JPH03281106A - 多結晶ダイヤモンド工具及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業−にの利用分野〕 本発明は、切削工具や耐摩工具等として用いるに、好適
な、強度、耐溶着性、耐熱性が著し、く改吉された工具
用多結晶ダイヤモンド、及びその製造方法に関する。

〔従来の技術〕

Ｌ具用ダイヤモンドきしては、ダイヤモンドの微粉末を
高圧下で焼結してなるダイヤモンド焼結体が非鉄金属の
切削工具、ドリルビット、線引きダイス等に使用されて
いる。

例えば、特公昭５２−１．２　］、　２６号公報には、
ダイヤモンド粉末をＷＣ−ｃｏ系超超硬合金粉末成形体
に接しめで焼結’２、ＣＯの一部をダイヤモンド粉末中
に結合金属きして侵入させることによって、約１０〜１
５体積％の［：ｏを含有するダイヤ−（ンド焼結体を製
造する技術が開示されている。このダイヤモンド焼結体
は非鉄金属の切削工具用Ｊ′シては実用的性能を有する
が、耐熱性に劣る欠点があった。例えば７００℃以上に
加熱すると耐摩耗性や強度の低下がみられ、９００℃以
７］−の温度では焼結体が破壊（７て１−２まう６、か
かる耐熱性における欠点は、ダイヤモンド粒子の結合材
であるＣｏとの界面においでダイヤモンドの黒鉛化が生
じる、ユと、及び両者の加熱時における熱膨張率の差に
よって生じる熱応力によるもの古考えられる。

Ｉ−、記のダイヤモンド焼結体の耐熱性を改善する試み
みして、例えば特開昭５３−１１４５８９号公報には焼
結体を酸処理して結合金属ＣＯを除去することが提案さ
れている。しかし２、この方法では、除去された００部
分が空孔となるため、耐熱性は向」−するが強度が低下
してしまう欠点があった。

方、最近では化学的に気相から合成する方法によっても
ダイヤモンドの合成が可能になっている。この化学的気
相合成法（ＣＶＤ法）としては、一般的には約５体積％
以下の炭化水素ガスを水素ガスによって希釈し数十Ｔｏ
ｒｒの減圧下においてダイヤ王ンドを基材−Ｌに析出さ
せるものである。この原料ガスの分解の手法については
種々提案がなされており、例えば、特開昭５８９１１０
０号公報には上記原料ガスを１０００℃以上に加熱した
熱電子放射材によって予備加熱した後、加熱した基材表
面に導入し−ご炭化水素の熱分解によりダイヤモンドを
ｔＩｉ出する方法が、又特開昭５８−１１０４９号公報
には水湿ガスを−７＋イクロ波プラズマＣＶＤ法無電極
放電中を通過させた後、炭化水素ガスと混合して同じよ
うにダイヤモンドを析出させる方法が、更に特開昭！’
１９−３０３９８号公報には水素ガス占不活性ガスとの
混合ガスにマイクロ波を導入し２てプラズマを発生させ
、この中に基材を設置し７て３００〜１３００℃に加熱
し２、炭化水素を分解させてダイヤモンドを析出させる
方法が開示されている。

これらのＣＶＤ法を応用させることによ−って、基材上
に多結晶ダイヤモンドをコーディングした工具も提供さ
れている。しかし、ダイヤモンドの膜厚も薄く、■つダ
イヤモンドと基材との密着強度も不］−分なため、工具
として充分な性能が得られていない。

又、特開平］、−］、５３２２８号公報、特開平１−２
１０２０１号公報に示す、Ｌうに、気相合成により析出
させ゛たダイヤモンドの基材をエツチング除去処理して
、ダイヤモンド中休をＪ−具刃先に鑞付は処理した工具
の提案もなされているが、前述したように充分な性能を
発揮出来るには至−３ておらず、特に耐欠損性、耐摩耗
性がネト分であった。

〔発明が解決しようとする課頴〕

ずなわし、本発明はかかる従来の事１ｈに鑑み、強度、
耐溶着性、耐熱性及び面・１摩耗性を改Ｆ句シ５、特に
耐欠損性と耐摩耗性に優れた工具用多結晶ダイヤモンド
を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明者等は、上記目的を達成するため鋭意研究を重ね
た結果、特に工具の耐摩耗性と耐欠損性を向上させるた
めには、下記に示すダイヤモンド膜質の工具構造が重要
であることが判明した。

