JPH03264438A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH03264438A JPH03264438A JP2061849A JP6184990A JPH03264438A JP H03264438 A JPH03264438 A JP H03264438A JP 2061849 A JP2061849 A JP 2061849A JP 6184990 A JP6184990 A JP 6184990A JP H03264438 A JPH03264438 A JP H03264438A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 6
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は、例えば基板状の搬送物の受は渡し方向を転
換するのに好適な搬送装置に関する。
換するのに好適な搬送装置に関する。
（従来の技術）
エツチング装置等では、被処理加工物である基板をカセ
ットから取り出し、−旦ロードロック（ｌｏａｄ １ｏ
ｃｋ）室に受入れ、その後方向を９０度転換して処理室
へ搬送する搬送装置が使用されている。
ットから取り出し、−旦ロードロック（ｌｏａｄ １ｏ
ｃｋ）室に受入れ、その後方向を９０度転換して処理室
へ搬送する搬送装置が使用されている。
エツチング加工処理後の基板も、その搬送装置により処
理室から取出され、９０度方向転換して再びカセットに
搬送収納される。
理室から取出され、９０度方向転換して再びカセットに
搬送収納される。
搬送装置は、上記操作の繰返しを行うもので、従来は第
４図に示すように構成されていた。
４図に示すように構成されていた。
即ち、基板等の搬送物ｌを載置するテーブル状の受皿２
は、ロードロック室３内に設置されたリンク機構４の一
端に取付けられ、カセット５がら搬送物１を取出した後
、方向を９０度転換して処理室６に搬入したり、処理加
工後の搬送物ｌを処理室６から取出し、再びカセット５
に収納するように操作される。
は、ロードロック室３内に設置されたリンク機構４の一
端に取付けられ、カセット５がら搬送物１を取出した後
、方向を９０度転換して処理室６に搬入したり、処理加
工後の搬送物ｌを処理室６から取出し、再びカセット５
に収納するように操作される。
いま、ロードロック室３を中心とした受皿２の移動方向
で、カセット５の方向をＹ、処理室６の方向をＸとすれ
ば、受皿２は第５図に詳細に示すようなロードロック室
３内のリンク機構４の操作によって夫々の方向に搬送移
動される。
で、カセット５の方向をＹ、処理室６の方向をＸとすれ
ば、受皿２は第５図に詳細に示すようなロードロック室
３内のリンク機構４の操作によって夫々の方向に搬送移
動される。
即ち、第５図において、Ｘ−Ｙ平面（紙面）に垂直なＺ
方向を軸に回転するモータ４１は基台に固定され、その
回転軸４１ａには第１のアーム４２の−端が固定される
とともに、その第１のアーム４２の他端には貫通孔４２
ｂが設けられて第２のアーム４３の回転軸４３ａを回動
自在に支えるヒンジが形成されている。
方向を軸に回転するモータ４１は基台に固定され、その
回転軸４１ａには第１のアーム４２の−端が固定される
とともに、その第１のアーム４２の他端には貫通孔４２
ｂが設けられて第２のアーム４３の回転軸４３ａを回動
自在に支えるヒンジが形成されている。
また、モータ４１の回転軸４１ａを間挿して第１のプー
リ４４が基台に固定して取付けられ、この第１のプーリ
４４は第２のアーム４３の回転軸４３ａと一体になって
回転する第２のプーリ４５と第１のタイミングベルト４
６で連結されている。なお、′！ｆＪ１のプーリ４４と
第２のプーリ４５とのギア比は２：１となっている。
リ４４が基台に固定して取付けられ、この第１のプーリ
４４は第２のアーム４３の回転軸４３ａと一体になって
回転する第２のプーリ４５と第１のタイミングベルト４
６で連結されている。なお、′！ｆＪ１のプーリ４４と
第２のプーリ４５とのギア比は２：１となっている。
更に、第２のアーム４３の他端の貫通孔４３ｂは前記受
皿２の回転軸２ａを支えてヒンジが構成され、第２のア
ーム４３の回転軸４３ａに固定の第３のプーリ４３ｅと
受皿２の回転軸２ａに一体に固定の第４のプーリ２ｂと
は、第２のタイミングベルト４７によって１：１のギア
比で連結されている。
皿２の回転軸２ａを支えてヒンジが構成され、第２のア
ーム４３の回転軸４３ａに固定の第３のプーリ４３ｅと
受皿２の回転軸２ａに一体に固定の第４のプーリ２ｂと
は、第２のタイミングベルト４７によって１：１のギア
比で連結されている。
従って、モータ４１の回転に伴い第１のアーム４２が回
転し、それに伴い第２のアーム４３の回転軸４３ａは矢
印Ａ方向に移動するが、この回転軸４３ａは第１のタイ
ミングベルト４６で連結されているので、受皿２の回転
軸２ａの位置は矢印Ｂ方向に回動するので貫通孔４３ｂ
の位置はＹ方向にはずれることなくＸ方向に移動する。
