KR200273211Y1 - 케미컬 이송용 부속품의 세정장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 케미컬 이송용 부속품의 세정장치에 관한 것으로서, 반도체 소자를 제조하기 위한 공정에 이용되는 케미컬을 이송하는데 사용된 복수의 부속품을 세정하는 장치에 있어서, 복수의 부속품의 세정에 필요한 케미컬 또는 초순수를 각각 저장하는 케미컬 저장탱크 및 초순수 저장탱크와; 케미컬 저장탱크 및 초순수 저장탱크에 저장된 케미컬 또는 초순수를 펌프의 펌핑에 의해 복수의 부속품의 입구에 각각 공급하는 세정액 공급라인과; 케미컬 저장탱크와 초순수 저장탱크의 공급을 각각 개폐시키는 제 1 및 2 밸브와; 복수의 부속품에 공급되는 케미컬 또는 초순수의 공급을 각각 개폐시키는 복수의 제 3 밸브와; 복수의 부속품의 출구로부터 배출되는 케미컬 또는 초순수를 운반하는 세정액 배출라인과; 세정액 배출라인을 통해 운반되는 케미컬 또는 초순수를 회수하는 세정액 회수탱크를 포함하는 것으로서, 케미컬 이송용 밸브, 배관 등의 부속품 내부에 부착된 이물질을 제거하기 위한 세정시 이물질이 부착된 내부만을 세정함으로써 사용되는 세정액의 양을 감소시키고, 이로 인해 공해의 유발 요인을 줄이며, 세정액이 부속품의 내부를 통과함으로써 세정효과가 우수할 뿐만 아니라 세정시간이 단축되는 효과를 가진다.

Description

케미컬 이송용 부속품의 세정장치{CLEANER FOR USING FITTINGS FOR TRANSFERING CHEMICAL}

본 고안은 케미컬 이송용 부속품의 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 케미컬 이송용 밸브, 배관 등의 부속품 내부에 부착된 이물질을 제거하기 위한 세정시 세정액의 양을 감소시키며, 세정효과가 우수할 뿐만 아니라 세정시간이 단축되는 케미컬 이송용 부속품의 세정장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 공정에 이용되는 케미컬을 공급하거나 회수하기 위하여 사용되는 밸브, 배관 등의 부속품은 통과하는 케미컬의 화학반응에 의해 그 내부에 이물질이 부착됨으로써 본래의 기능을 다하지 못하기 때문에 주기적으로 그 내부를 클리닝해 주어야 한다.

이를 위해 케미컬 이송용 밸브, 배관 등의 부속품은 세정액이 저장된 약액조와 초순수(DI Water)가 저장된 린스조에 순차적으로 일정시간 동안 약액세정 및 린스를 수행함으로써 내부에 부착된 이물질을 제거하게 된다.

이와 같이 종래에 따른 케미컬 이송용 밸브, 배관 등의 부속품의 세정은 이들 부속품의 내부 뿐만 아니라 외부까지도 세정되기 때문에 과다하게 세정액 및 초순수가 소모될 뿐만 아니라 약액조나 린스조에서 세정을 수행하는 부속품의 수에 관계없이 일정한 양의 세정액과 초순수가 소모됨과 아울러 일정 시간이 소요되므로 세정 비용의 증가와 함께 장비의 가동율을 저하시키며, 세정을 마친 많은 양의 세정액과 초순수로 인해 공해를 유발시킬뿐만 아니라 이를 정화시키는데 많은 비용이 소요되는 문제점을 가지고 있었다.

