JPH03278486A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH03278486A JPH03278486A JP2076667A JP7666790A JPH03278486A JP H03278486 A JPH03278486 A JP H03278486A JP 2076667 A JP2076667 A JP 2076667A JP 7666790 A JP7666790 A JP 7666790A JP H03278486 A JPH03278486 A JP H03278486A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow
- gas laser
- main discharge
- laser medium
- electrode body
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- Pending
Links
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- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 6
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明はガスレーザ発振装置に係り、特に予備電離電極
を備えた装置に関する。
を備えた装置に関する。
（従来の技術）
一般にこの種の装置は第３図に示すように構成されてい
る。すなわち、（１）はガスレーザ媒質を所定の圧力で
封入したレーザ管、（２）および（３）は主放電電極、
（４）は予備電離電極としての上部電極体、（５）は上
部電極体（４）に接続されたピーキングコンデンサ、（
６）は同じ（予備電離電極としての下部電極体、（７）
は上記主放電電極および予備電離電極にそれぞれ所定の
電圧を所定のタイミングで印加する電源、（８）は上記
ガスレーザ媒質をレーザ管（１）内で循環して主放電空
間（９）に送風する送風機、（１ｏ）は熱交換器である
。上記予備電離電極を構成する上部電極体（４）、下部
電極体（５）は横断面が円柱体に形成されているため、
ガスレーザ媒質の流れが阻害され、レーザ発振の高繰返
し化が難しい問題があった。この問題を解決する技術と
しては、従来、特開昭６３−１８１３８７号に開示され
た技術が知られている。すなわち、第４図に示すように
、予備電離電極は断面を流線形に形成した上部電極（１
２）、下部電極（１３）を有し、第５図に示すように、
スレーザ媒質の流れ方向（イ）と同一方向にそれぞれ配
置されている。このような電極の形状を流線形にするこ
とで、ガスレーザ媒質の流れをスムースにしている。
る。すなわち、（１）はガスレーザ媒質を所定の圧力で
封入したレーザ管、（２）および（３）は主放電電極、
（４）は予備電離電極としての上部電極体、（５）は上
部電極体（４）に接続されたピーキングコンデンサ、（
６）は同じ（予備電離電極としての下部電極体、（７）
は上記主放電電極および予備電離電極にそれぞれ所定の
電圧を所定のタイミングで印加する電源、（８）は上記
ガスレーザ媒質をレーザ管（１）内で循環して主放電空
間（９）に送風する送風機、（１ｏ）は熱交換器である
。上記予備電離電極を構成する上部電極体（４）、下部
電極体（５）は横断面が円柱体に形成されているため、
ガスレーザ媒質の流れが阻害され、レーザ発振の高繰返
し化が難しい問題があった。この問題を解決する技術と
しては、従来、特開昭６３−１８１３８７号に開示され
た技術が知られている。すなわち、第４図に示すように
、予備電離電極は断面を流線形に形成した上部電極（１
２）、下部電極（１３）を有し、第５図に示すように、
スレーザ媒質の流れ方向（イ）と同一方向にそれぞれ配
置されている。このような電極の形状を流線形にするこ
とで、ガスレーザ媒質の流れをスムースにしている。
（発明が解決しようとする課題）
しかし、この上部電極体（１２）、下部電極体（１３）
の取付は角度の不具合があったり、あるいはガスレーザ
媒質の流れが変化してこれら電極の側面に対して斜めに
流れることがある。このように斜めに流れると、主放電
空間（９）内で渦流が発生し、ガスレーザ媒質の流れが
乱れてしまい、ガス流速が低下する。このため、主放電
電極（２）、（３）の長平方向でのガス流の速度分布の
不均一性を生じ、局所的に流速の低くなった場所で、励
起に適さず、また、不純物発生の原因となるアーク放電
の発生を招いていた。
の取付は角度の不具合があったり、あるいはガスレーザ
媒質の流れが変化してこれら電極の側面に対して斜めに
流れることがある。このように斜めに流れると、主放電
空間（９）内で渦流が発生し、ガスレーザ媒質の流れが
乱れてしまい、ガス流速が低下する。このため、主放電
電極（２）、（３）の長平方向でのガス流の速度分布の
不均一性を生じ、局所的に流速の低くなった場所で、励
起に適さず、また、不純物発生の原因となるアーク放電
の発生を招いていた。
本発明は予備電離電極でのガス流に対する抵抗を小さく
