JPH03291505A - 厚み測定装置 - Google Patents
厚み測定装置Info
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- JPH03291505A JPH03291505A JP9248590A JP9248590A JPH03291505A JP H03291505 A JPH03291505 A JP H03291505A JP 9248590 A JP9248590 A JP 9248590A JP 9248590 A JP9248590 A JP 9248590A JP H03291505 A JPH03291505 A JP H03291505A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 19
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 241000269851 Sarda sarda Species 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く本発明の産業上の利用分野〉
本発明は、２台のレーザ変位計を被測定物体の両側に設
けて被測定物体の厚みを測定する厚み測定装置に関する
。
けて被測定物体の厚みを測定する厚み測定装置に関する
。
従来より、板状体等の厚みを非接触で正確に測定するた
めに、２台のレーザ変位計を用いた厚み測定装置が、実
用化されている。
めに、２台のレーザ変位計を用いた厚み測定装置が、実
用化されている。
レーザ変位計は第６図のように構成されている。
即ち、レーザ変位計１のレーザ光源２からレーザ光３を
、投光レンズ４を介して被測定物Ｗの表面に入射角θで
照射する。被測定物Ｗの表面で反射されたレーザ光３は
、照射方向とは興なる方向で、結像レンズ５を介して、
ポジションセンサなどからなる受光素子６上に被測定５
＃ＪＷの表面の結像点の像をつくる。
、投光レンズ４を介して被測定物Ｗの表面に入射角θで
照射する。被測定物Ｗの表面で反射されたレーザ光３は
、照射方向とは興なる方向で、結像レンズ５を介して、
ポジションセンサなどからなる受光素子６上に被測定５
＃ＪＷの表面の結像点の像をつくる。
被測定物Ｗの表面が基準位ＩＩｆＰＯの場合、結像レン
ズで集光した光が、受光素子６の中央位置ＫＯに入射す
るように構成されている。そして被測定物Ｗの表面が基
準位置ＰＯからＰｌに移動すると、受光素子６上の受光
位置が右方のに１点に移動し、逆にＰｌに移動すると、
受光位置が左方のに２点に移動する。
ズで集光した光が、受光素子６の中央位置ＫＯに入射す
るように構成されている。そして被測定物Ｗの表面が基
準位置ＰＯからＰｌに移動すると、受光素子６上の受光
位置が右方のに１点に移動し、逆にＰｌに移動すると、
受光位置が左方のに２点に移動する。
従って、受光素子６上の照射点の像の位置によって被測
定物Ｗの表面の変位が検出される。
定物Ｗの表面の変位が検出される。
従来の厚み測定装置は、このような構成のレーザ変位計
１．１−を、第７図に示すように、被測定物Ｗに対して
反対側に互いの先端部が中心線ノに一致するように対向
して設置し、被測定物Ｗの上下の（第７図において）表
面Ｗａ 、 Ｓ／Ｊａ −の変位をそれぞれ上下の各レ
ーザ変位計１．１′で検出することによって、厚みｔを
測定していた。
１．１−を、第７図に示すように、被測定物Ｗに対して
反対側に互いの先端部が中心線ノに一致するように対向
して設置し、被測定物Ｗの上下の（第７図において）表
面Ｗａ 、 Ｓ／Ｊａ −の変位をそれぞれ上下の各レ
ーザ変位計１．１′で検出することによって、厚みｔを
測定していた。
即ち、２台のレーザ変位計１．１−からのレーザ光３．
３−は、被測定物Ｗの上下の表面Ｗａ１Ｗａ−でそれぞ
れ正反射されて各表面Ｗａ、Ｗａ−の２台のレーザ変位
計の中心！！！方向の各基準位置に対する変位量が検出
され、これに基づいてＷａ、とＷａ −面の中心ｔＩＡ
ノ方向の距Ｉ（即ち厚み）ｔが検出される。
３−は、被測定物Ｗの上下の表面Ｗａ１Ｗａ−でそれぞ
れ正反射されて各表面Ｗａ、Ｗａ−の２台のレーザ変位
計の中心！！！方向の各基準位置に対する変位量が検出
され、これに基づいてＷａ、とＷａ −面の中心ｔＩＡ