−船釣な多結晶ダイヤモンド工具の一例概略図を（第１
図）に示す。

つまり、工具刃先に多結晶ダイヤモンドを鑞付けし刃先
とする構造の工具において、切削するすくい面側から、
母材面側にかけての応力状態を傾斜させるように製造し
たダイヤモンド工具構造とすることにより、ダイヤモン
ド刃の強度、靭性の向上を図ることが可能となることが
わかった。そして、このダイヤモンド膜内の応力分布状
態はラマン分光分析によって測定することが出来、膜内
が引っ張り応力状態だと通常ダイヤモンドのラマンピー
クが観測される　１３３２．５ｃｍ−’よりも低波数に
シフトした位置にダイヤモンドのラマンピークが観測さ
れ、反対に膜内に圧縮応力が存在する状態だと１３３２
．５ｃｍ−’よりも高波数にシフトした位置にダイヤモ
ンドのラマンピークが観測される。

そして、各々応力レベルが高い程、このシフト量は増加
することが知られている。

この現象を利用して本発明の工具用多結晶ダイヤモンド
の構造を定義すると、ダイヤモンドの厚さが４０μｍ以
上であり、ラマン分光分析により、すくなくともすくい
面側刃先ダイヤモンドのダイヤモンドシフト量が母材面
側のダイヤモンドのシフト量より低波数側ヘシフトして
いることを特徴とする多結晶ダイヤモンド工具き一括し
て述べることができる。

そして、ここでラマン分光分析によるダイヤモンドシフ
ト量とは１３３２．５±５ｃ＋ｙｒ’に現われるラマン
シフト量とする。

すくい面側、母材面側のダイヤモンド膜質の応力状態を
示すラマン分光分析を行う測定点について述べるとダイ
ヤモンドの厚さが４０μｍ以上であり、ラマン分光分析
により、すくい面側刃先より断面方向母材面側に向かっ
てダイヤモンド平均膜厚の３０％以内のダイヤモンドの
ダイヤモンドラマンシフ）ｆｔが母材面より断面方向す
くい面側刃先方向に向かってダイヤモンド平均膜厚の３
０％以内のダイヤモンドのシフト量より低波数側ヘシフ
トしていることを特徴とする多結晶ダイヤモンド工具と
いうことが出来る。

又、ダイヤモンドの厚さが４０μｍ以上であり、ラマン
分光分析により、少なくともすくい面側刃先よりダイヤ
モンド平均膜厚の３０％以内のダイヤモンドのダイヤモ
ンドシフト量が天然ダイヤモンドのシフト量１３３２．
５ｃｍ−’より低波数側ヘシフトしている多結晶ダイヤ
モンド工具がダイヤモンド刃先の応力状態上好ましい。

そして、ダイヤモンドの厚さが４０μｍ以上であり、ラ
マン分光分析により、少なくとも母材面より断面方向刃
先すくい面側に向かってダイヤモンド平均膜厚の３０％
以内のダイヤモンドのダイヤモンドシフト量が天然ダイ
ヤモンドのシフト量１３３２．５ｃｍ−’より高波数例
ヘシフトしている構造を持つことが応力状態上より好ま
しい。

〔作用〕

このように、多結晶ダイヤモンドを工具の刃先に適用す
る場合、耐欠損性、耐摩耗性を向上させるためには、こ
のダイヤモンド膜の断面方向の膜質の構造が特に重要な
条件であり、ラマン分光分析におけるダイヤモンドのシ
フト量を検討するこさによって、ダイヤ膜質の定義を行
うことが可能であることを述べた。しかし、このような
ダイヤモンドのシフト量を詳細に検討するには測定上に
注意を要する。簡単に通常のラマン分光分析システムの
説明をすると、通常光源にはアルゴンレーザーの４８８
ｎｍ　、もしくは５１４ｎｍを用いる。そして、このレ
ーザー光を被測定物、今回の場合は工具刃先に鑞付けな
どして固定されているダイヤモンドに照射し、そこから
発生するラマン敗乱光をダブルモノクロメータ−などを
通し分光した後、マルチチャンネル検出器などに導入す
る。このような構造になっているため、レーザーの出力
を上げすぎたり、長時間レーザーを照射しつづけたりす
ると、被測定物の膜質が変化したり、温度が−Ｊ二昇し
て、ラマンピークのシフト位置変化を生ぜしめたりする
。また、測定手法も大きく分けて二種類あり、通常の後
方散乱法とレーザーを顕微鏡内を通し、対物レンズより
絞って照射測定を行う顕微ラマン法とがある。今回の様
に、シフト量を正確に測定するには顕微ラマン分光法に
より、レーザーを数十ミクロン程度に絞って測定を行う
方が好ましい。

