JPH03257305A - Inspecting method of mounting of chip parts - Google Patents

Inspecting method of mounting of chip parts

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JPH03257305A
JPH03257305A JP5743490A JP5743490A JPH03257305A JP H03257305 A JPH03257305 A JP H03257305A JP 5743490 A JP5743490 A JP 5743490A JP 5743490 A JP5743490 A JP 5743490A JP H03257305 A JPH03257305 A JP H03257305A
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chip
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reflected light
inspection
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Atsuhiko Yamagami
山上 厚彦
Ikuo Yamada
山田 育夫
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TOYO DENKI KK
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TOYO DENKI KK
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Abstract

PURPOSE:To judge whether a chip is defective, improperly erect, acceptable or improperly shifted by a method wherein a laser distance sensor is equipped with a function to detect the amount of the reflecting light, a reference surface is set for every chip and the height of the chip from the reference surface is measured. CONSTITUTION:A laser distance sensor 1 mounted on an XY table 2 emits a laser beam L to scan a printed circuit board 9 to be measured which is placed onto a fixed stage 8. A stable surface with the reflecting light amount not smaller than a preset reference amount is set as a reference surface. The height of a chip 10 to be measured from the reference surface is measured. When the height of the chip is smaller than a value V1 obtained by subtracting a predetermined value from the thickness of the chip, the chip is judged to be defective. If the height of the chip exceeds a value V2 obtained by adding a preset value to the thickness of the chip, the chip is judged to be improperly erect. Moreover, when the height of the chip is between V1 and V2 and within the allowance of the positional shift, the chip is judged to be acceptable. When the height is outside the range between V1 and V2 and exceeds the allowance of the positional shift, the chip is judged to be improperly shifted.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、プリント基板の製造工程におけるチップ部品
装着後に、チップの誤装着を検査するチップ部品装着検
査方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a chip component mounting inspection method for inspecting for incorrect chip mounting after chip components are mounted in a printed circuit board manufacturing process.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

数多くのチップを装着する基板の量産ラインには、チッ
プを自動的に装着する機械が設備されている。
Mass production lines for circuit boards that mount large numbers of chips are equipped with machines that automatically mount chips.

このチップ自動装着機によると、すべてのチップが常に
基板の正しい位置に正しい姿勢で装着されるとは限らず
、次のような装着不良が生しることが多々ある。
According to this automatic chip mounting machine, not all chips are always mounted on the board in the correct position and in the correct posture, and the following mounting failures often occur.

(1)  チップが装着されるべき位置に装着されてい
ない不良(欠品) (2)  チップが装着されるべき位置に正しく装着さ
れていない不良(ズレ) (3)  チップ側面で立つように装着されている不良
(立ち) この様な装着不良の多くは基板の製造工程が進むにした
がって、何れかの検査工程で発見されるが、工程が進む
程修正が困難になるので、チップ装着後直ちに全数検査
してこの様な不良品を取り除かねばならない。この検査
方法には、目視による検査と自動検査機による検査があ
る。
(1) The chip is not installed in the correct position (missing item). (2) The chip is not installed in the correct position (misalignment). (3) The chip is installed so that it stands on the side. Many of these mounting defects are discovered at some point in the inspection process as the board manufacturing process progresses, but as the process progresses, it becomes more difficult to correct them, so they should be fixed immediately after chip mounting. All products must be inspected to remove such defective products. This inspection method includes visual inspection and inspection using an automatic inspection machine.

現在市販されている自動検査機は次のようなものである
The automatic inspection machines currently on the market are as follows.

(1)複数のレーザー光(通常3本)で基板上をスキャ
ンしながらその反射光を1つのCCDカメラで受けて得
た3次元データを予め入力された基準データーとの比較
により判別して良否を検査するもの。
(1) 3D data obtained by scanning the board with multiple laser beams (usually 3 beams) and receiving the reflected light with a single CCD camera is compared with pre-input reference data to determine pass/fail. something to inspect.

(2)複数のCCDカメラ(通常3ないし4台)で基板
面から取り込んだ画像データと予め入力された基準デー
タとの比較により判別して良否を検査するもの。
(2) A device that inspects quality by comparing image data captured from the board surface with multiple CCD cameras (usually 3 or 4) and reference data input in advance.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかし、目視検査は、検査の信頼性が少なく且つ生産数
に比例した人員増加等から容易に採用することが出来な
い。従って、自動検査機に頼らざるをえないが、市販さ
れている前記自動検査機は何れも高価なため採用し難い
という問題がある。
However, visual inspection cannot be easily adopted because the reliability of the inspection is low and the number of personnel increases in proportion to the number of products produced. Therefore, it is necessary to rely on an automatic inspection machine, but there is a problem in that it is difficult to employ the above-mentioned automatic inspection machines that are commercially available because they are all expensive.

これらの検査機は前記のごとく、構造上、複数のレーザ
ー光と高密度のCCDカメラまたは複数のCCDカメラ
から取り込んだ複数のデータの演算処理器を必要とする
ものであるため検査機が非常に高価である。
As mentioned above, these inspection machines require multiple laser beams and a high-density CCD camera or a processor for processing multiple data captured from multiple CCD cameras due to their structure. It's expensive.

