JPH0328029Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0328029Y2 JPH0328029Y2 JP1985081487U JP8148785U JPH0328029Y2 JP H0328029 Y2 JPH0328029 Y2 JP H0328029Y2 JP 1985081487 U JP1985081487 U JP 1985081487U JP 8148785 U JP8148785 U JP 8148785U JP H0328029 Y2 JPH0328029 Y2 JP H0328029Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- suction
- conical member
- reference bar
- cap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 2
- 241000239290 Araneae Species 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
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- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は半導体素子製造工程において、薄い
円板状のウエハを破損することなく安全確実に吸
着し搬送するためのウエハ搬送用吸着装置に係る
ものである。
円板状のウエハを破損することなく安全確実に吸
着し搬送するためのウエハ搬送用吸着装置に係る
ものである。
従来よりウエハを搬送する場合のウエハ吸着機
構としては、第１図に示すように笠状円錐部材１
の内面に沿つてノズル２から加圧空気を吹き込
み、円錐部材の内側にベルヌイの負圧を作つて、
ウエハ４を吸着し、吸着後もウエハ外周部に空気
の流出間隙が残るように複数個の当座３を設けて
吸着力を保持する方式が知られている。
構としては、第１図に示すように笠状円錐部材１
の内面に沿つてノズル２から加圧空気を吹き込
み、円錐部材の内側にベルヌイの負圧を作つて、
ウエハ４を吸着し、吸着後もウエハ外周部に空気
の流出間隙が残るように複数個の当座３を設けて
吸着力を保持する方式が知られている。
しかしこの従来方法においては下向きの円錐部
材に向かつてウエハが吸着されるため、ウエハの
外周が円錐部材の内面に当たり、そのためにウエ
ハを破損する事故が発生した。そこで円錐部材１
の内面または当座３の表面に発泡部材、フエルト
等のクツシヨン材を貼り付けて用いる例も見られ
るが、満足な解決とはならず、特にダイシング機
によつてウエハの表面に切れ目を刻んだ後のウエ
ハや特に薄いウエハを吸着するような場合は、ウ
エハは非常に割れ易い状態となる。そこでこの従
来装置においては、供給するエアの流量を調節し
てウエハの吸着力を弱め、その破損を防止すると
いう方法も採用されていたが、これでは安全確実
に吸着搬送するという要請に応えられないという
欠点があつた。
材に向かつてウエハが吸着されるため、ウエハの
外周が円錐部材の内面に当たり、そのためにウエ
ハを破損する事故が発生した。そこで円錐部材１
の内面または当座３の表面に発泡部材、フエルト
等のクツシヨン材を貼り付けて用いる例も見られ
るが、満足な解決とはならず、特にダイシング機
によつてウエハの表面に切れ目を刻んだ後のウエ
ハや特に薄いウエハを吸着するような場合は、ウ
エハは非常に割れ易い状態となる。そこでこの従
来装置においては、供給するエアの流量を調節し
てウエハの吸着力を弱め、その破損を防止すると
いう方法も採用されていたが、これでは安全確実
に吸着搬送するという要請に応えられないという
欠点があつた。
そこで本出願人は、先に第２図に示すようなウ
エハ搬送用吸着装置を提案している。即ち、円錐
部材１の底面に、多数の孔７を穿設された有孔円
板５を固定し、有孔円板５の外周と円錐部１との
間隙６から加圧空気を噴出させることにより、有
孔円板５の吸着面に負圧を生ぜしめ、これにより
ウエハ４を吸着するものである。このウエハ搬送
用吸着装置は、ウエハを破損することなく安全・
確実に吸着・搬送する装置として極めて有効であ
るが、吸着面が平面であるため、ウエハが密着
し、加圧空気の供給を停止したとき、ウエハが有
孔円板５の吸着面から解放分離されないという欠
点があつた。特に、ウエハにクーラントをかけて
ダイシング等の加工を行なうような場合において
は、特にその密着度が強く、ウエハが分離しない
という欠点があつた。
エハ搬送用吸着装置を提案している。即ち、円錐
部材１の底面に、多数の孔７を穿設された有孔円
板５を固定し、有孔円板５の外周と円錐部１との
間隙６から加圧空気を噴出させることにより、有
