JPH03290350A - 酸化亜鉛の透光性焼結体の製造法 - Google Patents
酸化亜鉛の透光性焼結体の製造法Info
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- JPH03290350A JPH03290350A JP2093523A JP9352390A JPH03290350A JP H03290350 A JPH03290350 A JP H03290350A JP 2093523 A JP2093523 A JP 2093523A JP 9352390 A JP9352390 A JP 9352390A JP H03290350 A JPH03290350 A JP H03290350A
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- zinc oxide
- sintering
- sintered
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、例えば、低速電子線用蛍光体、カラーブラウ
ン管の低電圧化材、各種センサー等の電気部品として利
用できる酸化亜鉛の透光性焼結体の製造法に関するもの
である。
ン管の低電圧化材、各種センサー等の電気部品として利
用できる酸化亜鉛の透光性焼結体の製造法に関するもの
である。
（従来の技術及び解決しようとする課題）従来、酸化亜
鉛の透光性焼結体の製造法としては、外因的にアルカリ
金属酸化物等の不純物を添加して焼結性を高めた酸化亜
鉛粉末を成型した後。
鉛の透光性焼結体の製造法としては、外因的にアルカリ
金属酸化物等の不純物を添加して焼結性を高めた酸化亜
鉛粉末を成型した後。
金型を使用して高温で加熱・加圧するホットプレス法が
知られている。
知られている。
しかしながら、この方法では、焼結性を高めるためにア
ルカリ金属酸化物等を添加するので、高純度の焼結体が
得られ難いこと、また、金型を使用して高温高圧で焼結
するため、装置的に複雑であると共に、複雑な形状の焼
結体を作りにくいこと、更には大型の焼結体が作成でき
ないこと、等の欠点があった。
ルカリ金属酸化物等を添加するので、高純度の焼結体が
得られ難いこと、また、金型を使用して高温高圧で焼結
するため、装置的に複雑であると共に、複雑な形状の焼
結体を作りにくいこと、更には大型の焼結体が作成でき
ないこと、等の欠点があった。
本発明は、上記従来技術の欠点を解消して、優れた透光
性を有すると共に不純物の混入のない高純度の酸化亜鉛
の透光性焼結体を従来の方法より容易に且つ安価に製造
し得る方法を提供することを目的とするものである。
性を有すると共に不純物の混入のない高純度の酸化亜鉛
の透光性焼結体を従来の方法より容易に且つ安価に製造
し得る方法を提供することを目的とするものである。
（課題を解決するための手段）
本発明者等は、前記課題を達成するへく、アルカリ金属
酸化物等の不純物を添加せず、しかも金型を使用しない
で容易に高純度の透光性焼結体が得られる方法について
鋭意研究を重ねた結果、酸化亜鉛粉末を酸素雰囲気中或
いは空気中で一次焼結し１次いでアルゴン雰囲気中でガ
ス圧焼結することにより、優れた透光性を有する酸化亜
鉛の透光性焼結体が得られることを究明し、ここに本発
明を完成したものである。
酸化物等の不純物を添加せず、しかも金型を使用しない
で容易に高純度の透光性焼結体が得られる方法について
鋭意研究を重ねた結果、酸化亜鉛粉末を酸素雰囲気中或
いは空気中で一次焼結し１次いでアルゴン雰囲気中でガ
ス圧焼結することにより、優れた透光性を有する酸化亜
鉛の透光性焼結体が得られることを究明し、ここに本発
明を完成したものである。
以下に本発明を更に詳細に説明する。
（作用）
本発明において使用する酸化亜鉛としては、市販の酸化
亜鉛粉末、或いはシュウ酸亜鉛等の加熱により分解して
酸化亜鉛となる塩を熱分解して得た酸化亜鉛粉末を使用
すればよい。
亜鉛粉末、或いはシュウ酸亜鉛等の加熱により分解して
酸化亜鉛となる塩を熱分解して得た酸化亜鉛粉末を使用
すればよい。
そして、焼結に先立って、常法により、この酸化亜鉛粉
末を成形する。成形条件としては、例えば、１００〜１
０００ｋｇ／Ｃ１１２で一次成形するのが望ましい。こ
れは、−次成形の圧力が高過ぎると成形体に歪が生ずる
ので、成形体が崩れない程度の低圧が好ましいためであ
る。更に、得られた成形物をラバープレスにより１ 、
Ｏｔｏｎ ／ ｃｍ２以上の圧力で二次成形するのが
望ましい。勿論、１回の成形で済ませることもできるこ
とは云うまでもない。
末を成形する。成形条件としては、例えば、１００〜１
０００ｋｇ／Ｃ１１２で一次成形するのが望ましい。こ
れは、−次成形の圧力が高過ぎると成形体に歪が生ずる
ので、成形体が崩れない程度の低圧が好ましいためであ
る。更に、得られた成形物をラバープレスにより１ 、
