JP2002026512A - Printed solder inspection device - Google Patents

Printed solder inspection device

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JP2002026512A
JP2002026512A JP2000200938A JP2000200938A JP2002026512A JP 2002026512 A JP2002026512 A JP 2002026512A JP 2000200938 A JP2000200938 A JP 2000200938A JP 2000200938 A JP2000200938 A JP 2000200938A JP 2002026512 A JP2002026512 A JP 2002026512A
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隆 鈴木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printed solder inspection device which can quickly and easily inform an inspector of the formed state of solder balls on a printed board in detail and, accordingly, can improve the manufacturing quality of the printed board. SOLUTION: A sensor head 20 is positioned oppositely to the printed board and detects the displacement of the solder balls. An itemized computing means 36 computes the arranging position, height, area, and volume of each solder ball based on three-dimensional data obtained from the displacement detected by means of the sensor head 20 and the scanning position of the head 20. A state discriminating means 37 discriminate the formed state of each solder ball with respect to the height, height unevenness, volume, and defects by comparing the computed results of the computing means 36 with a database DB. A displaying means 39 causes a displaying means 40 to display the arrangement of the solder balls on the printed board obtained by means of the sensor head 20 in a plane. The means 39 also causes the displaying means 40 to display the displaying spot of each solder ball with a color which is different from a usually used color at every inspection results of the plurality of items discriminated by means of the discriminating means 37.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板を検
査する印刷半田検査装置に係り、特に、基板上の半田の
突起を正確に検査することができる印刷半田検査装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed solder inspecting apparatus for inspecting a printed circuit board, and more particularly to a printed solder inspecting apparatus capable of accurately inspecting a solder projection on a printed circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント基板製造時には、プリント基板
の半田の印刷状態や、部品の搭載状態を検査装置で検査
するようになっている。この基板の製造ラインは、例え
ば半田印刷機〜検査装置〜部品搭載機で構成されてい
る。上記ライン上での検査装置には、前段の半田印刷機
で半田が印刷されたプリント基板が搬入され、このプリ
ント基板に印刷された半田の状態を検査して後段の部品
搭載機に搬出する。部品搭載機ではプリント基板に電子
部品を実装する。
2. Description of the Related Art When manufacturing a printed circuit board, the printed state of solder on the printed circuit board and the mounting state of components are inspected by an inspection apparatus. The board production line is composed of, for example, a solder printing machine, an inspection device, and a component mounting machine. The printed circuit board on which the solder is printed by the preceding solder printing machine is carried into the inspection apparatus on the line, and the state of the solder printed on the printed circuit board is inspected and carried out to the subsequent component mounting machine. In the component mounting machine, electronic components are mounted on a printed circuit board.

【0003】検査装置では、検査手段が前段の半田印刷
機で半田印刷されたプリント基板を検査し、半田印刷の
状態(高さ、欠損の有無等)を検査するようになってい
る。この検査手段は、プリント基板上に配置されたCC
Dカメラの画像に基づき、各半田の配置位置及び面積を
検出するようになっている。
In an inspection apparatus, an inspection means inspects a printed circuit board on which solder printing has been performed by a preceding solder printing machine, and inspects a state of solder printing (height, presence or absence of a defect, etc.). This inspection means uses a CC arranged on a printed circuit board.
The arrangement position and area of each solder are detected based on the image of the D camera.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記の検査装置では、
半田の配置位置ずれ及び面積を検出できるが、各半田の
高さ、及び体積を得ることができず、半田の形成状態を
より詳細に得ることができなかった。また、前段の半田
印刷機では一般的にスキージを用いてプリント基板Pに
高さが一定な半田を印刷する構成である。このため、検
査装置側では、プリント基板P全体における高さムラ等
を検出する必要があるがこれが行えなかった。なお、前
段の半田印刷機では、搭載される電子部品の種類等によ
って部分的に半田の高さを異ならせる場合があり、これ
に対応する部分的検査も求められている。
In the above inspection apparatus,
Although the displacement and area of the solder can be detected, the height and volume of each solder could not be obtained, and the formation state of the solder could not be obtained in more detail. In addition, a solder printing machine at the preceding stage generally has a configuration in which solder having a constant height is printed on a printed circuit board P using a squeegee. For this reason, on the inspection device side, it is necessary to detect height unevenness and the like on the entire printed circuit board P, but this cannot be performed. In the solder printing machine at the preceding stage, the height of the solder may be partially varied depending on the type of electronic components to be mounted and the like, and a corresponding partial inspection is also required.

【0005】このように、従来は形成された半田の状態
が限られた検査項目でしか検出できなかったため、管理
者等に半田の形成状態を詳細に報知することができなか
った。また、プリント基板上には半田が多数形成される
ため、各半田に関して各項目別の形成状態、特に形成異
常の状態を管理者が迅速かつ容易に把握できることが望
まれていた。
As described above, conventionally, the state of the formed solder can be detected only with a limited number of inspection items, so that it has not been possible to inform the administrator or the like in detail of the state of forming the solder. Further, since a large number of solders are formed on a printed circuit board, it has been desired that an administrator can quickly and easily grasp the formation state of each item for each solder, particularly the state of abnormal formation.

【0006】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、プリント基板上の半田の形成状態を詳
細な項目を有し迅速かつ容易に報知でき、プリント基板
の製造品質を向上できる印刷半田検査装置の提供を目的
としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and can provide a quick and easy notification of the state of formation of solder on a printed circuit board with detailed items, thereby improving the manufacturing quality of the printed circuit board. The purpose is to provide a printed solder inspection device.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の印刷半田検査装置は、搬入される各プリン
ト基板上の半田の形成状態を検査する印刷半田検査装置
において、前記プリント基板上の半田の配置を画像表示
部に平面表示させ、かつ、予め設定された複数項目の検
査結果別に各半田の表示箇所を通常時と異なる表示状態
に切り替えて表示させる表示処理手段を備えたことを特
徴とする。
In order to achieve the above object, a printed solder inspection apparatus according to the present invention is a printed solder inspection apparatus for inspecting the state of formation of solder on each printed circuit board to be carried in. Display processing means for displaying the arrangement of the solder in a plane on the image display unit, and switching the display position of each solder to a display state different from the normal state for each of a plurality of inspection results set in advance. Features.

