JPH032550A - Ｘ線による定性分析法 - Google Patents
Ｘ線による定性分析法Info
- Publication number
- JPH032550A JPH032550A JP1136665A JP13666589A JPH032550A JP H032550 A JPH032550 A JP H032550A JP 1136665 A JP1136665 A JP 1136665A JP 13666589 A JP13666589 A JP 13666589A JP H032550 A JPH032550 A JP H032550A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- peaks
- data
- spectrum data
- memory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はＸ線分光法による元素定性分析法に関する。
（従来の技術）
Ｘ線分光法による定性分析は、Ｘｉ分光器で波長走査を
行い、試料から放射されるＸ線の波長スペクトルのデー
タを採取して、ピーク検出を行い、ピーク波長と元素と
の対応表から試料中に含まれる元素を決定するものであ
る。
行い、試料から放射されるＸ線の波長スペクトルのデー
タを採取して、ピーク検出を行い、ピーク波長と元素と
の対応表から試料中に含まれる元素を決定するものであ
る。
Ｘ線分光法による定性分析で分析能率を上げるためには
ＸｊＪｊ！分光器の波長走査を高速で行わねばならない
が、波長走査を高速で行う場合、微量成分の検出をも可
能とするため、試料励起用電子ヒームのビーム電流を大
にして、Ｘ線検出のＳ／Ｎ比を高めるようにしている。
ＸｊＪｊ！分光器の波長走査を高速で行わねばならない
が、波長走査を高速で行う場合、微量成分の検出をも可
能とするため、試料励起用電子ヒームのビーム電流を大
にして、Ｘ線検出のＳ／Ｎ比を高めるようにしている。
しかしこのようにすると多量成分においてはその特性Ｘ
線の強度が強すぎてＸ線検出器の方でＸ線パルスの数え
落としが始まる。このため次のような問題が生じる。
線の強度が強すぎてＸ線検出器の方でＸ線パルスの数え
落としが始まる。このため次のような問題が生じる。
試料から放射されるＸ線のスペクトルには多数のピーク
が現れる。これは一つの元素のピークは一つだけでなく
、Ｋα線、Ｌα線等幾つものピークがありまた強いピー
クに対してはぞの高次回折線ピークが現れるためて、多
種の成分元素についてそれらのピークが互いに近接して
現れていると元素の判定を誤る。これを防ぐため、Ｘ線
スペクトルのデータで強いピークがあるときは、そのピ
ークの高次回折線の位置や１次回折ピークとの強度比等
は予め計算できるから、Ｘ線スペクトルのデータから高
次回折線ピークのデータを引算して、Ｘ線スペクトルの
データから余分なピークを除去するようにしている。し
かし上述したように強いＸ線ピークについて検出器側に
Ｘ線パルスの数え落としがあると、見掛上そのピークは
実際のピーク強度より弱いものとして測定されており、
そのデータから比率計算で高次回折線強度を求めても、
その強いピークの高次回線の実際の強度より弱（、引算
結果に強いＸ線ピークの高次回折線が残ることになり、
元素の判定を誤る可能性がある。
が現れる。これは一つの元素のピークは一つだけでなく
、Ｋα線、Ｌα線等幾つものピークがありまた強いピー
クに対してはぞの高次回折線ピークが現れるためて、多
種の成分元素についてそれらのピークが互いに近接して
現れていると元素の判定を誤る。これを防ぐため、Ｘ線
スペクトルのデータで強いピークがあるときは、そのピ
ークの高次回折線の位置や１次回折ピークとの強度比等
は予め計算できるから、Ｘ線スペクトルのデータから高
次回折線ピークのデータを引算して、Ｘ線スペクトルの
データから余分なピークを除去するようにしている。し
かし上述したように強いＸ線ピークについて検出器側に
Ｘ線パルスの数え落としがあると、見掛上そのピークは
実際のピーク強度より弱いものとして測定されており、
そのデータから比率計算で高次回折線強度を求めても、
その強いピークの高次回線の実際の強度より弱（、引算
結果に強いＸ線ピークの高次回折線が残ることになり、
元素の判定を誤る可能性がある。
（発明が解決しようとする課題）
Ｘ線分光法による定性分析で、上述した検出器にょろり
Ｘ ＆’ｉｌピーク数え落としの影響を除去しようとす
るものである。
Ｘ ＆’ｉｌピーク数え落としの影響を除去しようとす
るものである。
（課題を解決するだめの手段）
ｘｉ分光器の波長走査によって直接得られたＸ線スペク
トルデータにＸ線検出器のＸ線パルス数え落としに対す
る補正を施した修正Ｘ線スペクトルデータにより定性分
析を行うようにした。
トルデータにＸ線検出器のＸ線パルス数え落としに対す
る補正を施した修正Ｘ線スペクトルデータにより定性分
析を行うようにした。
く作用）
Ｘ線強度とＸ線パルス数え落とし率との関係はＸ線検出
器について予め求めておくことができ、実測されたＸ線
