JPH03295659A - インクジェット記録用ヘッド - Google Patents
インクジェット記録用ヘッドInfo
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- JPH03295659A JPH03295659A JP2097857A JP9785790A JPH03295659A JP H03295659 A JPH03295659 A JP H03295659A JP 2097857 A JP2097857 A JP 2097857A JP 9785790 A JP9785790 A JP 9785790A JP H03295659 A JPH03295659 A JP H03295659A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 claims description 3
- 238000005553 drilling Methods 0.000 claims description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 18
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 11
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 9
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 abstract description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021586 Nickel(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- LNOPIUAQISRISI-UHFFFAOYSA-N n'-hydroxy-2-propan-2-ylsulfonylethanimidamide Chemical compound CC(C)S(=O)(=O)CC(N)=NO LNOPIUAQISRISI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L nickel dichloride Chemical compound Cl[Ni]Cl QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L nickel(2+);disulfamate Chemical compound [Ni+2].NS([O-])(=O)=O.NS([O-])(=O)=O KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、インク滴を飛翔させて配録媒体上に文字、画
像等を形成するインクジェットプリンター記録用ヘット
に関するものである。
像等を形成するインクジェットプリンター記録用ヘット
に関するものである。
［発明の概要］
本発明は、インクジェット記録プリンター 特にフェー
スイジェクトタイプの記録用ヘットにおいて、そのイン
ク吐出用ノズルプレートを電解、あるいは無電解メッキ
鋳造法により所定のノズル穴径より小さい穴径で形成し
、その後リーミング加工、放電加工等二次加工を行い、
スペックに適合する所定のノズル穴径とする事により、
ノズルプレートの穴径精度を安定させると供に、歩留り
を大幅に改善する事により生産性を向上さえたものであ
る。
スイジェクトタイプの記録用ヘットにおいて、そのイン
ク吐出用ノズルプレートを電解、あるいは無電解メッキ
鋳造法により所定のノズル穴径より小さい穴径で形成し
、その後リーミング加工、放電加工等二次加工を行い、
スペックに適合する所定のノズル穴径とする事により、
ノズルプレートの穴径精度を安定させると供に、歩留り
を大幅に改善する事により生産性を向上さえたものであ
る。
［従来の技術］
コンピューター等の記録印字用として各種の方式がある
が最近、特にインクジェット記録方式が、高速印字、低
騒音という特徴により多く使われるようになってきてい
る。
が最近、特にインクジェット記録方式が、高速印字、低
騒音という特徴により多く使われるようになってきてい
る。
インクジェット記録方式の記録ヘッドとしては、エツジ
イジェクトタイプ（ＥＥタイプ）、フエ−スイジェクト
タイプ（ＦＥタイプ）がある亦、近年、高印字品質、ペ
ージプリンタ一対応、ヘッドの製造し、やすさ等から、
ＦＥタイプのヘッドが多く採用されてきている。
イジェクトタイプ（ＥＥタイプ）、フエ−スイジェクト
タイプ（ＦＥタイプ）がある亦、近年、高印字品質、ペ
ージプリンタ一対応、ヘッドの製造し、やすさ等から、
ＦＥタイプのヘッドが多く採用されてきている。
このＦＥタイプヘッドの場合、インクを精度良く印字す
るために、インクの飛翔位置、飛翔量をコントロールす
るノズルプレート（オリフィスプレート）が用いられる