ノ方向の距Ｉ（即ち厚み）ｔが検出される。
く本発明が解決しようとする問題点〉
このような従来の厚み測定装置では、レーザ光３．３−
が被測定物Ｗの表面Ｗａ 、 ’ｆＪａ−に照射される
各照射点ＡＯ、ＡＯ−が第８図に示すように各基準位置
に一致して、各レーザ変位計１．１−の各受光素子の中
心位１ｆＫＯに反射光が受光される場合（即ち、各レー
ザ変位計１．１−の零点間距離が基準厚みｔｏに一致し
ている場合）には、照射ＡＯとＡＯ−とは正対（被測定
物Ｗの法線方向に一致）している。
が被測定物Ｗの表面Ｗａ 、 ’ｆＪａ−に照射される
各照射点ＡＯ、ＡＯ−が第８図に示すように各基準位置
に一致して、各レーザ変位計１．１−の各受光素子の中
心位１ｆＫＯに反射光が受光される場合（即ち、各レー
ザ変位計１．１−の零点間距離が基準厚みｔｏに一致し
ている場合）には、照射ＡＯとＡＯ−とは正対（被測定
物Ｗの法線方向に一致）している。
そして、被測定物Ｗが点線で示すように角度αだけ水平
から傾いた場合は照射点は正対しなくなるが、照射点間
の水平方向のズレは極めて微小なので、測定誤差は余弦
（ｔａｎα）的な、無視できる程度の微小なＷ４差しか
生じない。
から傾いた場合は照射点は正対しなくなるが、照射点間
の水平方向のズレは極めて微小なので、測定誤差は余弦
（ｔａｎα）的な、無視できる程度の微小なＷ４差しか
生じない。
しかして、第９図に示すように被測定物Ｗの厚みがｔｏ
からｔｌに変わると、レーザ光３．３−は照射角θで照
射されているため、照射点Ａ１とＡ１−の水平方向のズ
レＰは大きくなり、Ｐ＝ （ｔｌ −ｔｏ ）ｘｔａｎ
θ となる。
からｔｌに変わると、レーザ光３．３−は照射角θで照
射されているため、照射点Ａ１とＡ１−の水平方向のズ
レＰは大きくなり、Ｐ＝ （ｔｌ −ｔｏ ）ｘｔａｎ
θ となる。
このため、第９図に点線で示すように被測定物Ｗが水平
から角度αだけ傾くと、誤差εは（αが小さいと） ε＝ｐｘα ＝ （ｔｌ −ｔｏ ）ｘｔａｎθ×αどなり、著しく
大きな誤差となる。
から角度αだけ傾くと、誤差εは（αが小さいと） ε＝ｐｘα ＝ （ｔｌ −ｔｏ ）ｘｔａｎθ×αどなり、著しく
大きな誤差となる。
本発明はこのような問題点を解決した厚み測定装置を提
供することを目的としている。
供することを目的としている。
く前記問題点を解決するための手段〉
前記問題点を解決するために本発明の厚み測定装置では
レーザ光を被測定物表面に照射し、照射方向とは興なる
方向で被測定物表面からの反射光を受光し、被測定物表
面の照射点の像を受光素子上につくり、該受光素子上の
照射点の像の位置によって被測定物表面の変位を検出す
るレーザ変位計を、被測定物に関して反対側となるよう
に２台対向させて配置して、各レーザ変位計で検出した
各変位量に基づいて被測定物の厚みを測定する厚み測定
装置において、 前記各レーザ変位計を変位検出方向に移動させる移動手
段と、 前記各レーザ変位計の移動Φを検出する移動像検出手段
と、 前記各レーザ変位計の変位検出量が所定範囲内となるよ
うに前記移動手段による各レーザ変位計の移ｖＪ＠を制
御する移動量制御手段と、前記移動量検出手段で検出さ
れた各レーザ変位計の各移ｖＪＩと、各レーザ変位計で
検出された各変位とに基づいて被？ｊ定物の厚みを演韓
する演舜手段とを備えた ことを特徴としている。
方向で被測定物表面からの反射光を受光し、被測定物表
面の照射点の像を受光素子上につくり、該受光素子上の
照射点の像の位置によって被測定物表面の変位を検出す
るレーザ変位計を、被測定物に関して反対側となるよう
に２台対向させて配置して、各レーザ変位計で検出した
各変位量に基づいて被測定物の厚みを測定する厚み測定
装置において、 前記各レーザ変位計を変位検出方向に移動させる移動手
段と、 前記各レーザ変位計の移動Φを検出する移動像検出手段
と、 前記各レーザ変位計の変位検出量が所定範囲内となるよ
うに前記移動手段による各レーザ変位計の移ｖＪ＠を制
御する移動量制御手段と、前記移動量検出手段で検出さ
れた各レーザ変位計の各移ｖＪＩと、各レーザ変位計で
検出された各変位とに基づいて被？ｊ定物の厚みを演韓
する演舜手段とを備えた ことを特徴としている。
く作用〉
このようにしたため、各被測定物Ｗの厚みの変化に対応
して各レーザ変位計の変位検出Φが所定範囲内となるよ