孔円板５の吸着面に負圧を生ぜしめ、これにより
ウエハ４を吸着するものである。このウエハ搬送
用吸着装置は、ウエハを破損することなく安全・
確実に吸着・搬送する装置として極めて有効であ
るが、吸着面が平面であるため、ウエハが密着
し、加圧空気の供給を停止したとき、ウエハが有
孔円板５の吸着面から解放分離されないという欠
点があつた。特に、ウエハにクーラントをかけて
ダイシング等の加工を行なうような場合において
は、特にその密着度が強く、ウエハが分離しない
という欠点があつた。
この考案は上記した従来装置の欠点をすべて解
決して、ウエハを破損することなく、しかも吸着
力を弱めることなく安全・確実に吸着・搬送し、
かつ加圧空気の供給を停止すれば自重でウエハが
解放分離できるようにしたウエハ搬送用吸着装置
を提供するものである。
決して、ウエハを破損することなく、しかも吸着
力を弱めることなく安全・確実に吸着・搬送し、
かつ加圧空気の供給を停止すれば自重でウエハが
解放分離できるようにしたウエハ搬送用吸着装置
を提供するものである。
以下図面に従つて本願考案の一実施例について
説明する。第３図は本願考案の側断面図、第４図
は第３図の−線矢視図である。図において、
１０は矢線で示す加圧空気を導入するための導入
孔１２、およびこの導入孔１２に連通する複数の
噴出孔１４を形成されたノズル、１６はこのノズ
ルに取り付けられた笠状円錐部材である。前記ノ
ズル１０の図の下面にはビス１８等適宜な方法に
より取付駒２０が固定されている。前記取付駒２
０の図の下面には十字溝が形成されており、この
十字溝には、ウエハ２２を吸着固定するための十
字形の基準バー２４が嵌合固定されている。この
基準バー２４のウエハ吸着面は、平面度よく仕上
げておくことが、吸着時のウエハ破損を防止する
上で好適である。
説明する。第３図は本願考案の側断面図、第４図
は第３図の−線矢視図である。図において、
１０は矢線で示す加圧空気を導入するための導入
孔１２、およびこの導入孔１２に連通する複数の
噴出孔１４を形成されたノズル、１６はこのノズ
ルに取り付けられた笠状円錐部材である。前記ノ
ズル１０の図の下面にはビス１８等適宜な方法に
より取付駒２０が固定されている。前記取付駒２
０の図の下面には十字溝が形成されており、この
十字溝には、ウエハ２２を吸着固定するための十
字形の基準バー２４が嵌合固定されている。この
基準バー２４のウエハ吸着面は、平面度よく仕上
げておくことが、吸着時のウエハ破損を防止する
上で好適である。
このような構成において、加圧空気を供給する
と、供給された空気は噴出孔１４から笠状円錐部
材１６の内部斜面に沿つて高速で流れ、笠状円錐
部材１６の内部に負圧を生じさせる。この負圧に
よりウエハ２２は吸引されて、ウエハの面におい
て、基準バー２４に吸着支持される。ウエハを吸
着した状態で所望の位置へ搬送した後、これを解
放分離するときには、加圧空気の供給を遮断すれ
ば、ウエハ２２と基準バー２４との密着面積が少
ないため、ウエハの自重により吸着が解除されて
ウエハは解放分離される。
と、供給された空気は噴出孔１４から笠状円錐部
材１６の内部斜面に沿つて高速で流れ、笠状円錐
部材１６の内部に負圧を生じさせる。この負圧に
よりウエハ２２は吸引されて、ウエハの面におい
て、基準バー２４に吸着支持される。ウエハを吸
着した状態で所望の位置へ搬送した後、これを解
放分離するときには、加圧空気の供給を遮断すれ
ば、ウエハ２２と基準バー２４との密着面積が少
ないため、ウエハの自重により吸着が解除されて
ウエハは解放分離される。
なお、上記実施例においてはウエハを吸着する
基準バーは十字形状である場合について説明した
が、本考案は勿論これに限られず、その本数を減
らしてＹ字状に３本配設することもできるし、ま
たその数を５本、６本……と増やすことも勿論可
能である。また基準バーは上記のように放射状に
配設する場合に限られず、格子状に、あるいはく
もの巣状に適宜その本数を増減して配設すること
も出来る。ようするに、基準バーとウエハとはそ
の密着面積を少なくするために、線接触もしくは
幅の極狭い面接触であれば、その本数・配置・形
状等は限定されるものではない。従つて基準バー
のウエハと接触する部分の断面は円形、凸状等、
適宜選択することが可能である。また、基準バー
は必ずしもノズル下面に固定する必要はなく、直
接笠状円錐部材の底面部に固定してもよい。
基準バーは十字形状である場合について説明した
が、本考案は勿論これに限られず、その本数を減
らしてＹ字状に３本配設することもできるし、ま
たその数を５本、６本……と増やすことも勿論可
能である。また基準バーは上記のように放射状に
配設する場合に限られず、格子状に、あるいはく
もの巣状に適宜その本数を増減して配設すること
も出来る。ようするに、基準バーとウエハとはそ