본 고안은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 고안의 목적은 케미컬 이송용 밸브, 배관 등의 부속품 내부에 부착된 이물질을 제거하기 위한세정시 이물질이 부착된 내부만을 세정함으로써 사용되는 세정액의 양을 감소시키고, 이로 인해 공해의 유발 요인을 줄임과 아울러 세정을 마친 세정액의 정화에 따른 비용을 절감하며, 세정액이 부속품의 내부를 통과함으로써 세정효과가 우수할 뿐만 아니라 세정시간이 단축되는 케미컬 이송용 부속품의 세정장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 고안은, 반도체 소자를 제조하기 위한 공정에 이용되는 케미컬을 이송하는데 사용된 복수의 부속품을 세정하는 장치에 있어서, 복수의 부속품의 세정에 필요한 케미컬 또는 초순수를 각각 저장하는 케미컬 저장탱크 및 초순수 저장탱크와; 케미컬 저장탱크 및 초순수 저장탱크에 저장된 케미컬 또는 초순수를 펌프의 펌핑에 의해 복수의 부속품의 입구에 각각 공급하는 세정액 공급라인과; 케미컬 저장탱크와 초순수 저장탱크의 공급을 각각 개폐시키는 제 1 및 2 밸브와; 복수의 부속품에 공급되는 케미컬 또는 초순수의 공급을 각각 개폐시키는 복수의 제 3 밸브와; 복수의 부속품의 출구로부터 배출되는 케미컬 또는 초순수를 운반하는 세정액 배출라인과; 세정액 배출라인을 통해 운반되는 케미컬 또는 초순수를 회수하는 세정액 회수탱크를 포함하는 것을 특징으로 한다.

세정액 공급라인상에는 세정액 공급라인을 통과하는 케미컬 또는 초순수에 포함되는 불순물을 제거하는 필터가 설치되는 것을 특징으로 한다.

세정액 공급라인중 필터의 전단 또는 후단에는 세정액 공급라인 내부의 압력을 외부로 표시하는 압력계가 설치되는 것을 특징으로 한다.

제 3 밸브는 3 방향밸브로 이루어지며, 3 방향밸브는 세정액 공급라인을 통해 공급되는 케미컬을 케미컬 저장탱크로 리턴시키는 케미털 리턴라인이 연결되는 것을 특징으로 한다.

세정액 배출라인중 상기 부속품 각각의 출구측에 연결되는 부위는 신축이 자유롭도록 나사형상으로 감겨진 신축부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

부속품은 케미컬의 이동통로를 제공하는 각종 배관류 또는 케미컬의 흐름을 개폐시키는 메뉴얼밸브나 에어밸브인 것을 특징으로 한다.

에어밸브는 세정시 개방되도록, 외부의 에어공급부로부터 공급되는 에어를 분배하는 에어분배라인과, 에어분배라인의 배출구측에 각각 설치되어 에어의 흐름을 개폐하는 복수의 솔레노이드밸브와, 복수의 솔레노이드밸브를 각각 개폐시키는 복수의 밸브개폐스위치와, 에어분배라인의 배출구에 각각 연결됨과 아울러 끝단이 각각의 에어밸브의 에어주입구에 분리가능하게 결합되는 에어주입호스를 구비한 에어밸브 개방수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

에어밸브 개방수단은, 전자식으로 작동시간이 설정되는 타이머스위치와; 에어분배라인의 유입구측에 설치되며, 타이머스위치의 신호를 감지하여 작동되어 에어분배라인의 유입구측으로 공급되는 에어를 차단시키는 메인솔레노이드밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 본 고안에 따른 케미컬 이송용 부속품의 세정장치를 도시한 구성도이고,

도 2는 본 고안에 따른 케미컬 이송용 부속품의 세정장치의 에어밸브 개방수단을 도시한 구성도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

1,2,3 ; 부속품 11 ; 케미컬 저장탱크

12 ; 초순수 저장탱크 20 ; 세정액 공급라인

30 ; 제 1 밸브 40 ; 제 2 밸브

50 ; 제 3 밸브 60 ; 세정액 배출라인

70 ; 세정액 회수탱크 80 ; 케미컬 리턴라인

90 ; 에어밸브 개방수단

이하, 본 고안의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 고안에 따른 케미컬 이송용 부속품의 세정장치를 도시한 구성도이고, 도 2는 본 고안에 따른 케미컬 이송용 부속품의 세정장치의 에어밸브 개방수단을 도시한 구성도이다.