強度に補正係数を掛けて修正Ｘ線スペクトルのデータを
得ることは容易である。この修正Ｘ線スペクトルデータ
を用いれば高次回折線の強度は正確に計算できるから、
定性判定を行うとき余分なピークが残って判定を誤ると
云う可能性がなくなり、高速波長走査が可能となる。
器について予め求めておくことができ、実測されたＸ線
強度に補正係数を掛けて修正Ｘ線スペクトルのデータを
得ることは容易である。この修正Ｘ線スペクトルデータ
を用いれば高次回折線の強度は正確に計算できるから、
定性判定を行うとき余分なピークが残って判定を誤ると
云う可能性がなくなり、高速波長走査が可能となる。
（実施例）
第１図に本発明方法を実施する装置の一例を示す。図で
Ｓは試料てあり、ｅは試料を励起する電子ビームである
。ＣはＸ線分光器の分光用結晶、ＤはＸ線検出器で、Ｖ
はＸ線分光器を駆動する波長走査機構でパルスモータに
より駆動される。Ｍは測定データメモリ、ＰはＸ線ピー
ク波長と元素との対応表を格納したメモリ、ＣＰＵは装
置の制御および測定結果についてデータ処理を行うコン
ピュータで、Ｄｓｐは分析結果出力装置である。
Ｓは試料てあり、ｅは試料を励起する電子ビームである
。ＣはＸ線分光器の分光用結晶、ＤはＸ線検出器で、Ｖ
はＸ線分光器を駆動する波長走査機構でパルスモータに
より駆動される。Ｍは測定データメモリ、ＰはＸ線ピー
ク波長と元素との対応表を格納したメモリ、ＣＰＵは装
置の制御および測定結果についてデータ処理を行うコン
ピュータで、Ｄｓｐは分析結果出力装置である。
」１記装置による定性分析は次のように行われる。第２
図はＣＰＵが行う定性分析動作のフローチャー１・であ
る。波長走査機構Ｖを駆動して波長走査を行い（イ）、
同時にＸ線検出出方を波長データと共に測定データメモ
リＭに取込み（ロ）、波長走査終了後、メモリＭに取込
まれたＸ線検出出力データつまり生のＸ４！スペクトル
データに予め設定されている数え落とし補正演算プログ
ラムにより補正演算を施しくハ）、メモリＭの生Ｘ線ス
ペクトルデータを上記演算により求められた修正Ｘ線ス
ペクトルデータに書替え（ニ）、その後、同データから
一番強いピークから順にメモリＰに格納されているピー
クと元素の対応表を用いて元素決定を行い、決定された
元素のに線り線等のピークを修正Ｘ線スペクトルデータ
がら消去しくポ）、この動作を修正Ｘ線スペクトルデー
タの全ピークがなくなる迄行って、全ピークの検定終了
（へ）により、定性結果を表示手段Ｄｓｐに出力（ト）
シて定性分析動作を終了する。
図はＣＰＵが行う定性分析動作のフローチャー１・であ
る。波長走査機構Ｖを駆動して波長走査を行い（イ）、
同時にＸ線検出出方を波長データと共に測定データメモ
リＭに取込み（ロ）、波長走査終了後、メモリＭに取込
まれたＸ線検出出力データつまり生のＸ４！スペクトル
データに予め設定されている数え落とし補正演算プログ
ラムにより補正演算を施しくハ）、メモリＭの生Ｘ線ス
ペクトルデータを上記演算により求められた修正Ｘ線ス
ペクトルデータに書替え（ニ）、その後、同データから
一番強いピークから順にメモリＰに格納されているピー
クと元素の対応表を用いて元素決定を行い、決定された
元素のに線り線等のピークを修正Ｘ線スペクトルデータ
がら消去しくポ）、この動作を修正Ｘ線スペクトルデー
タの全ピークがなくなる迄行って、全ピークの検定終了
（へ）により、定性結果を表示手段Ｄｓｐに出力（ト）
シて定性分析動作を終了する。
（発明の効果）
本発明によれば強いＸ線ピークに対しても検出器のＸｆ
ＰＩパルス数え落としの影響が補正されているので、試
料励起線強度を従来より強めることが可能となり、高速
でしかも微量成分まで誤判定なしに定性分析することが
でき、分析の能率の向上と信頼度の向上の両方が達成で
きる。
ＰＩパルス数え落としの影響が補正されているので、試
料励起線強度を従来より強めることが可能となり、高速
でしかも微量成分まで誤判定なしに定性分析することが
でき、分析の能率の向上と信頼度の向上の両方が達成で
きる。
第１図は本発明方法を実施する装置の一例のブロック図
、第２図は同装置の定性分析動作のフローチャートであ
る。 ｅ・・・電子ビーム、Ｓ・・・試料、Ｃ・・・分光結晶
、Ｄ・・・Ｘ線検出器、■・・・波長走査機構Ｍ・・・
測定データメモリ、Ｐ・・・ピーク元素対応表メモリ、
Ｄｓｐ・・・表示装置。 代理人 弁理士 縣 浩 介
、第２図は同装置の定性分析動作のフローチャートであ
る。 ｅ・・・電子ビーム、Ｓ・・・試料、Ｃ・・・分光結晶
、Ｄ・・・Ｘ線検出器、■・・・波長走査機構Ｍ・・・
測定データメモリ、Ｐ・・・ピーク元素対応表メモリ、
Ｄｓｐ・・・表示装置。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- Ｘ線分光器の波長走査によって直接得られたスペクトル
データにＸ線検出器のＸ線パルス数え落としに対する補
正を施した修正Ｘ線スペクトルデータにより元素判定を