【0008】他の発明は、搬入される各プリント基板上
の半田の形成状態を検査する印刷半田検査装置におい
て、前記プリント基板に対向配置され、該プリント基板
上の半田の変位量を検出するセンサヘッドと、前記セン
サヘッドから出力される半田の変位量、及び前記プリン
ト基板上におけるセンサヘッドの走査位置に基づき、各
半田の配置位置、高さ、面積、体積を演算する項目別演
算手段と、前記項目別演算手段の演算結果をデータベー
スと比較して各半田の配置位置ずれ、高さ、高さムラ、
面積、体積、欠損の各項目について半田の形成状態を判
断する状態判別手段と、前記センサヘッドで得られたプ
リント基板上の半田の配置を画像表示部に平面表示さ
せ、かつ、前記状態判別手段で判断された前記複数項目
の検査結果別に各半田の表示箇所を通常時と異なる表示
状態に切り替えて表示させる表示処理手段と、を備えた
ことを特徴とする。
According to another aspect of the present invention, there is provided a printed solder inspection apparatus for inspecting a state of formation of solder on each printed circuit board to be carried in, wherein the sensor is disposed to face the printed circuit board and detects a displacement of the solder on the printed circuit board. A head, an amount of displacement of the solder output from the sensor head, and an item-by-item calculating means for calculating the arrangement position, height, area, and volume of each solder based on the scanning position of the sensor head on the printed circuit board; Comparing the operation result of the item-by-item operation means with a database, displaced position of each solder, height, uneven height,
Area determination means for determining the state of formation of solder for each item of area, volume, and defect; and displaying the layout of the solder on the printed circuit board obtained by the sensor head on an image display unit in a plane, and the state determination means. Display processing means for switching the display position of each solder to a display state different from a normal state for each of the inspection results of the plurality of items determined in the above and displaying the same.

【0009】また、前記表示処理手段は、前記検査結果
不良と判断された半田の配置個所を所定色で表示させる
構成としてもよい。
Further, the display processing means may be configured to display, in a predetermined color, a location of the solder determined to be defective as a result of the inspection.

【0010】また、前記表示処理手段は、前記検査結果
不良と判断された半田の配置個所を前記状態判別手段で
判断された前記複数項目の検査結果別の所定色で表示さ
せる構成にもできる。
[0010] The display processing means may be arranged to display a solder arrangement position determined to be defective in the inspection result in a predetermined color for each of the inspection results of the plurality of items determined by the state determination means.

【0011】また、前記表示処理手段は、前記各半田の
形成状態の項目と、前記半田の配置箇所を互いに関連付
けて表示させる構成にもできる。
Further, the display processing means may be configured to display the item of the formation state of each solder and the location of the solder in association with each other.

【0012】上記構成によれば、センサヘッド20は、
プリント基板P上を走査して半田の突起に対応した変位
量を検出出力する。項目別演算手段36は、各半田の配
置位置、高さ、面積、体積を演算する。状態判別手段3
7は、半田の形成状態をデータベースと比較して各半田
の配置位置ずれ、高さ、高さムラ、面積、体積、欠損の
各項目について半田の形成状態を判断する。表示処理手
段39は、各検査項目について検査結果不良の半田があ
れば画像表示部に平面表示した該当する半田を所定色で
表示する。また、各検査項目を選択して検査結果不良の
項目別に所定色で表示させることもできる。
According to the above configuration, the sensor head 20
The printed circuit board P is scanned to detect and output the displacement amount corresponding to the solder protrusion. The item-by-item calculation means 36 calculates the arrangement position, height, area, and volume of each solder. State determination means 3
7 compares the formation state of the solder with the database and determines the formation state of the solder for each of the items such as the displacement of the solder, the height, the unevenness of the height, the area, the volume, and the defect. The display processing means 39 displays the corresponding solder displayed in a plane on the image display unit in a predetermined color if there is a solder having a defective inspection result for each inspection item. In addition, each inspection item can be selected and displayed in a predetermined color for each item of the inspection result failure.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の印刷半田検査装置の実施
形態を説明する。図1は、印刷半田検査装置の正面図、
図2は同平面図である。検査装置1の筐体内部には、搬
送手段2が設けられプリント基板Pを図中X軸方向に搬
送させる。この搬送方向手前側には前段装置の搬出部が
設けられ、搬送方向後端側には後段装置の搬入部が設け
られている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a printed solder inspection apparatus according to the present invention will be described. FIG. 1 is a front view of a printed solder inspection apparatus,
FIG. 2 is a plan view of the same. A transport unit 2 is provided inside the housing of the inspection apparatus 1 and transports the printed circuit board P in the X-axis direction in the figure. An unloading section of the upstream device is provided on the front side in the transport direction, and a loading section of the downstream device is provided on the rear end side in the transport direction.

【0014】搬送手段2は、図2中Y軸方向に所定幅を
有して配置された一対のレール3(3a,3b)及びベ
ルト4(4a,4b)を有する。このY軸はX軸(搬送
方向)と直交する方向である。一方は固定レール3aで
あり、ベルト4aはこの固定レール3a上を移動する無
端状に形成される。他方は固定レール3aと平行な可動
レール3bであり、同様に無端状のベルト4bを有す
る。ベルト4a,4bはそれぞれ両端が回転軸5で軸支
され、モータ6の回転でプリント基板PをX軸方向に搬
送移動させる。
The transport means 2 has a pair of rails 3 (3a, 3b) and a belt 4 (4a, 4b) arranged with a predetermined width in the Y-axis direction in FIG. The Y axis is a direction orthogonal to the X axis (transport direction). One is a fixed rail 3a, and the belt 4a is formed in an endless shape that moves on the fixed rail 3a. The other is a movable rail 3b that is parallel to the fixed rail 3a, and similarly has an endless belt 4b. Both ends of the belts 4a and 4b are supported by a rotation shaft 5, and the motor 6 rotates to convey and move the printed circuit board P in the X-axis direction.