Ｏｔｏｎ ／ ｃｍ２以上の圧力で二次成形するのが
望ましい。勿論、１回の成形で済ませることもできるこ
とは云うまでもない。
この成形物を酸素雰囲気中或いは空気中で一次焼結する
。他の焼結条件は特に制限されないが。
。他の焼結条件は特に制限されないが。
１０００〜１４００℃で１〜１００時間の焼結が好まし
い。この焼結は、酸化亜鉛の粒子の粒成長と緻密化を行
うもので、これにより、次のアルゴン雰囲気中でのガス
圧焼結時の焼結・緻密化を促進することができる。−次
焼結によって相対密度が９０％以上の焼結体が得られる
が、焼結温度が低過ぎると焼結が進行せず、高過ぎると
焼結体中のＺｎ成分が蒸発して相対密度の大きい焼結体
が得難いので、上記温度、時間が好ましい。
い。この焼結は、酸化亜鉛の粒子の粒成長と緻密化を行
うもので、これにより、次のアルゴン雰囲気中でのガス
圧焼結時の焼結・緻密化を促進することができる。−次
焼結によって相対密度が９０％以上の焼結体が得られる
が、焼結温度が低過ぎると焼結が進行せず、高過ぎると
焼結体中のＺｎ成分が蒸発して相対密度の大きい焼結体
が得難いので、上記温度、時間が好ましい。
次いで、この焼結体をアルゴン雰囲気中でガス圧焼結す
る。これにより、焼結体中の気孔を消滅させて緻密化を
促進することができる。しかし、−次焼結しないで、ア
ルゴン圧焼結すると焼結体内部の気孔中にアルゴンが侵
入して緻密化を阻害し、良好な焼結体とならない。した
がって、酸化雰囲気中又は空気中で一次焼結した後、こ
の焼結を行うことが必要である。このアルゴン圧焼結の
他の条件は特に制限されないが１例えば、温度１２００
〜１５００℃、ガス圧１００〜２０００ｋｇ／ｃｌＩ＋
２で１〜１０時間焼結するのが望ましい。ガス圧が１０
０ ｋｇ／ ｃｎ＋”より低いと透光性が得難く。
る。これにより、焼結体中の気孔を消滅させて緻密化を
促進することができる。しかし、−次焼結しないで、ア
ルゴン圧焼結すると焼結体内部の気孔中にアルゴンが侵
入して緻密化を阻害し、良好な焼結体とならない。した
がって、酸化雰囲気中又は空気中で一次焼結した後、こ
の焼結を行うことが必要である。このアルゴン圧焼結の
他の条件は特に制限されないが１例えば、温度１２００
〜１５００℃、ガス圧１００〜２０００ｋｇ／ｃｌＩ＋
２で１〜１０時間焼結するのが望ましい。ガス圧が１０
０ ｋｇ／ ｃｎ＋”より低いと透光性が得難く。
２０００ ｋｇ／ Ｃｍ”を超えると高圧容器の確保が
困難となるので、ガス圧としては１００〜２０００に巨
／ｃｍ２の範囲が望ましい。
困難となるので、ガス圧としては１００〜２０００に巨
／ｃｍ２の範囲が望ましい。
（実施例）
次シこ本発明の実施例を示す。
裏庭可よ
シュウ酸亜鉛を５００℃で熱分解して得た酸化亜鉛粉末
１．１５０２ｇを２００ｋｇ／ｃｍ２の圧力で直径約１
２ｍｎ＋、厚さ約４ｍｍの円板状に一次成型した後、２
ｔｏｎ／ｃｍ”の静水圧下で二次成型した。
１．１５０２ｇを２００ｋｇ／ｃｍ２の圧力で直径約１
２ｍｎ＋、厚さ約４ｍｍの円板状に一次成型した後、２
ｔｏｎ／ｃｍ”の静水圧下で二次成型した。
得られた成形体を酸素ガスを流しながら１２８０℃で２
０時間、−次焼結した。得られた焼結体の相対密度は９
４．２％であった。
０時間、−次焼結した。得られた焼結体の相対密度は９
４．２％であった。
次いで、アルゴン雰囲気中で１３００’Ｃ，１３００ｋ
ｇ／ｃｍ２の圧力で２時間、ガス圧焼結した。
ｇ／ｃｍ２の圧力で２時間、ガス圧焼結した。
得られた焼結体は優れた透光性のものであった。
この厚さ０．８ｍｍの透光性焼結体の入射光の波長と透
過率との関係を第１図に示す通り、本発明の方法で得ら
れた焼結体は、入射光の各波長に対して優れた透過率を
有することがわかる。
過率との関係を第１図に示す通り、本発明の方法で得ら
れた焼結体は、入射光の各波長に対して優れた透過率を
有することがわかる。
失五狙ｌ
市販の酸化亜鉛粉末１．９２８５ｇを２００ｋｇ／ｃｍ
２の圧力で直径的１５＋＋＋ｍ、厚さ約４ｍｍの円板状
に一次成型した後、２ ｔｏｎ ／ ａｍ２の静水圧下
で二次成型した。
２の圧力で直径的１５＋＋＋ｍ、厚さ約４ｍｍの円板状
に一次成型した後、２ ｔｏｎ ／ ａｍ２の静水圧下
で二次成型した。
得られた成形体を酸素ガスを流しながら１２５０℃で５
時間、−次焼結した。得られた焼結体の相対密度は９３
．６％であった。
時間、−次焼結した。得られた焼結体の相対密度は９３
．６％であった。
次いでアルゴン雰囲気中で１３００ ’Ｃ１１３００ｋ
ｇ／ａｍ”の圧力で２時間、ガス圧焼結した。
ｇ／ａｍ”の圧力で２時間、ガス圧焼結した。
得られた焼結体は、実施例１で得られた焼結体と同様、
優れた透光性のものであった。
優れた透光性のものであった。
（発明の効果）
以上詳述したように、本発明によれば、高い透光性の酸
化亜鉛焼結体が得られると共に、装置も簡単で、迅速且
つ容易に製造できるので５安価で高品質の透光性焼結体
