JPS6232671A - 軸流型ガスレ−ザ装置 - Google Patents
軸流型ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6232671A JPS6232671A JP17105885A JP17105885A JPS6232671A JP S6232671 A JPS6232671 A JP S6232671A JP 17105885 A JP17105885 A JP 17105885A JP 17105885 A JP17105885 A JP 17105885A JP S6232671 A JPS6232671 A JP S6232671A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- electrode
- discharge
- vicinity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はガスレーザに係り、特に、放電方向、ガス流方
向、レーザ光軸の一致した、いわゆる軸流型ガスレーザ
に関する。
向、レーザ光軸の一致した、いわゆる軸流型ガスレーザ
に関する。
小型で高出力のレーザ発生装置を実現するには動作ガス
圧力を高め、放電管を通過するレーザガスの質量流量を
増加させれば良い、しかし、高ガス圧力下では電子、イ
オンの拡酸が抑制されるため安定なグロー放電を維持す
る事が困難となる。
圧力を高め、放電管を通過するレーザガスの質量流量を
増加させれば良い、しかし、高ガス圧力下では電子、イ
オンの拡酸が抑制されるため安定なグロー放電を維持す
る事が困難となる。
この対策として、電極周辺に高速度のレーザガスを流す
方法があり、その例として、特開昭５８−１７８５７９
号公報があげられる。
方法があり、その例として、特開昭５８−１７８５７９
号公報があげられる。
本発明の目的は、高速軸流型レーザにおいて高ガス圧力
下でも大きなグロー放電注入パワーの実現できる電極構
造を提供することにある。
下でも大きなグロー放電注入パワーの実現できる電極構
造を提供することにある。
本発明では、ガス流の方向で上流側電極を円環状のほぼ
円形断面をもつスパイラル状、導電材料で構成し、この
電極の外周部よりレーザガスを放電管へ送り込むように
した。スパイラル状電極により電極表面のグローの集中
を防ぎ、細隙からのガスの吐出によって、電極近傍のイ
オン、電子の拡散冷却効果を高めることにより、安定な
グロー放電を実現できる。
円形断面をもつスパイラル状、導電材料で構成し、この
電極の外周部よりレーザガスを放電管へ送り込むように
した。スパイラル状電極により電極表面のグローの集中
を防ぎ、細隙からのガスの吐出によって、電極近傍のイ
オン、電子の拡散冷却効果を高めることにより、安定な
グロー放電を実現できる。
以下１本発明の一実施例を第１図ないし第６図により説
明する。図において、■はレーザ管、２は全反射鏡、３
は出力鏡で光学共振器を構成している。４はガス導入部
、５は電極で後述するようにスパイラル状導電材料で形
成されている。６は第２図は■−■矢視図であって電極
５の拡大図を示すものである。
明する。図において、■はレーザ管、２は全反射鏡、３
は出力鏡で光学共振器を構成している。４はガス導入部
、５は電極で後述するようにスパイラル状導電材料で形
成されている。６は第２図は■−■矢視図であって電極
５の拡大図を示すものである。
一般に、高ガス圧力（５０〜８０ Ｔ ｏ ｒ ｒ ）
下で、安定したグロー放電を維持するには、ジャーナル
オブ アプライド フィジックス ４９（１）Ｐ８１
〜８６ （Ｊ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙ。
下で、安定したグロー放電を維持するには、ジャーナル
オブ アプライド フィジックス ４９（１）Ｐ８１
〜８６ （Ｊ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙ。
４９ （１）Ｐ８１〜８６）に記載されているように、
電極近傍のガス流速を早くシ、渦流を発生させて、イオ
ン、電子の拡散、冷却を促進するのが効果的である。
電極近傍のガス流速を早くシ、渦流を発生させて、イオ
ン、電子の拡散、冷却を促進するのが効果的である。
本発明では、電ｖｉＡ５として、第３図に示すような、
スパイラル状導体１０を円環状に丸めたちのを使用して
いるので、第２図に示すように円環状の周辺で粗く、中
心寄りで密となる導体配置となる。外周より流入したレ
ーザガス１１は、外周部導体１２、内側導体１３に衝突
し、その背後に渦流１４．１５を発生させ、中心部１６
へ流れ込む。
スパイラル状導体１０を円環状に丸めたちのを使用して
いるので、第２図に示すように円環状の周辺で粗く、中
心寄りで密となる導体配置となる。外周より流入したレ
ーザガス１１は、外周部導体１２、内側導体１３に衝突
し、その背後に渦流１４．１５を発生させ、中心部１６
へ流れ込む。
この時、レーザガスの流速は、内側導体１３の近傍で最
大となる。このような経過により１発生した渦流１４．
１５及び、高速ガス流１７によって、第５図の最大電界
点Ｃ近傍で発生しているグロー１８は撹拌され、レーザ
管内に一様に拡大されるので、大きなグロー放電注入パ
ワーでもアーク移行することがない。その結果、放電の
不安定が原因で起こる出力変動を大巾に減少させること
ができるため、安定に大出力を得ることができるため、
安定に大出力を得ることができる。
大となる。このような経過により１発生した渦流１４．
１５及び、高速ガス流１７によって、第５図の最大電界
点Ｃ近傍で発生しているグロー１８は撹拌され、レーザ
管内に一様に拡大されるので、大きなグロー放電注入パ
ワーでもアーク移行することがない。その結果、放電の
不安定が原因で起こる出力変動を大巾に減少させること
ができるため、安定に大出力を得ることができるため、
安定に大出力を得ることができる。
ここで、第３図に示したスパイラル状導体１０の電界面
からの効果について述べる。スパイラル状導体１０は直
径１〜３φ程度の細線で形成されているため、表面の局
部電界が高いので、電界集中部が分散しているのと等価
になり放電開始が容易に行なわれ、しがも、放電面が空
間的に分散しゃすい。一方で、放電に対しては、等測的
に太い直径の電極を用いたことになり、一様な放電が行
なわれる。
からの効果について述べる。スパイラル状導体１０は直
径１〜３φ程度の細線で形成されているため、表面の局
部電界が高いので、電界集中部が分散しているのと等価