도시된 바와 같이, 케미컬(chemical) 또는 초순수(deionized water)를 각각 저장하는 케미컬 저장탱크(11) 및 초순수 저장탱크(12)와, 케미컬 저장탱크(11) 및 초순수 저장탱크(12)에 저장된 케미컬 또는 초순수를 펌프(21)의 펌핑에 의해 복수의 부속품(1,2,3)의 입구에 각각 공급하는 세정액 공급라인(20)과, 케미컬 저장탱크(11)와 초순수 저장탱크(12)의 공급을 각각 개폐시키는 제 1 및 2 밸브(30,40)와, 복수의 부속품(1,2,3)에 공급되는 케미컬 또는 초순수의 공급을 각각 개폐시키는 복수의 제 3 밸브(50)와 복수의 부속품(1,2,3)의 출구로부터 배출되는 케미컬 또는 초순수를 운반하는 세정액 배출라인(60)과, 세정액 배출라인(60)을 통해 운반되는 케미컬 또는 초순수를 회수하는 세정액 회수탱크(70)를 포함한다.

본 고안의 케미컬 이송용 부속품의 세정장치에 의해 세정되는 부속품(1,2,3)은 반도체 소자를 제조하기 위한 공정에 이용되는 케미컬의 이동통로를 제공하는 각종 배관류(1) 또는 이러한 케미컬의 흐름을 개폐시키는 메뉴얼밸브(2)나 에어밸브(3)이다.

케미컬 저장탱크(11) 및 초순수 저장탱크(12)는 각각 복수의 부속품(1,2,3)의 세정에 필요한 케미컬과 초순수를 저장하고 있으며, 이들의 출입구에는 세정액 공급라인(20)의 분기된 일측이 각각 결합된다.

세정액 공급라인(20)중 분기된 일측에는 케미컬 저장탱크(11) 및 초순수 저장탱크(12)로부터 각각 케미컬과 초순수의 공급을 개폐시키는 제 1 밸브(30)와 제 2 밸브(40)가 각각 설치된다.

또한, 세정액 공급라인(20) 상에는 전원의 인가에 의해 구동하는 펌프(21)가 설치되고, 내측을 흐르는 케미컬 또는 초순수에 포함되는 불순물을 제거하는 필터(22)가 설치되며, 세정액 공급라인(20)중 필터(22)의 전단 또는 후단에는 세정액 공급라인(20) 내부의 압력을 외부로 표시하는 압력계(23,24)가 설치될 수 있으며, 도 1에서 나타낸 바와 같이 필터(22)의 전.후단에 함께 설치할 수도 있다.

압력계(23,24)는 필터(22)의 전단측 또는 후단측의 압력을 외부로 표시함으로써 펌프(22)측 세정액 공급라인(20), 세정하고자 하는 부속품(1,2,3) 등이 막힘으로 인해 세정액 공급라인(20) 내부에 지나치게 고압을 형성함으로써 세정액 공급라인(20) 등의 관련부재가 파손되거나 사고가 발생하는 것을 예방한다.

세정액 공급라인(20)의 배출측은 복수로 분기됨으로써 각각의 끝단이 부속품(1,2,3)의 입구측(또는 출구측)에 분리가능하게 결합된다. 세정액 공급라인(20)의 배출측의 분기된 끝단이 부속품(1,2,3)에 분리가능하게 결합되기 위하여 이들은 서로 나사결합됨이 바람직하다. 따라서, 이들의 분리 및 결합이 용이하며, 이들간의 기밀을 유지할 수 있다.

제 1 및 제 2 밸브(30,40)는 세정과정에 따라 부속품(1,2,3)으로 케미컬 또는 초순수를 선택적으로 공급하기 위하여 선택적으로 개폐된다.

제 3 밸브(50)는 세정액 공급라인(20)의 배출측의 분기된 각각의 라인상에 설치되며, 부속품(1,2,3) 각각에 공급되는 케미컬 또는 초순수의 흐름을 개폐한다.

