JPH03285390A - 多層配線基板の製造方法 - Google Patents
多層配線基板の製造方法Info
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- JPH03285390A JPH03285390A JP8780590A JP8780590A JPH03285390A JP H03285390 A JPH03285390 A JP H03285390A JP 8780590 A JP8780590 A JP 8780590A JP 8780590 A JP8780590 A JP 8780590A JP H03285390 A JPH03285390 A JP H03285390A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 12
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 11
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 abstract description 9
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 abstract description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 7
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 abstract description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 abstract 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 4
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 3
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 3
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- -1 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- UQSASSBWRKBREL-UHFFFAOYSA-K 2-hydroxyethyl(trimethyl)azanium;iron(3+);2-oxidopropane-1,2,3-tricarboxylate;trihydrate Chemical compound O.O.O.[Fe+3].C[N+](C)(C)CCO.[O-]C(=O)CC([O-])(C([O-])=O)CC([O-])=O UQSASSBWRKBREL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010425 asbestos Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000012784 inorganic fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229910052895 riebeckite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野)
本発明は電気機器・電子機器、コンピューター、通信機
器等に用いられる多層配線基板に関するものである。
器等に用いられる多層配線基板に関するものである。
従来の多層配線基板は所要枚数の内層材の上面及び又は
下面にプリプレグを介して外層用金属箔を配設した積層
体を、インナープレートに挾んだものを1組とし複数組
重ねてから最外側を金型プレートに挟んで積層成形して
いるが、金型プレート間にはインナープレートが存在す
るため、金型プレート間に介在させる積層体の組数は減
少セざるを得ず生産性が低い欠点があった。そうかとい
ってインナープレートを除去し積層体のみを複数組重ね
金型プレートに挟んで積層成形すると、内層材の回路部
分が外層用金属箔表面に浮きでる現象を発生し多層配線
基板としては使えない。このため外層用金属箔としてア
ルミキャリア付銅箔を用い内層回路の浮きを押えること
が試みられたが充分でなく更にアルミニウムの除去工程
が余分に入ってくる。又積層成形を低圧で行なうことも
試みられたが成形不良発生率が高いという問題があった
。
下面にプリプレグを介して外層用金属箔を配設した積層
体を、インナープレートに挾んだものを1組とし複数組
重ねてから最外側を金型プレートに挟んで積層成形して
いるが、金型プレート間にはインナープレートが存在す
るため、金型プレート間に介在させる積層体の組数は減
少セざるを得ず生産性が低い欠点があった。そうかとい
ってインナープレートを除去し積層体のみを複数組重ね
金型プレートに挟んで積層成形すると、内層材の回路部
分が外層用金属箔表面に浮きでる現象を発生し多層配線
基板としては使えない。このため外層用金属箔としてア
ルミキャリア付銅箔を用い内層回路の浮きを押えること
が試みられたが充分でなく更にアルミニウムの除去工程
が余分に入ってくる。又積層成形を低圧で行なうことも
試みられたが成形不良発生率が高いという問題があった
。
従来の技術で述べたように多層配線基板の生産性を向上
させるため、外層用金属箔としてアルミキャリア付銅箔