うに各レーザ変位計を移動させる。
して各レーザ変位計の変位検出Φが所定範囲内となるよ
うに各レーザ変位計を移動させる。
そして、この各レーザ変位計の移動量が検出され、この
移動量と各レーザ変位計の変位検出量とによって厚みが
測定される。
移動量と各レーザ変位計の変位検出量とによって厚みが
測定される。
このように各レーザ変位計の変位検出量が所定範囲内と
なるように各レーザ変位計を移動する（即ち第９図に一
点鎖線で示すようにレーザ光３ａ、３ａ−が移動する）
から、被測定物Ｗの厚みが変わっても２つの照射点Ａ２
、Ａ２−はほぼ正対するか、僅かなズレ内にとどまる
。
なるように各レーザ変位計を移動する（即ち第９図に一
点鎖線で示すようにレーザ光３ａ、３ａ−が移動する）
から、被測定物Ｗの厚みが変わっても２つの照射点Ａ２
、Ａ２−はほぼ正対するか、僅かなズレ内にとどまる
。
従って、被測定物Ｗの傾きによる測定Ｗ４差は、第８図
で説明した余弦的な僅かな微小な誤差となって、誤差は
著しく低減される。
で説明した余弦的な僅かな微小な誤差となって、誤差は
著しく低減される。
く本発明の実施例〉
以下図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。
第１．２図は本発明の厚み測定装置の外観を示している
。
。
図中１０は本体、１１．１１−は本体１０から横方向へ
突出したフレームである。フレーム１１．１１−には、
上下方向の変位量を検出するレーザ変位計２０．２０−
が、被測定物Ｗ＆−閤して反対側に、中心線ノが一致す
るように対向して、上下方向に移動自在に取付けられて
いる。
突出したフレームである。フレーム１１．１１−には、
上下方向の変位量を検出するレーザ変位計２０．２０−
が、被測定物Ｗ＆−閤して反対側に、中心線ノが一致す
るように対向して、上下方向に移動自在に取付けられて
いる。
フレーム１１．１１′には、レーザ変位計２０．２０−
を上下方向へ移動させるためのモータ２１．２１−が固
定されている。
を上下方向へ移動させるためのモータ２１．２１−が固
定されている。
なお、レーザ変位計２０．２０′は互いの中心線がズレ
ないように一致させて取付けるが、上下方向のみでなく
、水平方向にも移動できるように構成して、水平方向の
ズレをなくすように水平方向の移動機構を設けてもよい
。
ないように一致させて取付けるが、上下方向のみでなく
、水平方向にも移動できるように構成して、水平方向の
ズレをなくすように水平方向の移動機構を設けてもよい
。
２２．２２−は各レーザ変位計２０．２０′からの信号
を出力するケーブルである。
を出力するケーブルである。
各レーザ変位計２０．２０′の上下には、レーザ変位計
２０．２０−の移動量を検出するための移動量検出装置
（例えばリニアスケール）３０．３ｏ−が、本体１０に
固定されたアーム３１．３１−に固定されている。移動
量検出装置３０．３０−は、レーザ変位計２０．２０−
の背面に先端が押圧接触したスケール棒３２．３２−を
有し、レーザ変位計２０．２０−の上下方向の移動に応
じたスケール棒３２．３２−の移動量を検出する。
２０．２０−の移動量を検出するための移動量検出装置
（例えばリニアスケール）３０．３ｏ−が、本体１０に
固定されたアーム３１．３１−に固定されている。移動
量検出装置３０．３０−は、レーザ変位計２０．２０−
の背面に先端が押圧接触したスケール棒３２．３２−を
有し、レーザ変位計２０．２０−の上下方向の移動に応
じたスケール棒３２．３２−の移動量を検出する。
３３．３３−は移動量検出装Ｈ３０，３０−からの信号
を出力するケーブルである。
を出力するケーブルである。
２つの対向したレーザ変位計２０．２〇−間に被測定物
Ｗが配置され、レーザ光３．３−が上下の表面に照射さ
れる。
Ｗが配置され、レーザ光３．３−が上下の表面に照射さ
れる。
本体１０内には、第３図に示すように各レーザ変位計２
０．２０−の移動などを制御し、厚みの演算などを行な
う装置が設けられている。
０．２０−の移動などを制御し、厚みの演算などを行な
う装置が設けられている。
即ち、４０．４０−は、それぞれレーザ変位計２０．２
０−からの変位検出量を、予め設定された所定変位量と
比較して、レーザ変位計２０１２０−からの変位検出量
が所定範囲内となるように、モータ２１．２１−への駆