또한, 제 3 밸브(50)는 3 방향밸브(50)로 이루어지며, 3 방향밸브(50)는 상기 세정액 공급라인(20)을 통해 공급되는 케미컬을 케미컬 저장탱크(11)로 리턴시키는 케미털 리턴라인(80)이 연결되는 것이 바람직하다. 따라서, 세정액 공급라인(20)을 통해 부속품(1,2,3)으로 케미컬을 공급시 부속품(1,2,3)이 연결되는 않은 측의 3 방향밸브(50)는 케미컬 리턴 라인(80)을 통해 케미컬 저장탱크(11)로 리턴되도록 함으로써 세정액 공급라인(20) 내의 압력을 낮춤으로써 세정액 공급라인(20)이 파손됨을 방지하고 케미컬이 부속품(1,2,3)을 지나치게 빨리 통과하여 세정효과가 저하되는 것을 방지한다.

세정액 배출라인(60)은 각각의 부속품(1,2,3) 출구측(또는 입구측)에 분리가능하게 결합되어 부속품(1,2,3)의 내부 세척 또는 린스를 마친 케미컬 또는 초순수를 세정액 회수탱크(70)로 운반한다.

세정액 배출라인(60)의 끝단은 부속품(1,2,3)과 분리가능하게 결합되도록 세정액 배출라인(60)의 끝단과 부속품(1,2,3)의 출구측(또는 입구측)은 서로 나사결합함이 바람직하다. 따라서, 이들의 분리 및 결합이 용이하며, 이들간의 기밀을 유지할 수 있다.

또한, 세정액 배출라인(60)은 부속품(1,2,3)이 연결되는 부위에 신축이 자유롭도록 나사형상으로 감겨진 신축부(61)를 구비할 수 있다. 따라서, 부속품(1,2,3)특히, 배관류(1)의 크기나 길이에 따라 세정액 배출라인(60)을 용이하게 신축시킬 수 있다.

한편, 부속품(1,2,3)중 에어밸브(3)는 세정시 개방되어야만 케미컬 또는 초순수가 통과하여 세정할 수 있으므로 세정시 에어밸브(3)를 개방하기 위해 에어밸브(3)의 에어주입구(미도시)에 에어를 공급하는 에어밸브 개방수단(90)이 구비된다.

에어밸브 개방수단(90)은 본체(91)의 일측에 연결되는 외부의 에어공급부(100)의 에어공급라인(110)을 통해 공급되는 에어를 분배하는 에어분배라인(92)과, 에어분배라인(92)의 배출구측에 각각 설치되어 에어의 흐름을 개폐하는 복수의 솔레노이드밸브(93)와, 복수의 솔레노이드밸브(93)를 각각 개폐시키며 본체(91)의 정면에 구비되는 밸브개폐스위치(94)와, 본체(91)의 일측에 돌출되는 에어분배라인(92)의 배출구(92a)에 각각 연결됨과 아울러 끝단이 각각의 에어밸브(3)의 에어주입구에 분리가능하게 결합되는 에어주입호스(95)를 포함한다.

또한, 에어밸브 개방수단(90)은 본체(91)의 정면에 구비되는 시간입력부(96a)의 버튼 조작에 따라 시간표시부(96b)에 설정된 시간을 표시함과 아울러 전자식으로 작동시간이 설정되는 타이머스위치(96)와, 에어분배라인(92)의 유입측에 설치되어 타이머스위치(96)의 신호를 감지하여 작동되어 에어분배라인(92)으로 공급되는 에어를 차단시키는 메인솔레노이드밸브(97)를 더 포함한다.

한편, 본체(91)의 일측에는 솔레노이드밸브(93), 타이머스위치(96)의 동작에 필요한 전원을 공급하는 전원공급라인(120)이 연결되며, 정면에는 전원공급라인(120)을 통해 공급되는 전원을 개폐하도록 전원스위치(98)가 설치된다.