又、蛍光灯の１１２２．７ｃｍ−’のピークを同じに測
定してシフｌ−ｆｆ１の補正を行なったり、毎回、天然
ＩＩａ型ダイヤモンドのラマンピークを測定してラマン
シフト量の補正を行なうことが測定誤差上好ましい。

本発明の多結晶ダイヤモンド工具の製造方法について記
す。多結晶ダイヤモンドをＣＶＤ法により基材上に析出
させた後、基材を弗硝酸などによりエツチング除去し、
メタライズ処理した後、ＹＡＧレーザーなどにより指定
の大きさにカットする。そして、このダイヤモンド単体
膜の基材についていた方をすくい面側（刃先側）、成長
してきた側を母材面側（第２図、第３図、第４図）とし
、この成長面側を工具に鑞付は処理によりはりつける。

つまり、基材上に析出させたダイヤモンドの基材側を工
具上の上、すくい面側とし、成長面側を鑞付は面として
工具母材面側となるように構成する。このような構造で
あるため、すくい面側刃先部は基材にダイヤモンドを析
出させる初期析出部となり、鑞付は面側は成長後部とな
る。

そして、すくい面側刃先ダイヤモンドのダイヤモンドラ
マンシフト量が母材面側のダイヤモンドのラマンシフト
量より低波数側ヘシフトしている構造を持つ多結晶ダイ
ヤモンド工具を作製するには析出させる多結晶ダイヤモ
ンドを、前記したＣＶＤ法に基づいて合成条件を選定す
ることによって製造できる。

一番簡易な手法としては、成長前期状態と後期状態の原
料ガス中炭素含有ガスの水素ガスに対する比（以下カー
ボン濃度とする）を変化させることによって達成するこ
とができる。つまり、ダイ１ ヤモンド合成前期はカーボン濃度を低く、途中からカー
ボン濃度をやや高く設定する。前者の濃度は０．００１
％〜１，０％、後者の濃度は１．０％〜５．０％程度が
好ましい。

この濃度は他条件によって多少影響を受は得るものであ
り、酸素原子含有ガス等を添加した場合にはもっと高濃
度側５．０％〜５０％でも合成するこが可能である。

ここで、低カーボン濃度で析出させたダイヤモンドは析
出させた基材の基材面側となり、高カーボン濃度で析出
させたダイヤモンドは成長面側となる。

そして、前記したように本発明多結晶ダイヤモンド工具
は、このダイヤモンドコーティング基材の基材をエツチ
ング除去し、成長面側を工具のすくい面側とする。よっ
て、工具のすくい面側が成長初期ダイヤ、母材面側が成
長後期のダイヤモンドとなる。

又、基材］二にラマンシフトが１３３２．５ｃｍ−’よ
り低波数側にシフトする膜質のものを析出させるには、
２ 上記の低炭素含有ガス濃度で析出させる他に、水素ガス
、炭素原子含有ガス、不活性ガス等に、酸素原子含有ガ
スを添加する方法がある。ここで、酸素原子含有ガスと
は０２、Ｃ０２，００１等常温で気体であるものの他に
液体であるｌＩ２０．１（２０□、Ｃ、ＩＩ　５０　Ｉ
Ｉ、ＣＨ３０Ｈ１等がある。

又、基材上にラマンシフトが１３３２．５ｃｍ〜１より
高波数側にシフトする膜質のものを析出させるには、上
記の高炭素含有ガス濃度で析出させる他に、水素ガス、
炭素原子含有ガス、不活性ガス等に、窒素原子含有ガス
を添加する方法がある。ここで、窒素原子含有ガスとし
ては、Ｎ２、Ｎ２０　、Ｎ０１ＣＮ等がある。

このように、基本的に合成条件によりダイヤモンドの膜
質を連続的に変化させ得るものであるので、ダイヤモン
ドを合成できる既存のプロセスはどの様な手法を用いて
も本発明構造の多結晶ダイヤモンド工具を合成すること
は可能である。