動信号を出力して、レーザ変位計２０．２０−の移動を
それぞれ制卸する移動制ｍ＋装置である。
０−からの変位検出量を、予め設定された所定変位量と
比較して、レーザ変位計２０１２０−からの変位検出量
が所定範囲内となるように、モータ２１．２１−への駆
動信号を出力して、レーザ変位計２０．２０−の移動を
それぞれ制卸する移動制ｍ＋装置である。
４１は、予め基準厚さの基準物体をレーザ変位計２０．
２０−の変位検出量を演算制御ｌ］装Ｗｔ４２で演算し
て測定し、その測定値を予めオフセット量として記憶し
、また、このときの移動量検出装置３０．３０−の出力
信号を！Ｉ準点として記憶する記憶装置である。
２０−の変位検出量を演算制御ｌ］装Ｗｔ４２で演算し
て測定し、その測定値を予めオフセット量として記憶し
、また、このときの移動量検出装置３０．３０−の出力
信号を！Ｉ準点として記憶する記憶装置である。
４２は、記憶装置１４１からのオフセット量、移動量検
出装！ｉｌ＋３０．３０−からの移動量、各レーザ変位
計２０．２０′からの各変位検出量に基づいて、被測定
物Ｗの厚みを演算する演算制御ｌｌ装置である。
出装！ｉｌ＋３０．３０−からの移動量、各レーザ変位
計２０．２０′からの各変位検出量に基づいて、被測定
物Ｗの厚みを演算する演算制御ｌｌ装置である。
４３は、レーザ変位計２０．２０−からの変位検出量、
演粋制御ｌｌ装＠４２からの厚み、あるいは測定不能な
どを表示する表示装置である。
演粋制御ｌｌ装＠４２からの厚み、あるいは測定不能な
どを表示する表示装置である。
次に厚み測定動作を第４図及び第５図によって説明する
。
。
まず、第４図に示すように、オフセット量読込みモード
を指定し、被測定物Ｗの基準厚みの物体く基準ゲージ）
をレーザ変位計２０．２０′間に挿入して、測定を行な
う。そして、レーザ変位計２０．２０−の変位出力が完
全に零となるようにレーザ変位計２０．２０−を移動す
る。
を指定し、被測定物Ｗの基準厚みの物体く基準ゲージ）
をレーザ変位計２０．２０′間に挿入して、測定を行な
う。そして、レーザ変位計２０．２０−の変位出力が完
全に零となるようにレーザ変位計２０．２０−を移動す
る。
そして、このときの基準厚みをオフセット量として記憶
装［４１に記憶させる。
装［４１に記憶させる。
それと共に、このときのレーザ変位計２０．２０−の位
置を、移動量検出装置３０．３０−でそれぞれ検出した
出力信号を移動量検出装Ｍ３０．３０−の位置検出のた
めの基準点として記憶＠置４１に記憶する。
置を、移動量検出装置３０．３０−でそれぞれ検出した
出力信号を移動量検出装Ｍ３０．３０−の位置検出のた
めの基準点として記憶＠置４１に記憶する。
このようにした結果、移動量検出装［３０，３０−の基
準点と判断される位置にあるレーザ変位計２０．２０−
の変位検出量がいずれも完全な宴のとき、基準厚さｔｏ
の被測定物Ｗを水平に配置した場合に、第８図の如く２
つの照射点ＡＯ１ＡＯ−は正対することになる。
準点と判断される位置にあるレーザ変位計２０．２０−
の変位検出量がいずれも完全な宴のとき、基準厚さｔｏ
の被測定物Ｗを水平に配置した場合に、第８図の如く２
つの照射点ＡＯ１ＡＯ−は正対することになる。
次に、実際の被測定物Ｗの厚み測定をスタートし、被測
定物Ｗを搬入すると、その厚みに応じて上下の各レーザ
変位計２０．２０−は、移動制御装置４０，４０−から
制鰹信号を受けたモータ２１．２１−によって、その変
位検出量が所定範囲内となるように、上下方向に移動す
る（即ち、零点サーチを行なう）。そして、所定範囲内
になるとレーザ変位計２０．２０”は停止する。
定物Ｗを搬入すると、その厚みに応じて上下の各レーザ
変位計２０．２０−は、移動制御装置４０，４０−から
制鰹信号を受けたモータ２１．２１−によって、その変
位検出量が所定範囲内となるように、上下方向に移動す
る（即ち、零点サーチを行なう）。そして、所定範囲内
になるとレーザ変位計２０．２０”は停止する。
所定範囲内にならない場合には、レーザ変位計２０．２
０−は退避位置へ移動し、測定不可を表わす信号が、演
算制御装ｆｌｆ４２から出力され、表示装置４３で表示
される。
０−は退避位置へ移動し、測定不可を表わす信号が、演
算制御装ｆｌｆ４２から出力され、表示装置４３で表示
される。
レーザ変位計２０．２０”がこのように移動した後に停