【0015】これら固定レール3aと可動レール3b
は、Y軸テーブル7上に設けられている。Y軸テーブル
7は、Y軸方向に延びる複数の支軸、ボールネジ、及び
モータ等からなるY軸移動手段8によってY軸方向に移
動自在である。このY軸テーブル7上には、支軸、ボー
ルネジ、及びモータ等からなるW軸移動手段10が設け
られ、可動レール3bをW軸方向に移動自在に支持して
いる。W軸はY軸と同方向である。これにより、可動レ
ール3bは固定レール3aに対してY軸方向に移動し、
互いの間隔が可変自在であり、搬送するプリント基板P
の幅に対応することができる。なお、不図示であるが、
固定レール3a、及び可動レール3bには側部位置にそ
れぞれプリント板Pを案内する側板が設けられている。
The fixed rail 3a and the movable rail 3b
Is provided on the Y-axis table 7. The Y-axis table 7 is movable in the Y-axis direction by a Y-axis moving means 8 including a plurality of spindles extending in the Y-axis direction, ball screws, a motor, and the like. On the Y-axis table 7, a W-axis moving means 10 including a support shaft, a ball screw, a motor, and the like is provided, and supports the movable rail 3b movably in the W-axis direction. The W axis is in the same direction as the Y axis. Thereby, the movable rail 3b moves in the Y-axis direction with respect to the fixed rail 3a,
Printed circuit board P to be conveyed, with the distance between them being variable
Can be accommodated. Although not shown,
The fixed rail 3a and the movable rail 3b are provided with side plates for guiding the printed board P at side positions.

【0016】Y軸テーブル7の上方位置には、プリント
基板Pを検査する検査手段12が設けられている。この
検査手段12のセンサヘッド20にはレーザ変位計が用
いられ、プリント基板Pの表面側の半田の突起(高さ方
向Zの変位量)を検出する。この検査手段12は、X,
Y軸方向に移動走査され、プリント基板Pの3次元デー
タを出力する。検査手段12の検出信号は処理手段32
に出力される。
At a position above the Y-axis table 7, an inspection means 12 for inspecting the printed circuit board P is provided. A laser displacement meter is used for the sensor head 20 of the inspection means 12 to detect a solder protrusion (a displacement amount in the height direction Z) on the front surface side of the printed circuit board P. The inspection means 12 includes X,
It is moved and scanned in the Y-axis direction and outputs three-dimensional data of the printed circuit board P. The detection signal of the inspection means 12 is processed by the processing means 32
Is output to

【0017】図3は、センサヘッド20としてのレーザ
変位計による変位量の検出原理を示す概要図である。光
源51からのレーザビームをプリント基板Pの基板面に
照射し、その照射点Sの反射光による像を結像レンズ5
3によって受光素子54の受光面54aに結像させる構
成である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing the principle of detecting the amount of displacement by a laser displacement meter as the sensor head 20. A laser beam from the light source 51 is irradiated on the substrate surface of the printed circuit board P, and an image formed by the reflected light at the irradiation point S is formed on the imaging lens 5.
3 forms an image on the light receiving surface 54a of the light receiving element 54.

【0018】これにより、プリント基板Pが高さ方向Z
に移動すると(半田等の突起があると)、照射点Sが
S’あるいはS”に移動し、対応して受光素子54の受
光面54aの結像点Kの位置がK’あるいはK”に移動
する。受光素子54は、この結像点Kの位置に対応した
検出信号を出力し、この信号の変化量に基づきプリント
基板P上の突起(半田)の変位量(高さや外形)を出力
する。レーザ変位計が検出可能な検出範囲は、図示の如
く所定の範囲を有している。
As a result, the printed circuit board P is moved in the height direction Z.
(If there is a protrusion such as solder), the irradiation point S moves to S ′ or S ″, and the position of the imaging point K on the light receiving surface 54a of the light receiving element 54 correspondingly moves to K ′ or K ″. Moving. The light receiving element 54 outputs a detection signal corresponding to the position of the image forming point K, and outputs a displacement amount (height and outer shape) of the projection (solder) on the printed circuit board P based on a change amount of the signal. The detection range that can be detected by the laser displacement meter has a predetermined range as illustrated.

【0019】検査手段12は、上記センサヘッド20と
走査移動手段27を備えている。走査移動手段27は、
X軸移動手段28と、Z軸移動手段29で構成され、Z
軸移動手段29にセンサヘッド20が設けられている。
X軸移動手段28は、プリント基板Pの検査位置上部に
おいてX軸方向に沿って水平な支軸、ボールネジ、及び
モータ等で構成されている。このX軸方向の長さはプリ
ント基板Pの長さ程度である。
The inspection means 12 includes the sensor head 20 and the scanning movement means 27. The scanning moving means 27
X-axis moving means 28 and Z-axis moving means 29
The sensor head 20 is provided on the shaft moving means 29.
The X-axis moving unit 28 includes a horizontal support shaft, a ball screw, a motor, and the like in the X-axis direction above the inspection position of the printed circuit board P. The length in the X-axis direction is about the length of the printed circuit board P.

