JPH03285390A - 多層配線基板の製造方法 - Google Patents

多層配線基板の製造方法

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JPH03285390A
JPH03285390A JP8780590A JP8780590A JPH03285390A JP H03285390 A JPH03285390 A JP H03285390A JP 8780590 A JP8780590 A JP 8780590A JP 8780590 A JP8780590 A JP 8780590A JP H03285390 A JPH03285390 A JP H03285390A
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JP
Japan
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prepreg
resin
inner layer
laminate
multilayer wiring
Prior art date
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Pending
Application number
JP8780590A
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English (en)
Inventor
Masato Matsuo
松尾 正人
Shigeaki Kojima
小島 甚昭
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野) 本発明は電気機器・電子機器、コンピューター、通信機
器等に用いられる多層配線基板に関するものである。
〔従来の技術〕
従来の多層配線基板は所要枚数の内層材の上面及び又は
下面にプリプレグを介して外層用金属箔を配設した積層
体を、インナープレートに挾んだものを1組とし複数組
重ねてから最外側を金型プレートに挟んで積層成形して
いるが、金型プレート間にはインナープレートが存在す
るため、金型プレート間に介在させる積層体の組数は減
少セざるを得ず生産性が低い欠点があった。そうかとい
ってインナープレートを除去し積層体のみを複数組重ね
金型プレートに挟んで積層成形すると、内層材の回路部
分が外層用金属箔表面に浮きでる現象を発生し多層配線
基板としては使えない。このため外層用金属箔としてア
ルミキャリア付銅箔を用い内層回路の浮きを押えること
が試みられたが充分でなく更にアルミニウムの除去工程
が余分に入ってくる。又積層成形を低圧で行なうことも
試みられたが成形不良発生率が高いという問題があった
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来の技術で述べたように多層配線基板の生産性を向上
させるため、外層用金属箔としてアルミキャリア付銅箔
を用いたり、積層成形を低圧で行なうことは欠点が多い
本発明は従来の技術における上述の問題点に鑑みてなさ
れたもので、その目的とするところは内層回路の浮き発
生が少なく、多層配線基板を効率よく生産することので
きる多層配線基板の製造方法を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は所要枚数の内層材の上面及び又は下面にプリプ
レグを配し、外層用樹脂付金属箔と内層材間には、内層
材側にプリプレグを、外層用樹脂付金属箔側にはアンク
ランド板を配設した積層体の所要数を金型プレート間に
挟み積層成形し、所要数の多層配線基板を得ることを特
徴とする多層配線基板の製造方法のため、アンクラッド
板により内層回路の浮きを防止することができ、且つイ
ンナープレートを用いないため、金型プレート間の積層
体数を増加させることができるもので、以下本発明の詳
細な説明する。
本発明に用いる内層材としては、ガラス、アスベスト等
の無機繊維やポリエステル、ポリアミド、ポリビニルア
ルコール、アクリル等の有機合成繊維や木綿等の天然繊
維からなる織布、不織布、マット或は紙等の基材にフェ
ノール樹脂、フレソール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポ
リエステル樹脂、メラミン樹脂、ポリイミド、ポリブタ
ジェン、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリスルフォ
ン、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニレンオキ
サイド、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエ
ーテルケトン、フッ素樹脂等の単独、変性物、混合物等
の樹脂を含浸、乾燥したプリプレグの所要枚数の上面及
び又は下面に金属箔を配設一体化してなる電気用積層板
の金属箔に電気回路を形成したものである。プリプレグ
としては、電気用積層板の製造に用いられる上記プリプ
レグをそのまま用いることができ、内層材に用いたプリ
プレグと同一であってもよく、又異種であってもよく特
に限定するものではなく、更に使用枚数も任意である。
アンクラッド板としては電気用積層板の製造に用いられ
るプリプレグのみを積層一体化してなるもので、内層材
に用いられたプリプレグやアンクラッド板の上下に用い
せれるプリプレグと同一であってもよく、又異種であっ
てもよい。外層用樹脂付金属箔としては銅、アルミニウ
ム、鉄、ニッケル、亜鉛等の単独、合金、複合の金属箔
の片面に、プリプレグに用いた樹脂を主成分とする樹脂
層を設けたもので、樹脂層の厚みは乾燥後厚みで0. 
OO5〜0.1髄であることが好ましい。なお金属箔の
厚みは0.018〜0.07mが望ましい。金型プレー
トとしては鉄、アルミニウム、銅、ニンケル、亜鉛等の
単独、合金、複合の金型プレートで厚みは特に限定とな
いが、好ましくは6〜15mmであることが望ましいこ
とである。積層一体化手段についてはプレス、多段プレ
ス等が好ましいが特に限定するものではない。
以下本発明を実施例にもとづいて説明する。
実施例 厚み0.5 IHIBのガラス布基材エポキシ樹脂両面
70ミクロン厚銅張積層板の両面に電気回路を形成して
なる内層材の上下面に、厚さ0.1Mのエポキシ樹脂含
浸ガラス布プリプレグ1枚を配し、その外側に厚さ0.
2 ttmのガラス布基材エポキシ樹脂アンクランド積
層1枚を介して厚さ0.018m+aのエポキシ樹脂層
付銅箔の樹脂層側にして配設した積層体30組を厚さ1
0IIII11のステンレス鋼製金型プレートに挟み成
形圧力30kg/cffl、165 ’Cで120分間
積層成形し30枚の多層配線基板を得た。
〔比較例1〕 実施例と同じ内層材の上下面に、厚さ0.1mmのエポ
キシ樹脂含浸ガラス布プリプレグ2枚を介して厚さ0.
018mmの銅箔を配設した積層体を厚さ2−ののステ
ンレス銅製インナープレートに挟んだものをIMiとし
、10組を厚さ10mmのステンレス銅製金型プレート
に挾み成形圧力30kg/cか165°Cl2O分間積
層成形して10枚の多層配線基板を得た。
〔比較例2〕 比較例1と同し積層体30M1をインナープレートを用
いることなくそのまま積層した以外は比較例1と同様に
処理して30枚の多層配線基板を得た。
〔比較例3〕 比較例1と同じ積層体30組をインナープレートを用い
ることなくそのまま積層し、成形圧力を10kg/cd
にした以外は比較例1と同様に処理して30枚の多層配
線基板を得た。
実施例と比較例1乃至3の多層配線基板の性能は第1表
のようである。
第   1   表 [発明の効果〕 本発明は上述した如く構成されている。特許請求の範囲
に記載した多層配線基板の製造方法においては内層回路
の浮き発生が少なく、生産性を向上させることができる
効果がある。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)所要枚数の内層材の上面及び又は下面に、プリプ
    レグを配し、外層用樹脂付金属箔と内層材間には、内層
    材側にプリプレグを、外層用樹脂付金属箔側にはアンク
    ラッド板を配設した積層体の所要数を金型プレート間に
    挟み積層成形し、所要数の多層配線基板を得ることを特
    徴とする多層配線基板の製造方法。
JP8780590A 1990-04-02 1990-04-02 多層配線基板の製造方法 Pending JPH03285390A (ja)

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