転し、それに伴い第２のアーム４３の回転軸４３ａは矢
印Ａ方向に移動するが、この回転軸４３ａは第１のタイ
ミングベルト４６で連結されているので、受皿２の回転
軸２ａの位置は矢印Ｂ方向に回動するので貫通孔４３ｂ
の位置はＹ方向にはずれることなくＸ方向に移動する。
更に、受皿２は第３のプーリ４３ｃと第２のタイミング
ベルト４７によって連結されているので、受皿２全体の
姿勢（向き）を維持しながら、左右（Ｘ方向）にスライ
ドするように移動する。
ベルト４７によって連結されているので、受皿２全体の
姿勢（向き）を維持しながら、左右（Ｘ方向）にスライ
ドするように移動する。
従って、リンク機構４はモータ４１の回転方向を切替え
るだけで、受皿２の上の搬送物１を常に一定方向（第５
図ではＸ方向）にのみ往復移動させることができる。
るだけで、受皿２の上の搬送物１を常に一定方向（第５
図ではＸ方向）にのみ往復移動させることができる。
ところで上記従来の搬送装置は、ｆ！４図で説明したよ
うに一５受皿２をＸ及びＹ方向に夫々方向を・変換して
搬送するので、第６図に示すように、搬送物１を載せた
状態で（ａ）から（ｂ）の状態に９０度向回転せること
が必要となる。
うに一５受皿２をＸ及びＹ方向に夫々方向を・変換して
搬送するので、第６図に示すように、搬送物１を載せた
状態で（ａ）から（ｂ）の状態に９０度向回転せること
が必要となる。
搬送物ｌは図示のように矩形状の基板であることが多い
ので、ロードロック室３の広さは、−辺の長さＲ′は矩
形状の搬送物ｌの少なくとも対角線の長さＲより長い（
Ｒ＜Ｒ’ ）面積の広さを必要とした。そこで、搬送物
ｌそのものの占める面積に比較し、ロードロック室３は
相当大きな面積を必要とするが、エツチング装置等の構
造全体の小形化を行うにはロードロ・７り室３をできる
だけ小さく構成する必要があるので、何らかの対策が要
望されていた。
ので、ロードロック室３の広さは、−辺の長さＲ′は矩
形状の搬送物ｌの少なくとも対角線の長さＲより長い（
Ｒ＜Ｒ’ ）面積の広さを必要とした。そこで、搬送物
ｌそのものの占める面積に比較し、ロードロック室３は
相当大きな面積を必要とするが、エツチング装置等の構
造全体の小形化を行うにはロードロ・７り室３をできる
だけ小さく構成する必要があるので、何らかの対策が要
望されていた。
（発明が解決しようとする課題）
従来の搬送装置は、搬送物を旋回させて方向転換するの
で、方向転換作業には大きな空間を必要とし、例えばエ
ツチング装置内に装備すると装置全体が大きくなり、小
形化への障害となっていた。
で、方向転換作業には大きな空間を必要とし、例えばエ
ツチング装置内に装備すると装置全体が大きくなり、小
形化への障害となっていた。
この発明は、簡単な構成により、方向転換に要する空間
がコンパクトになり、採用した装置全体の小形化等が実
現できる搬送装置を提供することを目的とする。
がコンパクトになり、採用した装置全体の小形化等が実
現できる搬送装置を提供することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
この発明による搬送装置は、搬送物をｊｉｔ置する受皿
と、この受皿を一定方向に移動可能なリンク機構と、こ
のリンク機構及び前記受皿を回動させて方向を変える方
向転換機構と、この方向転換機構を作動させるときに前
記搬送物を前記受皿から浮上可能な搬送物上下移動機構
とを具備することを特徴とする。
と、この受皿を一定方向に移動可能なリンク機構と、こ
のリンク機構及び前記受皿を回動させて方向を変える方
向転換機構と、この方向転換機構を作動させるときに前
記搬送物を前記受皿から浮上可能な搬送物上下移動機構
とを具備することを特徴とする。
（作 用）
この発明による搬送装置は、搬送物移動機構を備えて搬
送物を受皿から浮上させ、その浮上した状態で受皿及び
リンク機構の向きを方向転換機構で変えるので、搬送物
自体を旋回させることなく方向を転換できる。
送物を受皿から浮上させ、その浮上した状態で受皿及び
リンク機構の向きを方向転換機構で変えるので、搬送物
自体を旋回させることなく方向を転換できる。
この結果、搬送物の方向転換のために予め大きな空間を
必要とせず、装置全体の小形化が可能となる。
必要とせず、装置全体の小形化が可能となる。
（実施例）
以下、この発明による搬送装置の一実施例を第１図ない
し第３図を参照して詳細に説明する。
し第３図を参照して詳細に説明する。
なお、第４図ないし第６図に示した従来の搬送装置と同
一構成には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
一構成には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
即ち、第１図及び第２図において、搬送物ｌを載置する
受皿２には、従来と同様に受皿２を矢印Ｘで示す方向に
移動可能なリンク機構４が取付けられている。第１のモ
ータ４１の回転軸４１ａはカップリング４１ａ′を介し
て、第１のアーム４２を連結させるとともに、その回転
軸４１ａを囲む筒状体４４ａは第１のプーリ４４と一体