通常これらの検査機は、プリント基板の製造ラインの構
成上、数台から十数台を必要とするので、その設備投資
額は数千万円を超える金額となり、必要ではあるが容易
に採用出来ないという問題がある。
Normally, these inspection machines require a few to a dozen or more machines due to the configuration of the printed circuit board manufacturing line, so the equipment investment amount exceeds tens of millions of yen, and although it is necessary, it is difficult to adopt it easily. The problem is that there is no.

本発明は、前記問題点を解決すべくなされたもので、検
査すべきチップ部品を洩れなく検査でき且つ検査ξスが
なく、それでいて安価につくチップ部品装着検査方法を
提供することを目的とするものである。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and aims to provide a chip component mounting inspection method that can inspect all chip components to be inspected, does not require inspection time, and is inexpensive. It is something.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明は前記目的を達成するため、被測定物にレーザー
光を発射して被測定物からのレーザー光反射角度の差に
より被測定物の高さを測定できるレーザー距離測定器で
あって被測定物からの反射光量を検出できる機能を付加
したレーザー距離測定器を準備し、前記レーザー距離測
定器によりレーザー光を発射してプリント基板を順次走
査し且つ該プリント基板からの反射光を受け、一方、前
記プリント基板上の各チップ装着位置に関して予め定め
た基準面からの反射光量に相当する基準反射光量を設定
しておき、前記走査による反射光量が該基準反射光量以
上の光量に安定した面を基準面として該基準面からの該
チップ装着位置におけるチップ高さを測定し、該測定チ
ップ高さがチップ厚さより予め定めた値を差し引いた値
■1に達しないときは欠品と判定し、前記測定チップ高
さがチップ厚さに予め定めた値を加えた値v2を超えた
ときは立ち不良と断定し、前記測定チップ高さが予め定
めたチップ位置ズレ許容距離範囲内で前記値V1からV
2以内にあるときは合格と判定し、前記チップ位置ズレ
許容距離を越えてなお前記値V1からV2の範囲外にあ
るときはズレ不良と判定することを特徴とするチップ部
品装着検査方法を提供する。
In order to achieve the above object, the present invention is a laser distance measuring device that can measure the height of an object by emitting a laser beam to the object and measuring the height of the object based on the difference in the angle of reflection of the laser beam from the object. A laser distance measuring device equipped with a function to detect the amount of light reflected from an object is prepared, and the laser distance measuring device emits a laser beam to sequentially scan a printed circuit board and receive the reflected light from the printed circuit board, while , a reference amount of reflected light corresponding to the amount of reflected light from a predetermined reference surface is set for each chip mounting position on the printed circuit board, and a surface where the amount of reflected light due to the scanning is stable at or above the reference amount of reflected light is set. Measure the chip height at the chip mounting position from the reference surface as a reference surface, and if the measured chip height does not reach the value (1) obtained by subtracting a predetermined value from the chip thickness, it is determined that the chip is out of stock; When the measurement chip height exceeds the value v2, which is the sum of the chip thickness and a predetermined value, it is determined that there is a failure in standing, and when the measurement chip height exceeds the predetermined chip position deviation tolerance distance range, the measurement chip height exceeds the value V1. from V
Provided is a chip component mounting inspection method characterized in that when the chip position deviation is within 2, it is determined to be a pass, and when the chip position deviation exceeds the allowable distance and is still outside the range of the value V1 to V2, it is determined to be a deviation defect. do.

本発明の好ましい実施態様によると、前記測定器を使用
するにあたっては前述の如く、プリント基板表面を測定
基準面とし且つ、チップ厚さに比べ僅かの寸法をα(予
め任意に設定する)として、“チップ厚さ±α”をチッ
プ装着高さの判定基準とし、また、既述のとおり“チッ
プ位置ズレ許容距離”を予め設定しておく。
According to a preferred embodiment of the present invention, when using the measuring device, as described above, the surface of the printed circuit board is used as the measurement reference surface, and a dimension α (arbitrarily set in advance) is set slightly compared to the chip thickness. The "chip thickness ±α" is used as a criterion for determining the chip mounting height, and the "chip position deviation allowable distance" is set in advance as described above.

基板表面の設定は次のように行う。即ち、一般市販のレ
ーザー距離測定器に、受光面に到達した反射光強さのア
ナログデータを取り込む機能を付加し、このアナログデ
ータをA/D変換し、予め設定した基準面の反射光量に
相当する基準反射光量を設定して置き、この基準反射光
量以上の光量が安定した面を基準面と設定する。この様
にして、レーザー光を基板直上より垂直下に照射しなが
ら走査させ、被測定チップに近づいたとき、そのチップ
の中心より計算した一定距離手前からチップの中心点を
超えるまで、レーザー距離測定器のデータをコントロー
ラ(例えばパーソナルコンピュータ)に取り込み、その
メモリに記憶させる。
The substrate surface is set as follows. In other words, a commercially available laser distance measuring device is equipped with a function that captures analog data of the intensity of reflected light that reaches the light receiving surface, and this analog data is A/D converted to calculate the amount of light that corresponds to the amount of reflected light from a preset reference surface. A reference amount of reflected light is set, and a surface with a stable amount of light equal to or greater than this reference amount of reflected light is set as a reference surface. In this way, the laser beam is scanned while irradiating vertically downward from just above the substrate, and when it approaches the chip to be measured, the laser distance is measured from a certain distance calculated from the center of the chip until it passes the center point of the chip. The device data is taken into a controller (for example, a personal computer) and stored in its memory.