し、均等な速度分布で流れる放電部とすることで、高繰
返しのガスレーザ発振装置を提供することを目的とする
。
し、均等な速度分布で流れる放電部とすることで、高繰
返しのガスレーザ発振装置を提供することを目的とする
。
［発明の構成コ
（課題を解決するための手段と作用）
ガスレーザ媒質を所定の圧力で封入したレーザ管と、こ
のレーザ管内に主放電空間を形成して設けられた主放電
電極と、上記主放電空間の近傍でかつ上記レーザ管の軸
方向に沿って上記主放電電極の一方側に設けられた上部
電極体およびこの上部電極体にスパークギャップを形成
し上記主放電電極の他方側に設けられた下部電極体とを
有した複数対の予備電離電極と、上記ガスレーザ媒質を
上記主放電空間に送風する送風手段とを備えたガスレー
ザ発振装置において、上記上部電極体および下部電極体
はともに偏平状断面に形成されかつ刃状を呈する側部の
方向を主放電方向にして上記ガスレーザ媒質の流れの変
化で回動自在に設けたもので、上記各電極体がガスの流
れの変化に応じて回動し、常時流れに沿う角度になる。
のレーザ管内に主放電空間を形成して設けられた主放電
電極と、上記主放電空間の近傍でかつ上記レーザ管の軸
方向に沿って上記主放電電極の一方側に設けられた上部
電極体およびこの上部電極体にスパークギャップを形成
し上記主放電電極の他方側に設けられた下部電極体とを
有した複数対の予備電離電極と、上記ガスレーザ媒質を
上記主放電空間に送風する送風手段とを備えたガスレー
ザ発振装置において、上記上部電極体および下部電極体
はともに偏平状断面に形成されかつ刃状を呈する側部の
方向を主放電方向にして上記ガスレーザ媒質の流れの変
化で回動自在に設けたもので、上記各電極体がガスの流
れの変化に応じて回動し、常時流れに沿う角度になる。
（実施例）
以下、実施例を示す図面に基づいて本発明を説明する。
第１図はレーザ管内に設けられた予備電離電極部分を示
したもので、（２０）はピーキングコンデンサ、（２１
）は予備電離電極の一方である上部電極体、（２２）は
ビーキングコンデンサク２０）の端子（２３ａ） 、
（２３ｂ）の一方にこれら端子と同軸的に螺合された電
気絶縁性部材からなる連結体、（２４）はこの連結体＜
２２）の上記螺合側の反対側に上記端子と同軸的に収納
固設され、上部電極体（２１）を軸支した軸受、（２５
）はばね性を有する通電板で、この通電板（２５）の一
端部は上記螺合によって端子（２３ａ）と連結体（２２
）との間に固定され、また他端部は半円状に切欠かれた
先端が上部電極体（２１）の軸部に上記ばね性による付
勢力を与えて電気的に接触している。以上が上部電極体
（２１）の構成であるが、下部電極体側も同様の構成に
されてレーザ管内にそれぞれ複数設けられている。
したもので、（２０）はピーキングコンデンサ、（２１
）は予備電離電極の一方である上部電極体、（２２）は
ビーキングコンデンサク２０）の端子（２３ａ） 、
（２３ｂ）の一方にこれら端子と同軸的に螺合された電
気絶縁性部材からなる連結体、（２４）はこの連結体＜
２２）の上記螺合側の反対側に上記端子と同軸的に収納
固設され、上部電極体（２１）を軸支した軸受、（２５
）はばね性を有する通電板で、この通電板（２５）の一
端部は上記螺合によって端子（２３ａ）と連結体（２２
）との間に固定され、また他端部は半円状に切欠かれた
先端が上部電極体（２１）の軸部に上記ばね性による付
勢力を与えて電気的に接触している。以上が上部電極体
（２１）の構成であるが、下部電極体側も同様の構成に
されてレーザ管内にそれぞれ複数設けられている。
次に上記構成の作用について説明する。すなわち、第２
図に示すように、ガスレーザ媒質の流れ（２６）が斜め
に変化した場合、上部電極体（下部電極体）は回動可能
になっているので、上記流れ（２６）に沿うように回動
し、渦流ができ難い向きに定まる。
図に示すように、ガスレーザ媒質の流れ（２６）が斜め
に変化した場合、上部電極体（下部電極体）は回動可能
になっているので、上記流れ（２６）に沿うように回動
し、渦流ができ難い向きに定まる。
なお、上記実施例では上部、下部の各電極体を回動可能
にするため軸受（２４）を設けたが、スリーブなどで回
動可能にしてもよい。また、軸受（２４）の導電性が良
好であれば連結体を良導体でつくり、通電板（２５）を
省略した構成にしても良い。さらに、上記実施例ではピ
ーキングコンデンサ（２０）を上部側にしたが、反対に
下部側に設ける構成にしても良い。
にするため軸受（２４）を設けたが、スリーブなどで回
動可能にしてもよい。また、軸受（２４）の導電性が良
好であれば連結体を良導体でつくり、通電板（２５）を
省略した構成にしても良い。さらに、上記実施例ではピ
ーキングコンデンサ（２０）を上部側にしたが、反対に
下部側に設ける構成にしても良い。
［発明の効果］
上記のように回動可能にすることで、予備電離電極とガ
スレーザ媒質の流れとが常時安定した関係となり、ガス
レーザ媒質の予備電離電極における流速低下が著しく小
さくなった。これにより、ガスレーザ媒質をガスレーザ
管内で循環する送風機の回転数と、レーザ発振の繰返し
数との関係では、従来の固定した予備電離電極の場合に