이와 같은 구조로 이루어진 케미컬 이송용 부속품의 세정장치의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

먼저, 세정하고자 하는 부속품(1,2,3)의 양단에 세정액 공급라인(20)의 배출측의 분기된 라인과 세정액 배출라인(60)의 유입측의 분기된 라인을 각각 연결시킨다. 그런 다음, 제 2 밸브(40)를 닫은 상태에서 제 1 밸브(30)를 개방함으로써 펌프(21)의 펌핑에 의해 케미컬 저장탱크(11)에 저장된 케미컬을 세정액 공급라인(20)을 통해 각각의 부속품(1,2,3)으로 공급한다. 이 때, 부속품(1,2,3)이 연결되지 않은 세정액 공급라인(20)의 배출측에 설치된 제 3 밸브(50), 즉 3 방향밸브(50)는 케미컬 리턴라인(80)을 통해 케미컬 저장탱크(11)로 리턴되도록 조작함으로써 세정액 공급라인(20)내의 케미컬 흐름의 차단으로 인한 압력상승을 방지한다.

세정액 공급라인(20)을 통해 부속품(1,2,3)으로 공급된 케미컬은 부속품(1,2,3)의 내측을 통과하면서 내부에 부착된 이물질을 제거하고, 세정액 배출라인(60)을 통해 세정액 회수탱크(70)로 회수된다.

케미컬을 이용한 부속품(1,2,3)의 세정이 일정 시간을 경과하여 완료되면, 제 1 밸브(30)를 닫고, 제 2 밸브(40)를 개방함으로써 펌프(21)의 펌핑에 의해 초순수 저장탱크(12)에 저장된 초순수를 세정액 공급라인(20)을 통해 부속품(1,2,3)내측으로 공급되며, 부속품(1,2,3) 내측의 린스를 마친 초순수는 세정액 배출라인(60)을 통해 세정액 회수탱크(70)로 회수된다. 그리고, 초순수를 이용한 부속품(1,2,3)의 린스시에는 부속품(1,2,3)이 연결되는 않은 세정액 공급라인(20)의 3 방향밸브(50)는 어느 방향으로도 초순수가 흐르지 못하도록 닫음으로써 초순수가 케미컬 리턴라인(80)을 통해 케미컬 저장탱크(11)로 리턴되지 못하게 한다.

한편, 부속품(1,2,3)이 에어밸브(3)인 경우에는 에어밸브 개방수단(90)을 통해 세정시 에어밸브(3)를 개방하여야 한다. 이를 위해 에어밸브(3)의 에어주입구(미도시)에 에어주입호스(95)를 연결한 후 연결된 에어주입호스(95)에 해당하는 밸브개폐스위치(94)를 온시켜 솔레노이드밸브(93)를 개방시킴으로써 외부의 에어공급부(100)의 에어공급라인(110)을 통해 공급된 에어가 에어주입호스(95)를 통해 에어밸브(3)로 공급되도록 하여 에어밸브(3)를 개방시킨다.

또한, 에어밸브 개방수단(90)의 본체(91) 정면의 시간입력부(96a)에 구비된 버튼을 조작하여 에어주입시간을 설정함으로써 타이머스위치(96)에 의해 설정된 시간동안 에어밸브(3)로 에어가 주입되도록 함으로써 에어밸브(3)의 세정시간을 조절할 수 있다.

이상과 같이 본 고안의 바람직한 실시예에 따르면, 케미컬 이송용 밸브, 배관 등의 부속품 내부에 부착된 이물질을 제거하기 위한 세정시 이물질이 부착된 내부만을 세정함으로써 사용되는 세정액의 양을 감소시키고, 사용을 마친 세정액의 정화에 따른 비용을 절감하며, 세정액이 부속품의 내부를 통과함으로써 세정효과가 우수하다.

상술한 바와 같이, 본 고안에 따른 케미컬 이송용 부속품의 세정장치는 케미컬 이송용 밸브, 배관 등의 부속품 내부에 부착된 이물질을 제거하기 위한 세정시이물질이 부착된 내부만을 세정함으로써 사용되는 세정액의 양을 감소시키고, 이로 인해 공해의 유발 요인을 줄임과 아울러 세정을 마친 세정액의 정화에 따른 비용을 절감하며, 세정액이 부속품의 내부를 통과함으로써 세정효과가 우수할 뿐만 아니라 세정시간이 단축되는 효과를 가지고 있다.