この様にして、レーザー光がチップ装着図面に基づいて
、XYテーブルによって移動しつつ、チップが装着され
ているべき位置で測定した高さが、(11“チップ厚さ
一α”に達しないときは“欠品”不良と判定する。
In this way, when the laser beam is moved by the XY table based on the chip mounting drawing and the height measured at the position where the chip should be mounted does not reach (11 "chip thickness - α") is determined to be “out of stock” or defective.

(2)  “チップ厚さ+α”を超えたときは“立ち”
不良と判定する。
(2) “Standing” when exceeding “chip thickness + α”
Determined as defective.

(3)  “チップ位置ズレ許容距離”範囲内で“チッ
プ厚さ士・α”に達したときは合格とするが、“チップ
位置ズレ許容距離”を超えて尚、“チップ厚さ±α”に
達しないとき“ズレ不良”と判定する。
(3) If the “chip thickness ±α” is reached within the “chip position deviation allowable distance” range, it will be passed, but if the “chip position deviation allowable distance” is exceeded, the “chip thickness ±α” If it does not reach this value, it is determined that there is a "defective misalignment".

〔作 用〕[For production]

本発明のチップ部品装着検査方法によると、プリント基
板上の各チップはチップ毎に設定される基準面からの高
さが測定され、その測定高さから欠品、立ち不良、合格
、ズレ不良のいずれかと判定される。
According to the chip component mounting inspection method of the present invention, the height of each chip on a printed circuit board from a reference plane set for each chip is measured, and based on the measured height, defects such as missing parts, standing defects, passing, and misalignment defects are detected. It is determined that either.

〔実 施 例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

本実施例では第1図に示す検査装置が準備される。In this embodiment, an inspection apparatus shown in FIG. 1 is prepared.

すなわち、一般に市販されている、或いはそれを若干改
良した次の部品を備えた装置が準備される。
That is, a device is prepared that includes the following parts that are generally commercially available or that have been slightly improved.

a、レーザー距離測定器1 b、xyテーブル2 C,コントローラ3 c’ 、X、Y用パルス発生器3 d、システムディスク4 e、データディスク5 f9表示装置6 g、プリンター7 レーザー距離測定器1は、被測定物にレーザー光を発射
して被測定物からのレーザー光反射角度の差により被測
定物の高さを測定できる市販のものに被測定物からの反
射光量を検出できる機能を付加したもので、レーザー光
を発射するレーザー光発射部、被測定物からの反射光を
受光部で受けて距離データ及び反射光量を得るセンサ一
部、該センサ一部から取り入れた距離データを処理して
距離(チップ高さ)を算出する演算部、センサー部から
取り入れたアナログ反射光量をデジタル変換するA/D
変換器を含んでいる。
a. Laser distance measuring device 1 b. XY table 2 C. Controller 3 c' adds a function that can detect the amount of light reflected from the object to be measured, to a commercially available product that can emit a laser beam to the object and measure the height of the object based on the difference in the angle of reflection of the laser beam from the object. A laser beam emitting section that emits laser light, a sensor section that receives reflected light from the object to be measured and obtains distance data and the amount of reflected light, and a sensor section that processes the distance data taken in from the sensor section. A calculation unit that calculates the distance (chip height), and an A/D that converts the analog reflected light amount taken from the sensor unit into digital.
Contains a converter.

XY子テーブルは、固定フレームFに設けられており、
パルスモータ21によりX軸方向に駆動されるテーブル
2aとパルスモータ22によりX軸に直角なY軸方向に
駆動されるテーブル2bとを含んでおり、各モータはコ
ントローラ3の指示に基づいたパルスにより運転される
。1パルスによる移動量はX、Y軸共に0.04mmに
設定されているのでX、Yテーブルの現在位置はX、Y
のパルス数をパルスカウンタでカウントして算出するこ
とができる。レーザー距離測定器1はこのXY子テーブ
ルに搭載され、固定台8上に配置した被測定プリント基
板9を必要範囲で走査できる。
The XY child table is installed on the fixed frame F,
It includes a table 2a driven in the X-axis direction by a pulse motor 21 and a table 2b driven in the Y-axis direction perpendicular to the X-axis by a pulse motor 22, and each motor is driven by pulses based on instructions from the controller 3. be driven. The amount of movement per pulse is set to 0.04 mm for both the X and Y axes, so the current position of the X and Y tables is
It can be calculated by counting the number of pulses using a pulse counter. The laser distance measuring device 1 is mounted on this XY child table and can scan a printed circuit board 9 to be measured placed on a fixed base 8 within a necessary range.

