JPH03288582A - 配管内などの液体の流通経路の洗浄方法 - Google Patents
配管内などの液体の流通経路の洗浄方法Info
- Publication number
- JPH03288582A JPH03288582A JP2087738A JP8773890A JPH03288582A JP H03288582 A JPH03288582 A JP H03288582A JP 2087738 A JP2087738 A JP 2087738A JP 8773890 A JP8773890 A JP 8773890A JP H03288582 A JPH03288582 A JP H03288582A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compressed gas
- cleaning
- liquid
- piping
- tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 67
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 238000005406 washing Methods 0.000 title abstract description 9
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 64
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 16
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 15
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 15
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 54
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 16
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000383 hazardous chemical Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、液体の流通経路の洗浄方法に関し、さらに詳
しくは、洗浄用液体中に圧縮気体を混合し乱流状態とす
ることによって配管内などの流通経路を効率よ(洗浄す
る方法に関する。
しくは、洗浄用液体中に圧縮気体を混合し乱流状態とす
ることによって配管内などの流通経路を効率よ(洗浄す
る方法に関する。
(従来の技術およびその課題)
従来、配管内などの液体の流通経路内に付着した汚染物
質を除去する方法としては、ポンプなどを使用して洗浄
用液体を流通経路内に流通させる方法、例えば食品業界
で適用されている自動定置洗浄装置(例えば化学工業社
刊、食品製造装置百科辞典、29頁参照)を使用して洗
浄する方法などが知られている。
質を除去する方法としては、ポンプなどを使用して洗浄
用液体を流通経路内に流通させる方法、例えば食品業界
で適用されている自動定置洗浄装置(例えば化学工業社
刊、食品製造装置百科辞典、29頁参照)を使用して洗
浄する方法などが知られている。
しかしながら、この方法においては洗浄用液体が多量に
必要となるとともに洗浄能力を良(するため洗浄用液体
に乱流を起こさせても、流通経路内に複雑な形状部分や
狭隘部分があるとその部分およびそこから先では乱流で
なくなり洗浄が充分できなくなる場合があり、また洗浄
用液体として有機溶剤などの危険物を使用する場合には
流量の制限がある。
必要となるとともに洗浄能力を良(するため洗浄用液体
に乱流を起こさせても、流通経路内に複雑な形状部分や
狭隘部分があるとその部分およびそこから先では乱流で
なくなり洗浄が充分できなくなる場合があり、また洗浄
用液体として有機溶剤などの危険物を使用する場合には
流量の制限がある。
(課題を解決するための手段)
本発明者らは、上記問題点を解決するため、液体の流通
経路内を少量の洗浄用液体で効率よく洗浄できる方法を
得るべく鋭意研究の結果、流通経路内の洗浄用液体に圧
縮気体を吹き込んで乱流を起こさせ、このものを流通さ
せることによって上記目的を達成できることを見出し、
本発明を完成させた。
