JPH0331894A - 電極間の短絡検出方法及びその装置 - Google Patents
電極間の短絡検出方法及びその装置Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 4
- 102220029346 rs34541442 Human genes 0.000 abstract 1
- 102220012898 rs397516346 Human genes 0.000 abstract 1
- 102220015875 rs6734111 Human genes 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は液晶表示素子等に用いられる基板上に帯状に並
んだ複数の電極の間の短絡を検出する方法及びその装置
に関するものである。
んだ複数の電極の間の短絡を検出する方法及びその装置
に関するものである。
［従来の技術］
液晶表示素子等の基板上に設けた帯状電極を形成する製
造工程において、しばしば隣り合う電極間で短絡が発生
することがあり、その短絡箇所を検出し、短絡を修理す
ることが必要になることがある。このような際の短絡を
検出する方法としては、顕微鏡を使用した目視によって
の外観検査、いわゆる黙視法が一般に行なわれている。
造工程において、しばしば隣り合う電極間で短絡が発生
することがあり、その短絡箇所を検出し、短絡を修理す
ることが必要になることがある。このような際の短絡を
検出する方法としては、顕微鏡を使用した目視によって
の外観検査、いわゆる黙視法が一般に行なわれている。
しかし目視法には、電極パターンが近年ますます微細化
するｌこ従い、測定者の疲労や、見落としの発生、また
、基板の汚染の可能性、検出に要する時間がかかりすぎ
る等の問題があり、大量生産を前提とした表示素子等の
製造工程用することは好ましいものではなかった。
するｌこ従い、測定者の疲労や、見落としの発生、また
、基板の汚染の可能性、検出に要する時間がかかりすぎ
る等の問題があり、大量生産を前提とした表示素子等の
製造工程用することは好ましいものではなかった。
そのような問題を解決するために、特開昭６２−６６１
５２号には、短絡を検出すべき２本の電極上に２つのプ
ローブを接触させて、その２本の電極の間の短絡の有無
を検出するいわゆる導通法が提案されている。
５２号には、短絡を検出すべき２本の電極上に２つのプ
ローブを接触させて、その２本の電極の間の短絡の有無
を検出するいわゆる導通法が提案されている。
［発明の解決しようとする課題］
しかしこのような導通法を採用した場合にも、特定の２
本の電極間に短絡が発生していることが分かるのみであ
り、その位置をそのＮ極のうちのどの部分が短絡してい
るかは分らず、結局、短絡が検出された電極を顕微鏡等
で目視観察して、短絡箇所を検出し、修理するしかなか
った。従って、前述の目視法のみを用いた場合に比べて
、若干改善されるものの、やはり、非常に労力がかかる
不便なものであった。
本の電極間に短絡が発生していることが分かるのみであ
り、その位置をそのＮ極のうちのどの部分が短絡してい
るかは分らず、結局、短絡が検出された電極を顕微鏡等
で目視観察して、短絡箇所を検出し、修理するしかなか
った。従って、前述の目視法のみを用いた場合に比べて
、若干改善されるものの、やはり、非常に労力がかかる
不便なものであった。
特に電極の下に色付きのフィルターがある場合には微小
な短絡は見に＜＜、電極間の異物の存在で短絡している
時等では、目視での判別ができない場合が多かった。
な短絡は見に＜＜、電極間の異物の存在で短絡している
時等では、目視での判別ができない場合が多かった。
［課題を解決するための手段］
本発明はかかる課題を解決するためになされたものであ
り、帯状に並んだ複数の電極を有する少なくとも１枚の
基板内で近接した電極間の短絡を検出する方法であって
、前言己電極のうちから選ばれた第１の電極の両端部の
それぞれに２つのプローブを接触させるとともに、第１
の電極との短絡の有無を検出されるべき第２の電極の一
方の端部または両方の端部であって、第１の電極に接触
しているプローブに近接した位置にプローブを接触させ
、上記のプローブのうちから選ばれた３種類の２つのプ
ローブの間の抵抗値であって、お互いに１次独立である
抵抗値を推定または測定することにより、第１の電極と
第２の電極の間の短絡の有無及びその場所を検出するこ
とを特徴とする電極間の短絡検出方法及び帯状に並んだ
複数の電極を有する少なくとも１枚の基板内で近接した