なお、本実施例では、測定器1全体がテーブル2に搭載
されているが、測定器1のうち少なくともレーザー光発
射部及びセンサ一部が搭載されていれば足りる。
In this embodiment, the entire measuring instrument 1 is mounted on the table 2, but it is sufficient that at least the laser beam emitting section and a part of the sensor of the measuring instrument 1 are mounted.

コントローラ3には、本実施例ではパーソナルコンピュ
ータ(以下、「パソコン」という)が使用され、これは
フロッピードライブ31を備えている。
In this embodiment, a personal computer (hereinafter referred to as a "personal computer") is used as the controller 3, and this is equipped with a floppy drive 31.

システムディスク4は、装置の検査進行を制御するため
のものであり、本実施例ではフロッピーディスクの形態
である。
The system disk 4 is for controlling the progress of testing of the apparatus, and is in the form of a floppy disk in this embodiment.

データディスク5は、プリント54反上のチップ。The data disk 5 is a chip above the print 54.

部品装着位置データを有しており、チップ装着図0 面に基づき、別途パソコン等により作成されたもので、
本実施例ではフロ・7ピーデイスクの形態である。
It has component mounting position data and was created separately on a computer etc. based on the chip mounting diagram page 0.
In this embodiment, it is in the form of a 7-speed disk.

これらフロッピーディスク4.5はコントローラ3のフ
ロッピードライブ31にセントされる。
These floppy disks 4.5 are inserted into the floppy drive 31 of the controller 3.

表示装置6は、本実施例ではCRTデイスプレーであり
、コントローラ3の指示に基づいてチップ位置を表示で
きるとともに、良否判定前のチップを青色で、不良チッ
プを赤色で、良チップを白色で表示できる。
The display device 6 is a CRT display in this embodiment, and can display the chip position based on instructions from the controller 3, and also displays chips before pass/fail judgment in blue, bad chips in red, and good chips in white. can.

プリンター7は検査結果をコントローラ3の指示に基づ
いてプリントアウトする。
The printer 7 prints out the test results based on instructions from the controller 3.

第2図に示すように、レーザー距離測定器1から被測定
プリント基板9に対して直上から垂直に発射されたレー
ザー光りの反射光はセンサ一部Sの受光面Cでとらえる
が、反射角度の差により、面Bに対しセンサ一部Sによ
り近い(面Bより高い)面Aからの反射光の受光点は受
光面Cに於いて、点すより点aに移動する。この際、面
Bを基準面と設定すると、点すより点aまでの移動距離
1 を前記演算部で変換、演算して面Bより面A迄の高さと
する。従って面Bを基準面、面Aをチップ面とするとチ
ップ面の高さを測定することが出来、この高さを観測出
来るか否か、観測出来た場合にそれが許容誤差範囲内に
あるか否か、でチップの装着状態を判定できる。
As shown in Fig. 2, the reflected light of the laser beam emitted perpendicularly from above the printed circuit board 9 to be measured from the laser distance measuring device 1 is captured by the light receiving surface C of the sensor part S, but the reflection angle is Due to the difference, the light-receiving point of the reflected light from surface A, which is closer to sensor part S than surface B (higher than surface B), moves to point a on light-receiving surface C. At this time, if the surface B is set as the reference surface, the moving distance 1 from the point to the point a is converted and calculated by the calculation section to obtain the height from the surface B to the surface A. Therefore, if surface B is the reference surface and surface A is the chip surface, the height of the chip surface can be measured, and whether this height can be observed or not, and if it can be observed, whether it is within the allowable error range. The installation state of the chip can be determined by whether or not the chip is installed.

しかしながら測定基準面が常にフラットな平面である場
合は前記のままで正しく測定することが出来るが、本発
明の測定対象はプリント基板であるため基板面は、通常
フラットな平面でなく複雑に変化しており、チップ高さ
を超えるような凹凸がある場合が多い。このため、最初
に設定した基準面のままではチップ高さを正しく測定す
ることが出来ない。
However, if the measurement reference plane is always a flat plane, accurate measurements can be made as described above, but since the measurement target of the present invention is a printed circuit board, the board surface is not normally a flat plane and changes in a complicated manner. In many cases, there are irregularities that exceed the height of the chip. For this reason, it is not possible to accurately measure the chip height using the initially set reference plane.

従って本実施例では、チップ高さを測定するに際し、チ
ップ毎にチップ直前の基板面を基準面として設定し直し
つつ検査を進めるよう工夫されている。
Therefore, in this embodiment, when measuring the chip height, the inspection is carried out while resetting the substrate surface immediately in front of the chip as the reference surface for each chip.

この基準面の設定の仕方について説明する。The method of setting this reference plane will be explained.