の密着面積を少なくするために、線接触もしくは
幅の極狭い面接触であれば、その本数・配置・形
状等は限定されるものではない。従つて基準バー
のウエハと接触する部分の断面は円形、凸状等、
適宜選択することが可能である。また、基準バー
は必ずしもノズル下面に固定する必要はなく、直
接笠状円錐部材の底面部に固定してもよい。
以上詳述したように本願考案によれば、ウエハ
を破損することなく、かつ吸着力を弱めることな
く、安全・確実に吸着・搬送し、空気の供給ある
いは吸引を停止すれば、直ちに基準バーから解放
分離されるため、半導体素子製造工程において極
めて有効なウエハ搬送用吸着装置を提供すること
ができた。
を破損することなく、かつ吸着力を弱めることな
く、安全・確実に吸着・搬送し、空気の供給ある
いは吸引を停止すれば、直ちに基準バーから解放
分離されるため、半導体素子製造工程において極
めて有効なウエハ搬送用吸着装置を提供すること
ができた。
第１図および第２図は従来装置の側断面図、第
３図は本考案の側断面図、第４図は第３図の−
線矢視図。 １０：ノズル、１６：笠状円錐部材、２２：ウ
エハ、２４：基準バー。
３図は本考案の側断面図、第４図は第３図の−
線矢視図。 １０：ノズル、１６：笠状円錐部材、２２：ウ
エハ、２４：基準バー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 笠状円錐部材の内部を負圧とすることにより、
ウエハを吸着固定する装置において、 前記笠状円錐部材の底面部に、ウエハを吸着状
態でウエハの面において支持するための基準バー
を設けたことを特徴とするウエハ搬送用吸着装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985081487U JPH0328029Y2 (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985081487U JPH0328029Y2 (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61197035U JPS61197035U (ja) | 1986-12-09 |
| JPH0328029Y2 true JPH0328029Y2 (ja) | 1991-06-17 |
Family
ID=30628314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985081487U Expired JPH0328029Y2 (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0328029Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03117584U (ja) * | 1990-03-16 | 1991-12-04 | ||
| JP2014227260A (ja) * | 2013-05-22 | 2014-12-08 | 株式会社ハーモテック | 搬送装置 |
| JP2018122381A (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | ブラザー工業株式会社 | 部品保持装置 |
| JP2022112660A (ja) * | 2021-01-22 | 2022-08-03 | 株式会社コガネイ | 非接触搬送装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60124836A (ja) * | 1983-12-09 | 1985-07-03 | Nec Corp | 半導体集積回路装置の製造装置 |
| JPS61254437A (ja) * | 1985-04-27 | 1986-11-12 | Fujitsu Ltd | ウエハ−チヤツク |
-
1985
- 1985-05-30 JP JP1985081487U patent/JPH0328029Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60124836A (ja) * | 1983-12-09 | 1985-07-03 | Nec Corp | 半導体集積回路装置の製造装置 |
| JPS61254437A (ja) * | 1985-04-27 | 1986-11-12 | Fujitsu Ltd | ウエハ−チヤツク |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61197035U (ja) | 1986-12-09 |
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