経路内を少量の洗浄用液体で効率よく洗浄できる方法を
得るべく鋭意研究の結果、流通経路内の洗浄用液体に圧
縮気体を吹き込んで乱流を起こさせ、このものを流通さ
せることによって上記目的を達成できることを見出し、
本発明を完成させた。
本発明によれば、配管内などの液体の流通経路内に付着
した汚染物質に洗浄用液体を接触させて該汚染物質を除
去する洗浄方法において、流通経路内に圧縮気体を吹き
込み、該経路内の洗浄用液体中に圧縮気体を混合するこ
とによって該洗浄用液体を乱流状態とすることを特徴と
する液体の流通経路の洗浄方法が提供される。
した汚染物質に洗浄用液体を接触させて該汚染物質を除
去する洗浄方法において、流通経路内に圧縮気体を吹き
込み、該経路内の洗浄用液体中に圧縮気体を混合するこ
とによって該洗浄用液体を乱流状態とすることを特徴と
する液体の流通経路の洗浄方法が提供される。
本発明方法によって洗浄される液体の流通経路は、特に
限定されるものではなく、例えばポンプ、バルブ、配管
などが挙げられる。
限定されるものではなく、例えばポンプ、バルブ、配管
などが挙げられる。
また洗浄用液体としては、流通経路内に付着した汚染物
質に応じて適宜選択すればよく、通常、汚染物質を溶解
又は分散できるものが使用され、例えば水、有機溶剤、
洗剤、アルカリ液などが挙げられる。
質に応じて適宜選択すればよく、通常、汚染物質を溶解
又は分散できるものが使用され、例えば水、有機溶剤、
洗剤、アルカリ液などが挙げられる。
本発明方法においては、配管などの流通経路内に洗浄用
液体を入れてお(か、ないしはポンプなどで洗浄用液体
を流通させておき、この洗浄用液体中に圧縮気体を吹き
込んで洗浄用液体を乱流状態とすることが必要である。
液体を入れてお(か、ないしはポンプなどで洗浄用液体
を流通させておき、この洗浄用液体中に圧縮気体を吹き
込んで洗浄用液体を乱流状態とすることが必要である。
洗浄用液体に吹き込む圧縮気体としては、例えば、圧縮
した空気、窒素、二酸化炭素などが挙げられる。使用す
る圧縮気体の圧力は、洗浄用液体を乱流状態とできる圧
力であればよいが、通常、1.5〜10Kgf/cm”
程度の圧縮気体を使用する。
した空気、窒素、二酸化炭素などが挙げられる。使用す
る圧縮気体の圧力は、洗浄用液体を乱流状態とできる圧
力であればよいが、通常、1.5〜10Kgf/cm”
程度の圧縮気体を使用する。
本発明において“乱流状態”とは流通経路内の洗浄用液
体中を圧縮気体が混合、通過する時、液体が少なくとも
局部的に強制対流され、渦が発生する状態を意味する。
体中を圧縮気体が混合、通過する時、液体が少なくとも
局部的に強制対流され、渦が発生する状態を意味する。
乱流状態とすることによって、流通経路内に付着した汚
染物質の除去が効率よく行なわれるが、複雑な形状部分
や狭隘部分があると、その部分から先では乱流状態では
なくなりやすい。上記、乱流状態でな(なる場合、その
部分を乱流状態とするために、圧縮気体の吹き込み口を
複数箇所に設置してもよい。
染物質の除去が効率よく行なわれるが、複雑な形状部分
や狭隘部分があると、その部分から先では乱流状態では
なくなりやすい。上記、乱流状態でな(なる場合、その
部分を乱流状態とするために、圧縮気体の吹き込み口を
複数箇所に設置してもよい。
以下、本発明方法の例を第1図および第2図を参照しな
がら説明する。
がら説明する。
第1図は圧縮気体注入孔近傍を示したものであり、第2
図はタンクAからタンクBへの液体の流通配管11.1
2内部およびポンプ、またタンクBからタンクAへの液
体の流通配管13内部を本発明方法によって洗浄する場
合の一例を示す全体図である。
図はタンクAからタンクBへの液体の流通配管11.1
2内部およびポンプ、またタンクBからタンクAへの液
体の流通配管13内部を本発明方法によって洗浄する場
合の一例を示す全体図である。
第1図において圧縮気体はバルブ3および逆止弁4を具
備した圧縮気体導入管を通過し、圧縮気体注入孔5から
液体流通配管内へ導入される。
備した圧縮気体導入管を通過し、圧縮気体注入孔5から
液体流通配管内へ導入される。
液体流通配管に対する圧縮気体流通配管の径比は、使用
する圧縮気体の圧力等によって異なるが通常、115〜
l/20程度が好ましい。
する圧縮気体の圧力等によって異なるが通常、115〜
l/20程度が好ましい。
第2図において、圧縮気体発生装置又はボンベ1からの
圧縮気体はレギュレータ6、バルブ3および逆止弁4を
通過して液体流通配管内に送り込まれる。