を用いたり、積層成形を低圧で行なうことは欠点が多い
。
させるため、外層用金属箔としてアルミキャリア付銅箔
を用いたり、積層成形を低圧で行なうことは欠点が多い
。
本発明は従来の技術における上述の問題点に鑑みてなさ
れたもので、その目的とするところは内層回路の浮き発
生が少なく、多層配線基板を効率よく生産することので
きる多層配線基板の製造方法を提供することにある。
れたもので、その目的とするところは内層回路の浮き発
生が少なく、多層配線基板を効率よく生産することので
きる多層配線基板の製造方法を提供することにある。
本発明は所要枚数の内層材の上面及び又は下面にプリプ
レグを配し、外層用樹脂付金属箔と内層材間には、内層
材側にプリプレグを、外層用樹脂付金属箔側にはアンク
ランド板を配設した積層体の所要数を金型プレート間に
挟み積層成形し、所要数の多層配線基板を得ることを特
徴とする多層配線基板の製造方法のため、アンクラッド
板により内層回路の浮きを防止することができ、且つイ
ンナープレートを用いないため、金型プレート間の積層
体数を増加させることができるもので、以下本発明の詳
細な説明する。
レグを配し、外層用樹脂付金属箔と内層材間には、内層
材側にプリプレグを、外層用樹脂付金属箔側にはアンク
ランド板を配設した積層体の所要数を金型プレート間に
挟み積層成形し、所要数の多層配線基板を得ることを特
徴とする多層配線基板の製造方法のため、アンクラッド
板により内層回路の浮きを防止することができ、且つイ
ンナープレートを用いないため、金型プレート間の積層
体数を増加させることができるもので、以下本発明の詳
細な説明する。
本発明に用いる内層材としては、ガラス、アスベスト等
の無機繊維やポリエステル、ポリアミド、ポリビニルア
ルコール、アクリル等の有機合成繊維や木綿等の天然繊
維からなる織布、不織布、マット或は紙等の基材にフェ
ノール樹脂、フレソール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポ
リエステル樹脂、メラミン樹脂、ポリイミド、ポリブタ
ジェン、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリスルフォ
ン、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニレンオキ
サイド、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエ
ーテルケトン、フッ素樹脂等の単独、変性物、混合物等
の樹脂を含浸、乾燥したプリプレグの所要枚数の上面及
び又は下面に金属箔を配設一体化してなる電気用積層板
の金属箔に電気回路を形成したものである。プリプレグ
としては、電気用積層板の製造に用いられる上記プリプ
レグをそのまま用いることができ、内層材に用いたプリ
プレグと同一であってもよく、又異種であってもよく特
に限定するものではなく、更に使用枚数も任意である。
の無機繊維やポリエステル、ポリアミド、ポリビニルア
ルコール、アクリル等の有機合成繊維や木綿等の天然繊
維からなる織布、不織布、マット或は紙等の基材にフェ
ノール樹脂、フレソール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポ
リエステル樹脂、メラミン樹脂、ポリイミド、ポリブタ
ジェン、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリスルフォ
ン、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニレンオキ
サイド、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエ
ーテルケトン、フッ素樹脂等の単独、変性物、混合物等
の樹脂を含浸、乾燥したプリプレグの所要枚数の上面及
び又は下面に金属箔を配設一体化してなる電気用積層板
の金属箔に電気回路を形成したものである。プリプレグ
としては、電気用積層板の製造に用いられる上記プリプ
レグをそのまま用いることができ、内層材に用いたプリ
プレグと同一であってもよく、又異種であってもよく特
に限定するものではなく、更に使用枚数も任意である。
アンクラッド板としては電気用積層板の製造に用いられ
るプリプレグのみを積層一体化してなるもので、内層材
に用いられたプリプレグやアンクラッド板の上下に用い
せれるプリプレグと同一であってもよく、又異種であっ
てもよい。外層用樹脂付金属箔としては銅、アルミニウ
ム、鉄、ニッケル、亜鉛等の単独、合金、複合の金属箔
の片面に、プリプレグに用いた樹脂を主成分とする樹脂
層を設けたもので、樹脂層の厚みは乾燥後厚みで0.
OO5〜0.1髄であることが好ましい。なお金属箔の
厚みは0.018〜0.07mが望ましい。金型プレー
トとしては鉄、アルミニウム、銅、ニンケル、亜鉛等の
単独、合金、複合の金型プレートで厚みは特に限定とな
いが、好ましくは6〜15mmであることが望ましいこ
とである。積層一体化手段についてはプレス、多段プレ
ス等が好ましいが特に限定するものではない。
るプリプレグのみを積層一体化してなるもので、内層材
に用いられたプリプレグやアンクラッド板の上下に用い
せれるプリプレグと同一であってもよく、又異種であっ
てもよい。外層用樹脂付金属箔としては銅、アルミニウ
ム、鉄、ニッケル、亜鉛等の単独、合金、複合の金属箔
の片面に、プリプレグに用いた樹脂を主成分とする樹脂
層を設けたもので、樹脂層の厚みは乾燥後厚みで0.