【0020】Z軸移動手段29は、X軸移動手段28の
モータによってX軸方向に移動自在な移動体29aと、
移動体29aの上下方向(Z軸方向)に設けられた支
軸、ボールネジ、及びモータ等で構成されている。この
移動体29a(センサヘッド20)はボールネジの回転
によって上下に昇降自在に構成されている。これによ
り、センサヘッド20は、プリント基板Pの搬送方向
(X軸方向)に走査移動自在である。ここで、Z軸移動
手段29は、プリント基板Pと所定の間隔を維持した状
態で変位量を測定する倣い計測を行うため、センサヘッ
ド20を高さ方向に移動させる。
The Z-axis moving means 29 includes a moving body 29a movable in the X-axis direction by the motor of the X-axis moving means 28;
It comprises a support shaft, a ball screw, a motor, and the like provided in the vertical direction (Z-axis direction) of the moving body 29a. The moving body 29a (sensor head 20) is configured to be able to move up and down by rotating a ball screw. Thereby, the sensor head 20 can scan and move in the transport direction (X-axis direction) of the printed circuit board P. Here, the Z-axis moving unit 29 moves the sensor head 20 in the height direction in order to perform scanning measurement for measuring a displacement amount while maintaining a predetermined distance from the printed circuit board P.

【0021】プリント基板Pは、搬送手段2のモータ6
が回転によりベルト4a,4b上をX軸方向に移動す
る。略中央部の検査位置には固定用のストッパ13が突
出しており、プリント基板Pがこの検査位置にて停止す
るようになっている。プリント基板Pは位置検出センサ
(不図示)により検査位置に達したことが検出された
後、モータ6の停止で検査手段12の直下に位置する。
この状態でプリント基板Pは不図示の矯正機構により搬
送方向の反りが矯正される。具体的には、レール3a,
3bは、この長さ方向に渡ってプリント基板Pの両端部
を挟持し、この両端部は長さ方向の反りが矯正される。
The printed circuit board P is provided with a motor 6
Moves on the belts 4a and 4b in the X-axis direction by rotation. A fixing stopper 13 protrudes at a substantially central inspection position, and the printed circuit board P stops at this inspection position. After detecting that the printed board P has reached the inspection position by a position detection sensor (not shown), the printed circuit board P is located immediately below the inspection means 12 by stopping the motor 6.
In this state, the warpage of the printed board P in the transport direction is corrected by a correction mechanism (not shown). Specifically, the rails 3a,
3b sandwiches both ends of the printed circuit board P in the length direction, and the both ends are corrected for warpage in the length direction.

【0022】この状態で検査手段12による検査が実行
される。センサヘッド20は、プリント基板P上の変位
量(半田突起)をX,Y軸方向に走査して行う。うちX
軸方向の走査は走査移動手段27によりセンサヘッド2
0を移動制御して行う。また、Y軸方向の走査は、搬送
装置1のY軸テーブル7を移動制御して行うようになっ
ている。
In this state, the inspection by the inspection means 12 is executed. The sensor head 20 scans the displacement amount (solder protrusion) on the printed circuit board P in the X and Y axis directions. Of which X
The scanning in the axial direction is performed by the scanning movement means 27 using the sensor head 2.
0 is performed by controlling the movement. The scanning in the Y-axis direction is performed by controlling the movement of the Y-axis table 7 of the transport device 1.

【0023】具体的には、図2の平面図に記載の如く、
センサヘッド20によるレーザビームの照射点をプリン
ト基板Pの4隅部分(位置T1)から開始し、同時にモ
ータを駆動してY軸テーブル7をこのプリント基板Pの
幅Dに対応した距離だけY1方向に移動させて(同Y軸
方向を主走査方向とする)、連続的に半田突起の変位量
を検出していく。このY軸テーブル7の移動時、固定レ
ール3a及び可動レール3bの間隔は不変であるためプ
リント基板Pは、同Y1方向に移動する。レーザビーム
の照射点がプリント基板Pの他端側(位置T2)まで移
動すると、モータ8bの駆動を停止させる。
Specifically, as shown in the plan view of FIG.
The irradiation point of the laser beam by the sensor head 20 is started from the four corners (position T1) of the printed circuit board P, and simultaneously the motor is driven to move the Y-axis table 7 in the Y1 direction by a distance corresponding to the width D of the printed circuit board P. (The same Y-axis direction is set as the main scanning direction), and the displacement amount of the solder protrusion is continuously detected. When the Y-axis table 7 moves, the distance between the fixed rail 3a and the movable rail 3b does not change, so that the printed circuit board P moves in the Y1 direction. When the irradiation point of the laser beam moves to the other end of the printed circuit board P (position T2), the driving of the motor 8b is stopped.

【0024】この後、走査移動手段27のX軸移動手段
28のモータを駆動してセンサヘッド20をX軸方向に
所定量(位置T3)まで移動(副走査)させる。このX
軸方向への移動量は、センサヘッド20の走査範囲xA
に対応している。図2記載のように、センサヘッド20
がレーザビームをX軸方向に図中xAの幅で走査する場
合、この走査幅xAに対応した所定量だけセンサヘッド
20をX軸方向に移動させる。
Thereafter, the motor of the X-axis moving means 28 of the scanning moving means 27 is driven to move (sub-scan) the sensor head 20 in the X-axis direction to a predetermined amount (position T3). This X
The amount of movement in the axial direction is the scanning range xA of the sensor head 20.
It corresponds to. As shown in FIG.
Scans the laser beam in the X-axis direction with a width of xA in the figure, the sensor head 20 is moved in the X-axis direction by a predetermined amount corresponding to the scanning width xA.