電極間の短絡を挟：ｉシする装置であって、前記電極の
うちから選ばれた第１の電極の両端部にそれぞれ接触さ
せる２つのプローブと、第１の電極との短絡の有無を検
出されるべき第２の電極の一方の端部または両方の端部
であって、第１の電極に接触しているプローブに近接し
た位置に接触させるプローブと、上記のプローブの間の
抵抗値を測定する手段と、その抵抗値から第１の電極と
第２の電極の間の短絡の有無及びその場所を演算して検
出する演算装置とを有することを特徴とする電極間の短
絡検出装置を提供するものである。
り、帯状に並んだ複数の電極を有する少なくとも１枚の
基板内で近接した電極間の短絡を検出する方法であって
、前言己電極のうちから選ばれた第１の電極の両端部の
それぞれに２つのプローブを接触させるとともに、第１
の電極との短絡の有無を検出されるべき第２の電極の一
方の端部または両方の端部であって、第１の電極に接触
しているプローブに近接した位置にプローブを接触させ
、上記のプローブのうちから選ばれた３種類の２つのプ
ローブの間の抵抗値であって、お互いに１次独立である
抵抗値を推定または測定することにより、第１の電極と
第２の電極の間の短絡の有無及びその場所を検出するこ
とを特徴とする電極間の短絡検出方法及び帯状に並んだ
複数の電極を有する少なくとも１枚の基板内で近接した
電極間の短絡を挟：ｉシする装置であって、前記電極の
うちから選ばれた第１の電極の両端部にそれぞれ接触さ
せる２つのプローブと、第１の電極との短絡の有無を検
出されるべき第２の電極の一方の端部または両方の端部
であって、第１の電極に接触しているプローブに近接し
た位置に接触させるプローブと、上記のプローブの間の
抵抗値を測定する手段と、その抵抗値から第１の電極と
第２の電極の間の短絡の有無及びその場所を演算して検
出する演算装置とを有することを特徴とする電極間の短
絡検出装置を提供するものである。
第１図は本発明の基本的原理を説明する他の原理図であ
る。第１図において、Ｘｌ、Ｘｚはその間の短絡を検出
するべき近接した電極パターン、Ｐ、 、Ｐ、、Ｐｌ、
Ｒ４は電極ＸＸ２の短絡検出用にプローブを立てる位置
であり、Ｘ、、Ｘ、の端部にあり、Ｐ、、Ｐ、とＰ、、
Ｒ４とはそれぞれ近接している。電極Ｘ、、Ｘ、上のプ
ローブＰ、、Ｐ、間、又はＰ、、Ｒ４間の距離及び抵抗
値はＰ、、Ｐ、とｐｔ、ｐｎとはそれぞれ近接している
ため、Ｘ、、Ｘ、上でそれぞれ近似的に同一となみすこ
とができ、これをり、Ｒ１とすれば短絡位置と基準点（
ここではＰＩとする）との距離のＬに対する比をＸとす
ると、基準点Ｐ１より短絡箇所までの距離及び抵抗値は
それぞれｘ Ｌ、ｘＲと表わすことができる。
る。第１図において、Ｘｌ、Ｘｚはその間の短絡を検出
するべき近接した電極パターン、Ｐ、 、Ｐ、、Ｐｌ、
Ｒ４は電極ＸＸ２の短絡検出用にプローブを立てる位置
であり、Ｘ、、Ｘ、の端部にあり、Ｐ、、Ｐ、とＰ、、
Ｒ４とはそれぞれ近接している。電極Ｘ、、Ｘ、上のプ
ローブＰ、、Ｐ、間、又はＰ、、Ｒ４間の距離及び抵抗
値はＰ、、Ｐ、とｐｔ、ｐｎとはそれぞれ近接している
ため、Ｘ、、Ｘ、上でそれぞれ近似的に同一となみすこ
とができ、これをり、Ｒ１とすれば短絡位置と基準点（
ここではＰＩとする）との距離のＬに対する比をＸとす
ると、基準点Ｐ１より短絡箇所までの距離及び抵抗値は
それぞれｘ Ｌ、ｘＲと表わすことができる。
このとき、短絡部の抵抗値をｒとすれば、未知の値は、
ｘ、Ｒ，ｒの３つなので、もし、上記のプローブのうち
から３種類選ばれた２つのプローブの間の抵抗値であっ
て、お互いに１次独立であるものを測定することができ
れば未知の値Ｘを知ることができる。
ｘ、Ｒ，ｒの３つなので、もし、上記のプローブのうち
から３種類選ばれた２つのプローブの間の抵抗値であっ
て、お互いに１次独立であるものを測定することができ
れば未知の値Ｘを知ることができる。
ここで、互いに１次独立な３種類の抵抗値とは、そのう
ち２つの１次結合をとることにより、他の１つの抵抗値
を得ることができない関係を言う。例えば、Ｐ、とＰ、
の間の抵抗値をＲ５，ということにすれば、Ｒ１４、Ｒ
ｚｘ、Ｒ１２はＲｉｓ”Ｒ＋＜という関係があるので１
次独立でない。
ち２つの１次結合をとることにより、他の１つの抵抗値
を得ることができない関係を言う。例えば、Ｐ、とＰ、
の間の抵抗値をＲ５，ということにすれば、Ｒ１４、Ｒ
ｚｘ、Ｒ１２はＲｉｓ”Ｒ＋＜という関係があるので１
次独立でない。
１次独立抵抗値の組み合せの例として、Ｒ，２、Ｒ＋ｓ
、Ｒ１４及びＲ１２、Ｒ＋ｘ、Ｒ１４及びＲ＋ｉ＋Ｒ＋
ｓ、Ｒ２１１及びそれらを上下あるいは左右で反転した