圧縮気体はレギュレータ6、バルブ3および逆止弁4を
通過して液体流通配管内に送り込まれる。
タンクAからタンクBへ液体を移送した後、配管11お
よび12内に付着した汚染物質を洗浄して除去する場合
、配管ll内の洗浄については三方弁7を配管12に対
して閉とし、バルブ3を開、バルブ3′を閉とし、配管
ll内に洗浄用液体を充填しておき、圧縮気体注入孔5
から圧縮気体を洗浄用液体中に混合することによって液
体を乱流状態とし、配管ll内の汚染物質が洗浄される
。混合された圧縮気体はタンクAの圧縮気体排出口14
から排出される。配管12内およびポンプ内を洗浄する
には、三方弁7を配管12およびタンクBに対して開と
し、配管13に対して閉とし、バルブ3′を開、バルブ
3を閉として、タンクAおよび配管11に洗浄用液体を
入れておき、ポンプを作動させて洗浄用液体を配管12
に送り込むとともに圧縮気体注入孔5′から圧縮気体を
洗浄用液体中に混合することによって液体を乱流状態と
しポンプおよび配管12内の汚染物質が洗浄される。混
合された圧縮気体はタンクBの圧縮気体排出口15から
排出される。
よび12内に付着した汚染物質を洗浄して除去する場合
、配管ll内の洗浄については三方弁7を配管12に対
して閉とし、バルブ3を開、バルブ3′を閉とし、配管
ll内に洗浄用液体を充填しておき、圧縮気体注入孔5
から圧縮気体を洗浄用液体中に混合することによって液
体を乱流状態とし、配管ll内の汚染物質が洗浄される
。混合された圧縮気体はタンクAの圧縮気体排出口14
から排出される。配管12内およびポンプ内を洗浄する
には、三方弁7を配管12およびタンクBに対して開と
し、配管13に対して閉とし、バルブ3′を開、バルブ
3を閉として、タンクAおよび配管11に洗浄用液体を
入れておき、ポンプを作動させて洗浄用液体を配管12
に送り込むとともに圧縮気体注入孔5′から圧縮気体を
洗浄用液体中に混合することによって液体を乱流状態と
しポンプおよび配管12内の汚染物質が洗浄される。混
合された圧縮気体はタンクBの圧縮気体排出口15から
排出される。
配管11および12内の洗浄は同時に行なうこともでき
る。この場合、三方弁7を配管12およびタンクBに対
して開とし、配管13に対して閉とし、バルブ3および
必要に応じてバルブ3′を開として、配管11およびタ
ンクAに洗浄用液体を充填しておきポンプを作動させて
洗浄用液体をタンクA−配管11→配管12→タンクB
に送るとともに圧縮気体注入孔5および必要に応じて5
′から圧縮気体を洗浄用液体中に混合することによって
行なうことができる。圧縮気体注入孔5から混合された
圧縮気体は全部又は大部分が排出口14から排出され、
一部分は、ポンプを通過して排出口15から排出される
場合がある。圧縮気体注入孔5および5′から注入する
気体の圧力は、それぞれ適宜調整すればよい。
る。この場合、三方弁7を配管12およびタンクBに対
して開とし、配管13に対して閉とし、バルブ3および
必要に応じてバルブ3′を開として、配管11およびタ
ンクAに洗浄用液体を充填しておきポンプを作動させて
洗浄用液体をタンクA−配管11→配管12→タンクB
に送るとともに圧縮気体注入孔5および必要に応じて5
′から圧縮気体を洗浄用液体中に混合することによって
行なうことができる。圧縮気体注入孔5から混合された
圧縮気体は全部又は大部分が排出口14から排出され、
一部分は、ポンプを通過して排出口15から排出される
場合がある。圧縮気体注入孔5および5′から注入する
気体の圧力は、それぞれ適宜調整すればよい。
タンクBからタンクAに配管13を通って液体を移送し
た後、配管13内を洗浄する場合、三方弁7を配管12
および13に対して開、タンクBに対して閉とし、バル
ブ3′を開、バルブ3を閉として配管12および13内
に洗浄用液体を充填しておき、圧縮気体注入孔5′から
圧縮気体を洗浄用液体中に混合することによって同様に
行なうことができる。
た後、配管13内を洗浄する場合、三方弁7を配管12
および13に対して開、タンクBに対して閉とし、バル
ブ3′を開、バルブ3を閉として配管12および13内
に洗浄用液体を充填しておき、圧縮気体注入孔5′から
圧縮気体を洗浄用液体中に混合することによって同様に
行なうことができる。
配管11,12.13の少なくとも一つの配管内を洗浄
する方法として、洗浄用液体を循環させる方法がある。
する方法として、洗浄用液体を循環させる方法がある。
すなわち、三方弁7を配管12および13に対して開と