第3図に於いて、データディスク5より読みだし1ま たデータに従ってレーザー光は、XY子テーブル上でパ
ルスモータ21.22に送られるパルスによって、チッ
プ中心を通過するD線に沿って一定速度で移動するが、
本実施例では1パルスの移動距離を0.04mmとして
いる。以下例として幅W1.25關、高さHo、5 t
mのチップを検査するとして記述する。
In Fig. 3, the laser beam is read out from the data disk 5 and according to the data, the pulse is sent to the pulse motors 21 and 22 on the XY child table at a constant speed along the D line passing through the center of the chip. Although it moves,
In this embodiment, the moving distance of one pulse is 0.04 mm. As an example below, width W1.25, height Ho, 5t
It is described that m chips are to be inspected.

チップ毎に、予めデータディスクに入力されたデータよ
り読みだした被測定チップの中心点Pより逆算して、4
8パルス分手前をデータ取り込み開始位置とし、以後2
4パルスで基板面を基準面として、次の24パルスでチ
ップ面の判定をする。
For each chip, calculate backwards from the center point P of the chip to be measured, read from the data input to the data disk in advance, and calculate 4.
The data acquisition start position is 8 pulses before, and 2 pulses after that.
With 4 pulses, the substrate surface is used as a reference surface, and the next 24 pulses are used to judge the chip surface.

この合計48パルス分データを取り込んでコントローラ
3のメモリに記憶させておく。以上の工程の合計48パ
ルスを終了すると、次のチップの測定に入るために、2
番目のチップ中心点Qより逆算して48パルス手前より
データの取り込みを開始しする。かくしてこの工程をチ
ップ毎に繰り返して測定を続ける。
The data for a total of 48 pulses is taken in and stored in the memory of the controller 3. When a total of 48 pulses are completed in the above steps, 2 pulses are required to start measuring the next chip.
Counting backwards from the center point Q of the th chip, data acquisition is started 48 pulses before. This process is thus repeated for each chip to continue measurement.

以上のように、本実施例ではチップ毎に基準面を設定し
直すので、基板面の凹凸によって測定ミスを起こすこと
はない。
As described above, in this embodiment, the reference plane is reset for each chip, so that measurement errors do not occur due to irregularities on the substrate surface.

次に検査の判定の仕方をより詳しく説明する。Next, the method of determining the test will be explained in more detail.

レーザー反射光量の変化の仕方は48パルス間に於いて
、第3図上、y軸を反射光量、X軸を移動距離とすると
、βのごとき曲線を示すが、βを11から14に分けて
説明すると、 j!l:基板の材質単体部分でレーザー光が殆ど透過し
て反射光量がきわめて弱い部分 E2ニレジスト部、w4箔パターン部で反射光量が多く
、且つ比較的安定した部分で、この反射光量を基準反射
光量と設定し、この基準反射光量以上の光量が5パルス
以上安定していたとき、測定の基準面と設定する。
The way the amount of reflected laser light changes during 48 pulses is shown in Figure 3, where the y-axis is the amount of reflected light and the x-axis is the distance traveled, it shows a curve like β, but if β is divided into 11 to 14, To explain, j! l: Part of the single material of the board where most of the laser light passes through and the amount of reflected light is extremely weak E2 resist part, W4 foil pattern part where the amount of reflected light is large and relatively stable, and this amount of reflected light is used as the standard amount of reflected light When the amount of light greater than the reference amount of reflected light is stable for 5 pulses or more, it is set as the reference plane for measurement.

13:レーザースポット径が極めて小さければE3は殆
ど立つが、本実施例ではレーザースポット径を約0.2
n+としているので図のようにf頃斜する。
13: E3 is almost constant if the laser spot diameter is extremely small, but in this example, the laser spot diameter is set to about 0.2.
Since it is n+, it is tilted around f as shown in the figure.

14:チップが装着されていると、一般にはチップ面の
反射が良好であるため反射光量は増3 4 加しかつ安定する。
14: When a chip is attached, the reflection from the chip surface is generally good, so the amount of reflected light increases and becomes stable.

本実施例では、反射光量が多く且つ安定した14部分の
有無によって、チップ“あり”なし”を判定するのでは
なく、7!2部分で設定した基準面よりの高さを測定し
て、それが“チップ高さ±α” (αは自由に設定でき
る)の範囲内にあるかどうかで、正しくチップが装着さ
れているかどうかを判定するのである。即ち測定基準面
は反射光量で判定し、チップの有無はチップの高さ測定
で判定するわけである。測定基準面及びチップ面の安定
度は5パルス以上としている。従って測定するチップ中
心より48パルス手前よりデータの取り込みを開始し、
24パルスで予め設定した基準反射光量以上で5パルス
以上安定した面を基準面として記憶し、次の24パルス
で測定した高さが“チップ厚さ±α”の範囲内で5パル
ス以上安定していたとき、“チップあり”と判定してC
RT5に表示された被検査チップ位置の色を青色から合
格の白色に変える。高さが“チップ高さα”以下の時“
欠品”不良、反対に“チップ高さ5 +α”以上の時は“立ち”不良として、何れもCRT6
のチップ色を赤に変える。
In this example, instead of determining whether the chip is present or absent based on the presence or absence of the 14 parts with a large amount of reflected light and stable, the height from the reference plane set at the 7!2 parts is measured and the height is determined. It is determined whether the chip is installed correctly by whether or not the chip height is within the range of "chip height ±α" (α can be set freely).In other words, the measurement reference plane is determined by the amount of reflected light. The presence or absence of a chip is determined by measuring the height of the chip.The stability of the measurement reference plane and the chip surface is set to 5 pulses or more.Therefore, data acquisition is started 48 pulses before the center of the chip to be measured.
The surface that is stable for 5 pulses or more with a preset reference reflected light amount or more for 24 pulses is memorized as the reference surface, and the height measured for the next 24 pulses is stable for 5 pulses or more within the range of "chip thickness ± α". When it was detected that there was a chip, it was determined that there was a chip.
The color of the tested chip position displayed on RT5 is changed from blue to white, which indicates passing. When the height is less than “chip height α”
If the chip height is 5 + α or more, it is considered to be a “standing” defect, and both CRT6
Change the chip color to red.