。
るために、インクの飛翔位置、飛翔量をコントロールす
るノズルプレート（オリフィスプレート）が用いられる
。
このノズルプレートは、φ５０Ｂｍ前後の微小な穴径が
要求されまた、穴形状がテーパーである事が望ましいた
めに、ニッケルの電解メッキ鋳造法（電鋳法）により５
５０−１Ｏ０ｎ程度の厚みで製造されているものが多い
。
要求されまた、穴形状がテーパーである事が望ましいた
めに、ニッケルの電解メッキ鋳造法（電鋳法）により５
５０−１Ｏ０ｎ程度の厚みで製造されているものが多い
。
［発明が解決しようとする課題及び目的］しかし、前述
の従来技術であるニッケル電鋳法による製造においては
、電解によるため面内、ロット内の析出速度にバラツキ
が発生し、ノズルプレートとしての厚みが不均一となり
、結果として穴径が精度良くつくり込めず、φ５０〜１
００μｍ±２〜３Ｊ１ｍの高精度な穴径が要求されるノ
ズルプレートにおいては、歩留りが悪く、印字品質の不
安定という問題が生じていた。
の従来技術であるニッケル電鋳法による製造においては
、電解によるため面内、ロット内の析出速度にバラツキ
が発生し、ノズルプレートとしての厚みが不均一となり
、結果として穴径が精度良くつくり込めず、φ５０〜１
００μｍ±２〜３Ｊ１ｍの高精度な穴径が要求されるノ
ズルプレートにおいては、歩留りが悪く、印字品質の不
安定という問題が生じていた。
無電解メッキ鋳造で形成する方法で、ロット内の穴径バ
ラツキは、かなり改善されるがこれに３いても、ロット
間の穴径精度については管理が難しく、また部分的に異
常析出が発生し穴形状が変形してしまうため同様の問題
が生じていた。
ラツキは、かなり改善されるがこれに３いても、ロット
間の穴径精度については管理が難しく、また部分的に異
常析出が発生し穴形状が変形してしまうため同様の問題
が生じていた。
またメッキ鋳造法以外の方法として、ドリリング加工、
放電加工等でノズルプレート基板に直接ノズル穴を形成
する方法もあるが、−穴づつの加工であり、加工ツール
の消耗交換も含めて著しく工数がかかり生産性の低いも
のであった。
放電加工等でノズルプレート基板に直接ノズル穴を形成
する方法もあるが、−穴づつの加工であり、加工ツール
の消耗交換も含めて著しく工数がかかり生産性の低いも
のであった。
本発明は、この様な問題を解決するもので、その目的は
、ＦＥタイプインクジェットヘッドのノズルプレートの
穴径を、面内、ロット内で均一に精度良くつくり込む事
により、インクの吐出量を安定させ印字品質を向上させ
ると供に、ノズルプレート製造に３ける歩留り、生産性
を大幅に改善させるものである。
、ＦＥタイプインクジェットヘッドのノズルプレートの
穴径を、面内、ロット内で均一に精度良くつくり込む事
により、インクの吐出量を安定させ印字品質を向上させ
ると供に、ノズルプレート製造に３ける歩留り、生産性
を大幅に改善させるものである。
［課題を解決するための手段］
上記の問題を解決するために本発明は、フェースイジェ
クトタイプのインクジェット記録用ヘッドにおいて、ノ
ズルプレートを電解、あるいは無電解メッキ鋳造法によ
り所定の穴径より小さい穴径で形成し、その後リーミン
グ加工、放電加工等による穴径部の二次加工を行い要求
される所定の穴径とする事を特徴としている。
クトタイプのインクジェット記録用ヘッドにおいて、ノ
ズルプレートを電解、あるいは無電解メッキ鋳造法によ
り所定の穴径より小さい穴径で形成し、その後リーミン
グ加工、放電加工等による穴径部の二次加工を行い要求
される所定の穴径とする事を特徴としている。
［作用］
本発明によれば、電解メッキ、あるいは無電解メッキ鋳
造法により要求されるノズル穴径よりも若干小さいＣ数
μｍ〜１０μｍ程度）穴径のノズルプレートを製作し、
二次加工としてリーミング加工や放電加工等で穴径部の
わずかな量を加工除去するため、ノズル穴径を精度良く
つくり込む事が出来、メッキ鋳造法と二次加工の組合せ
により、されぞれ単独で行う場合に比ベプロセスマージ
ンが広がり、メッキ鋳造法における穴径精度管理がシビ
アーでなくなりプロセスコントロールが容易になった。
造法により要求されるノズル穴径よりも若干小さいＣ数
μｍ〜１０μｍ程度）穴径のノズルプレートを製作し、
二次加工としてリーミング加工や放電加工等で穴径部の
わずかな量を加工除去するため、ノズル穴径を精度良く
つくり込む事が出来、メッキ鋳造法と二次加工の組合せ
により、されぞれ単独で行う場合に比ベプロセスマージ
ンが広がり、メッキ鋳造法における穴径精度管理がシビ
アーでなくなりプロセスコントロールが容易になった。
また二次加工においても、加工量が少ないため穴径精度
の向上、加工時間の大幅な短縮により生産性を著しく高
め、歩留りも改善された。
の向上、加工時間の大幅な短縮により生産性を著しく高
め、歩留りも改善された。
［実施例］
第１図は、本発明の詳細な説明するためのノズルプレー
ト製造工程の概略断面図である。
ト製造工程の概略断面図である。
第１図（ａ）は、ノズルプレートを電解メッキ鋳造法で