이상에서 설명한 것은 본 고안에 따른 케미컬 이송용 부속품의 세정장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 실용신안등록청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 고안의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (8)

1. 반도체 소자를 제조하기 위한 공정에 이용되는 케미컬을 이송하는데 사용된 복수의 부속품을 세정하는 장치에 있어서,

   상기 복수의 부속품의 세정에 필요한 케미컬 또는 초순수를 각각 저장하는 케미컬 저장탱크 및 초순수 저장탱크와;

   상기 케미컬 저장탱크 및 상기 초순수 저장탱크에 저장된 케미컬 또는 초순수를 펌프의 펌핑에 의해 상기 복수의 부속품의 입구에 각각 공급하는 세정액 공급라인과;

   상기 케미컬 저장탱크와 상기 초순수 저장탱크의 공급을 각각 개폐시키는 제 1 및 2 밸브와;

   상기 복수의 부속품에 공급되는 케미컬 또는 초순수의 공급을 각각 개폐시키는 복수의 제 3 밸브와;

   상기 복수의 부속품의 출구로부터 배출되는 케미컬 또는 초순수를 운반하는 세정액 배출라인과;

   상기 세정액 배출라인을 통해 운반되는 케미컬 또는 초순수를 회수하는 세정액 회수탱크;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 이송용 부속품의 세정장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 세정액 공급라인상에는 상기 세정액 공급라인을 통과하는 케미컬 또는 초순수에 포함되는 불순물을 제거하는 필터가 설치되는 것을 특징으로 하는 케미컬 이송용 부속품의 세정장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 세정액 공급라인중 상기 필터의 전단 또는 후단에는 상기 세정액 공급라인 내부의 압력을 외부로 표시하는 압력계가 설치되는 것을 특 징으로 하는 케미컬 이송용 부속품의 세정장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 밸브는 3 방향밸브로 이루어지며, 상기 3 방향밸브는 상기 세정액 공급라인을 통해 공급되는 케미컬을 상기 케미컬 저장탱크로 리턴시키는 케미털 리턴라인이 연결되는 것을 특징으로 하는 케미컬 이송용 부속품의 세정장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 세정액 배출라인중 상기 부속품 각각의 출구측에 연결되는 부위는 신축이 자유롭도록 나사형상으로 감겨진 신축부를 구비하는 것을 특징으로 하는 케미컬 이송용 부속품의 세정장치.
6. 제 1 또는 제 5 항에 있어서, 상기 부속품은 케미컬의 이동통로를 제공하는 각종 배관류 또는 케미컬의 흐름을 개폐시키는 메뉴얼밸브나 에어밸브인 것을 특징으로 하는 케미컬 이송용 부속품의 세정장치.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 에어밸브는 세정시 개방되도록, 외부의 에어공급부로부터 공급되는 에어를 분배하는 에어분배라인과, 상기 에어분배라인의 배출구측에 각각 설치되어 에어의 흐름을 개폐하는 복수의 솔레노이드밸브와, 상기 복수의 솔레노이드밸브를 각각 개폐시키는 복수의 밸브개폐스위치와, 상기 에어분배라인의 배출구에 각각 연결됨과 아울러 끝단이 상기 각각의 에어밸브의 에어주입구에 분리가능하게 결합되는 에어주입호스를 구비한 에어밸브 개방수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 이송용 부속품의 세정장치.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 에어밸브 개방수단은,

   전자식으로 작동시간이 설정되는 타이머스위치와;

   상기 에어분배라인의 유입구측에 설치되며, 상기 타이머스위치의 신호를 감지하여 작동되어 상기 에어분배라인의 유입구측으로 공급되는 에어를 차단시키는 메인솔레노이드밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 이송용 부속품의 세정장치.