【0025】副走査後、Y軸テーブル7をY2方向に移
動させて連続的に半田突起の変位量を検出していく。こ
の後、走査移動手段27のX軸移動手段28のモータを
駆動してセンサヘッド20をX軸方向に所定量(位置T
4まで)移動(副走査)させる。以上のようなX,Y軸
への移動走査の繰返しでプリント基板P上の半田突起の
変位量を連続的に検出していく。
After the sub-scanning, the Y-axis table 7 is moved in the Y2 direction to continuously detect the displacement of the solder protrusion. Thereafter, the motor of the X-axis moving unit 28 of the scanning moving unit 27 is driven to move the sensor head 20 in the X-axis direction by a predetermined amount (position T).
4) (moving (sub-scanning)). The displacement amount of the solder protrusion on the printed circuit board P is continuously detected by repeating the above-described movement scanning in the X and Y axes.

【0026】このように、搬送装置1がY軸方向に移動
可能な構成であることを利用して、プリント基板Pの検
査処理時に、センサヘッド20側はX軸方向にのみ移動
制御するようになっている。
As described above, the sensor head 20 is controlled to move only in the X-axis direction during the inspection processing of the printed circuit board P by utilizing the configuration in which the transfer device 1 is movable in the Y-axis direction. Has become.

【0027】上記のように、センサヘッド20をプリン
ト基板Pに対して相対的にX,Y軸に走査することによ
って、センサヘッド20からは連続的にプリント基板P
上の半田の突起に対応した高さデータ(検出信号)を連
続出力する。検査手段12がプリント基板Pの検査を終
了した後は、ストッパ13が退避してモータ6の駆動に
よりプリント板PはX軸方向の後段装置に搬出される。
As described above, by scanning the sensor head 20 in the X and Y axes relative to the printed circuit board P, the printed circuit board P is continuously output from the sensor head 20.
The height data (detection signal) corresponding to the upper solder protrusion is continuously output. After the inspection means 12 completes the inspection of the printed circuit board P, the stopper 13 is retracted and the printed board P is carried out to the subsequent device in the X-axis direction by driving the motor 6.

【0028】なお、上記構成では、センサヘッド20を
X軸方向に移動させ、プリント基板PをY軸方向に移動
させる構成としたが、他、センサヘッド20がX,Y軸
に移動する構成としてもよく、センサヘッド20とプリ
ント基板Pが相対的にX,Y軸方向に移動する構成であ
ればよい。
In the above configuration, the sensor head 20 is moved in the X-axis direction, and the printed circuit board P is moved in the Y-axis direction. In addition, the sensor head 20 is moved in the X and Y axes. Alternatively, any configuration may be used as long as the sensor head 20 and the printed circuit board P relatively move in the X and Y axis directions.

【0029】図4は、装置の電気的構成を示すブロック
図である。処理手段32は、CPU,ROM,RAM,
タイマ等を有し所定の処理プログラムの実行により測定
したプリント基板P上の半田の形成状態を判断処理す
る。設定手段33は、キーボードや外部データ入力によ
り、判断処理に必要な各種パラメータを設定する。例え
ば、項目別演算手段36の演算項目、状態判別手段37
における判別基準等がある。センサヘッド20から出力
される(検出信号)3次元データは、上記X軸移動手段
28及びY軸移動手段8のX,Y軸の走査により半田の
突起に対応して連続的に変化するデータである。
FIG. 4 is a block diagram showing the electrical configuration of the apparatus. The processing means 32 includes a CPU, a ROM, a RAM,
It has a timer or the like and determines the state of formation of solder on the printed circuit board P measured by executing a predetermined processing program. The setting unit 33 sets various parameters necessary for the determination process by using a keyboard or inputting external data. For example, the calculation item of the item-by-item calculation means 36, the state determination means 37
And the like. The three-dimensional data (detection signal) output from the sensor head 20 is data that continuously changes corresponding to the protrusion of the solder by scanning the X-axis moving means 28 and the Y-axis moving means 8 on the X and Y axes. is there.

【0030】各領域別の画像データは、3次元データ展
開手段35により3次元データに変換される。即ち、
X,Y軸の走査位置に対応した2次元データと、センサ
ヘッド20から出力される変位量のデータに基づき3次
元データを生成する。この際、プリント基板Pの面上に
おける半田の形成状態のみ抽出してデータ化されるよう
になっている。
The image data for each area is converted into three-dimensional data by the three-dimensional data expanding means 35. That is,
The three-dimensional data is generated based on the two-dimensional data corresponding to the scanning positions on the X and Y axes and the displacement amount data output from the sensor head 20. At this time, only the state of formation of the solder on the surface of the printed circuit board P is extracted and converted into data.

【0031】項目別演算手段36は、3次元データに基
づき、半田の形成状態に関して各種項目を演算する。形
成の検査項目としては、各半田についての配置位置、面
積、高さ、体積等がある。演算後の項目別データは、状
態判別手段37に出力され、また、記憶手段38に格納
される。
The item-by-item calculating means 36 calculates various items with respect to the state of solder formation based on the three-dimensional data. Inspection items for formation include an arrangement position, an area, a height, and a volume for each solder. The itemized data after the calculation is output to the state determination unit 37 and stored in the storage unit 38.

【0032】状態判別手段37は、演算後の項目別デー
タに基づき、各半田の形成状態が正常であるか否かを判
別する。この際、データベースDBに格納されている基
準の半田データの配置位置(X,Y座標形式)と比較し
て配置ずれを検出する。また、基準の半田データの高さ
と比較して、欠損及び高さムラを検出する。また、基準
の半田データの高さ、面積、体積と比較して高さ、面
積、体積の異常を検出し、記憶手段38に格納し、ま
た、表示処理手段38に出力する。表示処理手段39
は、状態判別手段37による半田の形成状態の検出結果
を所定の表示形式で表示手段40上に情報表示する。
The state determining means 37 determines whether or not the formation state of each solder is normal, based on the itemized data after the calculation. At this time, an arrangement displacement is detected by comparing the arrangement position (X, Y coordinate format) of the reference solder data stored in the database DB. In addition, loss and unevenness in height are detected by comparing with the height of reference solder data. Further, an abnormality in height, area and volume is detected in comparison with the height, area and volume of the reference solder data, stored in the storage means 38, and output to the display processing means 38. Display processing means 39
Displays information on the detection result of the solder formation state by the state determination unit 37 on the display unit 40 in a predetermined display format.