止した位置での変位検出量は、所定範囲内（即ち、零に
近い極めて小さな変位量）となっているから、即ち、こ
のように移動によって、レーザ光は第９図で３ａ 、
３ａ ”として示すように移動して、被測定物Ｗの２つ
の照射点Ａ２ 、 Ａ２−は、はぼ正対するか、あるい
は水平方向の僅かなズレとなっている。従って、測定誤
差は著しく小となる。
止した位置での変位検出量は、所定範囲内（即ち、零に
近い極めて小さな変位量）となっているから、即ち、こ
のように移動によって、レーザ光は第９図で３ａ 、
３ａ ”として示すように移動して、被測定物Ｗの２つ
の照射点Ａ２ 、 Ａ２−は、はぼ正対するか、あるい
は水平方向の僅かなズレとなっている。従って、測定誤
差は著しく小となる。
この停止状態でのレーザ変位計２０．２ｏ−の移動量が
、移動量検出装置３０．３０−から前記基準点との差と
して出力され、この停止状態でのレーザ変位計２０．２
０−の変位検出量（所定範囲内の変位量）と、この移動
量検出装置３０．３０−からの各レーザ変位計２０．２
０−の移動量と、記憶装置４１からの前記オフセット量
とが、演算制御ｌｌ装ＷＩ４２で加算されて、厚みとし
て出力され、表示装置４３で表示される。
、移動量検出装置３０．３０−から前記基準点との差と
して出力され、この停止状態でのレーザ変位計２０．２
０−の変位検出量（所定範囲内の変位量）と、この移動
量検出装置３０．３０−からの各レーザ変位計２０．２
０−の移動量と、記憶装置４１からの前記オフセット量
とが、演算制御ｌｌ装ＷＩ４２で加算されて、厚みとし
て出力され、表示装置４３で表示される。
このようにして１つの被測定物Ｗの測定が完了すると、
次の被測定物Ｗが搬入され、以降同じ動作がなされる。
次の被測定物Ｗが搬入され、以降同じ動作がなされる。
く本発明の効果〉
本発明の厚み測定装置は以上説明したように被測定物Ｗ
の厚みの変化に対応して、レーザ変位計２０．２０′を
移動させて、２つの照射点Ａ２、Ａ２ ＝の水平方向の
ズレを小さくし、この状態でのレーザ変位計２０．２０
−の移動量と、レーザ変位計２０．２０−からの変位検
出量とによって厚みを演算するようにしたから、被測定
物Ｗが水平から傾いている場合の測定誤差が、著しく低
減できる。従って、例えばレンズなどのように曲率を有
する被測ｚ？１ｗでも、正確な厚み測定が可能となる。
の厚みの変化に対応して、レーザ変位計２０．２０′を
移動させて、２つの照射点Ａ２、Ａ２ ＝の水平方向の
ズレを小さくし、この状態でのレーザ変位計２０．２０
−の移動量と、レーザ変位計２０．２０−からの変位検
出量とによって厚みを演算するようにしたから、被測定
物Ｗが水平から傾いている場合の測定誤差が、著しく低
減できる。従って、例えばレンズなどのように曲率を有
する被測ｚ？１ｗでも、正確な厚み測定が可能となる。
第１図は本発明の一実施例の外観を示す正面図、第２図
はその側面図、第３図はそのブロック図、第４図及び第
５図はその動作を示すフローチャートである。 第６図はレーザ変位計の原理構成図、第７図は従来の岸
み測定装置の概略構成図、第８図及び第９図は厚み測定
の誤差を説明するための説明図である。 １０・・・・・・本体、１１．１１−・・・・・・フレ
ーム、２０．２０−・・・・・・レーザ変位計、２２．
２２′・・・・・・ケーブル、２１．２１−・・・・・
・モータ、３０．３０・・・・・・移動量検出装置、３
Ｌ ３１−・・・・・・アーム、３２．３２−・・・・
・・スケール棒、３３．３３−・・・・・・ケーブル、
４０・・・・・・移動制ａｖｉ＠、４１・・・・・・記
憶装置、４２・・・・・・演算制御１１装置、４３・・
・・・・表示装置。
はその側面図、第３図はそのブロック図、第４図及び第
５図はその動作を示すフローチャートである。 第６図はレーザ変位計の原理構成図、第７図は従来の岸
み測定装置の概略構成図、第８図及び第９図は厚み測定
の誤差を説明するための説明図である。 １０・・・・・・本体、１１．１１−・・・・・・フレ
ーム、２０．２０−・・・・・・レーザ変位計、２２．
２２′・・・・・・ケーブル、２１．２１−・・・・・
・モータ、３０．３０・・・・・・移動量検出装置、３
Ｌ ３１−・・・・・・アーム、３２．３２−・・・・
・・スケール棒、３３．３３−・・・・・・ケーブル、
４０・・・・・・移動制ａｖｉ＠、４１・・・・・・記
