JPH03257165A - 表面波モータによる試料搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、最近半導体分野で多く使われるようになった
、イオン注入、スパッターやＣＶＤ法等のプロセス処理
を行う真空装置等において、試料を損傷なしに、各県内
や各系外をまたがって、搬る。

〔従来技術と問題点〕

従来、固体試料を真空中で搬送する方法として、アーム
搬送、磁気浮上やベルト搬送等がある。このうちアーム
搬送を例にとって、その問題点を第３図で説明すると、
この搬送系は、フォーク駆動機構１と１６、フォーク２
と１５、アーム搬送機構１７と１８、仕切りバルブ４と
７とｌＯと１３、予備排気室５と１１及び、真空処理室
８からなる。

この搬送系の動作は、先ず仕切りバルブ４を開き７を閉
にした状態でフォーク駆動機構１及びフォーク２を使っ
て、試料３を予備排気室５の中に入れる。次に仕切りバ
ルブ４を閉め、予備排気室５を真空に排気後、仕切りバ
ルブ７を開き、試料６をアーム搬送機構１７を使って、
真空処理室８内の９の場所に搬送する。以後は同じよう
な工程で、試料を１４の場所までに搬送し、処理を終え
る。この方法の欠点は、試料を何回も移し替える点で、
このため試料は損傷を起こし、搬送機構そのものも、機
構が複雑なために信頼性に欠ける。

一方磁気浮上方式では、装置が複雑になってコストが高
い問題点、又、ベルト方式ではベルトの切れ等の問題点
がある。

〔構　威〕

本発明に使用する表面波モータについて第１図を使って
説明すると、この表面波モータは、圧電材料の伸び縮み
を利用するもので、圧電セラミックス２（例えばＰ　ｂ
　Ｔ　ｉ　Ｏｓ系（ＰＴ）等）に電極ｌと３を使って交
番電圧を加えると、セラミックス２中の陽イオンは電界
方向に、又陰イオンは逆方向に引力が働くので、相対的
にイオン間距離が変化し、伸縮が起きる。そこで、この
伸縮運動を弾性体４に加え、この伸縮運動に応じた波５
と６を作って上部に乗せた試料を搬送する。

第２図は請求項１項の１実施例を示す側面図で、第１図
で示した表面波モータｌと４と７とｌＯと１３、試料カ
セット２と１４、仕切りノくルブ３と６と９と１２、予
備排気室５と１１及び、真空処理室８より構成する。

請求項２項は、試料が大きい場合に試料が搬送機構より
落下しないように、複数列の表面波モータを並べたもの
であり、第２図で示す表面波モタ１と４と７と１０と１
３を複数列としている。

〔使用方法〕

以上のような構成下での使用方法を第２図に示す一実施
例で説明すると、試料を並べた試料カセット２を表面波
モータ１の上に置き、試料カセットの上下により試料１
５を、表面波モータ１の上に乗せた後、仕切りバルブ６
を閉の状態にし、仕切りバルブ３を開く。ここで、表面
波モータ１と４を動作させ、試料１５を１６の場所迄移
動する。

次に仕切りバルブ３を閉め、予備排気室５内を真空排気
する。ここで予備排気室５が、所定の圧力になったら、
仕切りバルブ６を開き、表面波モータ４と７を動作させ
、試料１６を真空処理室８内の１７の所迄に移動し、仕
切りバルブ６を閉め、真空処理を行う。以後は同じ様な
工程で試料を、１９の場所迄に取り出し、工程は終了す
る。

一方試料が大きい場合は、表面波モータを複数列並べ、
固体試料がこれらの表面波モータによって支えられ落ち
ない様にして使用する。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明は表面波モータの伸縮運動
を利用し、試料を直線的に移動するのと、試料の移替え
を行わないので、試料の損傷が無く構造も簡単で、複雑
な機構を必要としてい特徴を持つ。このため僅かのダス
トを嫌う半導体プロセス装置に最適の搬送手段を提供で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に使用する表面波モータの断面図を示
す 第２図は、本発明の１実施例を示す装置の側面図を示す 第３図は、従来から使用されているアーム搬送を使った
搬送系の平面図を示す Ｍｌ　（３） 第２回 纂３０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　真空内で、各種処理を行う真空装置において、圧力
   によって区分される大気系、予備排気室系、真空処理室
   系、予備排気室系及び、大気系の各系内に、表面波モー
   タを並べて、動作させ、固体試料を各系内及び各系をま
   たがって搬送させる表面波モータによる試料搬送機構 ２　各系内に表面波モータを、複数列並べて動作させる
   、請求項１項の表面波による試料搬送機構