【0033】図5は、表示手段40の表示画面を示す図
である。表示処理手段39は、図示のように表示手段4
0上にプリント基板の情報項目部41、画像表示部4
2、半田状態項目部43、表示項目選択部44、半田詳
細項目部45をそれぞれ画像表示する。プリント基板の
情報項目41部分には、検査しているプリント基板41
の情報(基板名、測定枚数、OK枚数、NG枚数、エラ
ー枚数、不良率等)が表示される。画像表示部42に
は、プリント基板Pと、このプリント基板P上の各半田
Sの配置状態が平面的に画像表示される。この画像デー
タはセンサヘッド20の走査により得られた各半田Sの
突起状態を画像化したものである。各半田Sは所定の同
一色で画像表示される。図示の例では、電子部品として
QFP、CSP、0603の各チップ部品が搭載される
場合の半田の形成状態が図示されている。
FIG. 5 is a diagram showing a display screen of the display means 40. The display processing means 39 includes the display means 4 as shown in FIG.
0 on the printed circuit board information item section 41 and the image display section 4
2. Solder status item section 43, display item selection section 44, and solder detail item section 45 are displayed as images. The printed circuit board information item 41 includes a printed circuit board 41 to be inspected.
(The board name, the number of measurement sheets, the number of OK sheets, the number of NG sheets, the number of error sheets, the defect rate, etc.) are displayed. On the image display unit 42, the arrangement state of the printed circuit board P and the respective solders S on the printed circuit board P is displayed as a two-dimensional image. The image data is obtained by imaging the state of protrusion of each solder S obtained by scanning the sensor head 20. Each solder S is displayed as an image in a predetermined same color. In the example shown in the drawing, the state of formation of solder when each of chip components QFP, CSP and 0603 is mounted as an electronic component is shown.

【0034】半田状態項目部43には、測定時刻、測定
結果、NG半田リストの各項目が表示される。測定結果
は、上記状態判別手段37にていずれか1つの項目につ
いて異常値が検出された場合、図示のように「NG」と
表示する。正常時には「OK」と表示される。NG半田
リストの項目には、プリント基板P上に形成されている
各半田の不良個所が電子部品のチップ単位で表示され
る。このNG半田リストには、画像表示部42に画像表
示されている電子部品の種別が表示される。
The solder status item section 43 displays the measurement time, the measurement result, and each item of the NG solder list. When an abnormal value is detected for any one of the items by the state determination means 37, the measurement result is displayed as "NG" as shown in the figure. “OK” is displayed during normal operation. In the item of the NG solder list, a defective portion of each solder formed on the printed circuit board P is displayed for each chip of the electronic component. In the NG solder list, the type of the electronic component displayed on the image display unit 42 is displayed.

【0035】表示項目選択部44には、画像表示部42
に表示されているプリント基板P上に形成された半田S
の不良状態が各種項目別に表示され、選択可能である。
「高さ」の項目を選択すると、画像表示部42上で半田
Sの形成状態が高さについて不良な個所が所定色、例え
ば「赤」色で表示される。この他、高さムラ、面積、体
積、ずれ、欠損の各項目の選択時にそれぞれ対応する半
田Sが所定色、例えば「赤」色で表示される。なお、こ
れら複数の不良項目別に異なる表示色で画像表示部42
上で該当する半田Sを異常表示させることもできる。ま
た、「NG」の項目を選択した場合には、画像表示部4
2上で半田Sの形成状態が上記各項目のうち1つでも不
良と判断された半田Sが所定色、例えば「赤」色で表示
される(便宜上、該当する半田Sは「黒」色の塗りつぶ
しで表示してある)。この「NG」の表示形態について
は、複数の不良項目別に異なる色で表示させることもで
きる。なお、1カ所の半田Sについて複数の不良項目が
検出された場合には、項目別の設定色と異なる表示色あ
るいは色の点滅等で表示させる構成としてもよい。さら
に、「OK」の項目を選択すると、形成状態が正常な各
半田Sが所定色、例えば「青」色で表示される。
The display item selection section 44 includes an image display section 42
Solder S formed on the printed circuit board P indicated by
Is displayed for each item and can be selected.
When the item of “height” is selected, a portion where the formation state of the solder S is defective in height on the image display section 42 is displayed in a predetermined color, for example, “red”. In addition, the solder S corresponding to each of the items of height unevenness, area, volume, displacement, and loss is displayed in a predetermined color, for example, “red”. Note that the image display unit 42 has a different display color for each of the plurality of defective items.
Above solder S can be displayed as abnormal. When the item “NG” is selected, the image display unit 4
2, the solder S in which the formation state of the solder S is determined to be defective in any one of the above items is displayed in a predetermined color, for example, “red” color (for convenience, the corresponding solder S is “black” color). It is shown in solid). The display form of “NG” can be displayed in different colors for a plurality of defective items. When a plurality of defective items are detected for one solder S, a display color different from a set color for each item or a blinking color may be displayed. Further, when the item "OK" is selected, each solder S in a normal formation state is displayed in a predetermined color, for example, "blue".

【0036】半田詳細項目部45には、プリント基板P
に形成された全電子部品毎に半田の形成状態が表示され
る。正常であれば「OK」、不良があれば「NG」と表
示され併せてNGの内容が表示される。
The solder detailed item section 45 includes a printed circuit board P
The state of solder formation is displayed for each of the electronic components formed. If OK, "OK" is displayed. If there is a defect, "NG" is displayed, and the content of NG is displayed.