し、タンクBに対して閉として、タンクAに洗浄用液体
を入れておき、ポンプを作動させて洗浄用液体をタンク
A−配管11−ポンプ→配管12→配管13−タンクA
を循環させるとともに、バルブ3および必要に応じてバ
ルブ3′を開とし、圧縮気体注入孔5および必要に応じ
て5′から圧縮気体を洗浄用液体中に混合することによ
って洗浄用液体を乱流状態とし効率よ(洗浄を行なうこ
とができる。混合された圧縮気体はタンクAの圧縮気体
排出口14から排出される。
し、タンクBに対して閉として、タンクAに洗浄用液体
を入れておき、ポンプを作動させて洗浄用液体をタンク
A−配管11−ポンプ→配管12→配管13−タンクA
を循環させるとともに、バルブ3および必要に応じてバ
ルブ3′を開とし、圧縮気体注入孔5および必要に応じ
て5′から圧縮気体を洗浄用液体中に混合することによ
って洗浄用液体を乱流状態とし効率よ(洗浄を行なうこ
とができる。混合された圧縮気体はタンクAの圧縮気体
排出口14から排出される。
これらの洗浄方法によって汚染物質が混合した洗浄用液
体を外部に抜き出し、新しい洗浄用液体にて同様に繰返
し、洗浄を行なうことができる。
体を外部に抜き出し、新しい洗浄用液体にて同様に繰返
し、洗浄を行なうことができる。
本発明方法の実施例を以下に示す。
実施例1(スラリー移送配管の洗浄)
第2図において、配管13を具備していない以外は同様
の装置を用いてスラリーを移送した後の配管11および
12およびポンプ内の洗浄を行なった。
の装置を用いてスラリーを移送した後の配管11および
12およびポンプ内の洗浄を行なった。
圧縮気体としては、コンプレッサーによる圧縮空気を用
い、圧縮空気の圧力をレギュレータ6によって3 Kg
f / cm”とし、また、レギュレータ6′によっ
て2 、5 Kgf / cm”とした。タンクAに洗
浄用有機溶剤を入れ、ポンプを作動させて溶剤をタンク
A→配管11→ポンプ→配管12→タンクBに流通させ
るとともに、バルブ3および3′を開として、圧縮気体
注入孔5から3Kgf/cm2の圧力の圧縮空気、圧縮
気体注入孔5′から2、5Kgf/cm2の圧力の圧縮
空気を混合することによって有機溶剤を乱流状態とし、
約5分間洗浄することによって配管11.12およびポ
ンプ内が清浄となった。混合した圧縮空気は、圧縮気体
排出口14および15から排出された。
い、圧縮空気の圧力をレギュレータ6によって3 Kg
f / cm”とし、また、レギュレータ6′によっ
て2 、5 Kgf / cm”とした。タンクAに洗
浄用有機溶剤を入れ、ポンプを作動させて溶剤をタンク
A→配管11→ポンプ→配管12→タンクBに流通させ
るとともに、バルブ3および3′を開として、圧縮気体
注入孔5から3Kgf/cm2の圧力の圧縮空気、圧縮
気体注入孔5′から2、5Kgf/cm2の圧力の圧縮
空気を混合することによって有機溶剤を乱流状態とし、
約5分間洗浄することによって配管11.12およびポ
ンプ内が清浄となった。混合した圧縮空気は、圧縮気体
排出口14および15から排出された。
一方、圧縮気体を有機溶剤中に混入しない以外、同様に
行なった場合、10分間洗浄を行なっても清浄とならな
かった。
行なった場合、10分間洗浄を行なっても清浄とならな
かった。
実施例2
第2図において、タンクAからタンクBに有機溶剤希釈
型塗料を払い出した後、タンクAをハケ、ブラシ等で洗
浄し、ついでタンクAに有機溶剤をいれ、ポンプを作動
させ、有機溶剤をタンクA−配管11→配管12−配管
13−タンクAと循環させるとともに、コンプレッサー
によって圧縮した空気をレギュレーターによって圧力調
整し、圧縮気体注入孔5から2.5Kgf/cm2.圧
縮気体注入孔5′から2 、 OKgf / cm2の
圧力の圧縮空気を有機溶剤中に混合し、乱流状態として
洗浄を行なった。約3分間洗浄後、有機溶剤を外部に抜
き出した。ついで新たに有機溶剤をタンクAに入れ、同
様に有機溶剤を循環させるとともに圧縮空気を混合して
約3分間洗浄を行なうことによって配管内およびポンプ
内が清浄となった。混合した圧縮空気は圧縮気体排出口
14から排出された。
型塗料を払い出した後、タンクAをハケ、ブラシ等で洗
浄し、ついでタンクAに有機溶剤をいれ、ポンプを作動
させ、有機溶剤をタンクA−配管11→配管12−配管
13−タンクAと循環させるとともに、コンプレッサー
によって圧縮した空気をレギュレーターによって圧力調
整し、圧縮気体注入孔5から2.5Kgf/cm2.圧
