば、前
記揺動レバ１０は逆Ｔ字型であつて、その一側
に、バレル支持枠７の上端両側に設けた吊下片５
としての金属製フツクを係止する金属棒からなる
吊下具１１を備えると共に、他側上面にモータ２
の回転軸２ａから突片１２ａを突出させて構成し
た回転カム１２を臨ませ、該モータ２の回転によ
る該回転カム１２の突片１２ａと該揺動レバ１０
の他側との当接と離脱との繰返しにより、該揺動
レバ１０を押下げる動作とこれを解く動作を繰返
すようにして成り、該回転カム１２はモータ２と
歯車１３を介して駆動される。

図面で、１４はめつき槽１上に設けたカソード
バー、１５はアノードバーを示し、図示する架枠
４はこれの上部左右両側に設けた１対の腕杆１
６，１６で両バー１４，１５上に載置すると共
に、該腕杆１６，１６をカソードバー１４のみと
電気的に接続させ、且つ前記吊下片５を揺動レバ
１０を介して該腕杆１６，１６上に取付け、該吊
下片５に電気的に接続させて回転バレル６の両端
から回転バレル６内に臨むダングラー１７を取付
けた。

（考案の効果） このように本考案によるときは、架枠の上側に
揺動レバをその中間を軸支させて設け、該揺動レ
バの一側にバレル支持枠の上側に設けた吊下片を
吊下げる吊下具を設けると共に他側にモータの回
転軸から突片を突出させて構成した回転カムを臨
ませ、該モータによる該回転カムの回転で該揺動
レバを押下げる動作とこれを解く動作を繰返すよ
うにしたので、共通１個のモータの駆動によつて
回転バレルを回転させると共に該バレル支持枠を
上下動させることができ、これによつて該回転バ
レル内へのめつき液の流入・流出が盛んになつて
良好なめつきが施されると共に、特に下動時の衝
撃によつてワークが回転バレルの内側壁や開口部
等に密着し、または回転バレルの側壁の孔等に引
掛つて回転バレルと共に回転する状態となるのを
可及的に防止できて、所望のめつき処理が施され
ないこと、即ち不良品が発生することを可及的に
防止できる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施の１例を示す正面図、第
２図はその−線截断面図である。 １……めつき槽（処理槽）、２……モータ、３
……駆動歯車、４……架枠、５……吊下片、６…
…回転バレル、７……バレル支持枠、９……歯
車、１０……揺動レバ、１１……吊下具。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 処理槽内に、上側のモータとこれに連動する下
   側の駆動歯車とを有する架枠を設けると共に、そ
   の側方に上側の吊下片と下側の回転バレルとを有
   するバレル支持枠を該吊下片で該架枠に吊下げて
   取出自在に設け、該回転バレルをその外周に形成
   した歯車で、該駆動歯車に噛合わせる式のものに
   於いて、該架枠の上側に揺動レバをその中間を軸
   支させて設け、該揺動レバの一側に該バレル支持
   枠の上側に設けた該吊下片を吊下げる吊下具を設
   けると共に他側に該モータの回転軸から突片を突
   出させて構成した回転カムを臨ませ、該モータに
   よる該回転カムの回転で該揺動レバを押下げる動
   作とこれを解く動作を繰返すようにして成る回転
   めつき装置。