次に、当然チップ面であるべき位置にチップ高さが観測
されなくても、予め設定したズレ許容パルス数以内にチ
ップ高さが観測されて、且つ5パルス以上安定していれ
ば“チップあり”と判定し、そうでなければ“ズレ”不
良としてCRT6のチップ色を赤に代えて不良であるこ
とを表示する。
Next, even if the chip height is not observed at the position that should naturally be the chip surface, if the chip height is observed within the preset deviation allowable number of pulses and is stable for 5 or more pulses, it is determined that there is a chip. ”, and if not, the chip color of the CRT 6 is changed to red to indicate that it is defective as a “misalignment” defect.

そうして不良になったチップをコントローラ3のメモリ
に記憶させておく。
The defective chip is then stored in the memory of the controller 3.

前記のごとく、基板面からのレーザー反射光量が予め設
定した基準反射光量以上の時を基準面とするので、この
ままの判定法では、基板面全面にわたって基準反射光量
以上の反射量がないと基準面が設定できないので測定不
能となり、検査装置が機能しないことになる。しかしな
がら多(の基板では材質、表面反射状態によって反射光
量は様々で、一定の反射光量以上を常時期待することは
出来ないので、前記の基準面判定法だけでは安定した検
査の続行ができない。
As mentioned above, when the amount of laser reflected light from the substrate surface is equal to or greater than the preset reference amount of reflected light, the reference surface is defined as the reference surface.If the current judgment method is used, if there is no amount of reflected light equal to or greater than the reference amount of reflected light over the entire surface of the substrate, the reference surface is determined. cannot be set, so measurement becomes impossible and the inspection device will not function. However, with multi-layer substrates, the amount of reflected light varies depending on the material and surface reflection state, and it is not possible to always expect a constant amount of reflected light. Therefore, stable inspection cannot be continued using only the reference surface determination method described above.

6 本実施例では、このような不具合を防止するため次のよ
うな対策をしている。プログラム上でその都度設定する
基準反射光量の172を最低反射光量と設定しておき、
測定を進めている途中で12が基準反射光量に達しない
ときは、直ちに最終データを読み直し7!2が最低反射
光量以上で3パルス以上安定していることを条件として
判定をやり直す事によって前記の不具合を防止している
6 In this embodiment, the following measures are taken to prevent such problems. Set the standard reflected light amount of 172, which is set each time on the program, as the minimum reflected light amount,
If 12 does not reach the standard amount of reflected light while the measurement is in progress, immediately reread the final data and redo the judgment on the condition that 7!2 is at least the minimum amount of reflected light and stable for 3 pulses or more. Problems are prevented.

この時、初めから最低反射光量と3パルス以上を判定の
基準とすればよいように考えられるが、その様にすると
、11部分のレーザー光の透過量が少なくて最低反射光
量を超える場合は基準面の設定を誤って、検査ミスを犯
すことになるので、前記のごとき手続きが必要になるわ
けである。
At this time, it may be possible to use the minimum amount of reflected light and 3 or more pulses as the criteria for judgment from the beginning, but if you do that, if the amount of laser light transmitted in the 11th part is small and exceeds the minimum amount of reflected light, then it will be considered as the criterion. The procedure described above is necessary because incorrect surface settings can lead to inspection errors.

しかし、この様な検査ミス防止策にもかかわらず、多く
の基板面では最低反射光量にも達しない場合が僅かなが
らあって、検査ミスを起こす恐れがある。
However, despite such measures to prevent inspection errors, there are a few cases where the minimum amount of reflected light is not reached on many substrate surfaces, and there is a risk that inspection errors may occur.

従って本実施例では、この様な場合には、最終まで検査
を進行させ、検査終了後不良として記憶しておいたチッ
プ位置に測定器センサ一部を戻し、データを逆にチップ
面から基板へ読みだして、12部分で反射光量の多少に
かかわらず5パルス以上安定した面があれば、その面を
基準面と設定し直して、再度チップ面に相当する位置で
高さを測定し直して判定を行う。
Therefore, in this embodiment, in such a case, the inspection is continued to the final stage, and after the inspection is completed, a part of the measuring instrument sensor is returned to the chip position stored as defective, and the data is transferred from the chip surface to the board. Read it out, and if there is a surface on which 5 or more pulses are stable regardless of the amount of reflected light in part 12, reset that surface as the reference surface and measure the height again at the position corresponding to the chip surface. Make a judgment.