縮気体注入孔5′から2 、 OKgf / cm2の
圧力の圧縮空気を有機溶剤中に混合し、乱流状態として
洗浄を行なった。約3分間洗浄後、有機溶剤を外部に抜
き出した。ついで新たに有機溶剤をタンクAに入れ、同
様に有機溶剤を循環させるとともに圧縮空気を混合して
約3分間洗浄を行なうことによって配管内およびポンプ
内が清浄となった。混合した圧縮空気は圧縮気体排出口
14から排出された。
一方、圧縮気体を有機溶剤中に混入しない以外、同様に
循環して10分間洗浄を行なった後、新たな有機溶剤と
入れ換えて、圧縮気体を有機溶剤中に混入しないで同様
に約3分間循環を行なったところ配管内が清浄とならな
かった。
循環して10分間洗浄を行なった後、新たな有機溶剤と
入れ換えて、圧縮気体を有機溶剤中に混入しないで同様
に約3分間循環を行なったところ配管内が清浄とならな
かった。
第1図は圧縮気体注入孔付近の断面図であり、第2図は
液体流通配管を示す装置のモデル図である。 1・・・圧縮気体発生装置又はボンベ、2・・・圧縮気
体用配管、3および3′・・・バルブ、4および4′・
・・逆止弁、5および5′・・・圧縮気体注入孔、6お
よび6′・・・レギュレータ、7・・・三方弁、8・・
・ポンプ、11.12および13・・・液体流通配管、
14および15・・・圧縮気体排出口。
液体流通配管を示す装置のモデル図である。 1・・・圧縮気体発生装置又はボンベ、2・・・圧縮気
体用配管、3および3′・・・バルブ、4および4′・
・・逆止弁、5および5′・・・圧縮気体注入孔、6お
よび6′・・・レギュレータ、7・・・三方弁、8・・
・ポンプ、11.12および13・・・液体流通配管、
14および15・・・圧縮気体排出口。
Claims (1)
- 1、配管内などの液体の流通経路内に付着した汚染物質
に洗浄用液体を接触させて該汚染物質を除去する洗浄方
法において、流通経路内に圧縮気体を吹き込み、該経路
内の洗浄用液体中に圧縮気体を混合することによって該
洗浄用液体を乱流状態とすることを特徴とする液体の流
通経路の洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2087738A JPH03288582A (ja) | 1990-04-02 | 1990-04-02 | 配管内などの液体の流通経路の洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2087738A JPH03288582A (ja) | 1990-04-02 | 1990-04-02 | 配管内などの液体の流通経路の洗浄方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03288582A true JPH03288582A (ja) | 1991-12-18 |
Family
ID=13923270
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2087738A Pending JPH03288582A (ja) | 1990-04-02 | 1990-04-02 | 配管内などの液体の流通経路の洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03288582A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03258382A (ja) * | 1990-03-06 | 1991-11-18 | Katsuyoshi Kosaka | 給水管系の管内洗浄方法 |
JP2007254870A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | ナトリウム使用設備の洗浄方法と該洗浄を実施してナトリウム分散体を製造するナトリウム分散体製造方法 |
JP2007301462A (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Asahi Breweries Ltd | タンク構造部の洗浄方法 |
JP2015167938A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6433042B1 (ja) * | 2018-08-10 | 2018-12-05 | 日本リニューアル株式会社 | フラッシング装置 |