憶装置、４２・・・・・・演算制御１１装置、４３・・
・・・・表示装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ光を被測定物表面に照射し、照射方向とは異なる
方向で被測定物表面からの反射光を受光し、被測定物表
面の照射点の像を受光素子上につくり、該受光素子上の
照射点の像の位置によつて被測定物表面の変位を検出す
るレーザ変位計を、被測定物に関して反対側となるよう
に２台対向させて配置して、各レーザ変位計で検出した
各変位量に基づいて被測定物の厚みを測定する厚み測定
装置において、 前記各レーザ変位計を変位検出方向に移動させる移動手
段と、 前記各レーザ変位計の移動量を検出する移動量検出手段
と、 前記各レーザ変位計の変位検出量が所定範囲内となるよ
うに前記移動手段による各レーザ変位計の移動量を制御
する移動量制御手段と、 前記移動量検出手段で検出された各レーザ変位計の各移
動量と、各レーザ変位計で検出された各変位とに基づい
て被測定物の厚みを演算する演算手段とを備えたことを
特徴とする厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9248590A JPH03291505A (ja) | 1990-04-08 | 1990-04-08 | 厚み測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9248590A JPH03291505A (ja) | 1990-04-08 | 1990-04-08 | 厚み測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03291505A true JPH03291505A (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=14055611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9248590A Pending JPH03291505A (ja) | 1990-04-08 | 1990-04-08 | 厚み測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03291505A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102405113A (zh) * | 2009-03-13 | 2012-04-04 | 纳尔科公司 | 表面清洁的处理 |
| WO2015052941A1 (ja) * | 2013-10-11 | 2015-04-16 | 古河電気工業株式会社 | 被覆厚さ検査方法及び被覆厚さ検査装置 |
-
1990
- 1990-04-08 JP JP9248590A patent/JPH03291505A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102405113A (zh) * | 2009-03-13 | 2012-04-04 | 纳尔科公司 | 表面清洁的处理 |
| WO2015052941A1 (ja) * | 2013-10-11 | 2015-04-16 | 古河電気工業株式会社 | 被覆厚さ検査方法及び被覆厚さ検査装置 |
| CN105612402A (zh) * | 2013-10-11 | 2016-05-25 | 古河电气工业株式会社 | 被覆厚度检查方法和被覆厚度检查装置 |
| JPWO2015052941A1 (ja) * | 2013-10-11 | 2017-03-09 | 古河電気工業株式会社 | 被覆厚さ検査方法及び被覆厚さ検査装置 |
| US10001366B2 (en) | 2013-10-11 | 2018-06-19 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Coating thickness inspection method and coating thickness inspection device |
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