本実施例では、この様な検査ミス防止のための手続きを
検査プログラムの中に持っているので、検査装置が極め
て単純な要素の組み合わせにもかかわらず、信頼性が高
く、且つミスのない検査を行うことが出来るのである。
In this embodiment, the inspection program includes a procedure to prevent such inspection errors, so even though the inspection equipment is a combination of extremely simple elements, it is possible to perform highly reliable and error-free inspections. It is possible to do this.

さて、実際に量産品の検査にはいるまでに次のような準
備作業を行う。
Now, before actually inspecting mass-produced products, the following preparatory work is performed.

準備作業は第4図の準備作業チャートに従う。Preparatory work follows the preparatory work chart shown in FIG.

即ち、ステップlでチップ装着図面より各チップ位置の
xYデータ及びチップ記号を1セントとして、すべての
チップのデータを人力したデータディスクを別のパソコ
ンで作成する。
That is, in step 1, a data disk is created on another personal computer by manually inputting the data of all the chips, using the xY data of each chip position and the chip symbol as 1 cent from the chip mounting drawing.

ステップ2で、このデータディスクとシステムディスク
をフロッピードライブに装着し、電源を7 8 ONして検査装置をスタートさせる。ステップ3でプロ
グラムに従って自動的にチップの最短検査経路(順序)
を設定する。
In step 2, the data disk and system disk are inserted into the floppy drive, and the power is turned on to start the inspection device. In step 3, the shortest inspection path (order) for the chip is automatically determined according to the program.
Set.

尚、本検査装置では、検査の進行について次の3つのモ
ードをもっている。
Note that this inspection device has the following three modes for proceeding with the inspection.

■ 手動進行モード(準備作業等に使用)2 総わたり
自動モード(不良があっても検査終了迄自動で進行する
) 3 不良時停止モード(不良発見時チップ装着ラインを
停止さセる) ステップ゛4で総わたり自動モードとして、セットされ
ている生基板で自動検査をし、すべてが不良になる(C
RTに表示されたチップがすべて赤に変わる)ことを確
認する。
■ Manual progress mode (used for preparation work, etc.) 2 Full automatic mode (proceeds automatically until the end of inspection even if there is a defect) 3 Stop mode when defective (stops the chip mounting line when a defect is found) Step ゛In step 4, the entire set of raw boards is automatically inspected in automatic mode, and all of them are found to be defective (C
Check that all chips displayed on RT turn red.

ステップ5で見本基板を固定台にセットして、自動検査
させ、すべて良(CRT6上のチップが全部白色となる
)であることを確認する。
In step 5, the sample board is set on a fixed stand and automatically inspected to confirm that all the chips on the CRT 6 are in good condition (all chips on the CRT 6 are white).

以上のステップ4.5が満足されれば準備作業完了であ
るが、満足されないときは再度ステップlに帰って修正
をしてステップ4.5が満足され9 るまでやり直す。
If step 4.5 above is satisfied, the preparation work is completed, but if not, return to step 1 again, make corrections, and repeat until step 4.5 is satisfied.

次に、被検査基板に対する検査工程を第5図の検査工程
チャートによって実行する。
Next, the inspection process for the substrate to be inspected is performed according to the inspection process chart of FIG.

ステップ1でシステムおよびデータの両ディスクをドラ
イブにセントして、検査装置の電源をONし、ステップ
2で被検査基板を固定台にセットし、ステップ3でコン
トローラ3上のスタートキーを押して本装置をスタート
させる。
In step 1, insert both the system and data disks into the drive and turn on the power to the testing equipment.In step 2, set the board to be tested on the fixed stand, and in step 3, press the start key on the controller 3 to test the equipment. Start.

ステップ4で検査装置はプログラムに従って自動検査を
始める。ステップ5で検査結果をその都度CRTに表示
する。ステップ6で全チップの検査を終了し、もし不良
がなければステップ7で次の基板の検査に移る。
In step 4, the inspection device starts automatic inspection according to the program. In step 5, the test results are displayed on the CRT each time. In step 6, all chips are inspected, and if there are no defects, the next board is inspected in step 7.

もし不良が有れば、ステップ8で自動で不良ケ所の再検
査を行い、不良ケ所がなければステップ7に移る。不良
が有ればステップ9で不良チップをCRTに表示し、ス
テップIOで不良データをプリントアウトして、ステッ
プ11で検査を停止する。
If there is a defect, the defective part is automatically re-inspected in step 8, and if there is no defect, the process moves to step 7. If there is a defect, the defective chip is displayed on the CRT in step 9, the defective data is printed out in step IO, and the inspection is stopped in step 11.

前記実施例によると、次の利点がある。According to the embodiment described above, there are the following advantages.