OO5〜0.1髄であることが好ましい。なお金属箔の
厚みは0.018〜0.07mが望ましい。金型プレー
トとしては鉄、アルミニウム、銅、ニンケル、亜鉛等の
単独、合金、複合の金型プレートで厚みは特に限定とな
いが、好ましくは6〜15mmであることが望ましいこ
とである。積層一体化手段についてはプレス、多段プレ
ス等が好ましいが特に限定するものではない。
以下本発明を実施例にもとづいて説明する。
実施例
厚み0.5 IHIBのガラス布基材エポキシ樹脂両面
70ミクロン厚銅張積層板の両面に電気回路を形成して
なる内層材の上下面に、厚さ0.1Mのエポキシ樹脂含
浸ガラス布プリプレグ1枚を配し、その外側に厚さ0.
2 ttmのガラス布基材エポキシ樹脂アンクランド積
層1枚を介して厚さ0.018m+aのエポキシ樹脂層
付銅箔の樹脂層側にして配設した積層体30組を厚さ1
0IIII11のステンレス鋼製金型プレートに挟み成
形圧力30kg/cffl、165 ’Cで120分間
積層成形し30枚の多層配線基板を得た。
70ミクロン厚銅張積層板の両面に電気回路を形成して
なる内層材の上下面に、厚さ0.1Mのエポキシ樹脂含
浸ガラス布プリプレグ1枚を配し、その外側に厚さ0.
2 ttmのガラス布基材エポキシ樹脂アンクランド積
層1枚を介して厚さ0.018m+aのエポキシ樹脂層
付銅箔の樹脂層側にして配設した積層体30組を厚さ1
0IIII11のステンレス鋼製金型プレートに挟み成
形圧力30kg/cffl、165 ’Cで120分間
積層成形し30枚の多層配線基板を得た。
〔比較例1〕
実施例と同じ内層材の上下面に、厚さ0.1mmのエポ
キシ樹脂含浸ガラス布プリプレグ2枚を介して厚さ0.
018mmの銅箔を配設した積層体を厚さ2−ののステ
ンレス銅製インナープレートに挟んだものをIMiとし
、10組を厚さ10mmのステンレス銅製金型プレート
に挾み成形圧力30kg/cか165°Cl2O分間積
層成形して10枚の多層配線基板を得た。
キシ樹脂含浸ガラス布プリプレグ2枚を介して厚さ0.
018mmの銅箔を配設した積層体を厚さ2−ののステ
ンレス銅製インナープレートに挟んだものをIMiとし
、10組を厚さ10mmのステンレス銅製金型プレート
に挾み成形圧力30kg/cか165°Cl2O分間積
層成形して10枚の多層配線基板を得た。
〔比較例2〕
比較例1と同し積層体30M1をインナープレートを用
いることなくそのまま積層した以外は比較例1と同様に
処理して30枚の多層配線基板を得た。
いることなくそのまま積層した以外は比較例1と同様に
処理して30枚の多層配線基板を得た。
〔比較例3〕
比較例1と同じ積層体30組をインナープレートを用い
ることなくそのまま積層し、成形圧力を10kg/cd
にした以外は比較例1と同様に処理して30枚の多層配
線基板を得た。
ることなくそのまま積層し、成形圧力を10kg/cd
にした以外は比較例1と同様に処理して30枚の多層配
線基板を得た。
実施例と比較例1乃至3の多層配線基板の性能は第1表
のようである。
のようである。
第 1 表
[発明の効果〕
本発明は上述した如く構成されている。特許請求の範囲
に記載した多層配線基板の製造方法においては内層回路
の浮き発生が少なく、生産性を向上させることができる
効果がある。
に記載した多層配線基板の製造方法においては内層回路
の浮き発生が少なく、生産性を向上させることができる
効果がある。
Claims (1)
- (1)所要枚数の内層材の上面及び又は下面に、プリプ
レグを配し、外層用樹脂付金属箔と内層材間には、内層
材側にプリプレグを、外層用樹脂付金属箔側にはアンク
ラッド板を配設した積層体の所要数を金型プレート間に
挟み積層成形し、所要数の多層配線基板を得ることを特
徴とする多層配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8780590A JPH03285390A (ja) | 1990-04-02 | 1990-04-02 | 多層配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8780590A JPH03285390A (ja) | 1990-04-02 | 1990-04-02 | 多層配線基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03285390A true JPH03285390A (ja) | 1991-12-16 |
Family
ID=13925194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8780590A Pending JPH03285390A (ja) | 1990-04-02 | 1990-04-02 | 多層配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03285390A (ja) |
-
1990
- 1990-04-02 JP JP8780590A patent/JPH03285390A/ja active Pending
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