又、多結晶ダイヤモンドの厚さを４０μｍ以上とするの
は、４０μｍより薄いと強度が低下して破損し易くなる
こと、又、切削工具としたときの寿命時の逃げ面摩耗幅
が４０μｍ以上となることが多い為である。更に耐摩耗
性を要求する場合には０．１〜３、　Ｏｍｍとする事が
好ましい。厚さを厚くすることによって放熱特性が良好
となり、工具使用時の刃先温度の上昇が抑制される為で
ある。

ダイヤモンドコーティング用の基材としては、Ｈ，Ｍｏ
、　Ｔａ５Ｎｂ、　ＳｉＳＳＳｉＳＳｉＣ１ＷＣＳ、　
ＴａＣ，５ｉｓＮ＜、ＡρＮ、ダイヤモンド、Ａｌ２２
０３、ＳｉＯ□、等が好ましく、条件を選ぶことによっ
て、Ｃｕ、Ａｆｆ、等を選定することも可能である。

又、これ等の基材形状を例えば、曲率を持つものとする
ことにより、曲率を持つダイヤモンド工具への適用も可
能となる。例えば、ねじれ刃、エンドミル等への応用も
可能である。

〔実施例〕

（第６図）はフィラメン）ＣＶＤ装置、（第７図）はマ
イクロ波ＣＶＤ装置、（第１図）は多結晶ダイヤモンド
工具概略図、（第４図）はラマン分光測定箇所。合成手
法についてはフィラメン）ＣＶＤ法（以下ｒＦＬ法」と
記す）、マイクロ波プラズマＣＶＤ法（以下ＭＷと記す
）、を用いた。

基材には１４　Ｘ　１４　Ｘ　２．５　（ｍｍ）の多結
晶Ｓｉ基材の片面を研磨材に粒径１／２〜５μｍを用い
、ラップ処理によりＲＭＡＸ＜　０．８μｍ、平坦度く
１μｍ以下に処理したものを用いた。

実施例１ まず、ＰＬ法により合成を検討した。合成条件を（第１
表）に記す。フィラメントには、φ０．２ｍｍの４Ｎ−
Ｗ、　　４Ｎ　−Ｔａ、　　４Ｎ−Ｒｅを用い４ｍｍ間
隔で直線状にフィラメントを張り使用した。

又、フィラメントの温度は光学式光高温計により、基材
の表面温度は基材と同形状のＭｏ板の表面にクロメル−
アルメル熱電対をスポット溶接したものによってモニタ
ーした。

第１表 フィラメントＣＶＤ法によるダイヤ合成条件サンプル尚
＾〜Ｄ 本発明例 サンプル尚Ｅ−Ｈ 比較例 本発明例Ａ−Ｄ、比較例Ｈは原料ガス組成および組成比
を時間によって変化させている。例えばサンプルＡはコ
ーティングの最初は５０時間目まで１のＨ２：６００Ｓ
ＣＣＭ　ＣＨ，：５ＳＣＣＭでコーティングし連続的に
次の２０時間は２のｌ（２：６００ＳＣＣＭ　ＣＨ４：
１２ＳＣＣＭでコーティングを行なっている。他も同様
に１．２゜３〜数回のコーティング条件の変化を行なっ
ている。又、原料ガスの中に常温で液体のものは水素ガ
スの一部をキャリヤガスとしてバブリング法によって導
入し、恒温槽の温度管理による蒸気圧制御で流量制御し
ている。

又、フィラメントと基材間の距離は５ｍｍとした。

この第１表の条件によって作製したサンプルを（第２図
）に示す工程図によって超硬合金の合金に鑞付けし、切
削チップを作製した。ラマン分光測定用比較材として、
天然ＩＩａ型ダイヤモンド単結晶も同様に超硬合金の合
金に鑞付けし、切削チップを作製した。（サンプルＮａ
　Ｉ　）またＪとして、市販の焼結ダイヤモンドを用い
た。

このように作製した切削チップの断面方向のうマンスペ
クトルを（第４図）に示すように、すくい面側を基準線
として母材側にかげて、第２表の各測定点に於て測定し
た。

第２表　各切削チップサンプルのラマンシフト量※ここ
で、ラマン分光の測定点とは（第４図）の多結晶ダイヤ
モンド工具すくい面側基準面から母料面側への垂直方向
への距離とする。