行うことを特徴とするＸ線による定性分析法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1136665A JPH032550A (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Ｘ線による定性分析法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1136665A JPH032550A (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Ｘ線による定性分析法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH032550A true JPH032550A (ja) | 1991-01-08 |
Family
ID=15180632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1136665A Pending JPH032550A (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Ｘ線による定性分析法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH032550A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014050525A1 (ja) | 2012-09-26 | 2014-04-03 | 株式会社クボタ | 対地作業車両、対地作業車両管理システム、対地作業情報表示方法 |
-
1989
- 1989-05-29 JP JP1136665A patent/JPH032550A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014050525A1 (ja) | 2012-09-26 | 2014-04-03 | 株式会社クボタ | 対地作業車両、対地作業車両管理システム、対地作業情報表示方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Lazzari et al. | Detection of mercury in air by time-resolved laser-induced breakdown spectroscopy technique | |
| CN108680523A (zh) | 利用多种拟合方式衔接标准曲线的待测物测定方法 | |
| JPH032550A (ja) | Ｘ線による定性分析法 | |
| JP3610256B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JPH0798270A (ja) | フロースルー型紫外可視分光光度計 | |
| JPH0247542A (ja) | Ｘ線分光器を用いた定量分析方法 | |
| JP3004750B2 (ja) | フーリエ変換赤外分光計を用いた定量分析方法 | |
| EP1987910A1 (en) | A method for instantly evaluating the quality of a weld | |
| JPS58210556A (ja) | Ｘ線分光分析装置 | |
| JPH08129002A (ja) | Ｓｉｍ法を用いたクロマトグラフ質量分析装置 | |
| US5528648A (en) | Method and apparatus for analyzing contaminative element concentrations | |
| JP4450750B2 (ja) | 蛍光分析装置 | |
| JP2522224B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法 | |
| JPH11352080A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JPH0750042B2 (ja) | スペクトル分析装置における状態分析方法 | |
| JP2926857B2 (ja) | Ｘ線による定性分析装置 | |
| JP3324186B2 (ja) | 発光分光分析装置 | |
| JPS5821144A (ja) | 高精度全自動ｉｃｐ分析法 | |
| JP3123860B2 (ja) | 波長分散型分光器とエネルギ分散型分光器を用いた元素分析装置 | |
| JP3052272B2 (ja) | スペクトル処理を用いた蛍光ｘ線定性分析方法 | |
| JP2002090319A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP2645226B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法 | |
| JP2001249089A (ja) | 蛍光ｘ線分析方法および装置 | |
| JPS62103553A (ja) | Ｘ線分光器におけるピ−ク検出方法 | |
| JPH0749319A (ja) | 蛍光ｘ線分析方法 |