【0037】そして、表示処理手段39は、上記の画像
表示部42、半田状態項目部43、半田詳細項目部45
について、それぞれ該当する半田について表示を関連付
けさせている。例えば、図示のように、画像表示部42
上で「NG」を示す「赤」色で表示されている半田S
(QFPタイプの電子部品に含まれる半田S)をマウス
等で選択すると、この選択された半田Sが含まれる電子
部品のチップ名「QFP」が半田状態項目部43上で反
転表示される。同時に、半田詳細項目部45上でも該当
する電子部品のチップ名「QFP」が反転表示される。
同様に、半田状態項目部43、あるいは半田詳細項目部
45上で電子部品のチップ名を選択反転表示させると、
同時に、画像表示部42上で該当する半田Sが所定色、
OKであれば「青」、NGであれば「赤」色で画像表示
される。
The display processing means 39 includes the image display section 42, the solder state item section 43, and the solder detailed item section 45.
Is associated with the corresponding solder. For example, as shown in FIG.
Solder S displayed in "red" color indicating "NG" above
When (Solder S included in QFP type electronic component) is selected with a mouse or the like, the chip name “QFP” of the electronic component including the selected solder S is highlighted on solder state item section 43. At the same time, the chip name “QFP” of the corresponding electronic component is also highlighted on the solder detail item section 45.
Similarly, when the chip name of the electronic component is selectively highlighted on the solder state item section 43 or the solder detail item section 45,
At the same time, the corresponding solder S on the image display unit 42 has a predetermined color,
The image is displayed in "blue" if OK and "red" if NG.

【0038】このように、プリント基板P上の半田Sの
形成状態を複数の項目別に表示でき、特にNGの半田S
について不良項目と配置位置を連動させて表示できるた
め、半田の形成状態をより詳細に確認できるようにな
る。
As described above, the formation state of the solder S on the printed circuit board P can be displayed for a plurality of items.
Since the defective item and the arrangement position can be displayed in association with each other, the state of formation of the solder can be confirmed in more detail.

【0039】[0039]

【発明の効果】本発明によれば、プリント基板上の半田
の配置を画像表示部に平面表示させ、かつ、複数項目の
検査結果別に各半田の表示箇所を通常時と異なる表示状
態に切り替えて表示させる構成であるため、半田の形成
不良個所を項目別に容易に特定でき、プリント基板の製
造品質を向上できるようになる。また、走査移動するセ
ンサヘッドの出力によって、各半田の配置位置、高さ、
面積、体積を演算し、各半田の配置位置ずれ、高さ、高
さムラ、面積、体積、欠損の各項目について半田の形成
状態を判断してプリント基板上の半田の配置を画像表示
部に平面表示させ、かつ、前記状態判別手段で判断され
た前記複数項目の検査結果別に各半田の表示箇所を通常
時と異なる表示状態に切り替えて表示させる構成とすれ
ば、半田の形成不良個所を項目別に得ることができ、同
時に画像表示部上に表示され、不良個所を容易に特定で
きるようになる。上述した半田の形成不良箇所は、所定
色で表示させる構成としたり、複数項目の検査結果別の
所定色で表示させる構成として、半田の形成不良個所を
容易に特定できるようになる。また、各半田の形成状態
の項目と、前記半田の配置箇所を互いに関連付けて表示
させることにより、項目選択に基づき対応個所を画像表
示部上で表示させたり、画像表示部上での半田の配置個
所を選択して該当する形成状態の項目を表示させること
ができるため、半田の形成状態を多角度から検証できる
ようになる。
According to the present invention, the arrangement of the solder on the printed circuit board is displayed on the image display unit in a plane, and the display position of each solder is switched to a display state different from the normal state for each of the inspection results of a plurality of items. Since the display is configured, a defective portion of the solder can be easily specified for each item, and the manufacturing quality of the printed circuit board can be improved. In addition, the position, height,
Calculate the area and volume, determine the state of solder formation for each item of solder misalignment, height, height unevenness, area, volume, defect, and display the solder arrangement on the printed circuit board in the image display section If the configuration is such that the display position of each solder is switched to a display state different from the normal state and displayed for each of the inspection results of the plurality of items determined by the state determination unit, the defective portion of the solder is displayed as an item. It can be obtained separately and is displayed on the image display unit at the same time, so that a defective portion can be easily specified. The above-described solder formation failure portion is configured to be displayed in a predetermined color or is configured to be displayed in a predetermined color for each of a plurality of inspection results, so that a solder formation failure portion can be easily specified. Also, by displaying the item of the formation state of each solder and the location of the solder in association with each other, the corresponding location can be displayed on the image display unit based on the item selection, or the arrangement of the solder on the image display unit. Since the item of the corresponding formation state can be displayed by selecting a location, the formation state of the solder can be verified from multiple angles.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の印刷半田検査装置の実施の形態を示す
正面図。
FIG. 1 is a front view showing an embodiment of a printed solder inspection apparatus according to the present invention.

【図2】同装置の平面図。FIG. 2 is a plan view of the device.

【図3】センサヘッドによる変位量の検出原理を示す概
要図。
FIG. 3 is a schematic diagram showing a principle of detecting a displacement amount by a sensor head.

【図4】装置の電気的構成を示すブロック図。FIG. 4 is a block diagram showing an electrical configuration of the device.