このラマン分光分析のラマンシフト量は工具構造りする
以前のダイヤ単体膜の状態でも同様のラマンシフト変化
を示した。

次に工具性能を以下の条件で評価した。

この峙比較材として、結合材Ｃｏを１０容量％をＡ・有
する平均粒径１０μｍの超高圧焼結ダイヤモンドを用い
て、同様に切削チップを作製した（サンプルＮα、Ｊ　
）。被削材として外周面に軸方向に伸びる４木の溝が形
成されたΔ３９０合金（Ｍ−１，７％Ｓｉ）丸棒を用い
、切削速度４００ｍ／ｍｉｎ、切込み０．２ｍｍ、送り
０．１ｍｍ　／　ｒｅｖ、の条件で乾式切削し、工具性
能を評価した。

下記　第３表に各サンプルの切削特性を示す。

第２表、第３表を対比してわかるようにすくい面側のダ
イヤモンドが母材面側のダイヤモンドよりもダイヤモン
ドのラマンシフトが低波数側にシフトしている本発明例
、サンプルΔ〜ＤではＡ３９０切削テストに於て、欠損
もせず、高耐摩耗性を発揮しているのに対して、すくい
面側のダイヤモンドが母料面側のダイヤモンドよりもダ
イヤモンド　Ｕ のラマンシフトが低波数側にシフトしていない比較例Ｅ
−Ｊでは短時間に大きく欠損してしまうものや、大きく
摩耗しでし２まうものばかりであった。

特にすくい面側のダイヤモンドも母材面側のダイヤモン
ドも１３３２．５ｃｍ　−’より低波数側にシフトシて
おり、且つ母材面側のダイヤモンドがすくい面側のそれ
より低波数側にシフトしているものは欠損しやすい傾向
がみられた。

焼結ダイヤサンプルＮｏ、　Ｊ比較材は欠損しなかった
が、９０分切削時での平均摩耗幅が９０μｍであった。

バインダーを含有するため耐摩耗性において本発明多結
晶ダイヤモンド工具より性能は落ちる。

実施例２ 基材には実施例１と同様１４　Ｘ　１．４　Ｘ　２．５
　（ｍｉｌ）の多結晶８１基材の片面を研磨材に粒径１
／２〜５μｍを用い、ラップ処理によりＲＭＡＸ＜　０
．８μｍ、平坦度く１μｍ以下に処理したものを用いた
。

次にＭＷ法により合成を検討した。合成条件を（第４表
）に記す。基材温度は光学式光高温計によってモニター
した。

第４表 マイクロ波プラズマＣＶＤ法によるダイヤ合成条件サン
プルＨａ　Ｋ　−Ｎ 本発明例 サンプルＮＱｏ−Ｑ 比較例 次に、工具性能を評価するため、多結晶ダイヤモンドを
超硬合金の合金に鑞付けし、切削チップを作製した。比
較材として、結合材ＣＯを１０容量％含有する平均粒径
ｌＯμｍの超高圧焼結ダイヤモンドを用いて、同様に切
削チップを作製した。

被削材として外周面に軸方向に伸びる４本の溝が形成さ
れたΔ３９０合金（Ｍ−１７％Ｓｉ）丸棒を用い、切削
速度４００ｍ／　ｍｉｎ、切込みＱ、２ｍｍ、送り０．
１ｍｍ／ｒｅｖ、の条件で乾式切削し、工具性能を評価
した。

第５表、各切削チップサンプルのラマンンフト量第５表
、第６表を対比して判るようにマイクロ波プラズマＣＶ
Ｄ法で合成したダイヤモンド膜を使用した場合もフィラ
メントＣｖＤ法で合成したものと同様に、すくい面側の
ダイヤモンドが母材面側のダイヤモンドよりもダイヤモ
ンドラマンシフトが低波数にシフトしている本発明例の
サンプルに−ＮではＡ３９０の切削テストに於て良好な
切削性能を示した。

又、すくい面側のダイヤモンドが母材面側のダイヤモン
ドよりもダイヤモンドラマンシフトが低　４ 波数にシフトしていない比較例０−Ｑでは欠損や大幅な
摩耗がみられた。

〔発明の効果〕

本発明によれば、強度、耐溶着性、耐熱性及び耐摩耗性
を改善し、これらの特性を要求される分野、特に切削工
具、旋削工具、掘削工具、ドレッサー等の工具として有
用である。