比べて回動可能にした本願発明は１０〜２０％上記繰返
し数が向上した。また、渦流の減少で主放電が安定した
ことと、ガスレーザ媒質のガス流速の空間分布がよくな
ったことにより、レーザ出力が低下し始める装置固有の
最大繰返し数は同じ〈従来例に比べて１．２〜１．５倍
程度高くなった。
スレーザ媒質の流れとが常時安定した関係となり、ガス
レーザ媒質の予備電離電極における流速低下が著しく小
さくなった。これにより、ガスレーザ媒質をガスレーザ
管内で循環する送風機の回転数と、レーザ発振の繰返し
数との関係では、従来の固定した予備電離電極の場合に
比べて回動可能にした本願発明は１０〜２０％上記繰返
し数が向上した。また、渦流の減少で主放電が安定した
ことと、ガスレーザ媒質のガス流速の空間分布がよくな
ったことにより、レーザ出力が低下し始める装置固有の
最大繰返し数は同じ〈従来例に比べて１．２〜１．５倍
程度高くなった。
第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は予備
電離電極とガスレーザ媒質の流れとを示す図、第３図は
従来例を示す断面図、第４図は同じ〈従来例を示す要部
断面図、第５図は第４図におけるガスレーザ媒質の流れ
を説明する図である。 （２０）・ ・ピーキングコンデンサ （２１）・ ・上部電極体（予備電離電極）（２４）・
・軸受
電離電極とガスレーザ媒質の流れとを示す図、第３図は
従来例を示す断面図、第４図は同じ〈従来例を示す要部
断面図、第５図は第４図におけるガスレーザ媒質の流れ
を説明する図である。 （２０）・ ・ピーキングコンデンサ （２１）・ ・上部電極体（予備電離電極）（２４）・
・軸受
Claims (1)
- ガスレーザ媒質を所定の圧力で封入したレーザ管と、こ
のレーザ管内に主放電空間を形成して設けられた主放電
電極と、上記主放電空間の近傍でかつ上記レーザ管の軸
方向に沿って上記主放電電極の一方側に設けられた上部
電極体およびこの上部電極体にスパークギャップを形成
し上記主放電電極の他方側に設けられた下部電極体とを
有した複数対の予備電離電極と、上記ガスレーザ媒質を
上記主放電空間に送風する送風手段とを備えたガスレー
ザ発振装置において、上記上部電極体および下部電極体
はともに偏平状断面に形成されかつ刃状を呈する側部の
方向を主放電方向にして上記ガスレーザ媒質の流れの変
化で回動自在に設けたことを特徴とするガスレーザ発振
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076667A JPH03278486A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076667A JPH03278486A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03278486A true JPH03278486A (ja) | 1991-12-10 |
Family
ID=13611767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2076667A Pending JPH03278486A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03278486A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5261313A (en) * | 1975-11-13 | 1977-05-20 | Kitagawa Iron Works Co | Slurry plant for hardening poor subsoil and so on |
| JPS53158123U (ja) * | 1977-05-18 | 1978-12-12 | ||
| JPS6286219A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-20 | Kobe Steel Ltd | 海上用地盤改良機における改良材供給制御装置 |
-
1990
- 1990-03-28 JP JP2076667A patent/JPH03278486A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5261313A (en) * | 1975-11-13 | 1977-05-20 | Kitagawa Iron Works Co | Slurry plant for hardening poor subsoil and so on |
| JPS53158123U (ja) * | 1977-05-18 | 1978-12-12 | ||
| JPS6286219A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-20 | Kobe Steel Ltd | 海上用地盤改良機における改良材供給制御装置 |
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