構成されるともにカップリング４１ａ’を囲みつつ第１
のモータ４１を取付は固定している。
受皿２には、従来と同様に受皿２を矢印Ｘで示す方向に
移動可能なリンク機構４が取付けられている。第１のモ
ータ４１の回転軸４１ａはカップリング４１ａ′を介し
て、第１のアーム４２を連結させるとともに、その回転
軸４１ａを囲む筒状体４４ａは第１のプーリ４４と一体
構成されるともにカップリング４１ａ’を囲みつつ第１
のモータ４１を取付は固定している。
前記筒状体４４ａには、これを回転軸４１ａを中心とし
て回転させる方向転換機構７が組込まれている。
て回転させる方向転換機構７が組込まれている。
即ち、筒状体４４ａには第５のプーリ７１が固定され、
この第５のプーリ７１は枠体８に固定して取付けられた
第２のモータ７２の回転軸プーリ７３と第３のタイミン
グベルト７４で結合されている。なお、枠体８は装置の
基台に一体に固定され筒状体４４ａを回転自在に支持し
ている。
この第５のプーリ７１は枠体８に固定して取付けられた
第２のモータ７２の回転軸プーリ７３と第３のタイミン
グベルト７４で結合されている。なお、枠体８は装置の
基台に一体に固定され筒状体４４ａを回転自在に支持し
ている。
従って、第２のモータ７２を回転駆動させることによっ
て筒状体４４ａは回動し、第１のモータ４１を含むリン
ク機構全体４全体を回転させることができる。
て筒状体４４ａは回動し、第１のモータ４１を含むリン
ク機構全体４全体を回転させることができる。
更に、枠体８を貫通して上下動し、搬送物ｌである基板
を４鵬で支えて受皿２に載せたり、あるいは受皿２から
浮かすプッシャー即ち搬送物上下移動機構９が構成され
ている。
を４鵬で支えて受皿２に載せたり、あるいは受皿２から
浮かすプッシャー即ち搬送物上下移動機構９が構成され
ている。
搬送物上下移動機構９は、搬送物ｌである基板を４隅で
支持する４個の受ブロック９１と、この各受ブロック９
１に夫々連結され、上下方向に移動する支持軸９２と、
これら支持軸９２を連結する連結板９３と、この連結板
９３を上下（Ｚ軸）方向に移動するシリンダ９４とによ
って構成される。
支持する４個の受ブロック９１と、この各受ブロック９
１に夫々連結され、上下方向に移動する支持軸９２と、
これら支持軸９２を連結する連結板９３と、この連結板
９３を上下（Ｚ軸）方向に移動するシリンダ９４とによ
って構成される。
シリンダ９４の本体部分は前記枠体８に固定されている
から、シリンダ９４が作動することによって、連結板９
３．支持軸９２及び受ブロック９１が一体になって上下
動する。従って、４個の受はブロック９１が受皿２の面
（高さ）よりも上に上がるときには、４個の受ブロック
９１が搬送物Ｉを支えて上方に持上げ、受皿２から浮上
させることができる。なお、受ブロック９１はＬ字状の
コーナ部９１ａを持つので、基板状の搬送物ｌはこのコ
ーナ部で正確な位置決め整列が行われる。
から、シリンダ９４が作動することによって、連結板９
３．支持軸９２及び受ブロック９１が一体になって上下
動する。従って、４個の受はブロック９１が受皿２の面
（高さ）よりも上に上がるときには、４個の受ブロック
９１が搬送物Ｉを支えて上方に持上げ、受皿２から浮上
させることができる。なお、受ブロック９１はＬ字状の
コーナ部９１ａを持つので、基板状の搬送物ｌはこのコ
ーナ部で正確な位置決め整列が行われる。
この搬送装置は、上記のように構成され、カセット４及
び処理室５への搬入搬出を行うものであるが、ロードロ
ック室３で方向を９０度転換するときには、第３図（ａ
）に示した状態でまず搬送物上下移動機構９が搬送物ｌ
を受皿上に持ち上げ、その後方向転換機構７を第２のモ
ータ７２により作動させて、第３図（ｂ）に示すように
リンク機構４だけを９０度回転させる。９０度向回転了
後搬送物上下移動機構９を再び作動させ、受はブロック
９１を降下させ搬送物ｌを受皿２の上に載せることによ
って、９０度転換させた方向に搬送物ｌを搬送させるこ
とができる。
び処理室５への搬入搬出を行うものであるが、ロードロ
ック室３で方向を９０度転換するときには、第３図（ａ
）に示した状態でまず搬送物上下移動機構９が搬送物ｌ
を受皿上に持ち上げ、その後方向転換機構７を第２のモ
ータ７２により作動させて、第３図（ｂ）に示すように
リンク機構４だけを９０度回転させる。９０度向回転了
後搬送物上下移動機構９を再び作動させ、受はブロック
９１を降下させ搬送物ｌを受皿２の上に載せることによ
って、９０度転換させた方向に搬送物ｌを搬送させるこ
とができる。
このように、９０度搬送方向を転換させるのに、搬送物
１を方向転換させるのではなく、より容積の小さなリン
ク機構９を回転させるだけであるから、ローロック室３
の面積は小さくて済み、よりコンパクトに構成すること
ができる。
１を方向転換させるのではなく、より容積の小さなリン
ク機構９を回転させるだけであるから、ローロック室３
の面積は小さくて済み、よりコンパクトに構成すること
ができる。
なお、この実施例では、方向転換を９０度変える場合を