JP2019048298A (ja) * | 2018-11-30 | 2019-03-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理装置の配管洗浄方法 |
-
1990
- 1990-04-02 JP JP2087738A patent/JPH03288582A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03258382A (ja) * | 1990-03-06 | 1991-11-18 | Katsuyoshi Kosaka | 給水管系の管内洗浄方法 |
JP2007254870A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | ナトリウム使用設備の洗浄方法と該洗浄を実施してナトリウム分散体を製造するナトリウム分散体製造方法 |
JP4492880B2 (ja) * | 2006-03-24 | 2010-06-30 | 株式会社神鋼環境ソリューション | ナトリウム使用設備の洗浄方法と該洗浄を実施してナトリウム分散体を製造するナトリウム分散体製造方法 |
JP2007301462A (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Asahi Breweries Ltd | タンク構造部の洗浄方法 |
JP2015167938A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6433042B1 (ja) * | 2018-08-10 | 2018-12-05 | 日本リニューアル株式会社 | フラッシング装置 |
JP2020025927A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 日本リニューアル株式会社 | フラッシング装置 |
JP2019048298A (ja) * | 2018-11-30 | 2019-03-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理装置の配管洗浄方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH03288582A (ja) | 配管内などの液体の流通経路の洗浄方法 | |
CN101468354B (zh) | 轨道车辆管路清洗方法和装置 | |
CN105841438A (zh) | 降低夹持磨损的试剂瓶干燥系统 | |
CN107639060A (zh) | 化学品预配型清洗分站 | |
JPS58156384A (ja) | 管路の洗浄方式 | |
JP2002210396A (ja) | 塗装装置の洗浄装置及びその洗浄方法 | |
CN207005337U (zh) | 一种带冲洗的无堵塞球阀 | |
JPH11156115A (ja) | 濾過装置のフィルタ洗浄方法 | |
JP4723167B2 (ja) | シール機構のための洗浄装置及び該洗浄装置の使用方法 | |
KR200280353Y1 (ko) | Cmp 장치의 슬러리 공급배관 | |
JP2656015B2 (ja) | ダイコータ塗料洗浄装置 | |
JPH02195866A (ja) | 滅菌装置の連結方法 | |
KR20010107246A (ko) | 화학용액 공급배관의 세정장치 | |
KR200298918Y1 (ko) | 웨이퍼의 퀵 덤프 세정장치 | |
US20010027801A1 (en) | Pipe cleaner | |
CN209303335U (zh) | 一种移动式化学清洗设备 | |
JPS637831A (ja) | 真空装置の洗浄方法 | |
JPH05198494A (ja) | フォトマスクの現像エッチング装置 | |
JPH06238241A (ja) | 物品の洗浄装置および洗浄方法 | |
JPH06269756A (ja) | オゾン曝気水による洗管方法 | |
JP4776044B1 (ja) | 被洗浄物の洗浄装置 | |
JPS63288818A (ja) | 吸引式空気輸送装置 | |
CN105834179A (zh) | 清洗烘干一体式试剂瓶清洗系统 | |
KR200273211Y1 (ko) | 케미컬 이송용 부속품의 세정장치 | |
JPH09327618A (ja) | 液体の攪拌槽 |