を提供できる効果は顕著である。
化亜鉛焼結体が得られると共に、装置も簡単で、迅速且
つ容易に製造できるので５安価で高品質の透光性焼結体
を提供できる効果は顕著である。
第１図は実施例１で得られた透光性酸化亜鉛焼結体の入
射光の波長と透過率の関係を示す図である。
射光の波長と透過率の関係を示す図である。
Claims (1)
- 酸化亜鉛粉末を酸素雰囲気中或いは空気中で焼結し、
次いでアルゴン雰囲気中でガス圧焼結することを特徴と
する酸化亜鉛の透光性焼結体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2093523A JPH03290350A (ja) | 1990-04-09 | 1990-04-09 | 酸化亜鉛の透光性焼結体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2093523A JPH03290350A (ja) | 1990-04-09 | 1990-04-09 | 酸化亜鉛の透光性焼結体の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03290350A true JPH03290350A (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=14084685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2093523A Pending JPH03290350A (ja) | 1990-04-09 | 1990-04-09 | 酸化亜鉛の透光性焼結体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03290350A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013209277A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-10-10 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 酸化亜鉛系焼結体の製造方法およびターゲット |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5669268A (en) * | 1979-11-09 | 1981-06-10 | Kagaku Gijutsucho Mukizai | Manufacture of light transmissible sintered body of zinc oxide |
| JPS57106507A (en) * | 1980-12-22 | 1982-07-02 | Agency Of Ind Science & Technol | Manufacture of polycrystalline zinc selenide body |
| JPS63236757A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-03 | 東陶機器株式会社 | 多結晶セラミツクス製品及びその製造方法 |
-
1990
- 1990-04-09 JP JP2093523A patent/JPH03290350A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5669268A (en) * | 1979-11-09 | 1981-06-10 | Kagaku Gijutsucho Mukizai | Manufacture of light transmissible sintered body of zinc oxide |
| JPS57106507A (en) * | 1980-12-22 | 1982-07-02 | Agency Of Ind Science & Technol | Manufacture of polycrystalline zinc selenide body |
| JPS63236757A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-03 | 東陶機器株式会社 | 多結晶セラミツクス製品及びその製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013209277A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-10-10 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 酸化亜鉛系焼結体の製造方法およびターゲット |
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