説明したが、方向転換機構を制御することによって、１
８０度あるいは反対方向への９０度転換も可能である。
説明したが、方向転換機構を制御することによって、１
８０度あるいは反対方向への９０度転換も可能である。
［発明の効果］
以上のように、この発明による搬送装置は、搬送物の水
平方向での向きを変えるのに搬送物を回転移動させるこ
ことがないので、例えばエツチング装置等に採用してそ
の小形化に大きな貢献をするものであり、実用上の効果
大である。
平方向での向きを変えるのに搬送物を回転移動させるこ
ことがないので、例えばエツチング装置等に採用してそ
の小形化に大きな貢献をするものであり、実用上の効果
大である。
第１図はこの搬送装置の装置実施例を示す一部切り欠き
側面図、第２図は第１図は示す装置の平面図、第３図は
第１図に示す装置の方向転換操作を説明する平面図、第
４図は従来の搬送装置を示す平面図、第５図は第４図に
示す装置のリンク機構を示す平面図、第６図は第４図に
示す装置の方向転換操作を説明する平面図である。 １・・・搬送物、 ２・・・受皿、３・・・
ロードロック室、 ４・・・リンク機構、５・・・カ
セット、 ７・・・方向転換機構、 ６・・・処理室、 ８・・・枠体、 ９・・・搬送物上下移動機構。
側面図、第２図は第１図は示す装置の平面図、第３図は
第１図に示す装置の方向転換操作を説明する平面図、第
４図は従来の搬送装置を示す平面図、第５図は第４図に
示す装置のリンク機構を示す平面図、第６図は第４図に
示す装置の方向転換操作を説明する平面図である。 １・・・搬送物、 ２・・・受皿、３・・・
ロードロック室、 ４・・・リンク機構、５・・・カ
セット、 ７・・・方向転換機構、 ６・・・処理室、 ８・・・枠体、 ９・・・搬送物上下移動機構。
Claims (1)
- 搬送物を載置する受皿と、この受皿を一定方向に移動可
能なリンク機構と、このリンク機構及び前記受皿を回動
させて方向を変える方向転換機構と、この方向転換機構
を作動させるときに前記搬送物を前記受皿から浮上可能
な搬送物上下移動機構とを具備することを特徴とした搬
送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6184990A JPH0647422B2 (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6184990A JPH0647422B2 (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03264438A true JPH03264438A (ja) | 1991-11-25 |
| JPH0647422B2 JPH0647422B2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=13182954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6184990A Expired - Fee Related JPH0647422B2 (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0647422B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007152505A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Mach Eng:Kk | ピックアンドプレースユニット |
| CN102951466A (zh) * | 2012-11-20 | 2013-03-06 | 浙江久立特材科技股份有限公司 | 刨边机自动化送料装置 |
-
1990
- 1990-03-13 JP JP6184990A patent/JPH0647422B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007152505A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Mach Eng:Kk | ピックアンドプレースユニット |
| JP4697635B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2011-06-08 | 株式会社マシンエンジニアリング | ピックアンドプレースユニット |
| CN102951466A (zh) * | 2012-11-20 | 2013-03-06 | 浙江久立特材科技股份有限公司 | 刨边机自动化送料装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0647422B2 (ja) | 1994-06-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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