配置の組み合せのものがある。
、Ｒ１４及びＲ１２、Ｒ＋ｘ、Ｒ１４及びＲ＋ｉ＋Ｒ＋
ｓ、Ｒ２１１及びそれらを上下あるいは左右で反転した
配置の組み合せのものがある。
具体的な演算方法について例を挙げるならば、例＾ば、
Ｆ（＋ａ、Ｒ１、Ｒｌｓが分かれば、Ｒ，１＝ｆ（なの
で、 Ｆ＜ 、４： Ｒ＋ ｒ ＝＝・（１）Ｒｌｓ＝
２ ｘ Ｒ＋ ｒ ＝＝＝ （２）の関係から、 ｘ＝ （Ｒｌｓ−Ｒ＋ａ＋Ｒ）／２Ｒ−−−（３）よ
りｘＬとして与えられる。
Ｆ（＋ａ、Ｒ１、Ｒｌｓが分かれば、Ｒ，１＝ｆ（なの
で、 Ｆ＜ 、４： Ｒ＋ ｒ ＝＝・（１）Ｒｌｓ＝
２ ｘ Ｒ＋ ｒ ＝＝＝ （２）の関係から、 ｘ＝ （Ｒｌｓ−Ｒ＋ａ＋Ｒ）／２Ｒ−−−（３）よ
りｘＬとして与えられる。
Ｒ１１、Ｒ１４については、はぼどの電極も同じ値（＝
Ｒ）と見なせる場合が多く、１つの電極について測定し
た後はその値を推定値として使用しても良い。
Ｒ）と見なせる場合が多く、１つの電極について測定し
た後はその値を推定値として使用しても良い。
以上のような方法を実現するための装置の概念図を第２
図と第３図に示した６ 第２図は、非検査電極をプローブで機械的に電極の帯の
方向とほぼ垂直な方向になぞることにより、電極に電圧
を印加して、短絡の有無、及び短絡の場所を検出するこ
とができる様にしたものであり、プローブは４つとした
。
図と第３図に示した６ 第２図は、非検査電極をプローブで機械的に電極の帯の
方向とほぼ垂直な方向になぞることにより、電極に電圧
を印加して、短絡の有無、及び短絡の場所を検出するこ
とができる様にしたものであり、プローブは４つとした
。
この場合、例久ばＰ、、Ｒ２間、Ｐ、、Ｒ４間、ｐ、、
ｐ、間の抵抗値を測定し、上記したような所定の演算を
施すことにより、短絡の有無及び短絡位置の検出が可能
である。このとき、Ｐ、、Ｐ、間の抵抗値を測定して、
他のｘ１以外の電極の抵抗値と比較することにより、直
ちにＸ、の断線の有無も同時に分かり、又、Ｐ、、Ｒ４
間の抵抗値を測定して、他の電極での同様の抵抗値と比
較すれば、直ちに電極Ｘ、、Ｘ２間の短絡の有無が分か
ることになる。
ｐ、間の抵抗値を測定し、上記したような所定の演算を
施すことにより、短絡の有無及び短絡位置の検出が可能
である。このとき、Ｐ、、Ｐ、間の抵抗値を測定して、
他のｘ１以外の電極の抵抗値と比較することにより、直
ちにＸ、の断線の有無も同時に分かり、又、Ｐ、、Ｒ４
間の抵抗値を測定して、他の電極での同様の抵抗値と比
較すれば、直ちに電極Ｘ、、Ｘ２間の短絡の有無が分か
ることになる。
又、Ｐ、、Ｐ、間及びＰ、、Ｒ４間の抵抗値を測定した
後電圧印加を回路で、Ｐ、、Ｒ２に切換＾、ｐ、、ｐ、
間の抵抗値を測定できる様にすれば、Ｐ、は不要となる
。
後電圧印加を回路で、Ｐ、、Ｒ２に切換＾、ｐ、、ｐ、
間の抵抗値を測定できる様にすれば、Ｐ、は不要となる
。
また、第３図の様に、被検査電極端全部又は部分的にプ
ローブなどの接触子を立てそれぞれの電極に電流を流す
様にし、断線・短絡を検査する検査機に組み込みことに
より、断線・短絡検査と同時に短絡位置を検出すること
も可能である。
ローブなどの接触子を立てそれぞれの電極に電流を流す
様にし、断線・短絡を検査する検査機に組み込みことに
より、断線・短絡検査と同時に短絡位置を検出すること
も可能である。
本発明に係る電極間の短絡検出方法及びその装置は、液
晶表示素子の電極間の短絡の検出のみならず、帯状に並
んだ電極間の短絡の検出をする際には広く有効である。
晶表示素子の電極間の短絡の検出のみならず、帯状に並
んだ電極間の短絡の検出をする際には広く有効である。
さらに、以上の説明は、となりあう電極間の短絡を検出
するときのみならず、お互いに対向する電極等２近接し
ており、短絡の危険のあるものについても適用可能であ
る。
するときのみならず、お互いに対向する電極等２近接し
ており、短絡の危険のあるものについても適用可能であ
る。
［実施例］
第２図の様な位置に隣り合う電極の短絡がある場合の、
液晶表示素子基板について短絡位置検出の実施例を示す
、 １５Ω／口の面抵抗をもつ電極を線幅０．３＋ａ＋
ｓのストライブ状にパターニングされた表示電極のＰ＋
、Ｐａ間距離（■、）４９．６２５ｍｍで目視でのＰ、
より短絡までの位置（ｘＬ）が８．３１０ｍｍであった
場合、Ｒ，Ｒ，、、Ｒ１４の実測値はそれぞれ１．９Ｂ
８ ＫΩ、 ０．８１３８にΩ＋ ２．Ｒ２２ＫΩ と
なった。この抵抗値を（３）式に代入すると となりＸ Ｌの実測値８．３１０ｍｍとほぼ一致した。
液晶表示素子基板について短絡位置検出の実施例を示す