0 ■ チップ装着図面によってプログラム化された順序に
従って全数自動検査をするので、目視検査における、見
逃しによる検査洩れ、誤認による検査ミスがなく、又検
査のために多くの人員を掛ける必要がない。
0 ■ Since 100% is automatically inspected according to the programmed order based on the chip mounting drawing, there are no inspection omissions due to oversights or inspection errors due to misidentification during visual inspection, and there is no need to use a large number of personnel for inspection.

2 また、検査を実施するための装置として、市販装置
に比べて数分の−の価格のものを採用できるので、該装
置を設備して実施し易い。
2. Furthermore, since the device for carrying out the inspection can be a few fractions of the price of commercially available devices, it is easy to install and carry out the inspection.

前記検査装置は、構成要素が殆ど一般市販品の組み合わ
せであるため極めて安価であって市販の検査機の数分の
一程度の価格となるため、プリント基板製造ラインに容
易に採用できる。
The inspection device is extremely inexpensive because most of its components are a combination of commercially available products, and is about a fraction of the price of commercially available inspection machines, so it can be easily adopted in a printed circuit board manufacturing line.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明した如く、本発明によると、検査すべきチップ
部品を労力少なく洩れなく検査でき且つ検査ミスがなく
、それでいて安価につくチップ部品装着検査方法を提供
することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide an inexpensive chip component mounting inspection method that allows chip components to be inspected to be inspected without any omissions with little effort, without any inspection errors.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例に用いる検査装置例の概略構
成図、第2図はレーザー距離測定器の原理説明図、第3
図は検査判定方法説明図、第4図は検査準備作業を示す
フローチャート、第5図は検査工程フローチャートであ
る。 1・・・レーザー距離測定器 9・・・プリント基板 IO・・・チップ
Fig. 1 is a schematic configuration diagram of an example of an inspection device used in an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a diagram explaining the principle of a laser distance measuring device, and Fig. 3 is a diagram illustrating the principle of a laser distance measuring device.
FIG. 4 is a flowchart showing the inspection preparation work, and FIG. 5 is a flowchart of the inspection process. 1...Laser distance measuring device 9...Printed circuit board IO...chip

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)被測定物にレーザー光を発射して被測定物からの
レーザー光反射角度の差により被測定物の高さを測定で
きるレーザー距離測定器であって被測定物からの反射光
量を検出できる機能を付加したレーザー距離測定器を準
備し、前記レーザー距離測定器によりレーザー光を発射
してプリント基板を順次走査し且つ該プリント基板から
の反射光を受け、一方、前記プリント基板上の各チップ
装着位置に関して予め定めた基準面からの反射光量に相
当する基準反射光量を設定しておき、前記走査による反
射光量が該基準反射光量以上の光量に安定した面を基準
面として該基準面からの該チップ装着位置におけるチッ
プ高さを測定し、該測定チップ高さがチップ厚さより予
め定めた値を差し引いた値V1に達しないときは欠品と
判定し、前記測定チップ高さがチップ厚さに予め定めた
値を加えた値V2を超えたときは立ち不良と断定し、前
記測定チップ高さが予め定めたチップ位置ズレ許容距離
範囲内で前記値V1からV2以内にあるときは合格と判
定し、前記チップ位置ズレ許容距離を越えてなお前記値
V1からV2の範囲外にあるときはズレ不良と判定する
ことを特徴とするチップ部品装着検査方法。
(1) A laser distance measuring device that can measure the height of an object by emitting a laser beam to the object and detecting the amount of light reflected from the object. A laser distance measuring device is equipped with a function that allows the laser distance measuring device to emit a laser beam to sequentially scan a printed circuit board and receive the reflected light from the printed circuit board. A reference amount of reflected light corresponding to the amount of reflected light from a predetermined reference surface with respect to the chip mounting position is set, and a surface on which the amount of reflected light due to the scanning is stable at a light amount equal to or greater than the reference amount of reflected light is set as a reference surface and from the reference surface. When the measured chip height does not reach the value V1 obtained by subtracting a predetermined value from the chip thickness, it is determined that the chip is out of stock. If it exceeds the value V2, which is obtained by adding a predetermined value to the above, it is determined to be a failure, and if the measured chip height is within the predetermined chip position deviation tolerance range and within the value V1 to V2, it is passed. A chip component mounting inspection method characterized in that if the chip position deviation exceeds the allowable distance and is still outside the range of the value V1 to V2, it is determined that the deviation is defective.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5622910A (en) * 1979-08-02 1981-03-04 West Electric Co Ltd Distance detector
JPS5764707U (en) * 1980-10-03 1982-04-17
JPS60154804U (en) * 1984-03-24 1985-10-15 関東自動車工業株式会社 distance measuring device
JPS62299705A (en) * 1986-06-20 1987-12-26 Fujitsu Ltd Inspecting instrument for package parts

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5622910A (en) * 1979-08-02 1981-03-04 West Electric Co Ltd Distance detector
JPS5764707U (en) * 1980-10-03 1982-04-17
JPS60154804U (en) * 1984-03-24 1985-10-15 関東自動車工業株式会社 distance measuring device
JPS62299705A (en) * 1986-06-20 1987-12-26 Fujitsu Ltd Inspecting instrument for package parts

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