【図面の簡単な説明】

第１図は多結晶ダイヤモンド工具の一例概略図。 第２図は多結晶ダイヤモンド工具の作製工程概略図。 第３図は多結晶ダイヤモンド工具の刃先断面図。 第４図はラマン分光分析測定箇所。 （矢印はレーザーの照射位置をあられす）第５図はラマ
ン分光スペクトルの一例図。 第６図はフィラメントＣＶＤ装置図。 第７図はマイクロ波プラズマＣＶＤ装置図。 第８図はガス供給系−例図。 （番号） １：基材　　　　　　　２：石英管 ３：真空排気口　　　　４：ガス導入口５：マグネトロ
ン　　　６：導波管 ７：ブランジャー　　　８：プラズマ １３：石英棒　　　　　　１４：水冷ジャケラ１５：水
素ガス　　　　　１６：不活性ガス１７：炭素原子含有
ガス １８コ酸素原子含有無機ガス １９：パブリング槽 ２０　：　１１２０．　Ｃ２１＋、０１１等の液体２１
、、２２＋テープヒータ ２３：反応管 ト ３７：原料ガス 乃薪ハ笑

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）工具刃先に多結晶ダイヤモンドを鑞付けし、刃先
   とする構造の工具に於てダイヤモンドの厚さが４０μｍ
   以上であり、ラマン分光分析により、少なくともすくい
   面側刃先ダイヤモンドのダイヤモンドシフト量が母材面
   側のダイヤモンドのシフト量より低波数側へシフトして
   いる構造を持つことを特徴とする多結晶ダイヤモンド工
   具。
2. （２）工具刃先に多結晶ダイヤモンドを鑞付けし、刃先
   とする構造の工具に於てダイヤモンドの厚さが４０μｍ
   以上であり、ラマン分光分析により、刃先より断面方向
   母材面側に向かってダイヤモンド平均膜厚の３０％以内
   のダイヤモンドのダイヤモンドシフト量が母材面より断
   面方向すくい面側刃先ダイヤモンド平均膜厚の３０％以
   内のダイヤモンドのシフト量より低波数側へシフトして
   いる構造を持つことを特徴とする請求項（１）記載の多
   結晶ダイヤモンド工具。
3. （３）工具刃先に多結晶ダイヤモンドを鑞付けし、刃先
   とする構造の工具に於てダイヤモンドの厚さが４０μｍ
   以上であり、ラマン分光分析により、少なくともすくい
   面側刃先より断面方向母材面側に向かってダイヤモンド
   平均膜厚の３０％以内のダイヤモンドのダイヤモンドシ
   フト量が天然ダイヤモンドのシフト量１３３２．５ｃｍ
   ＾−＾１より低波数側へシフトしている構造を持つこと
   を特徴とする請求項（１）記載の多結晶ダイヤモンド工
   具。
4. （４）工具刃先に多結晶ダイヤモンドを鑞付けし、刃先
   とする構造の工具に於てダイヤモンドの厚さが４０μｍ
   以上であり、ラマン分光分析により、少なくとも母材面
   より断面方向すくい面側刃先に向かってダイヤモンド平
   均膜厚の３０％以内のダイヤモンドのダイヤモンドシフ
   ト量が天然ダイヤモンドのシフト量１３３２．５ｃｍ＾
   −＾１より高波数側へシフトしている構造を持つことを
   特徴とする請求項（１）、（２）または（３）記載の多
   結晶ダイヤモンド工具。
5. （５）気相合成法による多結晶ダイヤモンド工具の製造
   方法に於て、水素ガス、炭素原子含有ガス、以外に窒素
   原子含有ガスを反応系内に導入する事により基材面側の
   ダイヤモンドのラマンシフト量を１３３２．５ｃｍ＾−
   ＾１よりも高波数側にシフトさせかつ、水素ガス、炭素
   原子含有ガス、以外に酸素原子含有無機ガスを反応系内
   に導入する事により気相成長面側のダイヤモンドのラマ
   ンシフト量を１３３２．５ｃｍ＾−＾１よりも低波数側
   にシフトさせてダイヤモンド膜厚４０μｍ以上とした後
   、該基材を除去し、ダイヤモンド膜の成長面側を鑞付け
   面とし、母材上に鑞付けする事を特徴とする多結晶ダイ
   ヤモンド工具の製造方法。