、 １５Ω／口の面抵抗をもつ電極を線幅０．３＋ａ＋
ｓのストライブ状にパターニングされた表示電極のＰ＋
、Ｐａ間距離（■、）４９．６２５ｍｍで目視でのＰ、
より短絡までの位置（ｘＬ）が８．３１０ｍｍであった
場合、Ｒ，Ｒ，、、Ｒ１４の実測値はそれぞれ１．９Ｂ
８ ＫΩ、 ０．８１３８にΩ＋ ２．Ｒ２２ＫΩ と
なった。この抵抗値を（３）式に代入すると となりＸ Ｌの実測値８．３１０ｍｍとほぼ一致した。
［発明の効果〕
本発明に係る電極間の短絡検出方法及びその装置によれ
ば、帯状に並んだお互いに近接した電極間の短絡位置の
検出が断線、短絡検出と同時に行なえ、短絡を修理する
ための短絡位置の検出の時間短縮、見落としの撲滅がで
きる。
ば、帯状に並んだお互いに近接した電極間の短絡位置の
検出が断線、短絡検出と同時に行なえ、短絡を修理する
ための短絡位置の検出の時間短縮、見落としの撲滅がで
きる。
また１本発明で得られる短絡個所のデータに基づき、レ
ーザービーム照射によりリペアシステムを動かすことが
可能である。すなわち、コンピュータ制（卸されたりペ
ア装置に、本装置で得られたデータを送り込むことによ
り、マニュアルで短絡点を捜し出す手間が省け、（１１
正までの時間がさらに大幅に短縮することが可能である
。
ーザービーム照射によりリペアシステムを動かすことが
可能である。すなわち、コンピュータ制（卸されたりペ
ア装置に、本装置で得られたデータを送り込むことによ
り、マニュアルで短絡点を捜し出す手間が省け、（１１
正までの時間がさらに大幅に短縮することが可能である
。
第１図は、本発明の基本的原理図であり、第２図は及び
第３図は本発明に係る装置の概念図である。 Ｌ、Ｒはそれぞれｐ、、ｐ、間又はＰ３．２４間の距離
及び抵抗値、Ｘは基準とする点（図ではＰ、又はＰ、）
より短絡までの距離と、Ｐ＋ 、Ｐ２間又はＰ、、２４
間の距離の比、ｒは短絡部分の抵抗値、Ｐ ＋ 、 Ｐ
２、Ｐ、、Ｐ４は断線・短絡検査用のプローブなどの
接触子、Ｘ、、Ｘ、は電極である。
第３図は本発明に係る装置の概念図である。 Ｌ、Ｒはそれぞれｐ、、ｐ、間又はＰ３．２４間の距離
及び抵抗値、Ｘは基準とする点（図ではＰ、又はＰ、）
より短絡までの距離と、Ｐ＋ 、Ｐ２間又はＰ、、２４
間の距離の比、ｒは短絡部分の抵抗値、Ｐ ＋ 、 Ｐ
２、Ｐ、、Ｐ４は断線・短絡検査用のプローブなどの
接触子、Ｘ、、Ｘ、は電極である。
Claims (2)
- （１）帯状に並んだ複数の電極を有する少なくとも１枚
の基板内で近接した電極間の短絡を検出する方法であっ
て、前記電極のうちから選ばれた第１の電極の両端部の
それぞれに２つのプローブを接触させるとともに、第１
の電極との短絡の有無を検出されるべき第２の電極の一
方の端部または両方の端部であって、第１の電極に接触
しているプローブに近接した位置にプローブを接触させ
、上記のプローブのうちから選ばれた３種類の２つのプ
ローブの間の抵抗値であって、お互いに１次独立である
抵抗値を推定または測定することにより、第１の電極と
第２の電極の間の短絡の有無及びその場所を検出するこ
とを特徴とする電極間の短絡検出方法。 - （２）帯状に並んだ複数の電極を有する少なくとも１枚
の基板内で近接した電極間の短絡を検出する装置であっ
て、前記電極のうちから選ばれた第１の電極の両端部に
それぞれ接触させる２つのプローブと、第１の電極との
短絡の有無を検出されるべき第２の電極の一方の端部ま
たは両方の端部であって、第１の電極に接触しているプ
ローブに近接した位置に接触させるプローブと、上記の
プローブの間の抵抗値を測定する手段と、その抵抗値か
ら第１の電極と第２の電極の間の短絡の有無及びその場
所を演算して検出する演算装置とを有することを特徴と
する電極間の短絡検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1165413A JP2879065B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電極間の短絡検出方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1165413A JP2879065B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電極間の短絡検出方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0331894A true JPH0331894A (ja) | 1991-02-12 |