作製するための基板の断面である。
作製するための基板の断面である。
基板の材質はステンレス等導電性の材料を使用して、表
面を研磨により鏡面仕上げとする。
面を研磨により鏡面仕上げとする。
次に、ノズル穴となる部分にネガレジストによりパター
ンを形成する、このパターンは、電解メッキ鋳造後に得
られるノズル穴径が要求される径（０５０１１ｍ）より
も５μｍ程度小さくなる様に設計した。
ンを形成する、このパターンは、電解メッキ鋳造後に得
られるノズル穴径が要求される径（０５０１１ｍ）より
も５μｍ程度小さくなる様に設計した。
ノズル数は仕様によっても異なるが、数十穴が形成され
て３つ、通常は二列に配列される。
て３つ、通常は二列に配列される。
また、裏面、サイド面にはメッキ時の析出を防止するた
めマスキングを行った。
めマスキングを行った。
この基板上に、スルファミン酸電解ニッケルメッキを行
い、１時間で約１００μｍ厚みの電鋳層を形成した（ｂ
）。
い、１時間で約１００μｍ厚みの電鋳層を形成した（ｂ
）。
（液組成）
・スルファミン酸ニッケル ； ３２０ｇ／ｌ・塩
化ニッケル ； ３０ｇ／ｌ・ホウ酸
； ３５ｇ／ｌ（条 件） ・ＰＨ・ ４．０ 、液温 ； ５５℃ ・電流密度 ； ６Ａ／ｄｍ このノズルプレートとなるニッケル電鋳層を基板より剥
して、穴径を測定したところφ４１〜φ４７Ｌ１ｍと必
要とする穴径（０５０１ｍ）よりｌＪＸさく、バラツキ
も大きかった。
化ニッケル ； ３０ｇ／ｌ・ホウ酸
； ３５ｇ／ｌ（条 件） ・ＰＨ・ ４．０ 、液温 ； ５５℃ ・電流密度 ； ６Ａ／ｄｍ このノズルプレートとなるニッケル電鋳層を基板より剥
して、穴径を測定したところφ４１〜φ４７Ｌ１ｍと必
要とする穴径（０５０１ｍ）よりｌＪＸさく、バラツキ
も大きかった。
このノズルプレートの穴径部を０５０１ｍの１ノーマー
を用いて所定の穴径になる様に切削加工を行い（（Ｃ）
、 （ｄ））、加工後の穴径をチエ・ツクしたところノ
ズルプレートのすべての穴径力ゞ・φ５０±１μｍ５０
℃仕上がって３つ、問題Ｃよなかった。
を用いて所定の穴径になる様に切削加工を行い（（Ｃ）
、 （ｄ））、加工後の穴径をチエ・ツクしたところノ
ズルプレートのすべての穴径力ゞ・φ５０±１μｍ５０
℃仕上がって３つ、問題Ｃよなかった。
さらに、ノズルブレーを樹脂製のインクジエ・ソトヘッ
ド本体（ポンプ室）と紫外線（ＵＶ）硬化タイプの接着
剤を用いて接合し、ＦＥタイプのインクジェット記録用
ヘッドとして完成させた。
ド本体（ポンプ室）と紫外線（ＵＶ）硬化タイプの接着
剤を用いて接合し、ＦＥタイプのインクジェット記録用
ヘッドとして完成させた。
［発明の効果］
以上述べた様に、本発明によればＦＥタイプのインクジ
ェット記録用ヘッドにおいて、ノズルプレートを電解、
または無電解メッキ鋳造法により所定のノズル穴径より
小さい径で形成し、その後リーミング加工、放電加工等
二次加工を行い、所定の穴径とする事により、従来の単
独の加工方法によるものに比べ面内、ロット内の穴径精
度を、±３％以下とする事が出来、また二次加工する事
により電鋳上がりノズルプレートより、ストレート部分
が長くなるためにインクの飛翔量、方向性が安定し印字
の品質を大幅に向上させる事が出来、歩留りについても
従来、穴径不良となっていたものをなくす事が出来、９
８％以上と著しい改善が可能になった。
ェット記録用ヘッドにおいて、ノズルプレートを電解、
または無電解メッキ鋳造法により所定のノズル穴径より
小さい径で形成し、その後リーミング加工、放電加工等
二次加工を行い、所定の穴径とする事により、従来の単
独の加工方法によるものに比べ面内、ロット内の穴径精
度を、±３％以下とする事が出来、また二次加工する事
により電鋳上がりノズルプレートより、ストレート部分
が長くなるためにインクの飛翔量、方向性が安定し印字
の品質を大幅に向上させる事が出来、歩留りについても
従来、穴径不良となっていたものをなくす事が出来、９
８％以上と著しい改善が可能になった。
実施例では電解ニッケル鋳造法について述べたが、数十
ｕｍ以上の厚付けが出来るメッキはすべて適用可能で、
電解銅メッキ、あるいは無電解ニッケルメッキ等でも本
実施例と同様のノズルプレートを製造する事が出来た。
ｕｍ以上の厚付けが出来るメッキはすべて適用可能で、
電解銅メッキ、あるいは無電解ニッケルメッキ等でも本
実施例と同様のノズルプレートを製造する事が出来た。
第１図（ａ）〜（ｅ）は、本発明によるインクジェット
記録用ヘッドの製造工程を示す断面図。 １・・・・ステンレス基板 ２・・・・ネガレジスト ３・・・・電解ニッケルメッキ層 ４・ ・・ ・リーマ− ５・・・・接着層 ６・・・・インクジェットヘット本体 ７・・・・ポンプ室 ８・・・・ピエゾ圧電体 （ｄ） 以上。
記録用ヘッドの製造工程を示す断面図。 １・・・・ステンレス基板 ２・・・・ネガレジスト ３・・・・電解ニッケルメッキ層 ４・ ・・ ・リーマ− ５・・・・接着層 ６・・・・インクジェットヘット本体 ７・・・・ポンプ室 ８・・・・ピエゾ圧電体 （ｄ） 以上。