【図5】表示手段の表示内容を示す図。FIG. 5 is a diagram showing display contents of a display unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2…搬送手段、8…Y軸移動手段、12…検査手段、2
0…センサヘッド、28…X軸移動手段、29…Z軸移
動手段、32…処理手段、33…設定手段、35…3次
元データ作成手段、36…項目別演算手段、37…状態
判別手段、38…記憶手段、39…表示処理手段、P…
プリント基板、S…半田。
2 ... conveying means, 8 ... Y-axis moving means, 12 ... inspection means, 2
0 ... Sensor head, 28 ... X-axis moving means, 29 ... Z-axis moving means, 32 ... Processing means, 33 ... Setting means, 35 ... Three-dimensional data creating means, 36 ... Item-by-item calculating means, 37 ... State discriminating means, 38 storage means, 39 display processing means, P ...
Printed circuit board, S ... solder.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 搬入される各プリント基板上の半田の形
成状態を検査する印刷半田検査装置において、 前記プリント基板上の半田の配置を画像表示部に平面表
示させ、かつ、予め設定された複数項目の検査結果別に
各半田の表示箇所を通常時と異なる表示状態に切り替え
て表示させる表示処理手段を備えたことを特徴とする印
刷半田検査装置。
1. A printed solder inspection apparatus for inspecting a state of formation of solder on each printed circuit board to be carried in, wherein an arrangement of the solder on the printed circuit board is displayed in a plane on an image display unit, and a plurality of solder arrangements are set in advance. A printed solder inspection apparatus, comprising: display processing means for switching and displaying a display position of each solder in a display state different from a normal state for each inspection result of an item.
【請求項2】 搬入される各プリント基板上の半田の形
成状態を検査する印刷半田検査装置において、 前記プリント基板に対向配置され、該プリント基板上の
半田の変位量を検出するセンサヘッドと、 前記センサヘッドから出力される半田の変位量、及び前
記プリント基板上におけるセンサヘッドの走査位置に基
づき、各半田の配置位置、高さ、面積、体積を演算する
項目別演算手段と、 前記項目別演算手段の演算結果をデータベースと比較し
て各半田の配置位置ずれ、高さ、高さムラ、面積、体
積、欠損の各項目について半田の形成状態を判断する状
態判別手段と、 前記センサヘッドで得られたプリント基板上の半田の配
置を画像表示部に平面表示させ、かつ、前記状態判別手
段で判断された前記複数項目の検査結果別に各半田の表
示箇所を通常時と異なる表示状態に切り替えて表示させ
る表示処理手段と、を備えたことを特徴とする印刷半田
検査装置。
2. A printed solder inspection apparatus for inspecting the state of formation of solder on each printed board to be carried in, comprising: a sensor head arranged to face the printed board and detecting a displacement of solder on the printed board; An item-by-item calculating means for calculating an arrangement position, a height, an area, and a volume of each solder based on a displacement amount of the solder output from the sensor head and a scanning position of the sensor head on the printed circuit board; A state discriminating unit that compares the operation result of the operation unit with the database and determines the solder formation state for each item of the disposition position of each solder, height, unevenness in height, area, volume, and defect, and the sensor head. The obtained arrangement of the solder on the printed circuit board is displayed in a plane on an image display unit, and the display items of each solder are displayed for each of the inspection results of the plurality of items determined by the state determination unit. Printing solder inspection apparatus characterized by comprising a display processing means for displaying is switched to a different display state and normal to.
【請求項3】 前記表示処理手段は、前記検査結果不良
と判断された半田の配置個所を所定色で表示させる請求
項1、2のいずれかに記載の印刷半田検査装置。
3. The printed solder inspection apparatus according to claim 1, wherein the display processing means displays a solder arrangement position determined as the inspection result failure in a predetermined color.
【請求項4】 前記表示処理手段は、前記検査結果不良
と判断された半田の配置個所を前記状態判別手段で判断
された前記複数項目の検査結果別の所定色で表示させる
請求項1、2のいずれかに記載の印刷半田検査装置。
4. The display processing means displays a solder arrangement location determined to be defective in the inspection result in a predetermined color for each of the plurality of inspection results determined by the state determination means. The printed solder inspection device according to any one of the above.
【請求項5】 前記表示処理手段は、前記各半田の形成
状態の項目と、前記半田の配置箇所を互いに関連付けて
表示させる請求項1、2のいずれかに記載の印刷半田検
査装置。
5. The printed solder inspection apparatus according to claim 1, wherein the display processing unit displays the items of the formation states of the respective solders and the locations of the solders in association with each other.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100461949B1 (en) * 2002-05-15 2004-12-14 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 solder ball for a semiconductor package and its manufacturing method, and evaporation method of solder ball
JP2006071416A (en) * 2004-09-01 2006-03-16 Anritsu Corp Print solder inspection system
KR100644024B1 (en) 2004-03-31 2006-11-10 안리츠 코포레이션 Printing board inspection apparatus
JP2007088109A (en) * 2005-09-21 2007-04-05 Ckd Corp Substrate inspection device
JP2008209115A (en) * 2007-02-23 2008-09-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Printing inspection device and method
JP2016186982A (en) * 2015-03-27 2016-10-27 日本電気株式会社 Solder inspection apparatus and solder inspection method
JP2019111473A (en) * 2017-12-21 2019-07-11 アンリツインフィビス株式会社 Article inspection device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4971882B2 (en) * 2007-06-22 2012-07-11 アンリツ株式会社 Shape measuring apparatus and shape measuring method

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100461949B1 (en) * 2002-05-15 2004-12-14 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 solder ball for a semiconductor package and its manufacturing method, and evaporation method of solder ball
KR100644024B1 (en) 2004-03-31 2006-11-10 안리츠 코포레이션 Printing board inspection apparatus
JP2006071416A (en) * 2004-09-01 2006-03-16 Anritsu Corp Print solder inspection system
JP2007088109A (en) * 2005-09-21 2007-04-05 Ckd Corp Substrate inspection device
JP4553817B2 (en) * 2005-09-21 2010-09-29 シーケーディ株式会社 Board inspection equipment
JP2008209115A (en) * 2007-02-23 2008-09-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Printing inspection device and method
JP2016186982A (en) * 2015-03-27 2016-10-27 日本電気株式会社 Solder inspection apparatus and solder inspection method
JP2019111473A (en) * 2017-12-21 2019-07-11 アンリツインフィビス株式会社 Article inspection device
JP7062434B2 (en) 2017-12-21 2022-05-06 アンリツ株式会社 Goods inspection equipment

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