| JP2879065B2 JP2879065B2 (ja) | 1999-04-05 |
Family
ID=15811944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1165413A Expired - Lifetime JP2879065B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電極間の短絡検出方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2879065B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03116012A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-17 | Canon Inc | 隣接ショート欠陥部の検出方法 |
| US5844199A (en) * | 1993-12-24 | 1998-12-01 | Tokyo Electron Ltd | Conductor pattern check apparatus for locating and repairing short and open circuits |
| WO2005064354A1 (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Oht Inc. | 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 |
| US20110298485A1 (en) * | 2010-06-04 | 2011-12-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device test method and apparatus, and semiconductor device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007278943A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 基板の検査方法及びその検査装置、並びに基板の修繕方法及びその修繕装置 |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1165413A patent/JP2879065B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03116012A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-17 | Canon Inc | 隣接ショート欠陥部の検出方法 |
| US5844199A (en) * | 1993-12-24 | 1998-12-01 | Tokyo Electron Ltd | Conductor pattern check apparatus for locating and repairing short and open circuits |
| WO2005064354A1 (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Oht Inc. | 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 |
| US20110298485A1 (en) * | 2010-06-04 | 2011-12-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device test method and apparatus, and semiconductor device |
| US8593167B2 (en) * | 2010-06-04 | 2013-11-26 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device test method and apparatus, and semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2879065B2 (ja) | 1999-04-05 |
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