Claims (2)
- （１）フェースイジェクトタイプのインクジェット記録
用ヘッドにおいて、ノズルプレートを電解あるいは、無
電解メッキ鋳造法によりノズル部の穴径が、所定の穴径
より小さくなる様に形成した後、二次加工により所定の
穴径とした事を特徴とするインクジェット記録用ヘッド
。 - （２）二次加工の方法が、リーミング（ドリリング）加
工、放電加工、ホーニング加工、ワイヤー研磨加工、も
しくは超音波加工である事を特徴とする特許請求の範囲
第１項に記載のインクジェット記録用ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2097857A JPH03295659A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | インクジェット記録用ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2097857A JPH03295659A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | インクジェット記録用ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03295659A true JPH03295659A (ja) | 1991-12-26 |
Family
ID=14203420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2097857A Pending JPH03295659A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | インクジェット記録用ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03295659A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05287557A (ja) * | 1992-04-15 | 1993-11-02 | Uehara Name Plate Kogyo Kk | ステンレス鋼板のレジスト印刷前処理方法およびｉｃカード保護カバー |
| EP0764534A2 (en) * | 1995-09-19 | 1997-03-26 | SCITEX DIGITAL PRINTING, Inc. | Method for manufacturing a fluid cavity in an ink jet print head |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59106749U (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-18 | 河西工業株式会社 | 自動車のトノカバ−構造 |
| JPH01162587U (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-13 |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP2097857A patent/JPH03295659A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59106749U (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-18 | 河西工業株式会社 | 自動車のトノカバ−構造 |
| JPH01162587U (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-13 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05287557A (ja) * | 1992-04-15 | 1993-11-02 | Uehara Name Plate Kogyo Kk | ステンレス鋼板のレジスト印刷前処理方法およびｉｃカード保護カバー |
| EP0764534A2 (en) * | 1995-09-19 | 1997-03-26 | SCITEX DIGITAL PRINTING, Inc. | Method for manufacturing a fluid cavity in an ink jet print head |
| EP0764534A3 (en) * | 1995-09-19 | 1997-09-17 | Scitex Digital Printing Inc | Method of making a liquid cavity in an ink jet printhead |
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