になり放電開始が容易に行なわれ、しがも、放電面が空
間的に分散しゃすい。一方で、放電に対しては、等測的
に太い直径の電極を用いたことになり、一様な放電が行
なわれる。
第５図は本発明の他の実施例におけるレーザ発振器部の
構造を示す断面図で、第６図はガス導入部の拡大斜視図
である。１９はスパイラル状電極で−ある。
構造を示す断面図で、第６図はガス導入部の拡大斜視図
である。１９はスパイラル状電極で−ある。
１’：采構成でも、電界集中部Ｃの近傍には高速度のレ
ーザガスの流入と、渦流が発生し、グローの撹拌と一様
な分散が促進される。
ーザガスの流入と、渦流が発生し、グローの撹拌と一様
な分散が促進される。
本発明によれば、スパイラル電極により発生した渦流と
、高速度のガスを、電極上のグロー発生箇所の近傍に送
り込むことができるので、大きなグロー放電注入パワー
でもアーク移行することがない。
、高速度のガスを、電極上のグロー発生箇所の近傍に送
り込むことができるので、大きなグロー放電注入パワー
でもアーク移行することがない。
第１図は本発明の一実施例の、°レーザ発振器の断面図
、第２図は第１図のｎ−ｎ矢視拡大断面図。 第３図はスパイラル状導体の斜視図、第４図は電極近傍
の拡大断面図、第５図は本発明の他の実施例のレーザ発
振器の断面図、第６図はガス導入部の拡大斜視図である
６ ５・・・電極、１４．１５・・・渦流、１２・・・外側
導体、罫Ｚ口 第５囚 １ ロ
、第２図は第１図のｎ−ｎ矢視拡大断面図。 第３図はスパイラル状導体の斜視図、第４図は電極近傍
の拡大断面図、第５図は本発明の他の実施例のレーザ発
振器の断面図、第６図はガス導入部の拡大斜視図である
６ ５・・・電極、１４．１５・・・渦流、１２・・・外側
導体、罫Ｚ口 第５囚 １ ロ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、放電管の両端に少くとも一対の電極を設け、前記電
極相互間のグロー放電により前記放電管内に充填された
レーザ媒体を励起させ、誘導放出によりレーザ光を発生
させるものにおいて、 前記一対の前記電極の内、レーザガス流の方向で上流側
に位置する前記電極を円環状のほぼ円形断面をもつスパ
イラル導電材料で形成し、前記電極の外周部より前記レ
ーザガスを前記放電管へ送り込むように構成したことを
特徴とする軸流型ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17105885A JPS6232671A (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 | 軸流型ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17105885A JPS6232671A (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 | 軸流型ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6232671A true JPS6232671A (ja) | 1987-02-12 |
Family
ID=15916285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17105885A Pending JPS6232671A (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 | 軸流型ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6232671A (ja) |
-
1985
- 1985-08-05 JP JP17105885A patent/JPS6232671A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5243169A (en) | Multiple torch type plasma generation device and method of generating plasma using the same | |
| JP3310421B2 (ja) | マイクロ波プラズマ発生器 | |
| JPH0763033B2 (ja) | 大出力プラズマジェット発生装置 | |
| JPH0452588B2 (ja) | ||
| JPH10507307A (ja) | プラズマトーチの電極構造 | |
| US3940641A (en) | Plasma jet electrode for magnetohydrodynamic generators | |
| US4706257A (en) | Gas laser generator and method of operating same | |
| AU651302B2 (en) | Arc plasma torch having tapered-bore electrode | |
| JPS6232671A (ja) | 軸流型ガスレ−ザ装置 | |
| JPH0693526B2 (ja) | 軸方向ガス流励起管からなるガスレーザ | |
| JPS60161687A (ja) | 高速軸流形レーザ発振器 | |
| JPS61142783A (ja) | レ−ザ発振器用電極管 | |
| JPS63302583A (ja) | 高速軸流形ガスレーザ発振器 | |
| JP2001053359A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP2001110593A (ja) | プラズマトーチ用電極 | |
| JPS625675A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS6314875B2 (ja) | ||
| JPH03273692A (ja) | 炭酸ガスレーザ装置 | |
| JPS58178579A (ja) | レ−ザ発振器 | |
| JPS6114779A (ja) | ガスレ−ザ発生器 | |
| JPS6114782A (ja) | ガスレ−ザ発生器 | |
| JP2606412B2 (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| SU682334A1 (ru) | Токоподвод щий элемент | |
| JPS6114781A (ja) | ガスレ−ザ発生器 | |
| JPS61252677A (ja) | ガスレ−ザ装置 |